JP2013149852A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明基板2上に透明電極3、光電変換層4、および裏面電極5がこの順で積層された太陽電池1に対し、光電変換層4および裏面電極5の一部に開口を設けてシースルー化する、太陽電池の製造方法であって、裏面電極5上に、レジスト7を所定の開口8が設けて塗布する、レジスト塗布工程と、金属エッチング液9を用いて、開口8直下の裏面電極5をウェットエッチングする、裏面電極エッチング工程と、アルカリ液10を用いて、開口8直下の光電変換層4をウェットエッチングする、光電変換層エッチング工程と、を有し、レジスト7は樹脂からなり、裏面電極エッチング工程および光電変換層エッチング工程は、ともにレジスト塗布工程で塗布したレジスト7を用いて実施することを特徴とする。
【選択図】図2
Description
2 透明基板
3 透明電極
4 光電変換層
5 裏面電極
6 分離溝
7 レジスト
8 開口
9 金属エッチング液
10 アルカリ液
11 保護層
12 フレーム
S 発電領域
Claims (6)
- 透明基板上に透明電極、半導体膜を積層した光電変換層、および金属からなる裏面電極がこの順で積層された太陽電池に対し、前記光電変換層および裏面電極の一部に開口を設けてシースルー化する、太陽電池の製造方法であって、
前記裏面電極上に、レジストを所定の開口を設けて塗布する、レジスト塗布工程と、
金属エッチング液を用いて、前記開口直下の前記裏面電極をウェットエッチングする、裏面電極エッチング工程と、
アルカリ液を用いて、前記開口直下の光電変換層をウェットエッチングする、光電変換層エッチング工程と、
を有し、
前記レジストは樹脂からなり、前記裏面電極エッチング工程および前記光電変換層エッチング工程は、ともに前記レジスト塗布工程で塗布した前記レジストを用いて実施することを特徴とする、太陽電池の製造方法。 - 前記レジストは、エポキシ樹脂もしくはアクリル樹脂であることを特徴とする、請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記光電変換層は、アモルファスシリコンからなることを特徴とする、請求項1もしくは2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記金属エッチング液は、少なくともリン酸、硝酸、および酢酸を含むことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
- 前記アルカリ液は、水酸化カリウム溶液であることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
- 前記レジストの内部の残留ガスを除去する工程が前記レジスト塗布工程の前後のうち少なくともいずれかに行われることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の太陽電池の製造方法。
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