JP2013131530A - 液体管理システム、および洗浄液の回収再生装置 - Google Patents
液体管理システム、および洗浄液の回収再生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013131530A JP2013131530A JP2011278284A JP2011278284A JP2013131530A JP 2013131530 A JP2013131530 A JP 2013131530A JP 2011278284 A JP2011278284 A JP 2011278284A JP 2011278284 A JP2011278284 A JP 2011278284A JP 2013131530 A JP2013131530 A JP 2013131530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning liquid
- cleaning
- liquid
- concentration
- alcohol
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】液体管理システム1Aは、洗浄液供給装置と精製装置17と洗浄液回収手段を備える。洗浄液供給装置は、アルコールと純水とを混合して洗浄液を作る混合槽4を有し、混合槽4内で該洗浄液中のアルコール濃度を所定の濃度範囲内に調整し、その濃度調整された洗浄液を洗浄装置100へ供給するものである。精製装置17は洗浄装置100から排出された洗浄液から不純物を除去する。洗浄液回収手段は、洗浄装置100から排出された洗浄液を回収して混合槽4へ戻す配管14b及び14cを含むものである。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の第一の実施形態について詳細に説明する。図1は、本実施形態に係る液体管理システムの基本構成を示すブロック図である。
以下、本発明の第二の実施形態について詳細に説明する。図2は、本実施形態に係る液体管理システムの基本構成を示すブロック図である。
以下、本発明の第三の実施形態について詳細に説明する。図3は、本実施形態に係る液体管理システムの基本構成を示すブロック図である。
2 IPA供給源
3 超純水供給源
4 混合槽
5 濃度測定装置
6 廃液タンク
7 制御部
10,11,12,13,14a〜14g 配管
15a,15b 弁
17 精製装置
100 洗浄装置
Claims (8)
- 対象物を洗浄する洗浄装置で使う洗浄液を管理する液体管理システムであって、
アルコールと純水とを混合して洗浄液を作る混合手段を有し、該混合手段で該洗浄液中のアルコール濃度を所定の濃度範囲内に調整し、その濃度調整された洗浄液を前記洗浄装置へ供給する洗浄液供給装置と、
前記濃度調整された洗浄液または前記洗浄装置から排出された洗浄液から不純物を除去する精製装置と、
前記洗浄装置から排出された洗浄液を回収して前記混合手段へ戻す洗浄液回収手段と、
を備えたことを特徴とする液体管理システム。 - 前記精製装置が、イオン交換樹脂塔、イオン吸着膜、精密ろ過膜の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項1に記載の液体管理システム。
- 前記イオン交換樹脂塔が、混床式イオン交換樹脂塔であることを特徴とする請求項2に記載の液体管理システム。
- 前記洗浄液供給装置は、
前記混合手段にアルコールを供給するアルコール供給手段と、
前記混合手段に純水を供給する純水供給手段と、
前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液のアルコール濃度を測定する濃度測定手段と、
前記濃度測定手段の測定結果に基づいて前記アルコール供給手段と前記純水供給手段の双方または一方を制御することにより、前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液のアルコール濃度を所定の濃度範囲内に維持する濃度調整処理を実行する第一の制御手段と、
を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の液体管理システム。 - 前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液の量を測定する液量測定手段と、
前記液量測定手段の測定結果に基づいて前記アルコール供給手段および前記純水供給手段を制御することにより、前記混合手段によりアルコールと純水を混合した洗浄液の量を所定の液量範囲内に維持する液量調整処理を実行する第二の制御手段と、
をさらに有することを特徴とする請求項4に記載の液体管理システム。 - 所定の濃度範囲内に調整されたアルコール水溶液を洗浄液として用いて対象物を洗浄する洗浄装置から排出された洗浄液を回収し、再び前記所定の濃度範囲内に調整して該洗浄装置に供給する洗浄液の回収再生装置であって、
アルコールと純水とが供給されてアルコール濃度が前記所定の濃度範囲内に調整された洗浄液を作る混合手段を有し、その濃度調整された洗浄液を前記洗浄装置へ供給する洗浄液供給装置と、
前記濃度調整された洗浄液または前記洗浄装置から排出された洗浄液から不純物を除去する精製装置と、
前記洗浄装置から排出された洗浄液を回収して前記混合手段へ戻す洗浄液回収手段と、
を備えたことを特徴とする洗浄液の回収再生装置。 - 前記精製装置が、イオン交換樹脂塔、イオン吸着膜、精密ろ過膜の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項6に記載の洗浄液の回収再生装置。
- 前記イオン交換樹脂塔が、混床式イオン交換樹脂塔であることを特徴とする請求項7に記載の洗浄液の回収再生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011278284A JP6022765B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 液体管理システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011278284A JP6022765B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 液体管理システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013131530A true JP2013131530A (ja) | 2013-07-04 |
JP2013131530A5 JP2013131530A5 (ja) | 2014-10-23 |
JP6022765B2 JP6022765B2 (ja) | 2016-11-09 |
Family
