JP2013149658A - Exfoliating device, exfoliating system, exfoliating method, and exfoliating program - Google Patents
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Abstract
Description
開示の実施形態は、剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラムに関する。 Embodiments disclosed herein relate to a peeling apparatus, a peeling system, a peeling method, and a peeling program.
近年、例えば、半導体デバイスの製造工程において、シリコンウェハや化合物半導体ウェハなどの半導体基板の大口径化および薄型化が進んでいる。大口径で薄い半導体基板は、搬送時や研磨処理時に反りや割れが生じるおそれがある。そのため、半導体基板に支持基板を貼り合わせて補強した後に、搬送や研磨処理を行い、その後、支持基板を半導体基板から剥離する処理が行われている。 In recent years, for example, in semiconductor device manufacturing processes, semiconductor substrates such as silicon wafers and compound semiconductor wafers have become larger and thinner. A large-diameter and thin semiconductor substrate may be warped or cracked during transportation or polishing. For this reason, after a support substrate is bonded to a semiconductor substrate and reinforced, a transport or polishing process is performed, and then a process of peeling the support substrate from the semiconductor substrate is performed.
半導体基板から支持基板を剥離する技術として、半導体基板と支持基板との間に、半導体基板と支持基板との接合強度よりも大きい噴射圧で液体を噴射することによって、半導体基板と支持基板との剥離を行う技術が提案されている(たとえば、特許文献1参照)。 As a technique for peeling the support substrate from the semiconductor substrate, a liquid is sprayed between the semiconductor substrate and the support substrate at a spray pressure larger than the bonding strength between the semiconductor substrate and the support substrate. A technique for performing peeling has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、上記した技術を用いて基板の剥離を行う場合、大きい噴射圧で液体を噴射するため、半導体基板や支持基板が損傷するおそれがある。かかる課題は、基板の剥離を伴うSOI(Silicon On Insulator)などの製造工程においても生じ得る課題である。 However, when the substrate is peeled off using the above-described technique, the liquid is ejected with a large spraying pressure, so that the semiconductor substrate or the support substrate may be damaged. Such a problem is a problem that may also occur in a manufacturing process such as SOI (Silicon On Insulator) that involves peeling of the substrate.
実施形態の一態様は、基板の剥離処理を適切に行うことができる剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラムを提供することを目的とする。 An object of one embodiment is to provide a peeling apparatus, a peeling system, a peeling method, and a peeling program capable of appropriately performing a substrate peeling process.
実施形態の一態様に係る剥離装置は、第1保持部と、剥離部と、第2保持部とを備える。第1保持部は、第1基板と第2基板とが接合された重合基板のうち第1基板を吸着保持する。剥離部は、重合基板の外縁部に対して所定の力を加えることによって第2基板を第1基板から剥離させる。そして、第2保持部は、剥離部によって第1基板から剥離された第2基板を非接触状態で吸着保持する。 The peeling apparatus which concerns on 1 aspect of embodiment is provided with a 1st holding part, a peeling part, and a 2nd holding part. The first holding unit sucks and holds the first substrate among the superposed substrates obtained by bonding the first substrate and the second substrate. A peeling part peels a 2nd board | substrate from a 1st board | substrate by applying predetermined force with respect to the outer edge part of a superposition | polymerization board | substrate. The second holding unit sucks and holds the second substrate peeled from the first substrate by the peeling unit in a non-contact state.
また、実施形態の一態様に係る剥離装置は、保持部と、複数の係止部と、移動機構とを備える。保持部は、第1基板と第2基板とが重合された重合基板を非接触状態で吸着保持する。係止部は、保持部によって吸着保持された重合基板の外縁部と対向する複数の位置にそれぞれ設けられ、重合基板側へ向けて突出する鋭利部を有する。そして、移動機構は、複数の係止部を重合基板側へ移動させて、第1基板から第2基板を剥離させる。 Moreover, the peeling apparatus which concerns on 1 aspect of embodiment is provided with a holding | maintenance part, a some latching | locking part, and a moving mechanism. The holding unit sucks and holds the superposed substrate on which the first substrate and the second substrate are superposed in a non-contact state. The locking part is provided at each of a plurality of positions facing the outer edge part of the superposed substrate held by adsorption by the holding part, and has a sharp part protruding toward the superposed substrate side. Then, the moving mechanism moves the plurality of locking portions to the overlapping substrate side to peel the second substrate from the first substrate.
実施形態の一態様によれば、基板の剥離処理を適切に行うことができる剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラムを提供することができる。 According to one aspect of the embodiment, it is possible to provide a peeling apparatus, a peeling system, a peeling method, and a peeling program that can appropriately perform a peeling process of a substrate.
以下、添付図面を参照して、本願の開示する剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラムの実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of a peeling device, a peeling system, a peeling method, and a peeling program disclosed in the present application will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, this invention is not limited by embodiment shown below.
(第1の実施形態)
<1.剥離システム>
まず、第1の実施形態に係る剥離システムの構成について、図1および図2を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る剥離システムの構成を示す模式平面図であり、図2は、重合基板の模式側面図である。なお、以下においては、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
(First embodiment)
<1. Peeling system>
First, the configuration of the peeling system according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a schematic plan view showing a configuration of a peeling system according to the first embodiment, and FIG. 2 is a schematic side view of a superposed substrate. In the following, in order to clarify the positional relationship, the X axis, the Y axis, and the Z axis that are orthogonal to each other are defined, and the positive direction of the Z axis is the vertically upward direction.
図1に示す第1の実施形態に係る剥離システム1は、被処理基板Wと支持基板Sとが接着剤Gで接合された重合基板T(図2参照)を、被処理基板Wと支持基板Sとに剥離する。 The peeling system 1 according to the first embodiment shown in FIG. 1 includes a polymerization substrate T (see FIG. 2) in which a substrate to be processed W and a support substrate S are bonded with an adhesive G, a substrate to be processed W and a support substrate. Peel to S.
図2に示すように、被処理基板Wの板面のうち、接着剤Gを介して支持基板Sと接合される側の板面を「接合面Wj」といい、接合面Wjとは反対側の板面を「非接合面Wn」という。また、支持基板Sの板面のうち、接着剤Gを介して被処理基板Wと接合される側の板面を「接合面Sj」といい、接合面Sjとは反対側の板面を「非接合面Sn」という。 As shown in FIG. 2, among the plate surfaces of the substrate to be processed W, the plate surface on the side bonded to the support substrate S via the adhesive G is referred to as “bonding surface Wj”, and is opposite to the bonding surface Wj. This plate surface is referred to as “non-bonding surface Wn”. In addition, among the plate surfaces of the support substrate S, the plate surface on the side bonded to the substrate W to be processed via the adhesive G is referred to as “bonding surface Sj”, and the plate surface on the opposite side to the bonding surface Sj is referred to as “ This is referred to as “non-joint surface Sn”.
被処理基板Wは、たとえば、シリコンウェハや化合物半導体ウェハなどの半導体基板に複数の電子回路が形成された基板であり、電子回路が形成される側の板面を接合面Wjとしている。また、被処理基板Wは、たとえば非接合面Wnが研磨処理されることによって薄型化されている。一方、支持基板Sは、被処理基板Wと略同径の基板であり、被処理基板Wを支持する。支持基板Sとしては、シリコンウェハの他、たとえば、化合物半導体ウェハまたはガラス基板などを用いることができる。 The substrate W to be processed is a substrate in which a plurality of electronic circuits are formed on a semiconductor substrate such as a silicon wafer or a compound semiconductor wafer, and the plate surface on the side where the electronic circuits are formed is used as a bonding surface Wj. Further, the target substrate W is thinned by polishing the non-joint surface Wn, for example. On the other hand, the support substrate S is a substrate having substantially the same diameter as the substrate W to be processed, and supports the substrate W to be processed. As the support substrate S, for example, a compound semiconductor wafer or a glass substrate can be used in addition to a silicon wafer.
