JP2013135224A - 発光素子 - Google Patents

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Abstract

【課題】光抽出効率が向上した発光素子を提供する。
【解決手段】発光素子は、少なくとも第1導電型半導体層13、活性層15、及び第2導電型半導体層17を含む発光構造物19と、発光構造物の上に光抽出構造物27を含む。光抽出構造物は、金属層23a、23bと誘電層25が積層により形成され、負の屈折率を有するように互いに交互に積層された多数の金属と多数の誘電層とを含むため、光が内部に反射されず、外部に反射されるように光抽出効率を極大化することができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、発光素子に関するものである。
発光ダイオード(Light-Emitting Diode:LED)は、電流を光に変換させる半導体発光素子である。
半導体発光素子は、高輝度を有する光を得ることができるので、ディスプレイ用光源、自動車用光源、及び照明用光源に幅広く使われている。
しかしながら、半導体発光素子の特性上、半導体発光素子の内部の光が外部に容易に抽出されず、光抽出効率が低いという問題がある。
併せて、半導体発光素子は均一な光効率の確保が困難であるという問題がある。
本発明の目的は、光抽出効率が向上した発光素子を提供することにある。
本発明の他の目的は、均一な光効率を得ることができる発光素子を提供することにある。
本発明の一態様に係る発光素子は、多数の化合物半導体層を含む発光構造物、及び上記発光構造物の上に光抽出構造物を含む。上記光抽出構造物は負の屈折率を有するように互いに交互に積層された多数の第1層と多数の第2層とを含む。
本発明によれば、光抽出効率が向上した発光素子が得られる。
本発明の第1実施形態に従う水平型発光素子を示す断面図である。 図1の光抽出構造物を示す図である。 屈折率に従って光の進行形態を示す図である。 屈折率に従って光の進行形態を示す図である。 光進行メカニズムを説明するグラフである。 光進行メカニズムを説明するグラフである。 光進行メカニズムを説明するグラフである。 図1の更に他の光抽出構造物を示す図である。 本発明の第2実施形態に従うフリップ型発光素子を示す図である。 本発明の第3実施形態に従う垂直型発光素子を示す図である。 本発明の第4実施形態に従う水平型発光素子を示す断面図である。 図8の光抽出構造物を示す図である。 光進行と電流スプレッディングを示す図である。 本発明の第5実施形態に従う水平型発光素子を示す図である。 図11の光抽出構造物を示す図である。 光進行と電流スプレッディングを示す図である。 本発明の第6実施形態に従う垂直型発光素子を示す断面図である。 本発明の実施形態に従う表示装置の分解斜視図である。 本発明の実施形態に従う表示装置を示す図である。 本発明の実施形態に従う照明装置の斜視図である。
本発明を説明するに当たって、各層(膜)、領域、パターン、または構造物が、基板、各層(膜)、領域、パッド、またはパターンの“上(on)”に、または“下(under)”に形成されることと記載される場合において、“上(on)”と“下(under)”は、“直接(directly)”または“他の層を介して(indirectly)”形成されることを全て含む。また、各層の上または下に対する基準は、図面を基準として説明する。
以下、添付された図面を参照して実施形態を説明する。図面において、各層の厚さやサイズは説明の便宜及び明確性のために誇張、省略、または概略的に示されている。また、各構成要素のサイズは実際のサイズを必ずしも完全に反映するものではない。
図1は、本発明の第1実施形態に従う水平型発光素子を示す断面図である。
図1を参照すると、第1実施形態に従う水平型発光素子10は、基板11、発光構造物19、光抽出構造物27、並びに、第1及び第2電極31、33を含む。
第1実施形態に従う発光素子10は、上記発光構造物19と上記光抽出構造物27との間に配置された透明導電層21をさらに含むことができるが、これに対して限定するものではない。
上記発光構造物19は、多数の化合物半導体層を含むことができる。上記化合物半導体層は、少なくとも第1導電型半導体層13、活性層15、及び第2導電型半導体層17を含むことができるが、これに対して限定するものではない。
上記発光素子10は、上記基板11と上記第1導電型半導体層13との間の格子定数差による格子不整合を緩和させるために、上記基板11と上記第1導電型半導体層13との間に配置されたバッファ層をさらに含むことができるが、これに対して限定するものではない。
上記バッファ層によれば、上記基板11の上に形成された上記発光構造物19に、欠陥、例えばクラック(cracks)、ボイド(void)、グレーン(grain)、及び屈曲(bowing)の発生が抑えられる。
図示してはいないが、上記バッファ層と上記第1導電型半導体層13との間にドーパント(dopant)を含まない非導電型半導体層がさらに含まれることができるが、これに対して限定するものではない。
上記バッファ層、上記第1導電型半導体層13、活性層15、及び第2導電型半導体層17は、II−VI族またはIII−V族化合物半導体材質で形成されるが、これに対して限定するものではない。
上記化合物半導体材質には窒化物系列の物質が使われるが、これに対して限定するものではない。
例えば、上記化合物半導体層は、窒化物物質とAl、In、及びGaのうち、少なくとも1つの物質を含むことができる。
上記基板11は熱伝導性及び/または透過度に優れる材質で形成されるが、これに対して限定するものではない。例えば、上記基板11はサファイア(Al)、SiC、Si、GaAs、GaN、ZnO、GaP、InP、及びGeからなるグループから選択された少なくとも1つで形成されるが、これに対して限定するものではない。
上記基板11または上記バッファ層の上に上記第1導電型半導体層13が形成される。
上記第1導電型半導体層13は、例えば、n型ドーパントを含むn型半導体層であることがあるが、これに対して限定するものではない。上記第1導電型半導体層13は、例えばAlGaNまたはGaNを含むことができるが、これに対して限定するものではない。上記n型ドーパントは、Si、Ge、またはSnを含むことができるが、これに対して限定するものではない。
上記第1導電型半導体層13は第1キャリア、例えば電子(electrons)を上記活性層15に供給するための導電層としての役割をし、上記活性層15の第2キャリア、例えば正孔(holes)が上記バッファ層に越えないようにする障壁層としての役割をすることができる。
上記第1導電型半導体層13に高濃度(high concentration)のドーパントがドーピングされることで、第1導電型半導体層13は、電子が自由に移動できる導電層としての役割をすることができる。
上記第1導電型半導体層13は、上記活性層15と等しいか大きいバンドギャップを有する化合物半導体材質で形成することによって、活性層15の正孔がバッファ層に越えないようにする障壁層としての役割をすることができる。
上記第1導電型半導体層13の下に上記活性層15が形成される。
上記活性層15は、例えば上記第1導電型半導体層13から供給された電子と上記第2導電型半導体層17から供給された正孔とを再結合させて紫外線光を発光させることができる。紫外線光の生成のために、上記活性層15は少なくともワイドバンドギャップを有しなければならない。
上記活性層15は、単一量子井戸構造(SQW)、多重量子井戸構造(MQW)、量子点構造、及び量子線構造のうち、いずれか1つを含むことができる。
上記活性層15は、GaN、InGaN、AlGaN、及びAlInGaNから選択された1つまたはこれらの周期的な反復により形成される。
実施形態の活性層15は365nm乃至488nm波長の紫外線光を生成することができるが、これに対して限定するものではない。
例えば、上記活性層15は、365nm波長の光、405nm波長の光、及び488nm波長の光のうち、いずれか1つの紫外線光を生成することができる。
上記活性層15の上に上記第2導電型半導体層17が形成される。上記第2導電型半導体層17は、例えばp型ドーパントを含むp型半導体層であることがあるが、これに対して限定するものではない。上記第2導電型半導体層17は、例えばAlGaNまたはGaNであることがあるが、これに対して限定するものではない。上記p型ドーパントは、Mg、Zn、Ca、Sr、またはBaを含むことができるが、これに対して限定するものではない。
上記第2導電型半導体層17は正孔を上記活性層15に供給するための導電層としての役割をすることができる。
上記第2導電型半導体層17に高濃度のドーパントがドーピングされることで、正孔が自由に移動できる導電層としての役割をすることができる。
上記第2導電型半導体層17は、例えばAlGaNまたはGaNを含むことができるが、これに対して限定するものではない。
上記活性層15の電子が上記第2導電型半導体層17に越えないようにするために、上記活性層15と上記第2導電型半導体層17との間に第3導電型半導体層が形成されるが、これに対して限定するものではない。
より詳しくは、活性層15の電子が上記第2導電型半導体層17に越えないようにするために、上記活性層15と上記第2導電型半導体層17または上記第3導電型半導体層との間に電子遮断層が形成されるが、これに対して限定するものではない。
例えば、上記第3導電型半導体層及び上記電子遮断層はAlGaNで形成されるが、これに対して限定するものではない。
例えば、上記電子遮断層は少なくとも上記第2導電型半導体層または上記第3導電型半導体層より大きいエネルギーバンドギャップを有することができるが、これに対して限定するものではない。
例えば、上記第3導電型半導体層及び上記電子遮断層がAlGaNで形成される場合、上記電子遮断層が上記第3導電型半導体層より大きいバンドギャップを有するようにするために、上記電子遮断層が上記第3導電型半導体層より高いAl含量を有することができるが、これに対して限定するものではない。
上記第2導電型半導体層17の上には透明導電層21が形成される。上記透明導電層21は電源を上記第2導電型半導体層17のより広い領域に供給するスプレッディング効果を得るために導電層としての役割をすることができる。また、上記透明導電層21は、光を外部に出射されるようにするために、透明な材質で形成される。
上記透明導電層21は、ITO、IZO(In−ZnO)、GZO(Ga−ZnO)、AZO(Al−ZnO)、AGZO(Al−Ga ZnO)、IGZO(In−Ga ZnO)、IrOx、RuOx、RuOx/ITO、Ni/IrOx/Au、及びNi/IrOx/Au/ITOからなるグループから選択された少なくとも1つを含むことができるが、これに対して限定するものではない。
上記透明導電層21の上に光抽出構造物27が形成される。
上記光抽出構造物27は、光が発光素子10の内部に留まらず、外部に出射されるようにして、光抽出効率を向上させる役割をすることができる。
上記活性層15で生成された光は四方に進行できる。一部の光は上記第1導電型半導体層13を経由して上記基板11に進行され、他の一部の光は上記第2導電型半導体層17を経由して透明導電層21に進行できる。
上記発光構造物19は、外部の空気より高い屈折率、例えば、2乃至4の屈折率を有することができる。したがって、上記第2導電型半導体層17または上記透明導電層21に進行した光は、外部に出射されることもあり、上記発光構造物19の内部に反射されることもある。即ち、上記第2導電型半導体層17または上記透明導電層21に対し、一定角度以上の入射角(α1)に入射された光は、外部に出射されず、内部に全反射できる。
言い換えると、図3aに示すように、0より大きい屈折率を有する媒質に光が入射される場合、17゜以上の角度に入射された光は内部に全反射できる。
これに反して、0より小さい屈折率(以下「負の屈折率」という。)を有する媒質に光が入射される場合、90゜以上の角度に入射された光に限ってのみ全反射できる。
図3a及び図3bから、負の屈折率を有する媒質を使用する場合、ほとんど大部分の光が外部に出射されることが分かる。
第1実施形態の光抽出構造物27は、負の屈折率を有するように設計されて、光抽出効率を極大化することができる。
上記光抽出構造物27は、図2に示すように、金属層23a、23bと誘電層25が積層により形成されたマルチ層を含むことができる。
上記金属層23a、23bには金属物質が使われるが、例えばアルミニウム(Al)、チタニウム(Ti)、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、金(Au)、タングステン(W)、銅(Cu)、及びモリブデン(Mo)からなるグループから選択された1つが使用できるが、これに対して限定するものではない。
上記誘電層25には、透明な酸化系列物質、透明な窒化系列物質、またはカーバイド系列物質が使用できる。
例えば、透明な酸化系列物質には、ITO、IZO(In−ZnO)、GZO(Ga−ZnO)、AZO(Al−ZnO)、AGZO(Al−Ga ZnO)、IGZO(In−Ga ZnO)、IrOx、RuOx、SiO、及びSiOxからなるグループから選択された1つが使用できるが、これに対して限定するものではない。
このような酸化系列物質のうち、ITO、IZO(In−ZnO)、GZO(Ga−ZnO)、AZO(Al−ZnO)、AGZO(Al−Ga ZnO)、IGZO(In−Ga ZnO)、IrOx、及びRuOxは、導電性を有するので、電流スプレッディングの役割をすることができる。
例えば、透明な窒化系列物質には、SiまたはSiであることがあるが、これに対して限定するものではない。
SiO、SiO、Si、またはSiは絶縁物質でありうる。
例えば、透明なカーバイド系列物質には、SiCであることがあるが、これに対して限定するものではない。
図2には第1金属層23a、誘電層25、及び第2金属層23bの3層構造のみが示されているが、実施形態の光抽出構造物27は3層以上のマルチ層も可能である。
即ち、図5に示すように、実施形態の光抽出構造物27Aは多数の金属層101と多数の誘電層103とが互いに交互に配列されたマルチ層を含むことができる。
このようなマルチ層において、最下層と最上層は金属層110でありうる。
上記金属層101は光の透過を決定する役割をすることができる。即ち、上記金属層101の設計に従って光が透過されることも、または光が吸収されることもできる。
以下の実施形態では、説明の便宜のために図2の金属層23a、23bと誘電層25として説明する。
図4a乃至図4cに示すように、金属層23a、23bはその金属物質種類に従う固有のプラズマ周波数(ωp)と固有のプラズマモメンタム(k)を有する。
これに対し、光は活性層15の物質種類に従って、その固有の波長周波数(ω)が決まる。
併せて、光抽出構造物27において、金属層23a、23bまたは誘電層25の面に水平な方向にz軸方向のモメンタム(k)が存在し、金属層23a、23bまたは誘電層25の面に垂直な方向にx軸方向のモメンタム(k)が存在することができる。
