JP2013155419A - 表面処理用治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 線状部材を隙間を存して巻回してなるスプリング状の筒状体に被処理物を収容して表面処理を行うための表面処理用治具であって、筒状体の一方の端部は、少なくとも筒状体の内部側の端面が渦巻線状面に形成されたスプリング体が配されることで封止されており、他方の端部は開口していて、そこから被処理物を収容した後、少なくとも筒状体の内部側の端面が渦巻線状面に形成されたスプリング体を蓋体として嵌合することで封止されるようにしてなることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
また、請求項2記載の治具は、請求項1記載の治具において、上端部が開口している筒状体の下端部を固定した下フレームと、蓋体としてのスプリング体の上端部を固定した上フレームを、それぞれに固定した支柱同士を接合することで対設してなり、下フレームに対する上フレームの上下移動を可能とし、上フレームを下移動させることで上フレームが開口している筒状体の上端部を押圧した状態で蓋体としてのスプリング体が嵌合するようにしてなることを特徴とする。
また、請求項3記載の治具は、請求項2記載の治具において、下フレームと上フレームに筒状体と蓋体としてのスプリング体をそれぞれ複数個固定してなることを特徴とする。
また、本発明の被処理物の表面処理方法は、請求項4記載の通り、請求項1乃至3のいずれかに記載の表面処理用治具に被処理物を収容して行うことを特徴とする。
また、請求項5記載の表面処理方法は、請求項4記載の表面処理方法において、表面処理が蒸着被膜形成であることを特徴とする。
また、本発明の蒸着被膜形成装置は、請求項6記載の通り、水平方向の回転軸線を中心に回転自在とした支持部材の回転軸線の周方向の外方に、請求項1乃至3のいずれかに記載の表面処理用治具が公転自在に支持された蒸着ユニットを真空処理室内に備えることを特徴とする。
以下、図面を用いて本発明の表面処理用治具(被処理物の表面に金属蒸着被膜を形成するために用いる場合)を説明するが、本発明は以下の記載に限定して解釈されるものではない。
2、22、52 筒状体
3、23 スプリング体
4、24、54 スプリング体(蓋体)
5 枠状下フレーム
6、56 枠状上フレーム
7、27 支柱
8、28 支柱
9 長穴
10 ストッパ突起
11 ピン
12 フック
25 棒状下フレーム
26 棒状上フレーム
29 支持軸
30 蒸着ユニット
31 支持部材
32 スプロケット
33 ドライブリング
34 ベース部材
35 固定ギア
36 小型ギア
37 ベアリング
38 蒸着被膜形成装置
39 真空処理室
40 ボート
41 支持テーブル
42 ボート支持台
43 蒸着材料のワイヤー
44 繰り出しリール
45 保護チューブ
46 切り欠き窓
47 繰り出しギア
57 棒状部材
58 台座
59 絡み防止用スプリング
Claims (6)
- 線状部材を隙間を存して巻回してなるスプリング状の筒状体に被処理物を収容して表面処理を行うための表面処理用治具であって、筒状体の一方の端部は、少なくとも筒状体の内部側の端面が渦巻線状面に形成されたスプリング体が配されることで封止されており、他方の端部は開口していて、そこから被処理物を収容した後、少なくとも筒状体の内部側の端面が渦巻線状面に形成されたスプリング体を蓋体として嵌合することで封止されるようにしてなることを特徴とする治具。
- 上端部が開口している筒状体の下端部を固定した下フレームと、蓋体としてのスプリング体の上端部を固定した上フレームを、それぞれに固定した支柱同士を接合することで対設してなり、下フレームに対する上フレームの上下移動を可能とし、上フレームを下移動させることで上フレームが開口している筒状体の上端部を押圧した状態で蓋体としてのスプリング体が嵌合するようにしてなることを特徴とする請求項1記載の治具。
- 下フレームと上フレームに筒状体と蓋体としてのスプリング体をそれぞれ複数個固定してなることを特徴とする請求項2記載の治具。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の表面処理用治具に被処理物を収容して行うことを特徴とする被処理物の表面処理方法。
- 表面処理が蒸着被膜形成であることを特徴とする請求項4記載の表面処理方法。
- 水平方向の回転軸線を中心に回転自在とした支持部材の回転軸線の周方向の外方に、請求項1乃至3のいずれかに記載の表面処理用治具が公転自在に支持された蒸着ユニットを真空処理室内に備えることを特徴とする蒸着被膜形成装置。
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