剥離システム1は、図1に示すように、搬入出ステーション10と、第1搬送領域20と、剥離処理ステーション30と、第2搬送領域40と、制御装置50とを備える。搬入出ステーション10および剥離処理ステーション30は第1搬送領域20を介してY軸方向に並べて配置される。また、搬入出ステーション10、第1搬送領域20および剥離処理ステーション30のX軸負方向側には、第2搬送領域40が配置される。
As shown in FIG. 1, the peeling system 1 includes a carry-in / out
剥離システム1では、搬入出ステーション10へ搬入された重合基板Tが第1搬送領域20を介して剥離処理ステーション30へ搬送され、剥離処理ステーション30において被処理基板Wと支持基板Sとに剥離される。剥離後の被処理基板Wは第2搬送領域40を介して後処理ステーションMへ搬送され、剥離後の支持基板Sは第1搬送領域20を介して搬入出ステーション10へ搬送される。なお、剥離システム1では、不良となった被処理基板Wを第1搬送領域20を介して搬入出ステーション10へ搬送することもできる。
In the peeling system 1, the superposed substrate T carried into the carry-in / out
搬入出ステーション10では、複数の被処理基板Wが収容されるカセットCw、複数の支持基板Sが収容されるカセットCsおよび複数の重合基板Tが収容されるカセットCtが剥離システム1の外部との間で搬入出される。かかる搬入出ステーション10には、カセット載置台11が設けられており、このカセット載置台11に、カセットCw,Cs,Ctのそれぞれが載置される複数のカセット載置板12a〜12cが設けられる。
In the carry-in / out
なお、カセットCwには、たとえば、不良品として剥離処理ステーション30から搬送されてきた被処理基板Wが収容される。
The cassette Cw accommodates, for example, the substrate W to be processed that has been transported from the peeling
第1搬送領域20では、搬入出ステーション10および剥離処理ステーション30間における被処理基板W、支持基板Sおよび重合基板Tの搬送が行われる。第1搬送領域20には、被処理基板W、支持基板Sおよび重合基板Tの搬送を行う第1搬送装置21が設置される。
In the
第1搬送装置21は、水平方向への移動、鉛直方向への移動および鉛直軸を中心とする旋回が可能な搬送アーム22と、この搬送アーム22の先端に取り付けられたフォーク23とを備える搬送ロボットである。かかる第1搬送装置21は、フォーク23を用いて基板を保持するとともに、フォーク23によって保持された基板を搬送アーム22によって所望の場所まで搬送する。
The
剥離処理ステーション30では、重合基板Tの剥離、剥離後の被処理基板Wおよび支持基板Sの洗浄等が行われる。この剥離処理ステーション30には、剥離装置31、受渡室32、第1洗浄装置33および第2洗浄装置34が、X軸正方向に、第1洗浄装置33、受渡室32、剥離装置31、第2洗浄装置34の順で並べて配置される。
In the
剥離装置31では、第1搬送装置21によって搬送された重合基板Tを被処理基板Wと支持基板Sとに剥離する剥離処理が行われる。この剥離装置31の構成および剥離処理の具体的な内容については、たとえば図3等を用いて後述する。
In the
受渡室32には、剥離装置31において重合基板Tから剥離された被処理基板Wを第1洗浄装置33へ搬送する第2搬送装置35が設置される。第2搬送装置35は、ベルヌーイチャックを備え、かかるベルヌーイチャックを用いて被処理基板Wを非接触状態で第1洗浄装置33へ搬送する。
In the
ベルヌーイチャックは、吸着面に設けられた噴射口から被処理基板Wの板面へ向けて気体を噴射させ、吸着面と被処理基板Wの板面との間隔に応じて気体の流速が変化することに伴う負圧の変化を利用して被処理基板Wを非接触状態で保持する。 The Bernoulli chuck ejects gas from an ejection port provided on the suction surface toward the plate surface of the substrate to be processed W, and the gas flow velocity changes according to the distance between the suction surface and the plate surface of the substrate to be processed W. The substrate W to be processed is held in a non-contact state using the change in the negative pressure accompanying the change.
第1洗浄装置33は、第2搬送装置35によって搬送された被処理基板Wの洗浄を行う。第1洗浄装置33によって洗浄された被処理基板Wは、第2搬送領域40を介して後処理ステーションMへ搬送され、後処理ステーションMにおいて所定の後処理が施される。なお、所定の後処理とは、たとえば被処理基板Wをマウントする処理や、被処理基板Wをチップ毎にダイシングする処理などである。
The
第2洗浄装置34は、剥離装置31において重合基板Tから剥離された支持基板Sの洗浄を行う。第2洗浄装置34によって洗浄された支持基板Sは、第1搬送装置21によって搬入出ステーション10へ搬送される。
The
第2搬送領域40は、剥離処理ステーション30と後処理ステーションMとの間に設けられる。第2搬送領域40には、Y軸方向に延在する搬送路41上を移動可能な第3搬送装置42が設置され、この第3搬送装置42によって剥離処理ステーション30および後処理ステーションM間における被処理基板Wの搬送が行われる。第3搬送装置42は、第2搬送装置35と同様、ベルヌーイチャックを用いて被処理基板Wを非接触状態で搬送する。
The
制御装置50は、剥離システム1の動作を制御する装置である。この制御装置50は、たとえばコンピュータであり、図示しない制御部と記憶部とを備える。記憶部には、剥離処理等の各種の処理を制御するプログラムが格納される。制御部は記憶部に記憶されたプログラムを読み出して実行することによって剥離システム1の動作を制御する。
The
なお、かかるプログラムは、コンピュータによって読み取り可能な記録媒体に記録されていたものであって、その記録媒体から制御装置50の記憶部にインストールされたものであってもよい。コンピュータによって読み取り可能な記録媒体として、たとえばハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルディスク(MO)、メモリカードなどがある。
Such a program may be recorded on a computer-readable recording medium and installed in the storage unit of the
以下では、剥離装置31の具体的な構成および剥離装置31を用いて行われる重合基板Tの剥離動作について説明する。
Below, the specific structure of the peeling
<2.剥離装置の構成>
まず、剥離装置31の構成について図3および図4を参照して説明する。図3は、第1の実施形態に係る剥離装置31の構成を示す模式側面図である。また、図4は、剥離装置31が備える第2保持部の構成を示す模式平面図である。
<2. Configuration of peeling apparatus>
First, the structure of the peeling
図3に示すように、剥離装置31は、内部を密閉可能な処理容器100を備える。処理容器100の側面には、搬入出口(図示せず)が形成され、この搬入出口を介して、重合基板Tの処理容器100への搬入や、剥離後の被処理基板Wおよび支持基板Sの処理容器100からの搬出が行われる。なお、搬入出口に開閉シャッタを設け、この開閉シャッタによって処理容器100の内部を密閉可能に構成してもよい。
As shown in FIG. 3, the peeling
剥離装置31は、第1保持部110と、剥離部120と、撮像部130と、第2保持部140と、移動機構150とを備える。剥離部120、撮像部130、第2保持部140および移動機構150は、処理容器100の内部に配置される。
The peeling
第1保持部110は、第2保持部140の上方に設けられ、第2保持部140と対向する位置に配置される。この第1保持部110の側方には、剥離部120および撮像部130が設けられる。また、第2保持部140は、移動機構150によって支持され、移動機構150によって鉛直方向へ移動する。
The
剥離装置31では、第1保持部110が重合基板Tを上方から保持し、剥離部120が重合基板Tの外縁部に対して力を加えることによって被処理基板Wから支持基板Sを剥離させる。また、剥離装置31では、第2保持部140が、被処理基板Wから剥離された支持基板Sを非接触状態で吸着保持する。
In the
第1保持部110は、重合基板Tにおける被処理基板Wを吸着保持する保持部であり、たとえばポーラスチャックを用いることができる。かかる第1保持部110は、略円盤状の本体部111と、本体部111の下面に設けられる吸着面112とを備える。吸着面112は、重合基板Tと略同径であり、重合基板Tの上面、すなわち、被処理基板Wの非接合面Wnと当接する。この吸着面112は、たとえば炭化ケイ素等の多孔質体や多孔質セラミックで形成される。
The 1st holding |
本体部111の内部には、吸着面112を介して外部と連通する吸引空間113が形成される。吸引空間113は、吸気管114を介して真空ポンプなどの吸気装置115と接続される。そして、第1保持部110は、吸気装置115の吸気によって発生する負圧を利用し、被処理基板Wの非接合面Wnを吸着面112に吸着させることによって、被処理基板Wを保持する。
A
なお、第1保持部110として、ポーラスチャックを用いる例を示したが、ベルヌーイチャックや静電チャックなどのポーラスチャック以外の保持部を第1保持部として用いてもよい。静電チャックは、静電気を利用して基板の吸着を行う保持部である。
In addition, although the example using a porous chuck was shown as the 1st holding |
第1保持部110の上方には、処理容器100の天井面に支持された支持板105が配置され、かかる支持板105によって第1保持部110の上面が支持される。なお、支持板105を設けずに、第1保持部110の上面を処理容器100の天井に直接当接させて支持させるようにしてもよい。
A
剥離部120は、Y軸方向に延在するレール121と、レール121に沿って移動する移動部122と、移動部122の重合基板Tとの対向面に取り付けられる鋭利部材123と、レール121を鉛直方向に移動させる昇降部124とを備える。
The
鋭利部材123は、たとえば刃物であり、先端が重合基板Tへ向けて突出するように移動部122に設けられる。刃物としては、たとえば、カミソリ刃やローラ刃あるいは超音波カッター等を用いることができる。なお、セラミック樹脂系の刃物あるいはフッ素コーティングされた刃物を用いることで、重合基板Tに対して鋭利部材123を挿入した際のパーティクルの発生を抑えることができる。
The
撮像部130は、たとえばCCD(Charge Coupled Device)カメラであり、剥離部120が設けられる側の重合基板Tの外縁部を撮像する。撮像部130の撮像データは、制御装置50(図1参照)へ出力される。
The
第2保持部140は、支持基板Sを非接触状態で吸着保持する。かかる第2保持部140は、図4に示すように、重合基板Tと略同径を有する円板状の本体部141と、本体部141の板面に形成される複数の気体噴出口142とを備える。各気体噴出口142は、図3に示す送気管143を介して送気装置144と接続される。
The
第2保持部140は、送気装置144から送気管143を介して送気される気体を気体噴出口142から噴出する。気体噴出口142は、本体部141の板面に向かうにつれて口径が漸次大きくなる形状を有しているため、気体は、本体部141と対向する支持基板Sの板面に沿って噴出されることとなる。この結果、支持基板Sの板面に負圧が生じ、この負圧が被処理基板Wの板面と第2保持部140の吸着面との間隔に応じて変化することで、被処理基板Wは、非接触状態で保持された状態となる。
The
また、第2保持部140は、複数の係止部145を備える。係止部145は、本体部141の主面と直交する向きに突出する部材であり(図3参照)、本体部141の外周に対して所定の間隔を空けて設けられる。かかる係止部145によって、支持基板Sは、本体部141からの脱落や位置ずれが防止される。
The
なお、図4では、第2保持部140が5個の係止部145を備える場合の例を示すが、第2保持部140が備える係止部145の個数は図示のものに限定されない。
4 illustrates an example in which the
また、本体部141には、外縁部に複数の切欠部146が形成される。各切欠部146は、たとえば、本体部141の中心へ向かうにつれて漸次幅狭となる形状を有する。かかる切欠部146は、第1搬送装置21が備えるフォーク23との間で重合基板Tの受け渡しを行う場合に利用されるが、かかる点については、後述する。
The
図3に戻り、移動機構150について説明する。移動機構150は、第1アーム151と、第2アーム152と、基部153とを備える。第1アーム151は、水平方向に延在し、先端部において第2保持部140を支持する。第2アーム152は、鉛直方向に延在し、先端部において第1アーム151の基端部を支持する。基部153は、処理容器100の床面に固定され、第2アーム152を支持する。基部153には、モータ等の駆動機構が設けられており、かかる駆動機構によって第2アーム152は鉛直方向に昇降する。
Returning to FIG. 3, the moving
<3.剥離システムの動作>
次に、剥離システム1の動作について説明する。剥離システム1の動作は、制御装置50によって制御され、剥離装置31による剥離動作を含む。図5は、剥離システム1による剥離処理手順を示すフローチャートである。
<3. Operation of peeling system>
Next, the operation of the peeling system 1 will be described. The operation of the peeling system 1 is controlled by the
また、図6は、第1搬送装置21から剥離装置31への重合基板Tの受け渡し動作の説明図であり、図7Aおよび図7Bは、重合基板Tを第1保持部110に対して吸着保持させる動作の説明図である。また、図8Aおよび図8Bは、剥離部120を用いて重合基板Tを剥離する動作の説明図である。
FIG. 6 is an explanatory view of the delivery operation of the superposed substrate T from the
まず、第1搬送領域20に配置される第1搬送装置21は、制御装置50の制御に基づき、重合基板Tを搬入出ステーション10から剥離装置31へ搬入する処理を行う(図5のステップS101)。
First, the
このステップS101の処理において、第1搬送装置21は、まず、搬入出ステーション10においてカセットCtに収容された重合基板Tをフォーク23を用いて取り出す。重合基板Tは、被処理基板Wが上面に位置し、支持基板Sが下面に位置した状態で第1搬送装置21のフォーク23に保持される。
In the process of step S <b> 101, the
そして、第1搬送装置21は、カセットCtから取り出した重合基板Tを剥離処理ステーション30の処理容器100内へ搬入し、フォーク23によって保持した重合基板Tを剥離装置31の第2保持部140へ渡す。
Then, the
図6に示すように、フォーク23は、基端部231と、この基端部231から二股に分岐するとともに、重合基板Tの外周に沿って湾曲する一対の円弧状先端部232とを備える。
As shown in FIG. 6, the
各円弧状先端部232の内縁部には、径方向内側へ向かって突出する複数の爪部233が、互いに所定の間隔を空けて設けられる。爪部233は、径方向内側へ向けて漸次幅狭となる形状を有する。フォーク23は、各円弧状先端部232に対して2個ずつ、計4個の爪部233を備えており、これら爪部233を用いて重合基板Tの下面を支持することによって、重合基板Tを保持する。
A plurality of
第2保持部140の本体部141に形成される複数の切欠部146は、フォーク23が備える各爪部233に対応する位置にそれぞれ形成される。また、切欠部146は、爪部233よりも僅かに大きく形成される。
The plurality of
第1搬送装置21は、フォーク23を第2保持部140の上方へ配置させた後、フォーク23を鉛直方向に降下させる。ここで、フォーク23が第2保持部140を通過する際、フォーク23に設けられた各爪部233は、第2保持部140の本体部141に形成された切欠部146を通過する。
The
これにより、フォーク23は、第2保持部140に接触することなく第2保持部140の下方まで移動する。そして、各爪部233によって支持された重合基板Tは、フォーク23が第2保持部140の下方へ移動することで、第2保持部140によって吸着保持された状態となる。このようにして、重合基板Tは、フォーク23から第2保持部140へと受け渡される。
As a result, the
次に、剥離装置31は、制御装置50の制御に基づき、第2保持部140へ受け渡された重合基板Tを第1保持部110に対して吸着保持させる処理を行う(図5のステップS102)。
Next, the peeling
このステップS102の処理において、剥離装置31の第2保持部140は、まず、第1搬送装置21によって搬入された重合基板Tを吸着保持する。つづいて、剥離装置31の移動機構150は、図7Aに示すように、第2保持部140を上昇させて重合基板Tの上面を剥離装置31の第1保持部110の吸着面112に当接させる。そして、第1保持部110は、吸気装置115による吸気動作によって重合基板Tの上面を吸着面112に吸着させる。
In the process of step S <b> 102, the
つづいて、剥離装置31は、送気装置144(図3参照)による送気動作を停止させることによって、第2保持部140による重合基板Tの吸着保持を解除する。その後、移動機構150は、図7Bに示すように、第2保持部140を所定の距離(たとえば、3〜5mm程度)だけ降下させることによって第2保持部140を重合基板Tの下方で待機させる。
Subsequently, the peeling
このように、重合基板Tは、第1保持部110によって上面のみが吸着された状態であり、下面と第2保持部140との間には空間が形成される。
Thus, the superposed substrate T is in a state where only the upper surface is adsorbed by the
次に、剥離装置31は、制御装置50の制御に基づき、剥離部120を用いて重合基板Tを剥離する処理(図5のステップS103)、および、剥離後の支持基板Sを第2保持部140によって受け止める処理(図5のステップS104)を行う。
Next, based on the control of the
ステップS103の処理において剥離装置31は、撮像部130の撮像データに基づいて昇降部124を駆動させることで、接着剤Gの高さ範囲に含まれるように鋭利部材123を配置させる。その後、剥離装置31は、移動部122を駆動させることによって鋭利部材123を接着剤Gへ挿入させる。
In the process of step S <b> 103, the peeling
具体的には、図8Aに示すように、剥離装置31は、鋭利部材123の先端部が重合基板Tの側面に当接する位置まで鋭利部材123を移動させる。その後、剥離装置31は、図8Bに示すように、移動部122を重合基板T側に向かってさらに移動させ、鋭利部材123を重合基板Tにおける接着剤Gへ挿入させる。
Specifically, as illustrated in FIG. 8A, the peeling
このように、剥離部120は、重合基板Tの外縁部に対して力を加える。具体的には、剥離部120は、被処理基板Wと支持基板Sとの接合部分、すなわち、接着剤Gに対して切り込みを入れる。これにより、重合基板Tは、被処理基板Wと支持基板Sとに分離される。
Thus, the peeling
ここで、仮に、被処理基板Wおよび支持基板Sが上下移動できないように重合基板Tの両面を固定した状態で鋭利部材123を接着剤Gへ挿入させたとする。かかる場合、接着剤Gへ挿入された鋭利部材123が、被処理基板Wおよび支持基板Sをそれぞれ上方および下方へ押し広げようとするため、接合面Wj,Sj(図2参照)に対して大きな力がかかり、接合面Wj上の電子回路が損傷するおそれがある。
Here, it is assumed that the
これに対し、第1の実施形態に係る剥離装置31では、重合基板Tが上面のみ固定され、下面と第2保持部140との間には空間が形成される。このため、鋭利部材123が挿入された場合に、支持基板Sが下方の空間へ逃げることができ、接合面Wj,Sjにかかる負荷を抑えることができる。したがって、剥離動作中における電子回路の損傷を抑えることができる。
On the other hand, in the
また、鋭利部材123が重合基板Tの側面に当接する位置で移動部122を一旦停止させた後、移動部122を再び移動させて鋭利部材123を重合基板Tへ挿入させることで、鋭利部材123の挿入の際に重合基板Tへ伝わる衝撃を緩和させることができる。
Further, after the moving
ステップS104の処理において剥離装置31は、剥離部120によって重合基板Tが剥離される前あるいは剥離された直後に送気装置144を作動させることによって、第2保持部140が支持基板Sを吸着保持可能な状態としておく。そして、第2保持部140は、剥離部120によって被処理基板Wから剥離され、上方から落下してくる支持基板Sを非接触状態で受け止めて吸着保持する。
In the process of step S104, the peeling
次に、剥離装置31、第1搬送装置21および第2搬送装置35は、制御装置50の制御に基づき、剥離後の被処理基板Wおよび支持基板Sを剥離装置31から搬出する処理を行う(図5のステップS105)。
Next, the peeling
剥離装置31の移動機構150は、第2保持部140を所定位置まで降下させる。つづいて、剥離装置31および第1搬送装置21は、図6を参照して説明した受け渡し動作と逆の動作により、第2保持部140によって保持された支持基板Sをフォーク23へ渡す。なお、剥離装置31は、支持基板Sをフォーク23へ渡す直前に、送気装置144を停止させることによって第2保持部140が支持基板Sを吸着保持した状態を解除しておく。
The moving
第1搬送装置21は、第2保持部140から支持基板Sを受け取ると、受け取った支持基板Sを処理容器100から取り出し、第2洗浄装置34へ搬送する。その後、支持基板Sは、第2洗浄装置34によって洗浄され、接合面Sjに残存する接着剤Gが除去される。
Upon receiving the support substrate S from the
そして、洗浄後の支持基板Sは、第1搬送装置21によって搬入出ステーション10へ搬送され、搬入出ステーション10から外部へ回収される。
Then, the cleaned support substrate S is transported to the carry-in / out
一方、剥離後の被処理基板Wは、受渡室32に配置される第2搬送装置35によって処理容器100から取り出され、第1洗浄装置33へ搬送される。第1洗浄装置33へ搬送された被処理基板Wは、第1洗浄装置33によって洗浄され、接合面Wjから接着剤Gが除去される。
On the other hand, the substrate to be processed W after peeling is taken out of the
第1洗浄装置33によって洗浄された被処理基板Wは、第2搬送領域40に配置された第3搬送装置42によって第1洗浄装置33から取り出され、後処理ステーションMへ搬送される。そして、被処理基板Wは、後処理ステーションMにおいてマウントやダイシングといった後処理が施される。
The to-be-processed substrate W cleaned by the
上述してきたように、第1の実施形態に係る剥離装置31は、第1保持部110と、剥離部120と、第2保持部140とを備える。第1保持部110は、被処理基板Wと支持基板Sとが接合された重合基板Tのうち被処理基板Wを吸着保持する。剥離部120は、重合基板Tの外縁部に対して力を加えることによって被処理基板Wから支持基板Sを剥離させる。そして、第2保持部140は、剥離部120によって被処理基板Wから剥離された支持基板Sを非接触状態で吸着保持する。
As described above, the peeling
したがって、第1の実施形態に係る剥離装置31によれば、重合基板Tの剥離動作中における基板の損傷が抑えられるため、基板の剥離処理を適切に行うことができる。
Therefore, according to the
なお、上述してきた第1の実施形態では、重合基板Tを第1保持部110に対して吸着保持させた後、第2保持部140を所定距離だけ降下させることとしたが、第2保持部140は、重合基板Tを第1保持部110へ受け渡した後、その場で待機していてもよい。
In the first embodiment described above, the
かかる場合であっても、重合基板Tと第2保持部140との間には所定の空間が存在するため、鋭利部材123が重合基板Tへ挿入された場合に支持基板Sが下方へ逃げることができる。したがって、剥離動作中における電子回路の損傷を抑えることができる。
Even in such a case, since a predetermined space exists between the superposed substrate T and the
また、上述してきた第1の実施形態では、第2保持部140が処理容器100内に設けられる場合の例について説明したが、第2保持部140は、必ずしも処理容器100内に設けなくてもよい。たとえば、第2保持部140は、重合基板Tを剥離装置31へ搬入する第1搬送装置21に対して設けられてもよい。このように、第2保持部140を第1搬送装置21へ設けることとすれば、上述した搬入動作から搬出動作までを迅速に行うことができる。
In the first embodiment described above, an example in which the
ところで、上述した第1の実施形態では、剥離装置の構成および動作の一例を例示した。しかしながら、剥離装置の構成および動作には種々のバリエーションが存在する。そこで、以下に示す各実施形態では、その他のバリエーションについて示すこととする。 By the way, in 1st Embodiment mentioned above, an example of the structure and operation | movement of the peeling apparatus was illustrated. However, there are various variations in the configuration and operation of the peeling apparatus. Therefore, in the following embodiments, other variations will be shown.
