JP2013153959A - 針状体の構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】針状体15は、シリコンから成る基板13の少なくとも一部に薄膜14が設けられている。当該薄膜を構成する材料として機械的強度の高い材料を選択することにより、皮膚への穿刺時および複製版への転写時等に針状体が破損することを抑制することが可能となる。従って皮膚への穿刺性能や針状体の転写成型における歩留まりを向上させることができる。
【選択図】図1
Description
すぎる場合には、皮膚への穿刺性能が大幅に低下してしまう。
12、23 … エッチングマスク
13、25 … シリコンから成る針状体
14、26 … 薄膜
15、27 … 針状体
22 … 未貫通孔
24、241、242、243 … 貫通孔
244 … 凹部
Claims (4)
- シリコンからなる基板上の少なくとも一部に薄膜を形成したことを特徴とする針状体の構造。
- 前記基板の薄膜には、板面を貫通する孔あるいは凹部のいずれか一方が設けられることを特徴とする請求項1記載の針状体の構造。
- 前記薄膜は、生体適合性を有する材料であることを特徴とする請求項1又は2に記載の針状体の構造。
- 前記薄膜は、Mg、Ti、Cr、Co、Zr、Nb、Mo、Ag、Ta、Ir、Pt、Auの中のいずれか一つの金属、またはこれらを含む合金、酸化物、窒化物のいずれかであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の針状体の構造。
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