このような場合、図4a及び図4bに示すように、バンド(Band)II領域のようにz軸モメンタム(k)に従って金属層23a、23bのプラズマ周波数(ω)の光の周波数(ω)の比率が0.6付近で負の屈折率特性を有することが分かる。
図4cは、横軸がプラズマモメンタム(k)に対するz軸のモメンタム(k)を図示し、縦軸がプラズマモメンタム(k)に対するx軸のモメンタム(k)を図示する。
図4cに示すように、z軸モメンタムに対して負の屈折率特性を有することを示している。
このような負の屈折率特性により光がほとんど90゜の入射角に光抽出構造物27に入射されても内部に反射されず、外部に出射できる。
第1実施形態の光抽出構造物27は、このような負の屈折率特性を有するようにするために、上記金属層23a、23bと上記誘電層25全て0.2λの厚さを有することができるが、これに対して限定するものではない。ここで、λは金属層23a、23bのプラズマ周波数(ω)の波長を表すことができる。
λは、金属層23a、23bの物質種類に従って変わるので、上記金属層23a、23bと上記誘電層25の厚さも上記金属層23a、23bをどの金属物質で使用するかによって変わる。
例えば、金属物質に銀(Ag)が使われる場合、銀(Ag)のプラズマ波長(λ)は略137.61nmでありうる。このような場合、上記金属層23a、23bと上記誘電層25の厚さは0.2*137.61=27.522nmでありうる。
上記金属層23a、23bと上記誘電層25の厚さは、互いに同一であることも、相異することもある。
例えば、上記金属層23a、23bの厚さは0.2λである一方、上記誘電層25の厚さは0.2λより大きいか小さく設計されることもできるが、これに対して限定するものではない。
したがって、活性層15の光の波長に従ってそれに合う金属層23a、23bの物質と誘電層25の物質が選ばれて、金属層23a、23bと誘電層25の厚さが選ばれることができる。したがって、光抽出構造物27があたかも単一の負の屈折率特性を有する媒質と見なされて、不透明な金属層23a、23bであるにも拘わらず、光が透過できる。このような負の屈折率特性の光抽出構造物27により、光は、内部に全反射されず、外部に抽出されるので、光抽出効率が格段に向上できる。
例えば、365nm波長の光や405nmの光は金属層23a、23bとして銀(Ag)が使われ、誘電層25としてITOやSiが使われる場合、上記金属層23a、23bと上記誘電層25が積層された光抽出構造物27を通じて外部に容易に抽出できる。
例えば、488nmの光は金属層23a、23bとして銀(Ag)が使われ、誘電層25としてSiCが使われる場合、上記金属層23a、23bと上記誘電層25が積層された光抽出構造物27を通じて外部に容易に抽出できる。
上記光抽出構造物27に入射された光は、上記光抽出構造物27の上面に対して垂直な方向、即ち法線方向に設定された垂直境界面を基準に外部に反射できる。
例えば、光が光抽出構造物27の左下の対角線方向に入射される場合、上記光抽出構造物27の垂直境界面に対して左上の対角線方向に反射されて外部に出射できる。このような場合、上記垂直境界面を基準に入射された光の入射角(α1)と反射された光の反射角(α2)とは同一または相異することがあるが、これに対して限定するものではない。
上記第1導電型半導体層13の上に第1電極31が形成され、上記発光構造物19、即ち上記第2導電型半導体層17の上に第2電極33が形成される。
上記光抽出構造物27の誘電層25が導電性を有する物質、例えばITOの場合、上記第2電極33は上記光抽出構造物27の上に形成されることもできる。
これに反して、上記光抽出構造物27の誘電層25が導電性を有しない物質、例えばSiCの場合、上記第2電極33の背面は上記透明導電層21または上記第2導電型半導体層17に接するように形成される。このような場合、上記第2電極33は、例えば上記光抽出構造物27を貫通して上記透明導電層21に接したり、上記光抽出構造物27及び上記透明導電層21を貫通して上記第2導電型半導体層17に接することができる。
上記第2電極33の上面は、電源供給のためのパッドの役割をしなければならないので、上記光抽出構造物27や上記透明導電層21の貫通ホールより少なくとも大きいサイズを有することができる。
上記第2電極33は第1及び第2背面36、38を有することができ、上記第1背面36は上記光抽出構造物27と上記透明導電層21を貫通して上記第2導電型半導体層17に接し、上記第2背面38は上記光抽出構造物27、具体的に最上層にある金属層23bの上面の一部の領域に接することができる。
上記第2電極33は、このように上記光抽出構造物27や透明導電層21を貫通するように形成されることで、上記第2電極33の接合力もより向上できる。
一方、上記発光構造物19の側面、即ち第1導電型半導体層13と第2導電型半導体層17との間の電気的なショートを防止するために、少なくとも上記発光構造物19の一側面に保護層29が形成される。
上記保護層29は、上記発光構造物19の側面と上記第2電極33が形成された光抽出構造物27の上面のエッジ領域に形成される。
上記保護層29は透明性に優れ、伝導性の低い材質や絶縁性材質で形成される。上記保護層29は、例えばSiO、Si、Si、Si、Al、及びTiOからなるグループから選択された少なくとも1つで形成されるが、これに対して限定するものではない。
第1実施形態は、光が内部に反射されず、外部に反射されるように、金属層23a、23bと誘電層25が積層された光抽出構造物27を形成することによって、光抽出効率を極大化することができる。
以上の第1実施形態に対して図面に示してはいないが、活性層15の光が、基板11に進行して、基板11で反射されて第1電極31の形成された第1導電型半導体層13に進行した場合、このような光がより多く外部に出射されるようにすために、上記第1電極31が形成された第1導電型半導体層13に光抽出構造物がさらに形成される。即ち、上記第1電極31を除外した第1導電型半導体層13の全ての上面に光抽出構造物が形成される。または、第1電極31が光抽出構造物を貫通して上記第1導電型半導体層13の上面に接することができる。
図6は、本発明の第2実施形態に従うフリップ型発光素子を示す図である。
第2実施形態は、第1実施形態の透明導電層21の代わりに反射層35が使われて、光抽出構造物27が基板11の上に形成される一方、発光素子が覆って使われることを除いては、第1実施形態とほとんど同一である。
第2実施形態で第1実施形態と同一な構成要素に対しては同一な図面符号を与えて、より詳細な説明は省略する。
図6を参照すると、第2実施形態に従うフリップ型発光素子10Aは、基板11、発光構造物19、反射層35、光抽出構造物27、及び第1及び第2電極31、33を含むことができる。
図示してはいないが、第1実施形態と同様に、発光構造物19わの側面の電気的なショートを防止するために保護層が形成される。
第1実施形態に従う発光素子10は、光が第2導電型半導体層17や透明導電層21を通じて外部に出射される構造を有することができる。
これに反して、第2実施形態に従う発光素子10Aは光が基板11を通じて外部に出射される構造を有することができる。
したがって、基板11に進行される光をより多く外部に出射させるために、光抽出構造物27が上記基板11の上に形成される。
上記光抽出構造物27の構成及びその動作機能は、既に第1実施形態で詳細に説明したので、これ以上の説明は省略する。
上記光抽出構造物27が上記基板11の上に形成されることによって、上記活性層15から上記基板11に通じて上記光抽出構造物27に進行された光は、内部に全反射されず、上記光抽出構造物27の上面に垂直な法線方向に設定された垂直境界面を基準に外部に反射できる。