ID=48908889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011278284A Active JP6022765B2 (ja) | 2011-12-20 | 2011-12-20 | 液体管理システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6022765B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7500672B2 (ja) | 2021-12-16 | 2024-06-17 | サムス カンパニー リミテッド | 薬液供給ユニットとこれを適用した基板処理システム及び薬液供給方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10165788A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-06-23 | Nec Yamagata Ltd | 薬液用フィルターの処理方法およびその装置 |
JP2003297795A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-10-17 | A-Tech Ltd | 半導体ウェーハの洗浄・乾燥装置、及び洗浄・乾燥方法 |
WO2009060827A1 (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-14 | Kurita Water Industries Ltd. | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 |
-
2011
- 2011-12-20 JP JP2011278284A patent/JP6022765B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10165788A (ja) * | 1996-12-12 | 1998-06-23 | Nec Yamagata Ltd | 薬液用フィルターの処理方法およびその装置 |
JP2003297795A (ja) * | 2002-02-28 | 2003-10-17 | A-Tech Ltd | 半導体ウェーハの洗浄・乾燥装置、及び洗浄・乾燥方法 |
WO2009060827A1 (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-14 | Kurita Water Industries Ltd. | 超純水製造方法及び装置並びに電子部品部材類の洗浄方法及び装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7500672B2 (ja) | 2021-12-16 | 2024-06-17 | サムス カンパニー リミテッド | 薬液供給ユニットとこれを適用した基板処理システム及び薬液供給方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6022765B2 (ja) | 2016-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5819987B2 (ja) | 液体管理システムおよび液体管理方法 | |
KR101768773B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
US8999069B2 (en) | Method for producing cleaning water for an electronic material | |
KR101671118B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP5251184B2 (ja) | ガス溶解水供給システム | |
KR102301023B1 (ko) | 기판 액처리 장치 및 기판 액처리 방법 | |
JP2015220318A5 (ja) | ||
TW418357B (en) | Chemical generator with controlled mixing and concentration feedback and adjustment | |
JP2008098444A (ja) | エッチング液の再生方法、エッチング方法およびエッチング装置 | |
US20160263627A1 (en) | Process fluid circulation type processing system | |
CN109153047A (zh) | 超纯水制造装置的启动方法 | |
JP2004122020A (ja) | 超純水製造装置及び該装置における超純水製造供給システムの洗浄方法 | |
JP5780810B2 (ja) | 液体管理システム | |
JP6022765B2 (ja) | 液体管理システム | |
KR101913465B1 (ko) | 세정용 수소수의 제조방법 및 제조장치 | |
US20140305471A1 (en) | Reduced consumptions stand alone rinse tool having self-contained closed-loop fluid circuit, and method of rinsing substrates using the same | |
JP6095887B2 (ja) | 液体管理システム | |
US20190099694A1 (en) | Etching solution recycling system and method for wafer etching apparatus | |
JP4840582B2 (ja) | 過硫酸洗浄システム | |
JP5791939B2 (ja) | 液体管理システム | |
JP4196222B2 (ja) | 超純水製造用膜分離装置の洗浄装置 | |
JP4296469B2 (ja) | 超純水製造用膜分離装置の洗浄方法 | |
JP2007157750A (ja) | 洗浄装置及び洗浄方法 | |
JP2022106653A (ja) | 処理液供給装置及び処理液供給装置の固形除去方法 | |
JP6731515B1 (ja) | 排水処理設備及び排水処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140909 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140909 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160122 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160927 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161006 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6022765 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |