JP2013166608A - 浮上搬送装置および浮上搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レール2の搬送面20には、通気路に供給された圧縮気体を噴出し搬送面20上の基板5に吹き付けるための圧縮気体噴出口22と、圧縮気体を噴出し旋回流を生成する旋回流生成部23とがそれぞれ複数形成されている。旋回流生成部23は、少なくとも、基板5の先端部51aが後続レール2の搬送面20の搬送方向A後方側の端部21bに到達する際に基板5の後端部51bに対応する搬送面20上の位置と、基板5の後端部51bがレール2の搬送面20の搬送方向A前方側の端部21aに到達した際に基板5の先端部51aに対応する搬送面20上の位置とに複数形成される。圧縮気体噴出口22は、旋回流生成部23の形成領域29を除く、搬送面20上の領域28全面に複数形成される。
【選択図】図3
Description
前記搬送面に複数形成され、前記搬送対象に向けて気体を噴出する気体噴出口と、
前記搬送対象の前記搬送方向における一方の端部が、前記搬送面の前記搬送方向における一方の端部を通過した際に、前記搬送対象の前記搬送方向における他方の端部が対応する前記搬送面の位置に少なくとも一つ設けられ、気体を噴出して旋回流を生成することにより負圧を発生させる旋回流生成手段と、を有する。
Claims (6)
- 搬送対象を搬送用レールの搬送面から浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送装置であって、
前記搬送面に複数形成され、前記搬送対象に向けて気体を噴出する気体噴出口と、
前記搬送対象の前記搬送方向における一方の端部が、前記搬送面の前記搬送方向における一方の端部を通過した際に、前記搬送対象の前記搬送方向における他方の端部が対応する前記搬送面の位置に少なくとも一つ設けられ、気体を噴出して旋回流を生成することにより負圧を発生させる旋回流生成手段と、を有する
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 請求項1に記載の浮上搬送装置であって、
前記旋回流生成手段は、
前記搬送対象の前記搬送方向における先端部が、前記搬送面の前記搬送方向における先端部を通過した際に、前記搬送対象の前記搬送方向における後端部に対応する前記搬送面の位置にも少なくとも一つ設けられている
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 請求項1または2に記載の浮上搬送装置であって、
前記旋回流生成手段は、
前記搬送対象の前記搬送方向における後端部が、前記搬送面の前記搬送方向における後端部に到達した際に、前記搬送対象の前記搬送方向における先端部に対応する前記搬送面の位置にも少なくとも一つ設けられている
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の浮上搬送装置であって、
前記旋回流生成手段は、
前記搬送面に形成された円筒状の凹部と、
前記凹部の内周面に形成され、当該凹部の内周面の接線方向に向かって気体を噴出する旋回流用噴出口と、を有する
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の浮上搬送装置であって、
前記旋回流生成手段は、
一方向回りの旋回流を生成する一方向旋回流生成手段と、当該一方向回りと逆方向回りの旋回流を生成する逆方向旋回流生成手段とが混在するように複数設けられている
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 搬送対象を搬送用レールの搬送面から浮上させて、搬送方向に非接触で搬送する浮上搬送方法であって、
前記搬送面に複数形成された気体噴出口から気体を噴出させて前記搬送対象に吹き付け、前記搬送対象を前記搬送面から浮上させるとともに、
前記搬送対象の前記搬送方向における一方の端部が前記搬送面の前記搬送方向における一方の端部を通過した際に、前記搬送対象の前記搬送方向における他方の端部に対応する前記搬送面の位置において気体の旋回流を発生させ、当該旋回流によって生じる負圧により、前記搬送対象の前記搬送方向における後端部を前記搬送面に引き寄せる
ことを特徴とする浮上搬送方法。
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