JP2013130417A - ガラス板の反り測定方法およびガラス板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】定盤2のガラス載置面2a上に載置したガラス板1に対して光を照射するとともに、分光干渉法を用いて、ガラス板1の裏面で反射した干渉光とガラス載置面2aで反射した干渉光との光路差を求め、ガラス板1の裏面とガラス載置面2aとの間の空気層の厚みをガラス板1の反り量として測定する。
【選択図】図1
Description
2 定盤
3 多層膜厚測定装置
4 空気層
Claims (6)
- 基準面上に位置させたガラス板の反り量を測定するガラス板の反り量測定方法において、
前記ガラス板の表面側から光を照射し、分光干渉法を用いて、前記ガラス板の裏面で反射した干渉光と前記基準面で反射した干渉光との光路差を求め、前記ガラス板の裏面と前記基準面との間の空気層の厚みを測定することを特徴とするガラス板の反り量測定方法。 - 分光干渉法を用いて、前記ガラス板の表面で反射した干渉光と前記ガラス板の裏面で反射した干渉光との光路差を求め、前記ガラス板の厚みを更に測定することを特徴とする請求項1に記載のガラス板の反り量測定方法。
- 前記光を前記ガラス板の平面内で走査し、前記ガラス板の平面内の反りの分布を測定することを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス板の反り量測定方法。
- 前記ガラス板の厚みが、600μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス板の反り量測定方法。
- 前記ガラス板の一辺の大きさが、400mm以上であることを特徴とする請求項4に記載のガラス板の反り量測定方法。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラス板の反り量測定方法を実行する工程を含むガラス板の製造方法。
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