JP2013146942A - スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 - Google Patents
スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013146942A JP2013146942A JP2012009883A JP2012009883A JP2013146942A JP 2013146942 A JP2013146942 A JP 2013146942A JP 2012009883 A JP2012009883 A JP 2012009883A JP 2012009883 A JP2012009883 A JP 2012009883A JP 2013146942 A JP2013146942 A JP 2013146942A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mask
- height
- imaging
- mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Screen Printers (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】校正用マークQがマスク13の下面の高さである第1の高さH1より低い第2の高さH2に位置するようにした状態で校正用マークQを下方撮像カメラ14aにより上方から撮像して校正用マークQの第2の高さH2での位置の座標(X2,Y2)を算出し、校正用マークQが第1の高さH1に位置するようにした状態で校正用マークQを上方撮像カメラ14bにより下方から撮像して校正用マークQの第1の高さH1での位置の座標(X1,Y1)を算出する。そして、算出した校正用マークQの第2の高さH2での位置の座標と校正用マークQの第1の高さH1での位置の座標との間の差分(X2−X1,Y2−Y1)を位置ずれ校正値(δx,δy)として算出する。
【選択図】図6
Description
2 基板
2a 電極
12 基板保持ユニット(基板保持部)
13 マスク
13h パターン孔
14a 下方撮像カメラ(下方撮像部)
14b 上方撮像カメラ(上方撮像部)
15b スキージ
16 制御装置(基板保持部移動制御部)
16c 位置ずれ校正値算出部
30 治具部材
Q 校正用マーク
Ma 第1のマスク側マーク(マスク側マーク)
Mb 第2のマスク側マーク(マスク側マーク)
H1 第1の高さ
H2 第2の高さ
δx,δy 位置ずれ校正値
ma 第1の基板側マーク(基板側マーク)
mb 第2の基板側マーク(基板側マーク)
Pt ペースト
Claims (2)
- 上面に電極を有した基板を保持する基板保持部と、基板の電極に対応するパターン孔が設けられたマスクと、撮像視野を下方に向けた下方撮像部と、撮像視野を上方に向けた上方撮像部と、下方撮像部により基板に設けられた基板側マークを撮像して算出される基板側マークの位置と上方撮像部によりマスクに設けられたマスク側マークを撮像して算出されるマスク側マークの位置とに基づいてマスクと基板との上下の位置合わせを行ったうえで基板保持部を上昇させて基板をマスクの下面に接触させる基板保持部移動制御部と、基板と接触されたマスク上を摺動し、マスクのパターン孔を介して基板の電極上にペーストを印刷するスキージとを備えたスクリーン印刷機であって、
基板保持部に取り付けられ、基板保持部により保持された基板の上面の高さに下方撮像部による上方からの撮像及び上方撮像部による下方からの撮像が可能な校正用マークを位置させた治具部材と、
前記校正用マークがマスクの下面の高さである第1の高さより低い第2の高さに位置するように基板保持部の上下方向の位置調節が行われた状態で前記校正用マークが下方撮像部により上方から撮像されて算出される前記校正用マークの第2の高さでの位置の座標と前記校正用マークが第1の高さに位置するように基板保持部の上下方向の位置調節が行われた状態で前記校正用マークが上方撮像部により下方から撮像されて算出される前記校正用マークの第1の高さでの位置の座標との間の水平面内方向の差分を位置ずれ校正値として算出する位置ずれ校正値算出部とを備え、
基板保持部移動制御部は、位置ずれ校正値算出部により算出された位置ずれ校正値を用いてマスクと基板との上下の位置合わせを行い、そのうえで基板保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面に基板を接触させることを特徴とするスクリーン印刷機。 - 上面に電極を有した基板を保持する基板保持部と、基板の電極に対応するパターン孔が設けられたマスクと、撮像視野を下方に向けた下方撮像部と、撮像視野を上方に向けた上方撮像部と、下方撮像部により基板に設けられた基板側マークを撮像して算出される基板側マークの位置と上方撮像部によりマスクに設けられたマスク側マークを撮像して算出されるマスク側マークの位置とに基づいてマスクと基板との上下の位置合わせを行ったうえで基板保持部を上昇させて基板をマスクの下面に接触させる基板保持部移動制御部と、基板と接触されたマスク上を摺動し、マスクのパターン孔を介して基板の電極上にペーストを印刷するスキージと、基板保持部に取り付けられ、基板保持部により保持された基板の上面の高さに下方撮像部による上方からの撮像及び上方撮像部による下方からの撮像が可能な校正用マークを位置させた治具部材とを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、
前記校正用マークがマスクの下面の高さである第1の高さより低い第2の高さに位置するように基板保持部の上下方向の位置調節を行った状態で前記校正用マークを下方撮像部により上方から撮像して前記校正用マークの第2の高さでの位置の座標を算出する工程と、
前記校正用マークが第1の高さに位置するように基板保持部の上下方向の位置調節を行った状態で前記校正用マークを上方撮像部により下方から撮像して前記校正用マークの第1の高さでの位置の座標を算出する工程と、
算出した前記校正用マークの第2の高さでの位置の座標と前記校正用マークの第1の高さでの位置の座標との間の水平面内方向の差分を位置ずれ校正値として算出する工程と、
算出した位置ずれ校正値を用いてマスクと基板との上下の位置合わせを行い、そのうえで基板保持部をマスクに対して上昇させてマスクの下面に基板を接触させる工程と、
基板と接触させたマスク上でスキージを摺動させ、マスクのパターン孔を介して基板の電極上にペーストを印刷する工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012009883A JP5816817B2 (ja) | 2012-01-20 | 2012-01-20 | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012009883A JP5816817B2 (ja) | 2012-01-20 | 2012-01-20 | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013146942A true JP2013146942A (ja) | 2013-08-01 |
JP5816817B2 JP5816817B2 (ja) | 2015-11-18 |
Family
ID=49044962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012009883A Active JP5816817B2 (ja) | 2012-01-20 | 2012-01-20 | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5816817B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013207283A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | スクリーン印刷機 |
CN105291564A (zh) * | 2015-11-06 | 2016-02-03 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种丝印对位方法及装置 |
WO2016045220A1 (zh) * | 2014-09-24 | 2016-03-31 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 网版印刷机及其印刷方法 |
KR101694674B1 (ko) * | 2015-09-14 | 2017-01-10 | 주식회사 힘스 | 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 |
WO2019031207A1 (ja) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | マイクロ・テック株式会社 | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05131610A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-05-28 | Tdk Corp | 印刷用スクリーンと基板の位置合わせ装置 |
JP2010005814A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Yamaha Motor Co Ltd | スクリーン印刷装置 |
-
2012
- 2012-01-20 JP JP2012009883A patent/JP5816817B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05131610A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-05-28 | Tdk Corp | 印刷用スクリーンと基板の位置合わせ装置 |
JP2010005814A (ja) * | 2008-06-24 | 2010-01-14 | Yamaha Motor Co Ltd | スクリーン印刷装置 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013207283A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | スクリーン印刷機 |
WO2016045220A1 (zh) * | 2014-09-24 | 2016-03-31 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 网版印刷机及其印刷方法 |
KR101694674B1 (ko) * | 2015-09-14 | 2017-01-10 | 주식회사 힘스 | 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 |
CN105291564A (zh) * | 2015-11-06 | 2016-02-03 | 凌云光技术集团有限责任公司 | 一种丝印对位方法及装置 |
WO2019031207A1 (ja) * | 2017-08-10 | 2019-02-14 | マイクロ・テック株式会社 | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 |
JP2019034416A (ja) * | 2017-08-10 | 2019-03-07 | マイクロ・テック株式会社 | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 |
CN110914061A (zh) * | 2017-08-10 | 2020-03-24 | 微技术株式会社 | 丝网印刷装置以及丝网印刷方法 |
KR20200036864A (ko) * | 2017-08-10 | 2020-04-07 | 마이크로·텍 가부시끼가이샤 | 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 |
TWI727192B (zh) * | 2017-08-10 | 2021-05-11 | 日商微技中心股份有限公司 | 網版印刷裝置及網版印刷方法 |
KR102298276B1 (ko) | 2017-08-10 | 2021-09-07 | 마이크로·텍 가부시끼가이샤 | 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 |
CN110914061B (zh) * | 2017-08-10 | 2022-01-07 | 微技术株式会社 | 丝网印刷装置以及丝网印刷方法 |
JP7054131B2 (ja) | 2017-08-10 | 2022-04-13 | マイクロ・テック株式会社 | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5816817B2 (ja) | 2015-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5018812B2 (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 | |
TWI290097B (en) | Screen printing method and apparatus thereof | |
JP5816817B2 (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 | |
JP4379348B2 (ja) | 電子部品実装システムおよび電子部品実装方法 | |
JP2009217008A (ja) | ガラスマスクとマスクホルダの位置合わせ装置 | |
JP2009143110A (ja) | スクリーン印刷機 | |
WO2013168328A1 (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 | |
JP2010131792A (ja) | スクリーン印刷装置 | |
WO2013084383A1 (ja) | 基板作業装置 | |
JP5681695B2 (ja) | 基板印刷装置 | |
KR20110126581A (ko) | 스크린 인쇄기 및 스크린 인쇄기의 클리닝 방법 | |
JP4363093B2 (ja) | スクリーン印刷機 | |
JP2016092019A (ja) | 部品実装用装置におけるキャリブレーション方法 | |
WO2015033402A1 (ja) | スクリーン印刷機 | |
JP4858520B2 (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 | |
JP2011155031A (ja) | 電子部品実装用装置及び電子部品実装用装置による作業方法 | |
US9724911B2 (en) | Method of screen printing | |
JP5487982B2 (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷機の異物検出方法 | |
JP2003311919A (ja) | スクリーン印刷機 | |
JP5062193B2 (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 | |
JP5251585B2 (ja) | 基板支持装置、電子部品実装用装置、基板支持方法及び電子部品実装用装置による作業方法 | |
JP2013159022A (ja) | スクリーン印刷機 | |
JP2012248591A (ja) | 部品実装システム及び部品実装方法 | |
JP5715114B2 (ja) | 基板印刷装置および基板印刷システム | |
JP2013129099A (ja) | スクリーン印刷機及びスクリーン印刷方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140613 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20140714 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20141007 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20141107 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20150106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150113 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150331 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150413 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5816817 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |