JP2013143489A - Adhesive tape for processing semiconductor wafer and the like - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体ウエハ等加工用粘着テープに関する。 The present invention relates to an adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like.
以前から、半導体ウエハやパッケージ品のダイシング加工に用いられる半導体ウエハ等の加工用粘着テープ(以下、「ダイシングテープ」という)が種々提案されている。一般に、ダイシングテープでは基材層上に粘着層が形成されており、この粘着層により半導体ウエハ等が固定される。半導体ウエハ等のダイシング加工後、半導体チップを容易にピックアップすることができるように、粘着層には通常、放射線重合化合物、放射線重合開始剤、および架橋剤などが添加されている。つまり、ダイシング加工後、粘着層に紫外線等の放射線が照射されると、これらの成分が硬化して粘着層の粘着性が低下し、半導体チップのピックアップが容易となる。 Various types of pressure-sensitive adhesive tapes for processing semiconductor wafers (hereinafter referred to as “dicing tapes”) used for dicing processing of semiconductor wafers and packaged products have been proposed. In general, in a dicing tape, an adhesive layer is formed on a base material layer, and a semiconductor wafer or the like is fixed by the adhesive layer. Usually, a radiation polymerization compound, a radiation polymerization initiator, a crosslinking agent, and the like are added to the adhesive layer so that a semiconductor chip can be easily picked up after dicing processing of a semiconductor wafer or the like. That is, when the adhesive layer is irradiated with radiation such as ultraviolet rays after the dicing process, these components are cured and the adhesiveness of the adhesive layer is lowered, so that the semiconductor chip can be easily picked up.
ところで、ダイシングテープを被着体から剥離させる工程において、被着体の表面に粘着層を構成する粘着剤の一部が残る、いわゆる糊残りが発生するという問題がある。また、ダイシングテープで被着体を保持する工程において、ダイシングテープは凹凸のある被着体を安定して保持することができないという問題がある。そこで、例えば、特許文献1、2には、上記の問題を解決するために粘着層の材料が適宜選択されたダイシングテープが開示されている。これらダイシングテープは、凹凸のある被着体を安定して保持することができる。 By the way, in the process of peeling the dicing tape from the adherend, there is a problem that a part of the pressure-sensitive adhesive constituting the adhesive layer remains on the surface of the adherend, so-called adhesive residue is generated. Further, in the step of holding the adherend with the dicing tape, there is a problem that the dicing tape cannot stably hold the uneven adherend. Thus, for example, Patent Documents 1 and 2 disclose dicing tapes in which the material of the adhesive layer is appropriately selected in order to solve the above problems. These dicing tapes can stably hold an uneven adherend.
しかし、これらダイシングテープでは、テープ剥離後の被着体の表面に残る粘着剤の量を十分に低減させることができなかった。 However, with these dicing tapes, the amount of pressure-sensitive adhesive remaining on the surface of the adherend after tape peeling cannot be sufficiently reduced.
本発明の目的は、テープ剥離後の被着体の表面に残る粘着剤の量を低減させることができる半導体ウエハ等加工用粘着テープを提供することである。 An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like that can reduce the amount of pressure-sensitive adhesive remaining on the surface of an adherend after peeling off the tape.
このような目的は、以下の(1)〜(9)に記載される本発明により達成される。
(1) 基材層と、前記基材層の少なくとも一方の面に形成される粘着層とを備え、
前記粘着層は、カルボキシル基含有ポリマーと、放射線重合化合物とを含み、
前記放射線重合化合物は、重量平均分子量が500以上、3000以下であり、かつ官能基数が5官能基以上、15官能基以下であることを特徴とする半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
(2) 前記官能基は、ビニル基である前記(1)に記載の半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
(3) 前記放射線重合化合物の含有量は、前記カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して、30重量部以上、70重量部以下である前記(1)または(2)のいずれかに記載の半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
(4) 前記放射線重合化合物は、ウレタンアクリレートである前記(1)〜(3)のいずれか1つに記載の半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
(5) 前記粘着層は、架橋剤をさらに含む前記(1)〜(4)のいずれか1つに記載の半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
(6) 前記架橋剤の含有量は、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して、3重量部以上、14重量部以下である請求項5に記載の半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
(7) 前記架橋剤は、イソシアネート基を含有する前記(5)または(6)に記載の半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
(8) 前記カルボキシル基含有ポリマーは、アクリル酸エステルとアクリル酸との共重合体である前記(1)〜(7)のいずれか1つに記載の半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
(9) 前記カルボキシル基含有ポリマー中の前記エステル基の個数と前記カルボキシル基の個数との比(エステル基/カルボキシル基)は、80/20以上、95/5以下である前記(8)に記載の半導体ウエハ等加工用粘着テープ。
Such an object is achieved by the present invention described in the following (1) to (9).
(1) A base material layer and an adhesive layer formed on at least one surface of the base material layer,
The adhesive layer includes a carboxyl group-containing polymer and a radiation polymerization compound,
The radiation-polymerized compound has a weight average molecular weight of 500 or more and 3000 or less, and the number of functional groups is 5 or more and 15 or less.
(2) The adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like according to (1), wherein the functional group is a vinyl group.
(3) The semiconductor according to any one of (1) and (2), wherein the content of the radiation polymerization compound is 30 parts by weight or more and 70 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing polymer. Adhesive tape for processing wafers.
(4) The adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like according to any one of (1) to (3), wherein the radiation polymerization compound is urethane acrylate.
(5) The adhesive layer is an adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like according to any one of (1) to (4), further including a crosslinking agent.
(6) The adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like according to claim 5, wherein the content of the crosslinking agent is 3 parts by weight or more and 14 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing polymer.
(7) The adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like according to (5) or (6), wherein the crosslinking agent contains an isocyanate group.
(8) The adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like according to any one of (1) to (7), wherein the carboxyl group-containing polymer is a copolymer of an acrylic ester and acrylic acid.
(9) The ratio of the number of ester groups to the number of carboxyl groups (ester group / carboxyl group) in the carboxyl group-containing polymer is 80/20 or more and 95/5 or less. Adhesive tape for processing semiconductor wafers.
