JP2013112558A - 窒化ガリウム層を備える黒鉛材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】黒鉛材1は、膨張黒鉛シート2と、膨張黒鉛シート2の上に配された、結晶性窒化ガリウム層3とを備える。黒鉛材1の製造方法は、膨張黒鉛シート2を準備する工程と、膨張黒鉛シート2の上に、結晶性窒化ガリウム層3を形成する工程と、を備える。結晶性窒化ガリウム層3は、有機金属気相成長法により、膨張黒鉛シート2の上に窒化ガリウムの結晶をエピタキシャル成長させてなる。
【選択図】図1
Description
走査電子顕微鏡(SEM)を用い、膨張黒鉛シート(東洋炭素株式会社製のPF−20、厚さ0.2mm、かさ密度1.0g/cm3)の表面のSEM像を観察した。SEM像を図4に示す。図4に示されるように、膨張黒鉛シートの表面には、分散されて平坦部が多く存在していた。
2…膨張黒鉛シート
2a…表面
2a1…c面露出部
3…結晶性窒化ガリウム層
Claims (6)
- 膨張黒鉛シートと、
前記膨張黒鉛シートの上に配された結晶性窒化ガリウム層と、
を備える、黒鉛材。 - 前記結晶性窒化ガリウム層は、前記膨張黒鉛シートの上に窒化ガリウムの結晶をエピタキシャル成長させてなる、請求項1に記載の黒鉛材。
- 前記結晶性窒化ガリウム層は、前記膨張黒鉛シートのc面露出部の上に配されている、請求項1または2に記載の黒鉛材。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載の黒鉛材を備える、半導体素子。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の黒鉛材の製造方法であって、
前記膨張黒鉛シートを準備する工程と、
前記膨張黒鉛シートの上に、前記結晶性窒化ガリウム層を形成する工程と、
を備える、黒鉛材の製造方法。 - 有機金属気相成長法により、前記膨張黒鉛シート上に、前記結晶性窒化ガリウム層を形成する、請求項4に記載の黒鉛材の製造方法。
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- 2011-11-28 JP JP2011259466A patent/JP5896701B2/ja active Active
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