また、以下に示す各実施形態においては、上述した第1の実施形態の構成要素に対応する構成要素には同一の符合を付し、第1の実施形態と重複する説明については適宜、省略する。 Moreover, in each embodiment shown below, the same code | symbol is attached | subjected to the component corresponding to the component of 1st Embodiment mentioned above, and the description which overlaps with 1st Embodiment is abbreviate | omitted suitably. .
(第2の実施形態)
第1の実施形態では、水平に保持された重合基板Tに対して鋭利部材123を水平方向に挿入させて重合基板Tを剥離する場合の例について説明したが、鋭利部材の挿入方向は、上記の例に限られない。
(Second Embodiment)
In 1st Embodiment, although the
たとえば、剥離装置は、重合基板Tを鉛直に保持するとともに、鋭利部材を重合基板Tの上方から鉛直下向きの方向、すなわち、重力方向に沿って挿入させることとしてもよい。このように、重合基板Tを重力方向に沿って剥離することで、重合基板Tの剥離を効率的に行うことができる。以下では、かかる場合の例について説明する。 For example, the peeling device may hold the superposed substrate T vertically and insert the sharp member from above the superposed substrate T in the vertically downward direction, that is, in the direction of gravity. In this way, the superposed substrate T can be efficiently peeled by peeling the superposed substrate T along the direction of gravity. Below, the example in such a case is demonstrated.
図9は、第2の実施形態に係る剥離装置の構成を示す模式側面図である。なお、以下では、重合基板Tの板面が鉛直方向に延在する向きを「鉛直向き」といい、水平方向に延在する向き「水平向き」という。 FIG. 9 is a schematic side view showing the configuration of the peeling apparatus according to the second embodiment. In the following, the direction in which the plate surface of the superposed substrate T extends in the vertical direction is referred to as “vertical direction”, and the direction in which the plate surface extends in the horizontal direction “horizontal direction”.
図9に示すように、第2の実施形態に係る剥離装置31aは、第1保持部110に代えて、第1保持部110aを備える。第1保持部110aは、第2保持部140と同様、ベルヌーイチャックである。具体的には、第1保持部110aは、重合基板Tと略同径を有する円板状の本体部117と、本体部117の板面に形成される複数の気体噴出口118と、本体部117の外周に対して所定の間隔を空けて設けられる複数の係止部119とを備える。
As shown in FIG. 9, the peeling
本体部117は、たとえば、処理容器100の天井に固定された支持板105aによって一端側が支持される支柱105bの他端側に固定される。かかる本体部117は、板面が水平方向を向いた状態で支柱105bに固定される。
For example, the
気体噴出口118は、送気管143aを介して送気装置144aと接続される。第1保持部110aは、第2保持部140と同様、送気装置144aから送気管143aを介して送気される気体を気体噴出口118から噴出し、これによって生じる負圧が、基板の板面と吸着面との間隔に応じて変化することによって基板を吸着保持する。
The
また、第2の実施形態に係る剥離装置31aは、移動機構150に代えて移動機構150aを備える。移動機構150aは、第1アーム151aと、第2アーム152aと、基部153aとを備える。第1アーム151aは、水平方向に延在し、先端部において第2保持部140を支持する。
Further, the peeling
第2アーム152aは、鉛直方向に延在し、先端部において第1アーム151aの基端部を回転可能に支持する。具体的には、この第2アーム152aは、モータ等の駆動部を備え、かかる駆動部を用いて第1アーム151aを水平軸周りに回転させることができる。なお、第1アーム151aを回転させる駆動部は、第1アーム151a側に設けられてもよい。
The
基部153aは、処理容器100の床面に固定され、第2アーム152aを昇降可能に支持する。また、基部153aは、第2アーム152aを昇降させる駆動部とは別の駆動部を備えており、かかる駆動部を用いて第2アーム152aを鉛直軸周りに回転させることができる。
The
次に、第2の実施形態に係る剥離装置31aによる剥離動作について図10Aおよび図10Bを参照して説明する。図10Aおよび図10Bは、第2の実施形態に係る剥離装置31aによる剥離動作の説明図である。
Next, the peeling operation by the
図10Aに示すように、剥離装置31aの移動機構150aは、重合基板Tが第1搬送装置21から第2保持部140へ受け渡され、第2保持部140によって吸着保持された後、第2保持部140を第1保持部110aと対向する位置まで移動させる。これにより、重合基板Tは、第2保持部140および第1保持部110aの両方に近接した状態となる。
As shown in FIG. 10A, the moving
つづいて、剥離装置31aは、送気装置144a(図9参照)を作動させることによって、第1保持部110aに対して重合基板Tの被処理基板W側の板面を吸着させる。これにより、重合基板Tは、第2保持部140および第1保持部110aの両方に保持された状態となる。
Subsequently, the
その後、剥離装置31aは、剥離部120aの移動部122aをレール121aに沿って移動させ、鋭利部材123aを重合基板Tにおける接着剤Gへ挿入させる。これにより、重合基板Tは被処理基板Wと支持基板Sとに分離され、被処理基板Wが第1保持部110aによって吸着保持され、支持基板Sが第2保持部140によって吸着保持された状態となる。
Thereafter, the
その後、剥離後の被処理基板Wおよび支持基板Sは、第1の実施形態と同様、第2搬送装置35および第1搬送装置21によってそれぞれ第1洗浄装置33および第2洗浄装置34へ搬送される。
Thereafter, the substrate to be processed W and the support substrate S after being peeled are transported to the
このように、第2の実施形態では、重合基板Tが鉛直向きに保持され、鋭利部材123aが重合基板Tの上方から鉛直下向きに挿入される。したがって、重合基板Tには、鋭利部材123aの挿入によって生じる亀裂が、重力方向に沿って重合基板Tの上端から下端まで走り易い。このため、第2の実施形態に係る剥離装置31aによれば、重合基板Tの剥離を効率的に行うことができる。
Thus, in 2nd Embodiment, the superposition | polymerization board | substrate T is hold | maintained vertically, and the
また、図10Bに示すように、重合基板Tを鉛直向きに保持することで、重合基板Tの下端が、第1保持部110aに設けられた係止部119と、第2保持部140に設けられた係止部145とによって支持された状態となる。
Further, as shown in FIG. 10B, by holding the overlapped substrate T in the vertical direction, the lower end of the overlapped substrate T is provided in the locking
これにより、鋭利部材123aを重合基板Tにおける接着剤Gへ挿入した場合に、重合基板Tの鉛直下向きへの移動が係止部119,145によって規制されるため、剥離部120aによって加えられる力を接着剤Gに対して十分に伝えることができる。
Thereby, when the
上述してきたように、第2の実施形態では、第1保持部110aが、被処理基板Wの板面が鉛直方向に延在する向きに被処理基板Wを保持し、第2保持部140が、被処理基板Wから剥離された支持基板Sを板面が鉛直方向に延在する向きに保持することとした。したがって、重合基板Tの剥離を効率的に行うことができる。
As described above, in the second embodiment, the
また、第2の実施形態では、第1保持部110aとして、被処理基板Wを非接触状態で吸着保持するベルヌーイチャックを用いることとしたため、ポーラスチャックを用いる場合と比較して第1保持部にかかる費用を抑えることができる。
In the second embodiment, since the Bernoulli chuck that sucks and holds the substrate to be processed W in a non-contact state is used as the
なお、第2の実施形態に係る剥離装置31aは、第1の実施形態に係る剥離装置31と同様、第1保持部としてポーラスチャックを用いてもよい。また、第1の実施形態に係る剥離装置31は、第2の実施形態に係る剥離装置31aと同様、第1保持部としてベルヌーイチャックを用いてもよい。
Note that the
(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態では、第2保持部が、重合基板Tの剥離も併せて行う。まず、第3の実施形態に係る剥離装置の構成について図11および図12を参照して説明する。図11は、第3の実施形態に係る剥離装置の構成を示す模式側面図であり、図12は、第3の実施形態に係る保持部の構成を示す模式平面図である。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment will be described. In the third embodiment, the second holding unit also performs separation of the polymerization substrate T. First, the configuration of the peeling apparatus according to the third embodiment will be described with reference to FIGS. 11 and 12. FIG. 11 is a schematic side view showing the configuration of the peeling apparatus according to the third embodiment, and FIG. 12 is a schematic plan view showing the configuration of the holding unit according to the third embodiment.
図11に示すように、第3の実施形態に係る剥離装置31bは、保持部140aと、第1移動機構150bとを備える。保持部140aは、上述してきた第2保持部140と同様、重合基板Tを非接触状態で保持するベルヌーイチャックである。
As shown in FIG. 11, the
具体的には、図12に示すように、保持部140aは、重合基板Tと略同径を有する円板状の本体部141aと、本体部141aの板面に形成される複数の気体噴出口142aとを備える。各気体噴出口142aは、図11に示す送気管143bを介して送気装置144bと接続される。また、本体部141aには、第2保持部140の本体部141と同様、外縁部に複数の切欠部146aが形成される。
Specifically, as shown in FIG. 12, the holding
また、保持部140aは、複数の係止部147を備える。係止部147は、本体部141aの主面と直交する向きに突出する部材であり、本体部141aの外周に対して所定の間隔を空けて設けられる。
In addition, the holding
係止部147には、図11に示すように、重合基板T側に突出する鋭利部147aと、この鋭利部147aよりも保持部140aから遠い位置で重合基板T側へ突出する突起部147bとがそれぞれ形成される。
As shown in FIG. 11, the locking
また、保持部140aは、係止部147を重合基板T側へ移動させる第2移動機構148を備える。第3の実施形態に係る剥離装置31bでは、かかる第2移動機構148を用いて係止部147を重合基板T側へ移動させることによって重合基板Tの剥離を行う。
Further, the holding
第1移動機構150bは、たとえば第2の実施形態に係る移動機構150aと同様の構成であり、第1アーム151bと、第2アーム152bと、基部153bとを備える。かかる第1移動機構150bは、第1アーム151bを回転させることによって保持部140aを水平軸周りに回転させることができ、第2アーム152bを回転させることによって保持部140aを鉛直軸周りに回転させることができる。
The
次に、第3の実施形態に係る剥離動作について図13Aおよび図13Bを参照して説明する。図13Aおよび図13Bは、第3の実施形態に係る剥離装置31bによる剥離動作の説明図である。なお、重合基板Tの処理容器100への搬入動作については、上述した各実施形態と同様であるため、ここでの説明は省略する。
Next, the peeling operation according to the third embodiment will be described with reference to FIGS. 13A and 13B. 13A and 13B are explanatory diagrams of the peeling operation by the
図13Aに示すように、係止部147に形成される鋭利部147aは、重合基板Tにおける被処理基板Wと支持基板Sとの間、すなわち、接着剤Gに対して先端が当接する位置に配置される。第3の実施形態に係る剥離装置31bは、保持部140aを用いて第1搬送装置21から重合基板Tを受け取った後、第2移動機構148を用いて係止部147を重合基板T側へ移動させる。
As shown in FIG. 13A, the
この結果、図13Bに示すように、係止部147に形成された鋭利部147aが接着剤Gへ挿入され、被処理基板Wから支持基板Sが剥離される。
As a result, as shown in FIG. 13B, the
このように、第3の実施形態に係る剥離装置31bは、第1保持部110,110aや剥離部120,120aを用いることなく、保持部140aのみを用いて重合基板Tの剥離動作を行うことができる。
Thus, the
また、係止部147の移動に伴い、被処理基板Wは、鋭利部147aと突起部147bとの間に相対的に移動する。この結果、被処理基板Wは、突起部147bによって上方への移動が規制された状態となる。これにより、剥離装置31bは、係止部147から加えられる衝撃によって、剥離後の被処理基板Wが飛散してしまうことを防ぐことができる。なお、剥離後の支持基板Sは、係止部147の移動に伴って、鋭利部147aと本体部141aとの間に相対的に移動する。
Further, with the movement of the locking
次に、第3の実施形態に係る剥離装置31bによる搬出動作について図14Aおよび図14Bを参照して説明する。図14Aおよび図14Bは、第3の実施形態に係る剥離装置31bによる搬出動作の説明図である。
Next, the carrying-out operation | movement by the
図14Aに示すように、剥離装置31bは、剥離動作を終えると、第1移動機構150bの第1アーム151bを回転させることによって保持部140aを180度回転させる。この結果、剥離後の被処理基板Wは、重力に従って落下し、突起部147bによって受け止められる。
As illustrated in FIG. 14A, when the
図14Bに示すように、保持部140aの下方には、第2搬送装置35が備えるベルヌーイチャック351が配置される。そして、剥離装置31bは、第2移動機構148を用いて係止部147を基板から離す方向へ移動させる。この結果、被処理基板Wは落下し、第2搬送装置35のベルヌーイチャック351によって非接触状態で受け止められて吸着保持される。ベルヌーイチャック351によって吸着保持された被処理基板Wは、第2搬送装置35によって第1洗浄装置33へ搬送される。
As illustrated in FIG. 14B, a
なお、第3の実施形態では、上述してきた各実施形態とは異なり、ベルヌーイチャック351が被処理基板Wの非接合面Wnを吸着することとなる。このため、ベルヌーイチャック351に対して被処理基板Wの接合面Wjを吸着させたい場合には、たとえば第2搬送領域40に基板反転装置を設置してもよい。
In the third embodiment, unlike the above-described embodiments, the
すなわち、第2搬送装置35は、被処理基板Wを基板反転装置へ受け渡し、基板反転装置によって反転された被処理基板Wをベルヌーイチャック351で再度保持することで、ベルヌーイチャック351に対して被処理基板Wの接合面Wjを吸着させることができる。
That is, the
一方、支持基板Sを第2搬送装置35へ受け渡した後、剥離装置31bは、第1移動機構150bの第1アーム151bを回転させることによって保持部140aを再び180度回転させる。その後、剥離装置31bは、上述してきた各実施形態と同様、第1搬送装置21のフォーク23を保持部140aの下方から上方へ移動させることで、フォーク23に対して支持基板Sを渡す。剥離後の支持基板Sは、第1搬送装置21によって処理容器100から取り出され、第2洗浄装置34へ搬送される。
On the other hand, after delivering the support substrate S to the
上述してきたように、第3の実施形態に係る剥離装置31bは、保持部140aと、複数の係止部147と、第2移動機構148とを備える。
As described above, the
保持部140aは、被処理基板Wと支持基板Sとが重合された重合基板Tを非接触状態で吸着保持する。複数の係止部147は、保持部140aによって吸着保持された重合基板Tの外縁部と対向する複数の位置にそれぞれ設けられ、重合基板T側へ向けて突出する鋭利部147aを有する。そして、第2移動機構148は、係止部147を重合基板T側へ移動させて、被処理基板Wから支持基板Sを剥離させる。
The holding
したがって、第3の実施形態に係る剥離装置31bによれば、基板の剥離処理を適切に行うことができる。
Therefore, according to the
(第4の実施形態)
ところで、剥離システムの構成は、図1に示した構成に限定されず、種々の構成を取り得る。そこで、剥離システムの他の構成について図15を参照して説明する。図15は、第4の実施形態に係る剥離システムの構成を示す模式平面図である。
(Fourth embodiment)
By the way, the structure of a peeling system is not limited to the structure shown in FIG. 1, A various structure can be taken. Therefore, another configuration of the peeling system will be described with reference to FIG. FIG. 15 is a schematic plan view showing the configuration of the peeling system according to the fourth embodiment.
図15に示すように、第4の実施形態に係る剥離システム1aは、検査装置60をさらに備える。また、第4の実施形態に係る剥離システム1aは、図1に示す第2搬送領域40に代えて、第2搬送領域40aを備える。第2搬送領域40aには、X軸方向に延在する搬送路41a上を移動可能な第3搬送装置42aが設置される。なお、第3搬送装置42aは、図1に示す第3搬送装置42と同様、たとえばベルヌーイチャックを用いて被処理基板Wを非接触状態で搬送する。
As shown in FIG. 15, the
検査装置60は、被処理基板Wに対し、接合面Wjに形成された電子回路に損傷がないか、あるいは、接着剤Gの残渣がないか等の表面検査を行う装置である。
The
剥離システム1aでは、第1洗浄装置33によって洗浄された被処理基板Wが第3搬送装置42aによって第1洗浄装置33から取り出され、検査装置60へ搬送される。検査装置60へ搬送された被処理基板Wは、検査装置60によって表面検査が行われる。そして、電子回路の損傷や接着剤Gの残渣等の異常が発見された被処理基板Wは、第3搬送装置42aによって第1洗浄装置33へ戻され、第1搬送装置21によって第1洗浄装置33から搬入出ステーション10へ搬送される。
In the
一方、検査装置60によって異常が発見されなかった被処理基板Wは、第3搬送装置42aによって後処理ステーションMへ搬送され、後処理ステーションMによってマウントやダイシングといった後処理が施される。
On the other hand, the to-be-processed substrate W in which no abnormality is found by the
このように、剥離システムは、剥離後の被処理基板Wに対して表面検査を行う検査装置をさらに備えていてもよい。 Thus, the peeling system may further include an inspection device that performs surface inspection on the substrate to be processed W after peeling.
(その他の実施形態)
また、上述してきた各実施形態では、剥離対象となる重合基板が、被処理基板Wと支持基板Sとが接着剤Gによって接合された重合基板Tである場合の例について説明した。しかし、剥離装置の剥離対象となる重合基板は、この重合基板Tに限定されない。たとえば、上述してきた各実施形態の剥離装置では、SOI基板を生成するために、絶縁膜が形成されたドナー基板と被処理基板とが張り合わされた重合基板を剥離対象とすることも可能である。
(Other embodiments)
Further, in each of the embodiments described above, an example in which the superposed substrate to be peeled is the superposed substrate T in which the substrate to be processed W and the support substrate S are bonded by the adhesive G has been described. However, the superposition | polymerization board | substrate used as the peeling object of a peeling apparatus is not limited to this superposition | polymerization board | substrate T. For example, in the peeling apparatus of each embodiment described above, in order to generate an SOI substrate, a superposed substrate in which a donor substrate on which an insulating film is formed and a substrate to be processed are bonded can also be a peeling target. .
ここで、SOI基板の製造方法について図16Aおよび図16Bを参照して説明する。図16Aおよび図16Bは、SOI基板の製造工程を示す模式図である。図16Aに示すように、SOIを形成するための重合基板Taは、ドナー基板Dとハンドル基板Hとを接合することによって形成される。 Here, a method for manufacturing an SOI substrate will be described with reference to FIGS. 16A and 16B. FIG. 16A and FIG. 16B are schematic views showing the manufacturing process of the SOI substrate. As shown in FIG. 16A, the polymerization substrate Ta for forming the SOI is formed by bonding the donor substrate D and the handle substrate H.
ドナー基板Dは、表面に絶縁膜5が形成されるとともに、ハンドル基板Hと接合する方の表面近傍の所定深さに水素イオン注入層6が形成された基板である。また、ハンドル基板Hとしては、たとえばシリコンウェハ、ガラス基板、サファイア基板等を用いることができる。
The donor substrate D is a substrate in which the insulating
上述してきた各実施形態に係る剥離装置31,31a,31bは、剥離部120,120aまたは係止部147を用い、ドナー基板Dに形成された水素イオン注入層6に対して機械的衝撃を与える。これにより、図16Bに示すように、水素イオン注入層6内のシリコン−シリコン結合が切断され、ドナー基板Dからシリコン層が剥離される。
The peeling
この結果、ハンドル基板Hの上面に対して絶縁膜5およびシリコン層7が転写され、SOI基板Waが形成される。なお、剥離装置31,31a,31bは、剥離後のSOI基板Waを第2保持部140、保持部140aを用いて非接触状態で吸着保持する。
As a result, the insulating
また、上述した実施形態では、被処理基板Wと支持基板Sとを接着剤Gを用いて接合する場合の例について説明したが、接着剤Gは、接合面Wj,Sjの全面に塗布されてもよいし、接合面Wj,Sjの一部にのみ塗布されてもよい。接合面Wj,Sjの一部にのみ接着剤Gを塗布する場合には、被処理基板Wおよび支持基板Sの周縁部にのみ接着剤Gを塗布することが好ましい。また、接合面Wj,Sjを複数の領域に分け、領域ごとに異なる接着力の接着剤を塗布してもよい。 In the above-described embodiment, an example in which the substrate to be processed W and the support substrate S are bonded using the adhesive G has been described. However, the adhesive G is applied to the entire bonding surfaces Wj and Sj. Alternatively, it may be applied only to a part of the joint surfaces Wj and Sj. When the adhesive G is applied only to a part of the bonding surfaces Wj and Sj, it is preferable to apply the adhesive G only to the peripheral portions of the substrate to be processed W and the support substrate S. Further, the joint surfaces Wj and Sj may be divided into a plurality of regions, and adhesives having different adhesive strength may be applied to each region.
また、上述した第1の実施形態〜第3の実施形態では、第1保持部で被処理基板Wを保持し、第2保持部で支持基板Sを保持するものとして説明したが、第1保持部で支持基板Sを保持し、第2保持部で被処理基板Wを保持してもよい。なお、被処理基板Wが薄型化されている場合、第1保持部で被処理基板Wを保持し、第2保持部で支持基板Sを保持することが好適である。 In the first to third embodiments described above, the substrate to be processed W is held by the first holding unit and the support substrate S is held by the second holding unit. The supporting substrate S may be held by the portion, and the target substrate W may be held by the second holding portion. In addition, when the to-be-processed substrate W is thinned, it is suitable to hold | maintain the to-be-processed substrate W with a 1st holding | maintenance part, and hold | maintain the support substrate S with a 2nd holding | maintenance part.
また、上述してきた各実施形態では、重合基板Tの板面が水平方向に延在する向きで重合基板Tの剥離処理を行う例を説明したが、これに限定されるものではない。たとえば、重合基板Tの板面が鉛直方向に延在する向きで重合基板Tの剥離処理を行ってもよいし、重合基板Tの板面が水平方向および鉛直方向以外の向きで重合基板Tの剥離処理を行ってもよい。 Moreover, although each embodiment mentioned above demonstrated the example which performs the peeling process of the superposition | polymerization board | substrate T in the direction where the plate | board surface of the superposition | polymerization board | substrate T is extended in a horizontal direction, it is not limited to this. For example, the superposition | polymerization board | substrate T may be peeled in the direction in which the plate | board surface of the superposition | polymerization board | substrate T is extended in the perpendicular direction, A peeling treatment may be performed.
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。 Further effects and modifications can be easily derived by those skilled in the art. Thus, the broader aspects of the present invention are not limited to the specific details and representative embodiments shown and described above. Accordingly, various modifications can be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents.
1,1a 剥離システム
10 搬入出ステーション
20 第1搬送領域
30 剥離処理ステーション
31,31a,31b 剥離装置
40,40a 第2搬送領域
50 制御装置
110,110a 第1保持部
120,120a 剥離部
140 第2保持部
140a 保持部
147 係止部
148 第2移動機構
T,Ta 重合基板
W 被処理基板
S 支持基板
1,
Claims (12)
前記重合基板の外縁部に対して所定の力を加えることによって前記第1基板から前記第2基板を剥離させる剥離部と、
前記剥離部によって前記第1基板から剥離された前記第2基板を非接触状態で吸着保持する第2保持部と
を備えることを特徴とする剥離装置。 A first holding unit for sucking and holding the first substrate among the superposed substrates obtained by bonding the first substrate and the second substrate;
A peeling portion for peeling the second substrate from the first substrate by applying a predetermined force to the outer edge portion of the superposed substrate;
A peeling apparatus comprising: a second holding unit that sucks and holds the second substrate peeled from the first substrate by the peeling unit in a non-contact state.