本発明に係る半導体ウエハ等加工用粘着テープは、テープ剥離後の被着体の表面に残る粘着剤の量を低減させることができる。 The pressure-sensitive adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like according to the present invention can reduce the amount of pressure-sensitive adhesive remaining on the surface of the adherend after peeling off the tape.
以下、本発明の半導体ウエハ等加工用粘着テープについて、具体的な実施形態に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, an adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like of the present invention will be described in detail based on specific embodiments.
本発明の半導体ウエハ等加工用粘着テープは、基材層と、前記基材層の少なくとも一方の面に形成される粘着層とを備え、前記粘着層は、カルボキシル基含有ポリマーと、放射線重合化合物とを含み、前記放射線重合化合物は、重量平均分子量が500以上、3000以下であり、かつ官能基数が5官能基以上、15官能基以下であることを特徴とする半導体ウエハ等加工用粘着テープである。 The pressure-sensitive adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like of the present invention comprises a base material layer and an adhesive layer formed on at least one surface of the base material layer, and the adhesive layer comprises a carboxyl group-containing polymer and a radiation polymerization compound. The radiation-polymerized compound is a pressure-sensitive adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like, wherein the weight average molecular weight is 500 or more and 3000 or less, and the number of functional groups is 5 or more and 15 or less. is there.
図1は、本発明の半導体ウエハ等加工用粘着テープ(以下、「粘着テープ」という)100の実施形態を説明するための図である。図1に示されるように、本発明の一実施形態に係る粘着テープ100は、基材層200と、粘着層300とを含んで構成される。以下、粘着テープがダイシングテープとして用いられる場合についての基材層200および粘着層300について、それぞれ詳しく説明する。
FIG. 1 is a view for explaining an embodiment of an
<基材層>
基材層200は、主に、材料樹脂を含み、粘着層300を支持する役目を担っている。また、この基材層200は、ダイシング工程後に実施されるエキスパンド工程において、引延しに耐え得るだけの強度を有する。エキスパンド工程とは、粘着テープ100を引き伸ばし、チップ間隔を拡張する工程である。このエキスパンド工程の目的は、ピックアップの際にチップの認識性を高めること、および隣接するチップ同士の接触によるデバイスの破損を防止することである。
<Base material layer>
The
前記材料樹脂は、通常のフィルム成形方法によってフィルムに成形される。この材料樹脂として、放射線(可視光線、近赤外線、紫外線、X線、電子線など)を透過するものであれば特に限定されず、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂、エチレン・酢酸ビニル共重合体、アイオノマー、エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン・(メタ)アクリル酸エステル共重合体等のオレフィン系共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリアルキレンテレフタレート系樹脂、スチレン系熱可塑性エラストマー、オレフィン系熱可塑性エラストマー、ポリビニルイソプレン、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂や、これらの熱可塑性樹脂の混合物が用いられる。 The material resin is formed into a film by a normal film forming method. The material resin is not particularly limited as long as it transmits radiation (visible light, near infrared light, ultraviolet light, X-ray, electron beam, etc.). For example, polyvinyl chloride, polyethylene, polypropylene, polybutene, polybutadiene, polymethyl, etc. Polyolefin resins such as pentene, ethylene / vinyl acetate copolymers, ionomers, olefin copolymers such as ethylene / (meth) acrylic acid copolymers, ethylene / (meth) acrylic acid ester copolymers, polyethylene terephthalate, Polyalkylene terephthalate resins such as polybutylene terephthalate, styrene thermoplastic elastomers, olefin thermoplastic elastomers, thermoplastic resins such as polyvinyl isoprene and polycarbonate, and mixtures of these thermoplastic resins are used.
特に、材料樹脂として、ポリプロピレンとエラストマーとの混合物、またはポリエチレンとエラストマーとの混合物が用いられることが好ましい。また、このエラストマーとして、一般式(1)で示されるポリスチレンセグメントと、一般式(2)で示されるビニルポリイソプレンセグメントとを含むブロック共重合体が好ましい。また、ポリイソプレンセグメントは水素添加しているものが耐候性の観点から好ましい。 In particular, it is preferable to use a mixture of polypropylene and an elastomer or a mixture of polyethylene and an elastomer as the material resin. Moreover, as this elastomer, the block copolymer containing the polystyrene segment shown by General formula (1) and the vinyl polyisoprene segment shown by General formula (2) is preferable. Further, the polyisoprene segment is preferably hydrogenated from the viewpoint of weather resistance.
(式(1)中、nは2以上の整数)
(In formula (1), n is an integer of 2 or more)
(式(2)中、nは2以上の整数)
(In formula (2), n is an integer of 2 or more)
前記基材層200の厚みは、特に限定されないが、50μm以上、300μm以下であるのが好ましく、80μm以上、200μm以下であるのがより好ましい。基材層200の厚みが前記範囲内であると、コスト面及び、ダイシング工程またはエキスパンド工程における作業性の観点からに優れる場合がある。
The thickness of the
前記基材層200の製法として、特に限定されないが、カレンダー法、押出成形法などの一般的な成形方法が用いられる。前記基材層200の表面には、粘着層300を構成する材料と反応する官能基、例えば、ヒドロキシル基またはアミノ基などが露出していることが好ましい。また、基材層200と粘着層300との密着性を向上するために、基材層200の表面をコロナ処理またはアンカーコート等で表面処理しておくのが好ましい。
Although it does not specifically limit as a manufacturing method of the said
<粘着層>
粘着層300は、ダイシング工程において被着体である半導体ウエハ等を粘着して保持する役目を担っている。この粘着層300は、ダイシング工程後に放射線が照射されると、半導体ウエハ等の切断片を容易に剥離させることができる状態となる。なお、使用前粘着テープ100では、通常、粘着層300が離型フィルムで保護されている。
<Adhesive layer>
The
前記粘着層300は、基材層200の少なくとも一方の面に形成されている(図1参照)。なお、粘着層300の材料である樹脂溶液は、通常、ダイコート、カーテンダイコート、グラビアコート、コンマコート、バーコート、またはリップコート等の塗布方法により基材層200に塗布される。乾燥後の粘着層300の厚みは、特に限定されないが、5μm以上、30μm以下であるのが好ましく、10μm以上、25μm以下であるのがより好ましい。乾燥後の粘着層の厚みが前記範囲下限値以上であることで、被着体の保持力に優れる。また乾燥後の粘着層の厚みが前記範囲上限値以下であることで、コスト面、及びダイシング時にチップに糊屑が付着する不具合を防止するという面に優れるダイシングフィルムが得られる。
The
前記粘着層300は、カルボキシル基含有ポリマーを含む。また、粘着層300は、放射線重合化合物を含む。なお、この粘着層300には、任意成分として、帯電防止剤、および粘着付与剤などが含まれていてもよい。以下、各成分についてそれぞれ詳述する。
The
(1)カルボキシル基含有ポリマー
カルボキシル基含有ポリマーは、例えば、カルボキシル基を有する付加型モノマーと、アクリル酸エステル、酢酸ビニル、アクリルニトリル、スチレン等との共重合体が挙げられるが、その中でも特にカルボキシル基を有する付加型モノマーとアクリル酸エステルとの共重合体、すなわちエステル基を含有するカルボキシル基含有アクリル系ポリマーであることが好ましい。このエステル基を含有するカルボキシル基含有ポリマーのエステル基の個数とカルボキシル基の個数との比(エステル基/カルボキシル基)は、80/20以上、95/5以下であることが好ましく、85/15以上、95/5以下であることがより好ましく、85/15以上、90/10以下であることがさらに好ましい。エステル基を含有するカルボキシル基含有ポリマーのエステル基の個数とカルボキシル基の個数との比(エステル基/カルボキシル基)が前記範囲内であることにより、半導体ウエハ等加工用粘着テープは、凹凸のある被着体表面に、より追従し易くなり、安定して保持することができる。なお、このカルボキシル基含有アクリル系ポリマーには、本発明の趣旨を損なわない範囲で、酢酸ビニルモノマー、およびカルボキシル基以外の官能基を有する付加型モノマーの少なくとも一方が共重合されていてもかまわない。
(1) Carboxyl group-containing polymer The carboxyl group-containing polymer is, for example, a copolymer of an addition monomer having a carboxyl group and an acrylate ester, vinyl acetate, acrylonitrile, styrene, etc. A copolymer of an addition-type monomer having a group and an acrylate ester, that is, a carboxyl group-containing acrylic polymer containing an ester group is preferable. The ratio of the number of ester groups to the number of carboxyl groups (ester group / carboxyl group) of the carboxyl group-containing polymer containing this ester group is preferably 80/20 or more and 95/5 or less, 85/15 As mentioned above, it is more preferable that it is 95/5 or less, and it is still more preferable that they are 85/15 or more and 90/10 or less. When the ratio of the number of ester groups to the number of carboxyl groups (ester group / carboxyl group) of the carboxyl group-containing polymer containing an ester group is within the above range, the adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like has irregularities. It becomes easier to follow the surface of the adherend and can be stably held. The carboxyl group-containing acrylic polymer may be copolymerized with at least one of a vinyl acetate monomer and an addition monomer having a functional group other than a carboxyl group within a range not impairing the gist of the present invention. .
前記カルボキシル基を有する付加型モノマーとして、例えば、メタクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、無水マレイン酸などが挙げられる。アクリル酸エステルとして、例えばアクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸グリシジル、アクリル酸2−ヒドロキシエチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸2−ヒドロキシエチル等が挙げられる。これらの中でもアクリル酸エチル、アクリル酸ブチル及びアクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸ジメチルアミノエチル、アクリルアミドを含む群から選択される少なくとも1種のアクリル酸エステルが好ましい。カルボキシル基を有するアクリル酸エステルを用いることにより、被着体との密着性が向上するため、半導体部材のマウント、端材飛び、及びチッピングの抑制に特に好適なものとなる。
Examples of the addition type monomer having a carboxyl group include methacrylic acid, acrylic acid, itaconic acid, maleic anhydride and the like. Examples of acrylic esters include ethyl acrylate, butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, glycidyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, glycidyl methacrylate, methacrylic acid. Acid 2-hydroxyethyl etc. are mentioned. Among these, at least one acrylate selected from the group comprising ethyl acrylate, butyl acrylate and 2-ethylhexyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, and acrylamide is preferable. By using an acrylate ester having a carboxyl group, the adhesion to the adherend is improved, and therefore it is particularly suitable for mounting a semiconductor member, jumping off an end material, and suppressing chipping.
また、カルボキシル基以外の官能基を有する付加型モノマーとしては、特に限定されないが、例えば、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノエチルアクリレート、アクリルアミド、メチロールアクリルアミド、グリシジルメタクリレート等が挙げられる。 Further, the addition type monomer having a functional group other than a carboxyl group is not particularly limited. For example, hydroxyethyl methacrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminoethyl acrylate, acrylamide , Methylolacrylamide, glycidyl methacrylate and the like.
例えば、カルボキシル基含有アクリル系ポリマーとして、下記化学構造式(3)で示されるアクリル系樹脂、すなわち、カルボキシル基を有する付加型モノマーであるアクリル酸と、アクリル酸エステルであるアクリル酸2−エチルへキシルとの共重合体が用いられる。この化学構造式において、nは85〜95重量部相当モル数であり、mは5〜15重量部相当モル数であることが好ましい。mが前記記載の範囲より少なくなると、被着体表面の凹凸への追従が悪くなり、ダイシング時にチップ飛び及びチップ裏面への切削水浸入の恐れがあり、また、mが前記記載の範囲外より多くなると、被着体との密着性過剰になり、ピックアップ不具合が生じる恐れがある。 For example, as a carboxyl group-containing acrylic polymer, an acrylic resin represented by the following chemical structural formula (3), that is, acrylic acid that is an addition monomer having a carboxyl group and 2-ethyl acrylate that is an acrylic ester. A copolymer with xylyl is used. In this chemical structural formula, n is preferably 85 to 95 parts by weight, and m is preferably 5 to 15 parts by weight. When m is less than the above-described range, the follow-up to the unevenness of the adherend surface is deteriorated, and there is a risk of chip jumping and cutting water intrusion to the back of the chip during dicing, and m is out of the above-described range. If it increases, the adhesiveness with the adherend becomes excessive, and there is a possibility that pick-up failure occurs.
(2)放射線重合化合物
放射線重合化合物は、粘着層300を硬化させる硬化成分として用いられ、前記放射線重合化合物としては、単官能アクリレート、多官能アクリレート、単官能メタクリレート、多官能メタクリレート、ウレタンアクリレート、ウレタンメタクリレート、エポキシアクリレート、エポキシメタクリレート、ポリエステルアクリレート、または尿素アクリレート等が挙げられるが、それらの中でもウレタンアクリレートであることが好ましい。これは、ウレタンアクリレートの骨格が強靭かつ柔軟であるため、ピックアップ時のニードルによる糊割れを低減させることができるからである。また、ウレタンアクリレートは、紫外線が照射されると硬化する。この硬化によってベース樹脂がウレタンアクリレートの架橋構造に取り込まれた結果、粘着層300の粘着力が低下する。なお、硬化成分として、本発明の趣旨を損なわない範囲で、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、1,4−ブチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート等をウレタンアクリレートと一緒に用いてもよい。
(2) Radiation polymerization compound
The radiation polymerization compound is used as a curing component for curing the
前記放射線重合化合物(特に、ウレタンアクリレート)は、重量平均分子量が500以上、3000以下であり、700以上、2500以下であることが好ましく、1000以上、2000以下であることがより好ましく、更に好ましくは1200以上、2000以下である。放射線重合化合物の重量平均分子量が前記下限値未満であると、ダイシング時に糊が飛び散りやすくなり、チップ表面への汚染が生じる恐れがあり、また、被着体への糊転写が生じやすくなるという恐れがある。放射線重合化合物の重量平均分子量が前記上限値を超える場合、被着体表面の凹凸への追従が悪くなり、ダイシング時にチップ飛び及びチップ裏面への切削水浸入の恐れがある。 The radiation-polymerized compound (particularly urethane acrylate) has a weight average molecular weight of 500 or more and 3000 or less, preferably 700 or more and 2500 or less, more preferably 1000 or more and 2000 or less, and still more preferably. It is 1200 or more and 2000 or less. When the weight average molecular weight of the radiation-polymerized compound is less than the lower limit value, the glue is likely to be scattered during dicing, and the chip surface may be contaminated, and the glue may be easily transferred to the adherend. There is. When the weight average molecular weight of the radiation polymerization compound exceeds the upper limit, the follow-up to the irregularities on the surface of the adherend becomes worse, and there is a risk of chip jumping and cutting water intrusion into the chip back surface during dicing.
前記放射線重合化合物(特に、ウレタンアクリレート)の重量平均分子量を測定する方法としては、例えば、ゲルクロマトグラフィー法(略してGPC法)が挙げられる。前記GPCの測定は、特に限定されないが、Waters社製アライアンス(2695セパレーションズモデュール、2414リフラクティブインデックスディテクター、TSKゲルGMHHR−Lx2+TSKガードカラムHHR−Lx1、移動相:THF、1.0ml/分)を用い、カラム温度40.0℃、示差屈折率計内温度40.0℃、サンプル注入量100μlの条件で行った。
Examples of the method for measuring the weight average molecular weight of the radiation polymerization compound (particularly urethane acrylate) include a gel chromatography method (abbreviated as GPC method). The measurement of GPC is not particularly limited, but using Waters Alliance (2695 Separations Module, 2414 Refractive Index Detector, TSK Gel GMHHR-Lx2 + TSK Guard Column HHR-Lx1, Mobile Phase: THF, 1.0 ml / min) Column temperature 40.0 ° C., differential refractometer internal temperature 40.0 ° C., and
また、前記放射線重合化合物(特に、ウレタンアクリレート)は、官能基数が5官能基以上、15官能基以下であり、7以上、13以下であることが好ましく、8以上、12以下であることがより好ましく、更に好ましくは8以上、10以下である。放射線重合化合物の官能基数が前記下限値未満である場合、放射銭照射後の硬化が不十分となり、ピックアップ不具合が生じる恐れがある。放射線重合化合物の官能基数が前記上限値を超える場合、硬化収縮により、テープにたるみが生じ、チッピング不具合やピックアップ不具合が生じる恐れがある。また、過剰な硬化により糊が脆くなり、ピックアップ時に糊屑がチップ裏面に付着するという不具合が生じる恐れがある。 The radiation-polymerized compound (particularly urethane acrylate) has 5 or more and 15 or less functional groups, preferably 7 or more and 13 or less, more preferably 8 or more and 12 or less. More preferably, it is 8 or more and 10 or less. When the number of functional groups of the radiation-polymerized compound is less than the lower limit value, curing after radiation irradiation becomes insufficient, which may cause a pickup failure. When the number of functional groups of the radiation-polymerized compound exceeds the upper limit, the tape shrinks due to curing shrinkage, which may cause chipping problems and pickup problems. In addition, the paste becomes brittle due to excessive curing, and there is a risk that paste waste adheres to the back surface of the chip during pick-up.
