JP2013140257A - シート貼合装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】プラスチックフィルムシートを、撓みやシワ、あるいは伸び縮みの無い状態で保持し、ディスプレイパネル上に正確に位置決めし、気泡やシワが入らずに美しく貼合することが可能なシート貼合装置を提供する。
【解決手段】ロール状で供されるプラスチックフィルム(フィルム)1に、適切な張力を与えた状態のまま、表面が曲面になっているロール状のサクションロール3の周面にてフィルム1を吸着し、吸着状態のままフィルム1を切り出し、吸着状態のままサクションロール3ごとフィルム1のディスプレイパネル7に対する位置合せを行い、フィルム1表面がディスプレイパネル7表面に沿うようにサクションロール3を回転させることで、気泡やシワが入らずにフィルム1がディスプレイパネル7に美しく貼合される。
【選択図】図1
【解決手段】ロール状で供されるプラスチックフィルム(フィルム)1に、適切な張力を与えた状態のまま、表面が曲面になっているロール状のサクションロール3の周面にてフィルム1を吸着し、吸着状態のままフィルム1を切り出し、吸着状態のままサクションロール3ごとフィルム1のディスプレイパネル7に対する位置合せを行い、フィルム1表面がディスプレイパネル7表面に沿うようにサクションロール3を回転させることで、気泡やシワが入らずにフィルム1がディスプレイパネル7に美しく貼合される。
【選択図】図1
Description
本発明は、平面パネル上に可撓性を持つシートを貼合する装置に関する。本発明の装置は、例えば液晶パネルやプラズマディスプレイパネルを製造する過程で使用される。
液晶パネルやプラズマディスプレイパネルなどのディスプレイ装置を製造する際に、ディスプレイパネル上に、各種の機能を持ったプラスチックフィルムシートを貼合する工程がある。プラスチックフィルムは薄いため、撓んだり、シワになるなど、簡単に変形する。撓みやシワを防ぐために張力を掛けると、掴んだ部分周辺で局所的な伸び縮みを起こす。特に、シート状に断裁された後のフィルムについては、均一な状態で張力を掛けることは困難である。
一方、ディスプレイ装置の高精彩化、高機能化のため、ディスプレイパネルに対するプラスチックフィルムの位置決め精度や貼り合わせ精度が重要になっている。製品によっては、数ミクロン前後の位置決め精度や貼り合わせ精度が要求されるものもある。しかし、均一な状態で保持することさえ難しいプラスチックフィルムを、ディスプレイパネルに正確に位置合せして貼合することは困難とされてきた。
そこで、プラスチックフィルムシートを、撓みやシワ、あるいは伸び縮みの無い状態で保持し、ディスプレイパネル上に正確に位置決めし、気泡やシワが入らずに美しく貼合することが重要となる。
2つのシートを貼り合わせる従来技術として、以下に説明するような貼合装置や貼合方法が考案されている。
下記特許文献1(特開2009−294551号公報)では、真空チャンバー内部に、ワークホルダー、およびワークホルダーを支持するテーブルと、テーブル側へ向かって突孤状に膨張変形できる金属製の貼合ダイヤフラム膜を設ける。真空チャンバー内の空気を真空源で排気し、作動流体により貼合ダイヤフラム膜を膨張させた状態でテーブルを駆動して、ワークに対して中央部分から周辺部へ向かって貼合する装置である。
下記特許文献1(特開2009−294551号公報)では、真空チャンバー内部に、ワークホルダー、およびワークホルダーを支持するテーブルと、テーブル側へ向かって突孤状に膨張変形できる金属製の貼合ダイヤフラム膜を設ける。真空チャンバー内の空気を真空源で排気し、作動流体により貼合ダイヤフラム膜を膨張させた状態でテーブルを駆動して、ワークに対して中央部分から周辺部へ向かって貼合する装置である。
特許文献1における方法では、ワークの位置決めとして、進出ないし退入自在に支持される金属製のボールと、ボールを進出付勢するばねを含んだワーク保持構造により、四辺からばねの反力により押さえつける構造となっている。しかし、フィルムのように薄く、小さな力でも変形してしまうワークに対し、この位置決め方法では期待する効果を得られない。また、たとえ剛性の高いワークであったとしても、ミクロンオーダーで位置決め精度を出すことは困難である。
下記特許文献2(特開2010−94910号公報)では、第1貼合台は、真空チャンバーとシルクスクリーンとを有し、シルクスクリーンの外面にワークを支持する載置ベースを配置する。真空チャンバーの内部には、載置ベースを押圧操作するローラーを設ける。載置ベースは、通気可能な一群の硬質シートを積層し、積層された硬質シートの押圧始端側の端面を固定して構成する。以上の構成をもって、載置ベースをローラーに追随して局部的に湾曲変形させながらワークを貼合する。
特許文献2における方法では、ワークは真空チャンバーの開口面を覆うシルクスクリーンの外面に設けられた載置ベースに配置され、真空圧を作用させて吸着保持される。しかし、フィルムのように薄く、小さな力でも変形してしまうワークに対し、シワや局所的な伸び縮みが無い状態で載置ベース上に配置することは困難である。また、特許文献2における方法では、ワークの位置決めは、載置ベースの位置に依存しており、載置ベースは位置決め枠により位置決めされている。しかし、位置決め枠による位置決めでは、ディスプレイパネル上にフィルムを正確にミクロンオーダーで位置決めすることは困難である。
下記特許文献3(特開2008−15041号公報)における方法では、カラーフィルタ基板が連続して形成されたウェブフィルムをフィルム支持部材により支持し、一枚のTFTアレイ基板が形成されたシートをフィルム支持部材上のウェブフィルムと対向するように保持する。ウェブフィルムとシートとの間にはシール剤を供給する。シート保持部材をフィルム支持部材に接近させてシート保持部材に保持されたシートをウェブフィルムに重ね合わせ、シール剤に固定作用を生じさせる。
特許文献3における方法では、フィルムはウェブ状の連続体となっており、均一に張力を掛けることができ、不均一な伸び縮みやシワを防ぐには良好な方法となっている。フィルムが連続体であるために、前後に位置する基板同士の位置合せに影響を及ぼさないよう、貼合部の前後でフィルムをニップロールに保持し、張力状態が前後のフィルムに影響が及ばないようになっている。しかし、ニップされた部分のフィルムはキズが入ったり、フィルム上に構成された機能部が損傷することが考えられ、ニップ部分は製品として使用することが出来ず、部材使用効率が悪い。ディスプレイ装置で使用されるフィルムは光学的に透明で、複屈折の小さな材料が選択されるが、これらのフィルムは高価であるため、部材使用効率が悪いことは製造コストに大きく影響する。
本発明は、掛かる問題に鑑みてなされたものであり、フィルムのディスプレイパネルに対する位置合せを正確に行い、曲面がディスプレイパネルに沿うように駆動され、気泡やシワが入らずに美しく貼合することが可能なシート貼合装置を提供する。
請求項1記載のシート貼合装置では、ロール状で供されるプラスチックフィルム原反を巻出す巻出手段と、適切な張力を与えた状態のままプラスチックフィルムを吸着する、表面が曲面の吸着保持部材と、前記吸着保持部材への吸着状態のままフィルムを切り出すフィルム切断手段と、プラスチックフィルムに対向してディスプレイパネルを保持するパネル保持部材と、前記吸着保持部材への吸着状態のままフィルムを前記ディスプレイパネルに対し位置合せするアライメント手段と、吸着保持部材の曲面がディスプレイパネルに沿うように吸着保持部材を駆動する駆動手段と、重ねあわされた前記プラスチックフィルムとディスプレイパネルに固定作用を生じさせる固定作用付与手段と、を備えることにより、上述した課題を解決する。
本発明のシート貼合装置によれば、プラスチックフィルムに適切な張力を与えた状態のまま吸着保持部材にて吸着し、吸着状態のままフィルムを切り出すことで、プラスチックフィルムに発生する不均一な伸び縮みや、シワの影響を排した状態でハンドリングすることが可能となる。さらに、フィルムを吸着した状態で、対向して保持されるディスプレイパネルに対し位置合せの調整を行うことで、正確にアライメントをすることができる。その後、貼り合わせに際しては、フィルム吸着保持部材の表面が曲面になっているため、ディスプレイパネルに沿わせて吸着保持部材の表面を走らせることで、貼り合わせ部分に発生するシワや気泡を抜きながら貼り合せることができる。重ねあわされたプラスチックフィルムとディスプレイパネルは固定作用付与手段により完全に固定され、以上にて貼り合わせが完了する。
請求項2記載のシート貼合装置では、吸着保持部材の形状が、ロール形状をしていることを特徴とする。ロール形状の吸着保持部材は、サクションロールとして一般的な部品を使用することが可能であり、装置コストを下げることが可能である。
請求項3記載のシート貼合装置では、吸着保持部材の形状が、一部曲面を持った部材であり、曲面の部分で吸着保持することを特徴とする。吸着するプラスチックフィルムのサイズが大きくなった場合には、大きな径のサクショロールを使用するよりもコストを下げることが可能となる。
請求項4記載のシート貼合装置では、吸着保持部材の表面材質が、吸着孔を多数加工したゴム材質であることを特徴とする。ゴム材質が弾性を持って接触するため、フィルムに対するキズを与えることが無い。
請求項5記載のシート貼合装置では、吸着保持部材の表面材質が、金属サクションメッシュであることを特徴とする。金属サクションメッシュはエッチングやレーザー穿孔などの加工法により製作され、摩耗粉の心配がなく、また、長期に渡る使用でも摩耗の影響を極小にできる。
請求項6記載のシート貼合装置では、重ねあわされた前記プラスチックフィルムとディスプレイパネルの間に固定作用を付与する固定作用付与手段として、感圧性硬化樹脂を用いることを特徴とする。受圧により硬化が開始するため、貼り合わせ時の圧力に感度を調整することで、貼りあわせた部分から硬化が開始し、効率的に貼り合わせを行うことができる。
請求項7記載のシート貼合装置では、重ねあわされた前記プラスチックフィルムとディスプレイパネルの間に固定作用を付与する固定作用付与手段として、紫外線照射により硬化される紫外線硬化樹脂を用いることを特徴とする。紫外線を照射した範囲のみ固定することが可能なため、工程組立の柔軟性を向上できる。例えば、一部範囲を先に仮固定し、その状態でアライメント確認の検査を行い、後工程で完全固定させることで、位置精度に問題のあった場合にはやり直すことが可能となる。
請求項8記載のシート貼合装置では、少なくとも、プラスチックフィルムのディスプレイパネルに対する重ね合わせが、内部で行われる真空チャンバーをさらに備えることを特徴とする。真空チャンバー内で貼り合せることで、気泡の発生が抑制され、貼り合わせ速度を向上させることができる。
本発明は以上の構成であるから、下記に示す如き効果がある。
即ち、本発明においては、プラスチックフィルムに適切な張力を与えた状態のまま吸着保持部材にて吸着し、吸着状態のままフィルムを切り出すことで、プラスチックフィルムに発生する不均一な伸び縮みや、シワの影響を排した状態でハンドリングすることが可能となる。さらに、フィルムを吸着した状態で、対向して保持されるディスプレイパネルに対し位置合せの調整を行うことで、正確にアライメントをすることができる。その後、貼り合わせに際しては、フィルム吸着保持部材の表面が曲面になっているため、ディスプレイパネルに沿わせて吸着保持部材の表面を走らせることで、貼り合わせ部分に発生するシワや気泡を抜きながら貼り合せることができる。重ねあわされたプラスチックフィルムとディスプレイパネルは固定作用付与手段により完全に固定させることができる。
即ち、本発明においては、プラスチックフィルムに適切な張力を与えた状態のまま吸着保持部材にて吸着し、吸着状態のままフィルムを切り出すことで、プラスチックフィルムに発生する不均一な伸び縮みや、シワの影響を排した状態でハンドリングすることが可能となる。さらに、フィルムを吸着した状態で、対向して保持されるディスプレイパネルに対し位置合せの調整を行うことで、正確にアライメントをすることができる。その後、貼り合わせに際しては、フィルム吸着保持部材の表面が曲面になっているため、ディスプレイパネルに沿わせて吸着保持部材の表面を走らせることで、貼り合わせ部分に発生するシワや気泡を抜きながら貼り合せることができる。重ねあわされたプラスチックフィルムとディスプレイパネルは固定作用付与手段により完全に固定させることができる。