上記反射層35は、例えば、導電性と反射性に優れる金属物質で形成されるが、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、Hfからなるグループから選択された1つまたはこれらの合金を含むことができるが、これに対して限定するものではない。
上記反射層35が導電性に優れない場合、上記第2電極33に供給された電源が上記反射層35により上記第2導電型半導体層17に供給され難いこともある。
第2実施形態は、光が内部に反射されず、外部に反射されるように金属層23a、23bと誘電層25が積層された光抽出構造物27を形成することによって、光抽出効率を極大化することができる。
図7は、本発明の第3実施形態に従う垂直型発光素子を示す図である。
図7を参照すると、第1実施形態に従う水平型発光素子10において、第2導電型半導体層17の上にチャンネル層43、電極層45、接合層47、及び伝導性支持部材49を形成し、180度裏返した後、基板11を除去することができる。次に、メサエッチングにより発光構造物19の側面を傾斜するように形成し、第1導電型半導体層13の上面に光抽出を向上させるための光抽出構造物27が形成される。次に、発光構造物19を保護するために、発光構造物19の側面、チャンネル層43の上面、及び発光構造物19の上面の一部分に保護層51が形成され、上記光抽出構造物27の上に電極53が形成される。このような方法により第3実施形態に従う垂直型発光素子10Bが製造できる。
上記光抽出構造物27の構造及び機能は第1実施形態と同一であるので、これ以上の詳細な説明は省略する。
上記電極層45は光を反射させる反射特性を有する一方、発光構造物19に電源を供給する導電特性を有する材質で形成される。上記電極層45は、例えば、Ag、Ni、Al、Rh、Pd、Ir、Ru、Mg、Zn、Pt、Au、及びHfからなるグループから選択された少なくとも1つまたはこれらの合金で形成されるが、これに対して限定するものではない。
上記伝導性支持部材49は電気が流れることができる導電性材質で形成されるが、例えばCu、Au、Ni、Mo、及びCu−Wからなるグループから選択された少なくとも1つで形成されるが、これに対して限定するものではない。
上記保護層51はチャンネル層43と同一な材質または相異する材質で形成されるが、これに対して限定するものではない。
上記チャンネル層43または/及び上記保護層51は、酸化物、窒化物、及び絶縁物質のうちの1つで形成される。上記チャンネル層43または/及び上記保護層51は、例えば、ITO、IZO、IZTO、IAZO、IGZO、IGTO、AZO、ATO、GZO、SiO、SiO、SiO、Si、Al、及びTiOからなるグループから選択された少なくとも1つで形成される。
上記電極53は、第1実施形態の第2電極33のように光抽出構造物27を貫通して形成される。即ち、上記電極53は第1及び第2背面を含み、上記第1背面は上記光抽出構造物27を貫通して上記第1導電型半導体層13に接し、上記第2背面は上記光抽出構造物27に具体的に光抽出構造物27の最上層である金属層23bの上面の一部の領域に接することができる。
このように、上記電極53の第1背面は上記光抽出構造物27の内部側面と上記第1導電型半導体層13の表面と接触し、上記電極53の第2背面は上記光抽出構造物27の最上層である金属層23bの上面の一部の領域に接触するようにすることで、上記電極53の接着性能を向上させることができる。
一方、電流の垂直方向への集中を防止するための電流遮断層41が上記電極53と垂直方向に重畳するように形成される。
上記電流遮断層41は、上記保護層51及び上記チャンネル層43のうち、少なくとも1つの層と同一な物質または相異する物質で形成されるが、これに対して限定するものではない。
図8は、本発明の第4実施形態に従う水平型発光素子を示す断面図である。
第4実施形態は、金属層23a、23b、23c、23d、23e、及び誘電層25a、25b、25c、25d、25eの各々の一側端が第2導電型半導体層17の上面に接することを除いては、第1実施形態とほとんど類似している。第4実施形態で、第1実施形態と同一な機能や同一な構造を有する構成要素に対しては、同一な図面符号を与えて、詳細な説明は省略する。
図8を参照すると、第4実施形態に従う水平型発光素子10Cは、基板11、発光構造物19、光抽出構造物27、並びに、第1及び第2電極31、33を含むことができる。
上記光抽出構造物27は、図9に示すように、金属層23a、23b、23c、23d、23eと誘電層25a、25b、25c、25d、25eが積層により形成されたマルチ層を含むことができる。
上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eには、透明な酸化系列物質、透明な窒化系列物質、またはカーバイド系列物質が使用できる。
このような酸化系列物質で上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eが形成される場合、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eは、上記第2導電型半導体層17に対してオーミックコンタクト(ohmic contact)を形成する物質でありうる。
このようなマルチ層における最下層は誘電層25aであり、最上層は金属層23eでありうる。
第4実施形態の光抽出構造物27において、上位層は下位層の上面と側面を覆うように形成される。このために、上位層は下位層より広い面積を有することができる。
例えば、最下層である第1誘電層25aが上記第2導電型半導体層17の上面の一部の領域の上に形成され、上記第1誘電層25aの上面と側面とを覆うように第1金属層23aが形成され、上記第1金属層23aの上面と側面とを覆うように第2誘電層25bが形成され、上記第2誘電層25bの上面と側面とを覆うように第2金属層23bが形成され、上記第2金属層23bの上面と側面とを覆うように第3誘電層25cが形成される。また、第3誘電層25cの上面と側面とを覆うように第3金属層23cが形成され、上記第3金属層23cの上面と側面とを覆うように第4誘電層25dが形成され、上記第4誘電層25dの上面と側面とを覆うように第4金属層23dが形成され、上記第4金属層23dの上面と側面とを覆うように第5誘電層25eが形成され、上記第5誘電層25eの上面と側面とを覆うように第5金属層23eが形成される。
上記第1誘電層25aは、光抽出構造物27の最下層であって、透明性と伝導性を有する誘電層25でありうる。このような場合、上記第1誘電層25aは、上記第2導電型半導体層17とオーミックコンタクトを形成するための物質で形成される。したがって、第2電極33に供給された電流は上記第2導電型半導体層17の上面と接する第1誘電層25aの面積だけ電流スプレッディングされる一方、より容易に第2導電型半導体層17に注入できる。
第4実施形態は上位層が下位層の側面を覆うように形成されることによって、下位層の側面を覆うように形成された上位層の一側端は上記第2導電型半導体層17の上面と接触するように形成される。
即ち、例えば上記第1金属層23aは上記第1層の上面と側面とを覆う一方、上記第1誘電層23aの側面から延びた一側端が上記第2導電型半導体層17の上面に接触するように形成される。
例えば、上記第2誘電層25bは第1金属層23aの上面と側面とを覆う一方、上記第1金属層23aの側面から延びた一側端が上記第2導電型半導体層17の上面に接触するように形成される。
例えば、上記第2金属層23bは上記第2誘電層25bの上面と側面とを覆う一方、上記第2誘電層25bの側面から延びた一側端が上記第2導電型半導体層17の上面に接触するように形成される。
例えば、上記第3誘電層25cは上記第2金属層23bの上面と側面とを覆う一方、上記第2金属層23bの側面から延びた一側端が上記第2導電型半導体層17の上面に接触するように形成される。
このような方式により第3乃至第5金属層23c、23d、23e、そして第4及び第5誘電層25d、25eが形成される。
例えば、第5金属層23eは上記第5誘電層25eの上面と側面とを覆う一方、上記第5誘電層25eの側面から延びた一側端が上記第2導電型半導体層17の上面に接触するように形成される。
垂直方向に沿って積層形成された誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さをt1と称し、金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さをt2と称し、水平方向に沿って積層形成された誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さまたは幅をW1と称し、金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さまたは幅をW2と称することができるが、これに対して限定するものではない。
別の表現をすると、W1は上記第2導電型半導体層17と接する誘電層25a、25b、25c、25d、25eでの幅とし、W2は上記第2導電型半導体層17と接する金属層23a、23b、23c、23d、23eでの幅とすることができるが、これに対して限定するものではない。
混同を避けて、説明を便利にするために、t1及びt2を厚さと称し、W1及びW2を幅と称する。
第4実施形態の光抽出構造物27において、誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さ(t1)、金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さ(t2)、誘電層25の幅(W1)、そして金属層23の幅(W2)は全て同一な厚さを有することがあるが、これに対して限定するものではない。
これら厚さは各々0.2λであることがあるが、これに対して限定するものではない。
第4実施形態の光抽出構造物27は、最下層である誘電層25aだけでなく、最下層の上に形成される誘電層25b、25c、25d、25eと金属層23a、23b、23c、23d、23eで構成される多数の層も第2導電型半導体層17に接触するように形成される。このような場合、多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eの各々は上記第2導電型半導体層17とオーミックコンタクトを形成することができる。
したがって、上記第2電極33に供給された電流は、上記第2電極33と接触されて多数の金属層23a、23b、23c、23d、23eの間に形成され、各々第2導電型半導体層17の上面に接触されるように形成された多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eに供給される。多数の誘電層25a、2b、25c、25d、25eに供給された電流は、各誘電層25a、25b、25c、25d、25eに接触された第2導電型半導体層17に一層速かに、一層容易に注入されることができ、上記第2導電型半導体層17の全領域に電流が均等に供給されて電流スプレッディング効果が極大化されて、光効率が格段に向上できる。
併せて、図10に示すように、第4実施形態の光抽出構造物27は、誘電層25a、25b、25c、25d、25eと金属層23a、23b、23c、23d、23eが積層されたマルチ層に形成され、全ての各層は第2導電型半導体層17と接触されるように形成されることによって、光抽出効率を極大化し、均一な光効率を得ることができる。
光抽出構造物27に含まれた誘電層25a、25b、25c、25d、25eは、第2導電型半導体層17とオーミックコンタクトを形成することができる。したがって、上記金属層23の間に積層されて上記第2導電型半導体層17に接触する上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eを通じて電流が容易に第2導電型半導体層17に注入できる。言い換えると、上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの間に積層されて上記第2導電型半導体層17に接触する上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eにより電流注入効率が増加し、電流スプレッディング効果が発生するので、光効率が向上できる。
併せて、互いに交互に配置された誘電層25a、25b、25c、25d、25eと金属層23a、23b、23c、23d、23eを含み、各層の厚さを特定して光抽出構造物27が負の屈折率と透過性を有するようになって、光が内部に全反射される代わりに、外部に反射されて光抽出効率が極大化できる。
第4実施形態は、光が内部に反射されず、外部に反射されるように金属層23a、23b、23c、23d、23eと誘電層25a、25b、25c、25d、25eが積層された光抽出構造物27を形成することによって、光抽出効率を極大化することができる。
以上、第4実施形態に対して図面に示してはいないが、活性層15の光が、基板11に進行して、基板11で反射されて第1電極31の形成された第1導電型半導体層13に進行した場合、このような光がより多く外部に出射されるようにするために、上記第1電極31が形成された第1導電型半導体層13に光抽出構造物がさらに形成される。このような光抽出構造物は前述したことがあるので、これ以上の説明は省略する。
図11は本発明の第5実施形態に従う水平型発光素子を示す図であり、図12は図11の光抽出構造物を示す図である。
第5実施形態は、光抽出構造物27で誘電層25a、25b、25c、25d、25eと金属層23a、23b、23c、23d、23eとの厚さが異なり、誘電層25a、25b、25c、25d、25eと金属層23a、23b、23c、23d、23eとの幅が異なるということを除いては、第4実施形態とほとんど類似している。
第5実施形態で、第4実施形態と同一な構成要素に対しては同一な図面符号を与えて、より詳細な説明は省略する。
図11を参照すると、第5実施形態に従う水平型発光素子10Dは、基板11、発光構造物19、光抽出構造物27、及び第1及び第2電極31、33を含むことができる。
上記発光構造物19は、第1導電型半導体層13、活性層15、及び第2導電型半導体層17を含むことができる。
上記光抽出構造物27は、多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25e及び多数の金属層23a、23b、23c、23d、23eを含むことができる。
上記光抽出構造物27の最上層は金属層23eであり、最下層は誘電層25aでありうる。
上記光抽出構造物27において、上位層は下位層の上面と側面とを覆うように形成され、上記下位層の側面から延びた一側端が上記第2導電型半導体層17の上面と接触するように形成される。
このような方式により上記光抽出構造物27に含まれた多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eと多数の金属層23a、23b、23c、23d、23eが形成されることによって、上記第2導電型半導体層17の上面の全領域は多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eと多数の金属層23a、23b、23c、23d、23eと接触するようになる。
実施形態に従う電流スプレッディング効果を得るために、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eは、上記第2導電型半導体層17とオーミックコンタクトを形成する物質で形成される。
このために、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eは透明な酸化系列物質で形成されるが、これに対して限定するものではない。上記金属層23a、23b、23c、23d、23eは、上記第2導電型半導体層17とショットキーコンタクトを形成する物質で形成される。
併せて、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eは絶縁性を有する透明な物質で形成されるが、これに対して限定するものではない。
上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eが第2導電型半導体層17とオーミックコンタクトを形成する物質で形成される場合、上記第2導電型半導体層17の上面に接触される多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eにより電流が第2導電型半導体層17に容易に注入される一方、電流スプレッディング効果が発生するので、光効率を向上させ、均一な光を得ることができる。
併せて、多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eと多数の金属層23a、23b、23c、23d、23eとを含む光抽出構造物27により90゜に近接した入射角を有する光も外部に反射できるので、光抽出効率を極大化することができる。
一方、第5実施形態では、誘電層25a、25b、25c、25d、25e及び金属層23a、23b、23c、23d、23eの各々の幅は、誘電層25a、25b、25c、25d、25e及び金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さと相異することがある。上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの各々の幅は同一または相異することがある。上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの各々の幅は同一または相異することがある。上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの各々の厚さは同一または相異することがある。上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの各々の厚さは同一であるか、相異することがある。
例えば、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの幅は、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さまたは上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さより大きく設定される。
例えば、上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの幅は上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さまたは上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さより大きく設定される。
上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さと上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さは互いに同一であることがあるが、これに対して限定するものではない。
上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの幅と上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの幅は互いに同一であることがあるが、これに対して限定するものではない。
このような構造を有する上記発光素子によれば、図13に示すように、多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eの幅がより大きくなるので、上記第2導電型半導体層17と接する誘電層25a、25b、25c、25d、25eの面積が大きくなり、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eが上記第2導電型半導体層17とオーミックコンタクトされるので、電流がより円滑に第2導電型半導体層17に注入され、電流スプレッディング効果が増大するので、より均一な発光効率を得ることができる。
図14は、本発明の第6実施形態に従う垂直型発光素子を示す図である。
第6実施形態は、光抽出構造物27において、誘電層25a、25b、25c、25d、25eと金属層23a、23b、23c、23d、23eとの厚さが異なり、誘電層25a、25b、25c、25d、25eと金属層23a、23b、23c、23d、23eとの幅が異なるということを除いては、第3実施形態または第4実施形態とほとんど類似している。
第6実施形態で、第3実施形態または第4実施形態と同一な構成要素に対しては同一な図面符号を与えて、より詳細な説明は省略する。
図14を参照すると、第6実施形態に従う垂直型発光素子10Eは、伝導性支持部材49、接合層47、チャンネル層43、発光構造物19、光抽出構造物27、保護層51、及び電極53を含むことができる。
上記光抽出構造物27は、多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eと多数の金属層23a、23b、23c、23d、23eとを含むことができる。
上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さ(t1)、上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さ(t2)、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの幅(W1)、及び上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの幅(W2)は、互いに同一であるか、互いに同一でないことがある。
第6実施形態の光抽出構造物27において、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さ(t1)、上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さ(t2)、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの幅(W1)、及び上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの幅(W2)は、第4実施形態と同様に互いに同一でありえる。
第6実施形態の光抽出構造物27において、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの幅(W1)及び上記金属層23a、23b、23c、23d、23e)の幅(W2)は、第5実施形態と同様に、上記誘電層25a、25b、25c、25d、25eの厚さ(t1)及び上記金属層23a、23b、23c、23d、23eの厚さ(t2)より大きく設計される。
第6実施形態は、光が出射される第1導電型半導体層13の上に多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eと多数の金属層23a、23b、23c、23d、23eとを含む光抽出構造物27を形成することによって、光抽出効率を極大化することができる。
第6実施形態は、光抽出構造物27における多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eが第1導電型半導体層13とオーミックコンタクトされるように形成することによって、電極53に供給された電流が上記第1導電型半導体層13と接触される多数の誘電層25a、25b、25c、25d、25eを通じて上記第1導電型半導体層13に一層容易に注入され、電流スプレッディング効果を増大させるので、光効率を向上させ、均一な光を得ることができる。
実施形態は、光が内部に反射されず、外部に反射されるように金属層と誘電層が積層された光抽出構造物を形成することによって、光抽出効率を極大化することができる。
実施形態は、最下層である誘電層だけでなく、最下層の上に形成される誘電層と金属層とから構成される多数の層も発光構造物に接触するように形成されて、発光構造物の上面の全ての領域に電源が供給できるので、電流スプレッディング効果を極大化して均一な光効率を得ることができる。
実施形態は、光抽出構造物の多数の金属層を通じて発光構造物に一層円滑に電源が供給されるので、光効率をより向上させることができる。
実施形態に従う発光素子は、ライトユニットに適用できる。上記ライトユニットは、複数の発光素子がアレイされた構造を含み、図15及び図16に図示された表示装置と、図17に図示された照明装置を含み、照明灯、信号灯、車両前照灯、電光板、指示灯のようなユニットに適用できる。
図15は、本発明の実施形態に従う表示装置の分解斜視図である。
図15を参照すると、表示装置1000は、導光板1041と、上記導光板1041に光を提供する発光モジュール1031と、上記導光板1041の下に反射部材1022と、上記導光板1041の上に光学シート1051と、上記光学シート1051の上に表示パネル1061と、上記導光板1041、発光モジュール1031、及び反射部材1022を収納するボトムカバー1011を含むことができるが、これに限定されるものではない。
上記ボトムカバー1011、反射部材1022、導光板1041、及び光学シート1051は、ライトユニット1050として定義できる。
上記導光板1041は、上記発光モジュール1031から提供された光を拡散させて面光源化させる役割をする。上記導光板1041は透明な材質からなり、例えば、PMMA(polymethyl metaacrylate)のようなアクリル樹脂系列、PET(polyethylene terephthlate)、PC(poly carbonate)、COC(cycloolefin copolymer)、及びPEN(polyethylene naphthalate)樹脂のうちの1つを含むことができる。
上記発光モジュール1031は、上記導光板1041の少なくとも一側面に配置されて、上記導光板1041の少なくとも一側面に光を提供し、窮極的には表示装置の光源として作用するようになる。
上記発光モジュール1031は、上記ボトムカバーの内に少なくとも1つが配置され、上記導光板1041の一側面で直接または間接的に光を提供することができる。上記発光モジュール1031は、基板1033と上記に開示された実施形態に従う発光素子10を含み、上記発光素子10は、上記基板1033の上に所定の間隔でアレイできる。上記基板は、印刷回路基板(printed circuit board)であることがあるが、これに限定するものではない。また、上記基板1033は、メタルコアPCB(MCPCB:Metal Core PCB)、軟性PCB(FPCB:Flexible PCB)などを含むこともでき、これに対して限定するものではない。上記発光素子10は、上記ボトムカバー1011の側面または放熱プレートの上に搭載される場合、上記基板1033は除去できる。上記放熱プレートの一部は上記ボトムカバー1011の上面に接触できる。したがって、発光素子10で発生した熱を放熱プレートを経由してボトムカバー1011に放出できる。
上記複数の発光素子10は、上記基板1033の上に光が放出される出射面が上記導光板1041と所定距離離隔するように搭載され、これに対して限定するものではない。上記発光素子10は、上記導光板1041の一側面である入光部に光を直接または間接的に提供することができ、これに対して限定するものではない。
上記導光板1041の下には上記反射部材1022が配置される。上記反射部材1022は、上記導光板1041の下面に入射された光を反射させて上記表示パネル1061に供給することによって、上記表示パネル1061の輝度を向上させることができる。上記反射部材1022は、例えば、PET、PC、PVCレジンなどで形成されるが、これに対して限定するものではない。上記反射部材1022は、上記ボトムカバー1011の上面であることがあり、これに対して限定するものではない。
上記ボトムカバー1011は、上記導光板1041、発光モジュール1031、及び反射部材1022などを収納することができる。このために、上記ボトムカバー1011は上面が開口されたボックス(box)形状を有する収納部1012が備えられ、これに対して限定するものではない。上記ボトムカバー1011は、トップカバー(図示せず)と結合されることができ、これに対して限定するものではない。
上記ボトムカバー1011は金属材質または樹脂材質で形成され、プレス成形または押出成形などの工程を用いて製造できる。また、上記ボトムカバー1011は熱伝導性の良い金属または非金属材料を含むことができ、これに対して限定するものではない。
上記表示パネル1061は、例えばLCDパネルであって、互いに対向する透明な材質の第1及び第2基板、そして第1及び第2基板の間に介された液晶層を含む。上記表示パネル1061の少なくとも一面には偏光板が付着され、このような偏光板の付着構造に限定するものではない。上記表示パネル1061は、上記発光モジュール1031から提供された光を透過または遮断させて情報を表示するようになる。このような表示装置1000は、各種の携帯端末機、ノートブックコンピュータのモニタ、ラップトップコンピュータのモニタ、テレビなどの映像表示装置に適用できる。
上記光学シート1051は、上記表示パネル1061と上記導光板1041との間に配置され、少なくとも一枚以上の透光性シートを含む。上記光学シート1051は、例えば拡散シート(diffusion sheet)、水平及び垂直プリズムシート(horizontal/vertical prism sheet)、及び輝度強化シート(brightness enhanced sheet)などのシートのうち、で少なくとも1つを含むことができる。上記拡散シートは、入射される光を拡散させ、上記水平または/及び垂直プリズムシートは入射される光を上記表示パネル1061に集光させ、上記輝度強化シートは損失される光を再使用して輝度を向上させる。また、上記表示パネル1061の上には保護シートが配置され、これに対して限定するものではない。
上記発光モジュール1031の光経路の上には光学部材として、上記導光板1041、及び光学シート1051を含むことができ、これに対して限定するものではない。
図16は、本発明の実施形態に従う発光素子を有する表示装置を示す図である。
図16を参照すると、表示装置1100は、ボトムカバー1152、上記に開示された発光素子10がアレイされた基板1120、光学部材1154、及び表示パネル1155を含む。
上記基板1120と上記発光素子10は発光モジュール1160として定義できる。上記ボトムカバー1152、少なくとも1つの発光モジュール1160、光学部材1154は、ライトユニット(図示せず)として定義できる。
上記ボトムカバー1152には収納部1153を備えることができ、これに対して限定するものではない。
上記光学部材1154は、レンズ、導光板、拡散シート、水平及び垂直プリズムシート、及び輝度強化シートのうち、少なくとも1つを含むことができる。上記導光板はPC材質またはPMMA(Polymethy methacrylate)材質からなることができ、このような導光板は除去できる。上記拡散シートは入射される光を拡散させ、上記水平及び垂直プリズムシートは入射される光を上記表示パネル1155に集光させ、上記輝度強化シートは損失される光を再使用して輝度を向上させる。
上記光学部材1154は、上記発光モジュール1060の上に配置され、上記発光モジュール1060から放出された光を面光源したり、拡散、集光などを遂行するようになる。
図17は、本発明の実施形態に従う照明装置の斜視図である。
図17を参照すると、照明装置1500は、ケース1510、上記ケース1510に設置された発光モジュール1530、及び上記ケース1510に設置され、外部電源から電源の提供を受ける連結端子1520を含むことができる。
上記ケース1510は、放熱特性が良好な材質で形成されることが好ましく、例えば金属材質または樹脂材質で形成される。
上記発光モジュール1530は、基板1532、及び上記基板1532に搭載される実施形態に従う発光素子10を含むことができる。上記発光素子10は、複数個がマトリックス形態または所定の間隔で離隔してアレイできる。
上記基板1532は絶縁体に回路パターンが印刷されたものであることがあり、例えば、一般印刷回路基板(PCB:Printed Circuit Board)、メタルコア(Metal Core)PCB、軟性(Flexible)PCB、セラミックPCB、FR−4基板などを含むことができる。
また、上記基板1532は光を効率的に反射する材質で形成されたり、表面の光が効率的に反射されるカラー、例えば白色、銀色などのコーティング層になることができる。
上記基板1532の上には少なくとも1つの発光素子10が搭載される。上記発光素子10の各々は少なくとも1つのLED(Light Emitting Diode)チップを含むことができる。上記LEDチップは、赤色、緑色、青色、または白色などの可視光線帯域の発光ダイオードまたは紫外線(UV:Ultra Violet)を発光するUV発光ダイオードを含むことができる。
上記発光モジュール1530は、色感及び輝度を得るために多様な発光素子10の組合を有するように配置される。例えば、高演色性(CRI)を確保するために、白色発光ダイオード、赤色発光ダイオード、及び緑色発光ダイオードを組み合わせて配置することができる。
上記連結端子1520は、上記発光モジュール1530と電気的に連結されて電源を供給することができる。上記連結端子1520は、ソケット方式により外部電源に螺合して結合されるが、これに対して限定するものではない。例えば、上記連結端子1520はピン(pin)形態に形成されて外部電源に挿入されたり、配線により外部電源に連結されることもできる。
本出願は、2011年12月26日に出願された韓国出願番号10−2011−0141952及び2011年12月26日に出願された韓国出願番号10−2011−0142676に対し、優先権の利益を主張し、これらの出願は本明細書に参照として併合される。

Claims (18)

  1. 多数の化合物半導体層を含む発光構造物と、
    前記発光構造物の上にある光抽出構造物と、を含み、
    前記光抽出構造物は、
    負の屈折率を有するように互いに交互に積層された多数の第1層と多数の第2層とを含むことを特徴とする、発光素子。
  2. 前記化合物半導体層は、
    活性層と、
    前記活性層の下にある第1導電型半導体層と、
    前記活性層の上にある第2導電型半導体層と、
    を含むことを特徴とする、請求項1に記載の発光素子。
  3. 前記光抽出構造物は、前記第1及び第2導電型半導体層のうちの1つの層の上に配置されることを特徴とする、請求項2に記載の発光素子。
  4. 前記第1層は誘電層であり、前記第2層は金属層であることを特徴とする、請求項1乃至請求項3のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  5. 前記誘電層は導電層であることを特徴とする、請求項4に記載の発光素子。
  6. 前記第1層は前記光抽出構造物の最下層であり、
    前記第2層は前記光抽出構造物の最上層であることを特徴とする、請求項1乃至請求項5のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  7. 前記第1及び第2層の各々の厚さは0.2λ(λは前記第2層のプラズマ周波数である)であることを特徴とする、請求項1乃至請求項6のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  8. 前記第1及び第2層のうち、上位層は下位層の上面と側面を覆って、前記上位層から延びた一側端は前記第1及び第2導電型半導体層のうちの1つの層の上面に接することを特徴とする、請求項1乃至請求項7のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  9. 垂直方向での前記第1及び第2層の各々は同一な厚さを有することを特徴とする、請求項8に記載の発光素子。
  10. 水平方向での前記第1及び第2層の各々は同一な幅を有することを特徴とする、請求項9に記載の発光素子。
  11. 前記第1及び第2層の幅は前記第1及び第2層の厚さより大きいことを特徴とする、請求項10に記載の発光素子。
  12. 垂直方向での前記第1及び第2層の各々は相異する厚さを有することを特徴とする、請求項8に記載の発光素子。
  13. 水平方向での前記第1及び第2層の各々は相異する幅を有することを特徴とする、請求項12に記載の発光素子。
  14. 前記第1及び第2層の幅は前記第1及び第2層の厚さより大きいことを特徴とする、請求項13に記載の発光素子。
  15. 前記上位層の一側端が前記第1層の場合、前記上位層の一側端は前記第1及び第2導電型半導体層のうち、1つの層に対してオーミックコンタクトを形成することを特徴とする、請求項8に記載の発光素子。
  16. 前記上位層の一側端が前記第2層の場合、前記上位層の一側端は前記第1及び第2導電型半導体層のうち、1つの層に対してショットキーコンタクトを形成することを特徴とする、請求項8に記載の発光素子。
  17. 前記発光構造物から前記光抽出構造物に入射された光は前記光抽出構造物の垂直境界面を基準に外部に反射されることを特徴とする、請求項1乃至請求項16のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
  18. 前記発光構造物は365nm乃至488nmの紫外線光を生成することを特徴とする、請求項1乃至17のうち、いずれか1項に記載の発光素子。
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