前記放射線重合化合物(特に、ウレタンアクリレート)は、重量平均分子量が500以上、3000以下であり、かつ官能基数が5官能基以上、15官能基以下であることにより、本発明に係る半導体ウエハ等加工用粘着テープは、テープ剥離後の被着体の表面に残る粘着層300を構成する粘着剤の量を十分に低減させることができ、かつ、被着体に対して良好な粘着力を有するものとなる。また、さらには、良好なマウント性及びピックアップ性を有し、凹凸のある被着体を安定して保持することができるものとなる。
The radiation-polymerized compound (particularly urethane acrylate) has a weight average molecular weight of 500 or more and 3000 or less, and the number of functional groups is 5 or more and 15 or less. The pressure-sensitive adhesive tape can sufficiently reduce the amount of the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-
前記放射線重合化合物(特に、ウレタンアクリレート)の含有量は、前記カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して、30重量部以上、70重量部以下であり、40重量部以上、60重量部以下であることが好ましく、さらに好ましくは45重量部以上、55重量部以下である。放射線重合化合物の含有量が前記範囲内であることで、粘着テープ100のピックアップ性は好適なものとなる。
The content of the radiation polymerization compound (particularly urethane acrylate) is 30 parts by weight or more and 70 parts by weight or less, and 40 parts by weight or more and 60 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the carboxyl group-containing polymer. It is preferably 45 parts by weight or more and 55 parts by weight or less. The pick-up property of the
前記硬化成分は、本発明の趣旨を損なわない範囲で、放射線重合開始剤、架橋剤を一緒に用いることが好ましい。 As the curing component, it is preferable to use a radiation polymerization initiator and a crosslinking agent together as long as the gist of the present invention is not impaired.
前記放射線重合開始剤は、硬化成分の重合開始を容易とするために添加される。放射線重合開始剤として、例えば、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノン等が挙げられる。 The radiation polymerization initiator is added to facilitate the initiation of polymerization of the curing component. Examples of radiation polymerization initiators include 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, benzophenone, acetophenone, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyldiphenyl sulfide, and tetramethylthiuram. Examples thereof include monosulfide, azobisisobutyronitrile, dibenzyl, diacetyl, β-chloranthraquinone and the like.
前記架橋剤として、例えば、エポキシ系架橋剤、イソシアネート系架橋剤、メチロール系架橋剤、キレート系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン系架橋剤、多価金属キレート系架橋剤などが挙げられる。これらの中でも生産性(ポットライフ)が高いことや、不純物が少ないことからイソシアネート系架橋剤を用いることが好ましい。 Examples of the crosslinking agent include epoxy crosslinking agents, isocyanate crosslinking agents, methylol crosslinking agents, chelate crosslinking agents, aziridine crosslinking agents, melamine crosslinking agents, and polyvalent metal chelating crosslinking agents. Among these, it is preferable to use an isocyanate-based crosslinking agent because of high productivity (pot life) and few impurities.
前記イソシアネート系架橋剤として、特に限定されないが、例えば、多価イソシアネートのポリイソシアネート化合物およびポリイソシアネート化合物の三量体、ポリイソシアネート化合物とポリオール化合物とを反応させて得られる末端イソシアネート化合物の三量体または末端イソシアネートウレタンプレポリマーをフェノール、オキシム類などで封鎖したブロック化ポリイソシアネート化合物などが挙げられる。これらの中でも、適度な架橋ネットワークを築くことができるという観点から、多価イソシアネートを用いることが好ましい。これは、架橋させることにより、粘着層の凝集力が高くなり、被着体への糊残りを抑制することができるからである。 Although it does not specifically limit as said isocyanate type crosslinking agent, For example, the trimer of the terminal isocyanate compound obtained by making the polyisocyanate compound of polyisocyanate, the trimer of a polyisocyanate compound, and making a polyisocyanate compound and a polyol compound react. Or the blocked polyisocyanate compound which blocked the terminal isocyanate urethane prepolymer with phenol, oximes, etc. are mentioned. Among these, it is preferable to use a polyvalent isocyanate from the viewpoint that an appropriate crosslinked network can be formed. This is because the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive layer is increased and the adhesive residue on the adherend can be suppressed by crosslinking.
前記多価イソシアネートとして、例えば、2,4−トリレンジイソシアネート、2,6−トリレンジイソシアネート、1,3−キシリレンジイソシアネート、1,4−キシレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4’−ジイソシアネート、ジフェニルメタン−2,4’−ジイソシアネート、3−メチルジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−4,4’−ジイソシアネート、ジシクロヘキシルメタン−2,4’−ジイソシアネート等が用いられる。これらの中でも2,4−トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−4,4’−ジイソシアネート及びヘキサメチレンジイソシアネートを含む群より選択される少なくとも1種の多価イソシアネートが挙げられる。 Examples of the polyvalent isocyanate include 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, 1,3-xylylene diisocyanate, 1,4-xylene diisocyanate, diphenylmethane-4,4′-diisocyanate, diphenylmethane- 2,4′-diisocyanate, 3-methyldiphenylmethane diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, dicyclohexylmethane-4,4′-diisocyanate, dicyclohexylmethane-2,4′-diisocyanate and the like are used. Among these, at least one polyisocyanate selected from the group comprising 2,4-tolylene diisocyanate, diphenylmethane-4,4'-diisocyanate and hexamethylene diisocyanate can be mentioned.
前記粘着層300は、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して、3重量部以上、14重量部以下の架橋剤を含有することが好ましく、4重量部以上、10重量部以下の架橋剤を含有することがより好ましく、5重量部以上、7重量部以下の架橋剤を含有することがさらに好ましい。架橋剤が前記範囲内で含有されていることにより、本発明に係る半導体ウエハ等加工用粘着テープは、テープ剥離後の被着体の表面に残る粘着剤の量を十分に低減させることができ、かつ、被着体に対してより良好な粘着力を有するものとなる。さらに、本発明に係る半導体ウエハ等加工用粘着テープは、より良好なピックアップ性を有するものとなる。
The
(3)帯電防止剤
帯電防止剤として、特に限定されないが、例えば、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤、両イオン性界面活性剤などの界面活性剤が用いられる。また、温度依存性を示さない帯電防止剤として、例えば、カーボンブラック、銀、ニッケル、アンチモンドープスズ酸化物、スズドープインジウム酸化物などの粉体が用いられる。
(3) Antistatic agent Although it does not specifically limit as an antistatic agent, Surfactants, such as anionic surfactant, a cationic surfactant, a nonionic surfactant, an amphoteric surfactant, are used, for example. It is done. In addition, as an antistatic agent that does not exhibit temperature dependence, for example, powders such as carbon black, silver, nickel, antimony-doped tin oxide, and tin-doped indium oxide are used.
(4)粘着付与剤
粘着付与剤として、特に限定されないが、例えば、ロジン樹脂、テルペン樹脂、クマロン樹脂、フェノール樹脂、スチレン樹脂、脂肪族系石油樹脂、芳香族系石油樹脂、脂肪族芳香族共重合系石油樹脂などが用いられる。
(4) Tackifier The tackifier is not particularly limited. For example, rosin resin, terpene resin, coumarone resin, phenol resin, styrene resin, aliphatic petroleum resin, aromatic petroleum resin, aliphatic aromatic copolymer Polymerized petroleum resin or the like is used.
前記粘着テープの他の用途としては、ダイシングテープ以外に、バックグラインドテープ、プリント基板保護テープなどのエレクトロニクス用途、窓ガラス保護用フィルム、装飾用マーキングフィルム、医療、衛生用薬剤の基材などが挙げられる。 Other uses for the adhesive tape include dicing tape, electronics for backgrind tape and printed circuit board protection tape, window glass protection film, decorative marking film, medical and sanitary medicine base materials, etc. It is done.
<粘着テープの使用方法>
粘着テープ100の使用方法は、公知の方法を用いることができる。例えば、粘着テープ100を被着体である半導体ウエハ等に貼り付けて固定した後、回転丸刃で半導体デバイスを素子小片ごとに切断する。切断後、粘着テープ100の基材層200側から紫外線を照射する。照射後、専用治具を用いて粘着テープ100を放射状に拡張してチップ間を一定間隔に広げた後、半導体デバイスをニードル等で突き上げる。突き上げられた半導体デバイスは、真空コレットまたはエアピンセットによる吸着などでピックアップされた後、マウンティングされるか、またはトレイに収納される。
<How to use adhesive tape>
As a method of using the
次に、本発明の粘着テープ100に係る実施例1〜7と、比較例1〜5とについて説明する。なお、実施例によって本発明は何ら限定されるものではない。
Next, Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 5 according to the
(実施例1)
<ダイシングテープの作製>
基材層200を構成する材料として、ポリプロピレン60重量部、一般式(1)で示されるポリスチレンセグメントと一般式(2)で示されるビニルポリイソプレンセグメントとから成るブロック共重合体40重量部を準備した。
Example 1
<Production of dicing tape>
As a material constituting the
(式(1)中、nは2以上の整数)
(In formula (1), n is an integer of 2 or more)
(式(2)中、nは2以上の整数)
(In formula (2), n is an integer of 2 or more)
上記の基材層200を構成する材料を2軸混練機で混練した後、混練したものを押出し機で押し出して、厚み150μmの基材層200を作製した。
After the material constituting the
粘着層300のカルボキシル基含有ポリマーとして、カルボキシル基含有アクリル系ポリマーを準備した。カルボキシル基含有アクリル系ポリマーは、ブチルアクリレート90重量%、およびアクリル酸10重量%を常法によりトルエン溶媒中にて溶液重合させたものである。このカルボキシル基含有アクリル系ポリマーは、重量平均分子量600,000の樹脂であり、エステル基の個数とカルボキシル基の個数との比(エステル基/カルボキシル基)が、90/10である。
As the carboxyl group-containing polymer of the
粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1400で、官能基数が9官能のウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、品名:UA−33H)カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して50重量部を準備した。重量平均分子量の測定は、20mgのウレタンアクリレートを6mlのテトラヒドロフラン(以下THF)に溶解しGPCの測定を行った。GPCの測定はWaters社製アライアンス(2695セパレーションズモデュール、2414リフラクティブインデックスディテクター、TSKゲルGMHHR−Lx2+TSKガードカラムHHR−Lx1、移動相:THF、1.0ml/分)を用い、カラム温度40.0℃、示差屈折率計内温度40.0℃、サンプル注入量100μlの条件で行った。また、放射線重合開始剤である2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノンを、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して3重量部準備した。架橋剤であるポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
As a curing component of the
上記の粘着層300のカルボキシル基含有ポリマー、ウレタンアクリレート、放射線重合開始剤、および架橋剤が配合された樹脂溶液を作製した。この樹脂溶液を、乾燥後の粘着層300の厚みが15μmになるようにして基材層200にバーコート塗工した後、80℃で5分間乾燥させて、所望の粘着テープ100を得た。
A resin solution in which the carboxyl group-containing polymer, urethane acrylate, radiation polymerization initiator, and crosslinking agent of the
<被着体への粘着に関する評価>
作製後23℃で7日間以上が経過した粘着テープ100を、被着体である半導体ウエハに貼着した。貼着後20分が経過した粘着テープ100の半導体ウエハ鏡面に対する粘着力を180°剥離試験により測定した。180°剥離試験は、万能試験機(株式会社エー・アンド・デイ製、品名:テンシロン)を用いて、環境温度:23℃、環境圧力:常圧、引張速度:300mm/minの条件下で行われた。そして、得られた粘着力チャートの平均値を粘着層300の粘着力(cN/25mm)とした。測定した粘着力が、1000cN/25mm以上のものを◎、500cN/25mm以上1000cN/25mm未満のものを○、500cN/25mm未満のものを×で評価した。
<Evaluation on adhesion to adherend>
After the production, the pressure-sensitive
上記の評価を行った結果、粘着力が1600cN/25mmであり、粘着テープ100の被着体への粘着に関する評価は◎であった(下記表1参照)。
As a result of the above evaluation, the adhesive strength was 1600 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the
<ピックアップ性の評価、および糊残りに関する評価>
粘着テープ100に半導体ウエハを、23℃の条件下で圧着して20分間放置後、10mm×10mmのサイズにダイシングした。ダイシング後、粘着テープ100に紫外線を照射し、真空吸着するコレットを用いてダイシングされた半導体ウエハの表面を吸着し、4mm間隔の4本のニードルを粘着テープ100の下から500μm突上げて、半導体ウエハを粘着テープ100からピックアップした。ダイシングされた半導体ウエハのうち、99%以上ピックアップできたものを◎、90%以上99%未満ピックアップできたものを○、それ以外のものを×で評価した。
<Evaluation of pick-up property and adhesive residue>
The semiconductor wafer was pressure-bonded to the
さらに、粘着テープ100を剥離した後の半導体ウエハの表面に粘着層300を構成する粘着剤の一部が残る、いわゆる糊残りが発生しているか否かについて評価を行った。具体的に、ダイシング後の半導体ウエハの粘着テープ100が貼着されていた面に残る糊残り、及び、粘着テープ100が貼着されていた面の逆の面、または側面に対してダイシング時に飛散した糊の付着を目視で観察した。半導体ウエハに糊残りおよび糊の付着が全く発生していないものを◎、糊残りおよび糊の付着している半導体ウエハが全体の5%以下であるものを○、半導体ウエハに糊残りおよび糊の付着が全体の5%を超えて発生しているものを×で評価した。
Further, an evaluation was made as to whether or not a so-called adhesive residue was generated in which a part of the adhesive constituting the
上記の評価を行った結果、ダイシングしたチップのうち99%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は◎であった。ダイシング後の半導体ウエハに糊残りおよび糊の付着が発生しておらず、糊残りに関する評価は◎であった(下記表1参照)。 As a result of the above evaluation, 99% of the diced chips could be picked up, and the pickup property was evaluated as “あ っ た”. No adhesive residue or adhesive adhesion was generated on the semiconductor wafer after dicing, and the evaluation regarding the adhesive residue was ◎ (see Table 1 below).
(実施例2)
下記以外については実施例1と同様にして、粘着テープ100を得た。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1800で、官能基数が6官能のウレタンアクリレート(Miwon Specialty Chemical社製、品名:Miramer PU610)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して50重量部を準備した。また、架橋剤であるポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Example 2)
The
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本実施例に係る粘着力が1400cN/25mmであり、粘着テープ100の被着体への粘着に関する評価は◎であった。ダイシングしたチップのうち100%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は◎であった。ダイシングされた半導体ウエハに糊残りおよび糊の付着が発生しておらず、糊残りに関する評価は◎であった(下記表1参照)。
As a result, the adhesive strength according to this example was 1400 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the
(実施例3)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1400で、官能基数が9官能のウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、品名:UA−33H)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して30重量部準備した。また、架橋剤であるポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Example 3)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. As a curing component of the pressure-
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が2000cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は◎であった。ダイシングしたチップのうち96%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は○であった。ダイシングされた半導体ウエハに糊残りおよび糊の付着が発生しておらず、糊残りに関する評価は◎であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive strength according to this comparative example was 2000 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was ◎. Of the diced chips, 96% could be picked up, and the pickup property was evaluated as “good”. No residue or adhesion of glue occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the residue was ◎ (see Table 1 below).
(実施例4)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1400で、官能基数が9官能のウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、品名:UA−33H)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して70重量部準備した。また、架橋剤であるポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
Example 4
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. As a curing component of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が1200cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は◎であった。ダイシングしたチップのうち100%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は◎であった。ダイシングされた半導体ウエハに全体の2%糊残りおよび糊の付着が発生し、糊残りに関する評価は○であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive strength according to this comparative example was 1200 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was ◎. 100% of the diced chips could be picked up, and the evaluation of pick-up property was ◎. The entire 2% adhesive residue and adhesive adhesion occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the adhesive residue was ○ (see Table 1 below).
(実施例5)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1400で、官能基数が9官能のウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、品名:UA−33H)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して20重量部準備した。また、架橋剤であるポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Example 5)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. As a curing component of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が2200cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は◎であった。ダイシングしたチップのうち92%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は○であった。ダイシングされた半導体ウエハに糊残りおよび糊の付着が発生しておらず、糊残りに関する評価は◎であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive strength according to this comparative example was 2200 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was “◎”. Of the diced chips, 92% could be picked up, and the pickup property was evaluated as “good”. No residue or adhesion of glue occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the residue was ◎ (see Table 1 below).
(実施例6)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1400で、官能基数が9官能のウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、品名:UA−33H)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して20重量部を準備した。また、架橋剤であるポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Example 6)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. As a curing component of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が900cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は○であった。ダイシングしたチップのうち100%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は◎であった。ダイシングされた半導体ウエハに全体の5%糊残りおよび糊の付着が発生し、糊残りに関する評価は○であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive strength according to this comparative example was 900 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was “good”. 100% of the diced chips could be picked up, and the evaluation of pick-up property was ◎. As a result, 5% adhesive residue and adhesive adhesion occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the adhesive residue was ○ (see Table 1 below).
(実施例7)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300のカルボキシル基含有ポリマーの代わりに、実施例1と同様の方法で作成したカルボキシル含有ポリマー(エステル基の個数とカルボキシル基の個数との比98/2)を準備した。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1400で、官能基数が9官能のウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、品名:UA−33H)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して50重量部準備した。粘着層300の架橋剤として、ポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Example 7)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. Instead of the carboxyl group-containing polymer of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が800cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は○であった。ダイシングしたチップのうち95%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は○であった。ダイシングされた半導体ウエハに全体の3%糊残りおよび糊の付着が発生しており、糊残りに関する評価は○であった(下記表1参照)。
As a result, the adhesive strength according to this comparative example was 800 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was “good”. Of the diced chips, 95% could be picked up, and the pickup property was evaluated as “good”. The entire 3% adhesive residue and adhesive adhesion occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the adhesive residue was ○ (see Table 1 below).
(比較例1)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が467で、官能基数が4官能のウレタンアクリレート(日本化薬株式会社製、品名:Kayarad T−1420(T))をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して50重量部準備した。粘着層300の架橋剤として、ポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Comparative Example 1)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. As a curing component of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が1900cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は◎であった。ダイシングしたチップのうち67%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は×であった。ダイシングされた半導体ウエハに全体の16%糊残りおよび糊の付着が発生しており、糊残りに関する評価は×であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive strength according to this comparative example was 1900 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was ◎. Of the diced chips, 67% could be picked up, and the evaluation of pick-up property was x. The entire 16% adhesive residue and adhesive adhesion occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the adhesive residue was x (see Table 1 below).
(比較例2)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が20000で、官能基数が15官能のウレタンアクリレート(Miwon Specialty Chemical社製、品名:Miramer SC2152)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して50重量部準備した。粘着層300の架橋剤として、ポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Comparative Example 2)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. 50 parts by weight of urethane acrylate having a weight average molecular weight of 20000 and a functional group number of 15 (manufactured by Miwon Specialty Chemical, product name: Miramer SC2152) as a curing component of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が400cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は×であった。ダイシングしたチップのうち92%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は○であった。ダイシングされた半導体ウエハに糊残りおよび糊の付着が発生しておらず、糊残りに関する評価は◎であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive force according to this comparative example was 400 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was x. Of the diced chips, 92% could be picked up, and the pickup property was evaluated as “good”. No residue or adhesion of glue occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the residue was ◎ (see Table 1 below).
(比較例3)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が11000で、官能基数が3官能のウレタンアクリレート(Miwon Specialty Chemical社製、品名:Miramer PU320)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して50重量部準備した。粘着層300の架橋剤として、ポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Comparative Example 3)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. 50 parts by weight of urethane acrylate having a weight average molecular weight of 11,000 and a functional group number of 3 (manufactured by Miwon Specialty Chemical, product name: Miramer PU320) as a curing component of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が870cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は◎であった。ダイシングしたチップのうち73%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は×であった。ダイシングされた半導体ウエハに糊残りおよび糊の付着が発生しておらず、糊残りに関する評価は◎であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive strength according to this comparative example was 870 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was ◎. Of the diced chips, 73% could be picked up, and the evaluation of pick-up property was x. No residue or adhesion of glue occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the residue was ◎ (see Table 1 below).
(比較例4)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300のカルボキシル基含有ポリマーの代わりに、アクリル系ポリマー(綜研化学株式会社製、品名:SKダイン 1491H)を準備した。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1400で、官能基数が9官能のウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、品名:UA−33H)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して50重量部準備した。粘着層300の架橋剤として、ポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Comparative Example 4)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. Instead of the carboxyl group-containing polymer of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が400cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は×であった。ダイシングしたチップのうち100%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は◎であった。ダイシングされた半導体ウエハに全体の10%糊残りおよび糊の付着が発生しており、糊残りに関する評価は×であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive force according to this comparative example was 400 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was x. 100% of the diced chips could be picked up, and the evaluation of pick-up property was ◎. 10% adhesive residue and adhesive adhesion occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the adhesive residue was x (see Table 1 below).
(比較例5)
下記以外については実施例1と同様にして、ダイシングテープを得た。粘着層300のカルボキシル基含有ポリマーの代わりに、シリコン系ポリマー(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製、品名:TSE3221S)を準備した。粘着層300の硬化成分として、重量平均分子量が1400で、官能基数が9官能のウレタンアクリレート(新中村化学工業株式会社製、品名:UA−33H)をカルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して50重量部準備した。粘着層300の架橋剤として、ポリイソシアネート系架橋剤を、カルボキシル基含有ポリマー100重量部に対して5重量部準備した。
(Comparative Example 5)
A dicing tape was obtained in the same manner as Example 1 except for the following. Instead of the carboxyl group-containing polymer of the
この粘着テープ100について、実施例1と同様にして、被着体への粘着に関する評価、ピックアップ性の評価、糊残りに関する評価を行った。
About this
その結果、本比較例に係る粘着力が340cN/25mmであり、ダイシングテープの被着体への粘着に関する評価は×であった。ダイシングしたチップのうち95%がピックアップでき、ピックアップ性の評価は○であった。ダイシングされた半導体ウエハに全体の25%糊残りおよび糊の付着が発生しており、糊残りに関する評価は×であった(下記表1参照)。 As a result, the adhesive force according to this comparative example was 340 cN / 25 mm, and the evaluation regarding the adhesion of the dicing tape to the adherend was x. Of the diced chips, 95% could be picked up, and the pickup property was evaluated as “good”. The entire 25% adhesive residue and adhesive adhesion occurred on the diced semiconductor wafer, and the evaluation regarding the adhesive residue was x (see Table 1 below).
実施例1、2に係る粘着テープ100では、被着体への粘着に関する評価、糊残りに関する評価、ピックアップ性の評価が全て◎であった。また、実施例3、4に係る粘着テープ100では、◎が2つ、○が1つであり、実施例5、6に係る粘着テープ100では、◎が1つ、○が2つ、実施例7に係る粘着テープ100では、全て○であった。これに対して、比較例1〜5に係るダイシングテープでは、被着体への粘着に関する評価、糊残りに関する評価、ピックアップ性の評価のうちの少なくとも1つが×であった。
In the
本発明の半導体ウエハ等加工用粘着テープは、テープ剥離後の被着体の表面に残る粘着剤の量を低減させることができる半導体ウエハ等加工用粘着テープである。 The pressure-sensitive adhesive tape for processing a semiconductor wafer of the present invention is a pressure-sensitive adhesive tape for processing a semiconductor wafer or the like that can reduce the amount of the pressure-sensitive adhesive remaining on the surface of the adherend after peeling off the tape.
100 ダイシングテープ(半導体ウエハ等加工用粘着テープ)
200 基材層
300 粘着層
100 Dicing tape (adhesive tape for processing semiconductor wafers, etc.)
200
Claims (9)
前記粘着層は、カルボキシル基含有ポリマーと、放射線重合化合物とを含み、
前記放射線重合化合物は、重量平均分子量が500以上、3000以下であり、かつ官能基数が5官能基以上、15官能基以下であることを特徴とする半導体ウエハ等加工用粘着テープ。 A base material layer, and an adhesive layer formed on at least one surface of the base material layer,
The adhesive layer includes a carboxyl group-containing polymer and a radiation polymerization compound,
The radiation-polymerized compound has a weight average molecular weight of 500 or more and 3000 or less, and the number of functional groups is 5 or more and 15 or less.
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