以下、本発明の具体例を実施例及び添付の図面を用いて詳細に説明する。但し、以下に示す実施例は、本発明による貼合装置を例示するものであり、本発明を実施例に特定することを意図するものではない。
図1は、本発明の一実施形態に係るシート貼合装置の一例を示す。図1において、1はロール状で供されるプラスチックフィルム、2はチャッキングユニット、3はフィルム吸着保持ユニットとしてのサクションロール、4は切断時にフィルムが暴れるのを防ぐためのサクションロール、5はフィルム切断手段としてのカッター刃、6はX−Y−θステージ6aを有するディスプレイパネル保持ユニット、7はディスプレイパネル、8は紫外線硬化樹脂、9はアライメント用カメラ、10は紫外線照射装置である。
ロール状で供されるプラスチックフィルム1は、巻出部1aに掛けられ、図2記載のように、全幅チャッキングユニット2により、始端部をチャッキングされ、張力付与手段としてのアクチュエータ2aによりチャッキングユニット2を移動させることで、プラスチックフィルム1が所定のメーター数を巻き出される。プラスチックフィルム(以下、「フィルム」と略記する。)1は、チャッキングユニット2のアクチュエータ2aと、巻出部1aの駆動モータ1bにより適切な張力が与えられる。この駆動モータ1bを有する巻出部1aが、請求項中の巻出手段を構成している。また、駆動モータ1bが請求項中の駆動手段を構成している。その後、図3記載のように、フィルム1に張力を持たせた状態で、フィルム上部に設置されたサクションロール3(吸着保持ユニット)が下降する。このとき、巻出部1aおよびチャッキングユニット2は張力制御され、張力が維持されたまま、サクションロール3の下降に伴うパス長増加分だけ、駆動モータ1bにより巻出部1aからフィルム1が巻き出される。
サクションロール3が下降し、その周面の一部にフィルム1が巻き付けられた状態で、サクションロール3は吸引を開始する。図4に拡大して示すように、サクションロール3の周面には多数の吸着孔3aが形成されている。この吸着孔3aは、サクションロール3の周面に巻き付けたフィルム1を吸着するサクションエアの吸入孔であり、不図示のサクションポンプと連通している。このような吸着孔3aを周面に多数設ける構成とするために、サクションロール3の周面(表面)は、吸着孔3aとし得る多数の貫通孔を有するゴム材質や金属メッシュ(金属サクションメッシュ)で構成することができる。サクションロール3が吸引を開始すると、図3に示すように、フィルム1がサクションロール3に吸着される。張力が維持された状態で吸着されるため、不均一な伸び縮みや、シワの発生が無い状態で、フィルム1を保持することができる。フィルム1が吸着保持されたら、前後のサクションロール4,4によりサクションロール3の前後のフィルム1を吸引させ、巻出部1aの駆動モータ1bおよびチャッキングユニット2はフィルム1の張力制御を解除し、カッター刃5,5(フィルム切断手段)により、フィルム1を切り出す。切り出す方法は、公知の技術を利用することができる。本実施例においては、フィルム1に対してサクションロール3の回転軸方向(フィルム1の幅方向)にカッター刃5,5を走査させてフィルム1を切断する、トラバースカット方式を採用している。
フィルム1の切り出し後、フィルム1を吸着したままで、サクションロール3は対向するディスプレイパネル7に向けて下降、接近した後、ディスプレイパネル7とフィルム1との位置合せを行う。この様子を図5に記載する。本実施例では、吸着保持ユニットはサクションロール3になっているため、フィルム1の貼り付け始端がディスプレイパネル7の始端と対向する位置までサクションロール3を回転させた後、ディスプレイパネル7にサクションロール3を接近させる。サクションロール3に保持されているフィルム1の表面と、ディスプレイパネル7とのクリアランスは、100μm程度である。ディスプレイパネル7は最表面に紫外線硬化樹脂8が塗布された状態で、X−Y−θステージ6a上に固定された多孔質吸着プレート6b上に保持されており、多孔質プレート6bの下にはアライメント用のカメラ9が設置されている。なお、本実施例では固定作用付与手段として紫外線硬化樹脂8を用いているが、感圧性硬化樹脂であってもよく、単純に粘着剤であっても良い。アライメント用カメラ9は、多孔質吸着プレート6bに空けられた観察孔(図示省略)から、ディスプレイパネル7を透過してフィルム1の不図示のアライメントマークを読み取り、その情報に基づいてX−Y−θステージ6aがサーボモータ6c,6dによって駆動される。このとき、カメラ9はアライメントマークではなく、フィルム1上に形成された不図示のパターンを直接読み込んで位置合せを行っても良い。
位置合せ完了後、サクションロール3は吸着しているフィルム1の表面がディスプレイパネル7に接触する距離まで接近し、貼り合せを開始する。貼り合わせの際にはディスプレイパネル7に表面(周面)を沿わせてサクションロール3を回転させ、かつディスプレイパネル7もサクションロール3の回転に合わせて前進させることで、貼り合わせ部分に発生するシワや気泡を抜きながら貼り合せることができる。なお、貼り合わせが完了した範囲のサクションロール3の吸引孔は、サクションロール3の回転に伴って塞がれていくようになっており、貼り合わされたフィルム1がディスプレイパネル7から再度引き剥がされることは無い。貼り合わせ完了時の様子を図6に記載する。
図7記載のように、貼り合わせ完了後、ディスプレイパネル7全面に紫外線照射装置10から紫外線11を照射し、フィルム1とディスプレイパネル7を完全に固定することで、貼り合わせ工程が完了する。
なお、上述した実施形態では、吸着保持手段がロール形状のサクションロール3である場合について説明した。しかし、例えば図8に示すように、図4乃至図5に示す手順でディスプレイパネル7に貼り合わせるフィルム1を吸着する部分が曲面12aであり、その他の部分は平面12bで構成された部材12で、吸着保持部材を構成してもよい。これにより、サクションロール3よりも小型の部材でフィルム1の吸着とディスプレイパネル7へのアライメント及び貼り合わせを行うことができる。
また、図1〜図6(図4を除く)を参照して説明した、フィルム1をディスプレイパネル7に貼り合わせるための手順を、例えば図6に示すような真空チャンバ13内で行うように、シート貼合装置を構成してもよい。これにより、フィルム1とディスプレイパネル7との間での気泡の発生が抑制され、貼り合わせ速度を向上させることができる。
本発明は、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルを製造する過程における、平面パネル上に可撓性を持つシートを貼合する装置に用いて好適である。
1・・・ロール状で供されるプラスチックフィルム
2・・・チャッキングユニット
2a・・・アクチュエータ
3・・・フィルム吸着保持ユニットとしてのサクションロール
3a・・・吸着孔
4・・・サクションロール
5・・・カッター刃
6・・・ディスプレイパネル保持ユニット
6a・・・X−Y−θステージ
6b・・・多孔質吸着プレート
6c,6d・・・サーボモータ
7・・・ディスプレイパネル
8・・・紫外線硬化樹脂
9・・・アライメント用カメラ
10・・紫外線照射装置
11・・・紫外線
12・・・吸着保持部材
12a・・・曲面
12b・・・平面
2・・・チャッキングユニット
2a・・・アクチュエータ
3・・・フィルム吸着保持ユニットとしてのサクションロール
3a・・・吸着孔
4・・・サクションロール
5・・・カッター刃
6・・・ディスプレイパネル保持ユニット
6a・・・X−Y−θステージ
6b・・・多孔質吸着プレート
6c,6d・・・サーボモータ
7・・・ディスプレイパネル
8・・・紫外線硬化樹脂
9・・・アライメント用カメラ
10・・紫外線照射装置
11・・・紫外線
12・・・吸着保持部材
12a・・・曲面
12b・・・平面
Claims (8)
- ロール状で供されるプラスチックフィルム原反を巻出す巻出手段と、
前記巻出手段が巻出したプラスチックフィルムを吸着する、表面が曲面の吸着保持部材と、
前記巻出手段が巻出したプラスチックフィルムに一定の張力を付与する張力付与手段と、
プラスチックフィルムに対向してディスプレイパネルを保持するパネル保持部材と、
前記吸着保持部材への吸着状態のままフィルムを切り出すフィルム切断手段と、
前記吸着保持部材への吸着状態のままフィルムを前記ディスプレイパネルに対し位置合せするアライメント手段と、
前記吸着保持部材の曲面がディスプレイパネルに沿うように前記吸着保持部材を駆動する駆動手段と、
を備えたことを特徴とするシート貼合装置。 - 前記吸着保持部材の形状が、ロール形状をしていることを特徴とする、請求項1記載のシート貼合装置。
- 前記吸着保持部材の形状が、一部曲面を持った部材であり、曲面の部分で吸着保持することを特徴とする、請求項1記載のシート貼合装置。
- 前記吸着保持部材の表面材質が、吸着孔を多数加工したゴム材質であることを特徴とする、請求項1乃至3に何れか1項記載のシート貼合装置。
- 前記吸着保持部材の表面材質が、金属サクションメッシュであることを特徴とする、請求項1乃至3に何れか1項記載のシート貼合装置。
- 重ねあわされた前記プラスチックフィルムとディスプレイパネルの間に固定作用を付与する固定作用付与手段として、感圧性硬化樹脂を用いることを特徴とする、請求項1乃至5に何れか1項記載のシート貼合装置。
- 重ねあわされた前記プラスチックフィルムとディスプレイパネルの間に固定作用を付与する固定作用付与手段として、紫外線照射により硬化される紫外線硬化樹脂を用いることを特徴とする、請求項1乃至5に何れか1項記載のシート貼合装置。
- 少なくとも、前記プラスチックフィルムの前記ディスプレイパネルに対する重ね合わせが、内部で行われる真空チャンバーをさらに備えることを特徴とする、請求項1乃至7に何れか1項記載のシート貼合装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2015029998A1 (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | 住友化学株式会社 | フィルム貼合装置、光学表示デバイスの生産システム及び光学表示デバイスの生産方法 |
WO2015030113A1 (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | 住友化学株式会社 | フィルム貼合装置、光学表示デバイスの生産システム及び光学表示デバイスの生産方法 |
CN110001177A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性膜层的贴合装置及贴合方法 |
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2012
- 2012-01-05 JP JP2012000327A patent/JP2013140257A/ja active Pending
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WO2015030113A1 (ja) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | 住友化学株式会社 | フィルム貼合装置、光学表示デバイスの生産システム及び光学表示デバイスの生産方法 |
CN110001177A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-07-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 柔性膜层的贴合装置及贴合方法 |
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