を備えることを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。 The peeling apparatus according to claim 1, further comprising a moving mechanism that moves the second holding unit in a direction away from the first holding unit.
前記第1基板の板面が鉛直方向に延在する向きに前記第1基板を保持し、
前記第2保持部は、
前記剥離部によって前記第1基板から前記第2基板が剥離された場合に、剥離された第2基板の板面が鉛直方向に延在する向きに前記第2基板を保持すること
を特徴とする請求項1または2に記載の剥離装置。 The first holding part is
Holding the first substrate in a direction in which the plate surface of the first substrate extends in the vertical direction;
The second holding part is
When the second substrate is peeled from the first substrate by the peeling portion, the second substrate is held in a direction in which a plate surface of the peeled second substrate extends in a vertical direction. The peeling apparatus according to claim 1 or 2.
前記重合基板の外縁部に対して鉛直下向きの力を加えること
を特徴とする請求項3に記載の剥離装置。 The peeling portion is
The peeling apparatus according to claim 3, wherein a vertical downward force is applied to an outer edge portion of the superposed substrate.
前記第1基板の板面が水平方向に延在する向きに前記第1基板を保持し、
前記第2保持部は、
前記剥離部によって前記第1基板から前記第2基板が剥離された場合に、剥離された第2基板の板面が水平方向に延在する向きに前記第2基板を保持すること
を特徴とする請求項1または2に記載の剥離装置。 The first holding part is
Holding the first substrate in a direction in which the plate surface of the first substrate extends in a horizontal direction;
The second holding part is
When the second substrate is peeled from the first substrate by the peeling portion, the second substrate is held in a direction in which a plate surface of the peeled second substrate extends in a horizontal direction. The peeling apparatus according to claim 1 or 2.
前記第1基板と前記第2基板との接合部分に対して切り込みを入れることによって前記第1基板から前記第2基板を剥離させること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の剥離装置。 The peeling portion is
The said 2nd board | substrate is made to peel from the said 1st board | substrate by making a notch | incision with respect to the junction part of the said 1st board | substrate and the said 2nd board | substrate. Peeling device.
前記第1基板を非接触状態で吸着保持すること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の剥離装置。 The first holding part is
The peeling apparatus according to claim 1, wherein the first substrate is sucked and held in a non-contact state.
前記保持部によって吸着保持された前記重合基板の外縁部と対向する複数の位置にそれぞれ設けられ、前記重合基板側へ向けて突出する鋭利部を有する複数の係止部と、
前記係止部を前記重合基板側へ移動させて、前記第1基板から前記第2基板を剥離させる移動機構と
を備えることを特徴とする剥離装置。 A holding unit that holds the superposed substrate in which the first substrate and the second substrate are superposed in a non-contact state;
A plurality of locking portions provided at a plurality of positions facing the outer edge portion of the superposed substrate adsorbed and held by the holding portion, and having sharp portions protruding toward the superposed substrate side;
A peeling mechanism comprising: a moving mechanism that moves the locking portion toward the superposed substrate and peels the second substrate from the first substrate.
前記重合基板のうち前記第2基板を保持し、
前記係止部は、
前記鋭利部よりも前記保持部から遠い位置で前記重合基板側へ向けて突出し、剥離後の前記第1基板の鉛直方向への移動を規制する突起部を有すること
を特徴とする請求項8に記載の剥離装置。 The holding part is
Holding the second substrate among the superposed substrates;
The locking portion is
The projection part which protrudes toward the superposition substrate side in a position farther from the holding part than the sharp part, and regulates movement of the first substrate after peeling in the vertical direction. The peeling apparatus as described.
前記ステーションに載置された重合基板を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置によって搬送された重合基板を剥離する剥離装置が設置される剥離ステーションと
を備え、
前記剥離装置は、
前記重合基板のうち前記第1基板を吸着保持する第1保持部と、
前記重合基板の外縁部に対して所定の力を加えることによって前記第1基板から前記第2基板を剥離させる剥離部と、
前記剥離部によって前記第1基板から剥離された前記第2基板を非接触状態で吸着保持する第2保持部と
を備えることを特徴とする剥離システム。 A station on which a superposed substrate obtained by bonding the first substrate and the second substrate is placed;
A transport device for transporting the superposed substrate placed on the station;
A peeling station where a peeling device for peeling the superposed substrate transported by the transport device is installed, and
The peeling device is
A first holding unit for sucking and holding the first substrate among the superposed substrates;
A peeling portion for peeling the second substrate from the first substrate by applying a predetermined force to the outer edge portion of the superposed substrate;
A peeling system comprising: a second holding unit that sucks and holds the second substrate peeled from the first substrate by the peeling unit in a non-contact state.
前記重合基板の外縁部に対して所定の力を加える剥離部によって、前記第1基板から前記第2基板を剥離させる剥離工程と、
前記第2基板を非接触状態で吸着保持する第2保持部によって、前記第1基板から剥離された前記第2基板を受け取る受け取り工程と
を含むことを特徴とする剥離方法。 An adsorption holding step of adsorbing and holding the first substrate by a first holding unit that adsorbs and holds the first substrate among the superposed substrates bonded to the first substrate and the second substrate;
A peeling step of peeling the second substrate from the first substrate by a peeling portion that applies a predetermined force to the outer edge portion of the superposed substrate;
And a receiving step of receiving the second substrate peeled from the first substrate by a second holding unit that sucks and holds the second substrate in a non-contact state.
前記重合基板の外縁部に対して所定の力を加える剥離部によって、前記第1基板から前記第2基板を剥離させる剥離手順と、
前記第2基板を非接触状態で吸着保持する第2保持部によって、前記第1基板から剥離された前記第2基板を受け取る受け取り手順と
をコンピュータに対して実行させることを特徴とする剥離プログラム。 An adsorption holding procedure for adsorbing and holding the first substrate by a first holding unit for adsorbing and holding the first substrate among the superposed substrates bonded to the first substrate and the second substrate;
A peeling procedure for peeling the second substrate from the first substrate by a peeling portion that applies a predetermined force to the outer edge of the superposed substrate;
A peeling program causing a computer to execute a receiving procedure for receiving the second substrate peeled from the first substrate by a second holding unit that sucks and holds the second substrate in a non-contact state.
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KR20150101939A (en) * | 2014-02-27 | 2015-09-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Delamination method, computer storage medium, delamination device, and delamination system |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09263500A (en) * | 1996-01-22 | 1997-10-07 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | Jig for stripping stuck soi wafer |
JP2000150456A (en) * | 1998-11-06 | 2000-05-30 | Canon Inc | Method and device for separating sample |
JP2002237515A (en) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | Peeling device and peeling method for making semiconductor substrate into thin sheet |
JP2004527400A (en) * | 2001-04-10 | 2004-09-09 | エス オー イ テク シリコン オン インシュレータ テクノロジース | Apparatus and method for cutting a layer of a substrate |
JP2005116678A (en) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Nitto Denko Corp | Semiconductor wafer separating method and separating device using same |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09263500A (en) * | 1996-01-22 | 1997-10-07 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | Jig for stripping stuck soi wafer |
JP2000150456A (en) * | 1998-11-06 | 2000-05-30 | Canon Inc | Method and device for separating sample |
JP2002237515A (en) * | 2001-02-07 | 2002-08-23 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | Peeling device and peeling method for making semiconductor substrate into thin sheet |
JP2004527400A (en) * | 2001-04-10 | 2004-09-09 | エス オー イ テク シリコン オン インシュレータ テクノロジース | Apparatus and method for cutting a layer of a substrate |
JP2005116678A (en) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Nitto Denko Corp | Semiconductor wafer separating method and separating device using same |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150101939A (en) * | 2014-02-27 | 2015-09-04 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Delamination method, computer storage medium, delamination device, and delamination system |
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