JP2013101114A - 形状測定装置の組み付け誤差補正方法、および補正用治具 - Google Patents
形状測定装置の組み付け誤差補正方法、および補正用治具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013101114A JP2013101114A JP2012232104A JP2012232104A JP2013101114A JP 2013101114 A JP2013101114 A JP 2013101114A JP 2012232104 A JP2012232104 A JP 2012232104A JP 2012232104 A JP2012232104 A JP 2012232104A JP 2013101114 A JP2013101114 A JP 2013101114A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer peripheral
- peripheral edge
- correction
- correction jig
- displacement meter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】ワーク支持部1と、これに支持されたワークの外周縁にレーザ光を照射し、そこからの反射光を受光して測定データを出力するレーザ変位計2と、ワーク支持部1をX方向に直線移動させるX方向移動部4と、ワーク支持部1をY方向に直線移動させるY方向移動部5と、ワークをθ方向に回転移動させるθ方向移動部6と、を備える形状測定装置の組み付け誤差を補正する場合に、X方向およびY方向の組み付け誤差を補正するための円弧状の外周縁と、θ方向の組み付け誤差を補正するための直線状の外周縁を有する補正用治具を用いる。
【選択図】図1
Description
このとき、レーザ変位計の測定範囲にワークの外周縁が収まるようにする。その後、ワーク支持部の駆動によってワークを回転させることにより、ワークの外周縁上の異なる位置にレーザ変位計からのレーザ光を照射する。そして、それぞれのワーク回転角度に応じてレーザ変位計から出力される測定データを取得する。これにより、ワークの全周にわたってレーザ変位計による測定データが得られるとともに、この測定データにしたがってワークの形状を測定することができる。
測定の対象となるワークを支持するワーク支持部と、前記ワーク支持部に支持されたワークの外周縁にレーザ光を照射し、そこからの反射光を受光して測定データを出力するレーザ変位計と、前記ワーク支持部と前記レーザ変位計を相対的にX方向に直線移動させるX方向移動手段と、前記ワーク支持部と前記レーザ変位計を相対的にY方向に直線移動させるY方向移動手段と、前記ワーク支持部に支持されたワークをθ方向に回転移動させるθ方向移動手段と、を備える形状測定装置の組み付け誤差を補正する方法であって、
X方向およびY方向の組み付け誤差を補正するための第1外周縁部と、θ方向の組み付け誤差を補正するための第2外周縁部とを有する補正用治具を、前記ワーク支持部に装着する治具装着工程と、
前記補正用治具の第1外周縁部に前記レーザ変位計からのレーザ光を照射したときに得られる測定データを用いて、X方向の組み付け誤差を補正するX方向補正工程と、
前記X方向補正工程の後に、前記補正用治具の第1外周縁部に前記レーザ変位計からのレーザ光を照射したときに得られる測定データを用いて、Y方向の組み付け誤差を補正するY方向補正工程と、
前記レーザ変位計からのレーザ光を照射する対象が、前記第1外周縁部と前記第2外周縁部との間で切り替わるように、前記θ方向移動手段の駆動によって前記補正用治具を回転させる照射対象切り替え工程と、
前記補正用治具の第2外周縁部に前記レーザ変位計からのレーザ光を照射したときに得られる測定データを用いて、θ方向の組み付け誤差を補正するθ方向補正工程と、
を含むことを特徴とする形状測定装置の組み付け誤差補正方法である。
前記補正用治具の第1外周縁部は、正円の一部をなす円弧状の外周縁で構成され、
前記補正用治具の第2外周縁部は、直線状の外周縁で構成され、
前記正円の中心は、前記補正用治具を前記ワーク支持部に装着して回転させたときの回転中心に位置し、
前記補正用治具の外周縁の全体形状が、前記円弧状の外周縁と前記直線状の外周縁を交互に2つずつ形成した略小判形に形成され、
前記2つの円弧状の外周縁は、前記補正用治具の長軸方向に対をなして形成され、
前記2つの直線状の外周縁は、前記補正用治具の短軸方向に対をなして形成され、
前記補正用治具を前記ワーク支持部に装着して回転させたときの回転中心は、前記補正用治具の長軸上において前記2つの円弧状の外周縁間の中心位置からずれた位置に設定され、
前記補正用治具の短軸方向において、前記回転中心から一方の直線状の外周縁までの距離と前記回転中心から他方の直線状の外周縁までの距離とが、互いに異なる距離に設定されている
ことを特徴とする上記第1の態様に記載の形状測定装置の組み付け誤差補正方法である。
測定の対象となるワークを支持するワーク支持部と、前記ワーク支持部に支持されたワークの外周縁にレーザ光を照射し、そこからの反射光を受光して測定データを出力するレーザ変位計と、前記ワーク支持部と前記レーザ変位計を相対的にX方向に直線移動させるX方向移動手段と、前記ワーク支持部と前記レーザ変位計を相対的にY方向に直線移動させるY方向移動手段と、前記ワーク支持部に支持されたワークをθ方向に回転移動させるθ方向移動手段と、を備える形状測定装置の組み付け誤差を補正する際に用いられる補正用治具であって、
X方向およびY方向の組み付け誤差を補正するための第1外周縁部と、
θ方向の組み付け誤差を補正するための第2外周縁部と、
を有し、
前記第1外周縁部は、正円の一部をなす円弧状の外周縁で構成され、
前記第2外周縁部は、直線状の外周縁で構成され、
前記正円の中心は、前記補正用治具を前記ワーク支持部に装着して回転させたときの回転中心に位置している
ことを特徴とする補正用治具である。
前記補正用治具の外周縁の全体形状が、前記円弧状の外周縁と前記直線状の外周縁を交互に2つずつ形成した略小判形に形成されている
ことを特徴とする上記第3の態様に記載の補正用治具である。
前記2つの円弧状の外周縁は、前記補正用治具の長軸方向に対をなして形成され、
前記2つの直線状の外周縁は、前記補正用治具の短軸方向に対をなして形成され、
前記補正用治具を前記ワーク支持部に装着して回転させたときの回転中心は、前記補正用治具の長軸上において前記2つの円弧状の外周縁間の中心位置からずれた位置に設定されている
ことを特徴とする上記第4の態様に記載の補正用治具である。
[付記1]
前記補正用治具の短軸方向において、前記回転中心から一方の直線状の外周縁までの距離と前記回転中心から他方の直線状の外周縁までの距離とが、互いに異なる距離に設定されている
ことを特徴とする上記第5の態様に記載の補正用治具。
前記補正用治具の外周縁は、山形状の断面形状に形成された部分と、溝付きの断面形状に形成された部分を有する
ことを特徴とする上記第4〜第6の態様のいずれか一つに記載の補正用治具。
図1は本発明の実施の形態に係る形状測定装置の構成例を示す概略図である。図1においては、形状測定装置の主要な構成要素として、ワーク支持部1と、レーザ変位計2と、X方向移動部4と、Y方向移動部5と、θ方向移動部6と、移動制御部7と、データ処理部8とを備えている。形状測定装置は、ワーク支持部1に支持されたワーク(不図示)の形状を、レーザ変位計2を用いて測定するものである。
移動制御部7は、X方向におけるワーク支持部1の原点位置(以下「X方向原点位置」という。)を、図示しないX方向原点位置センサを用いて認識する。具体的には、X方向原点位置センサから原点検知信号が出力されたときに、ワーク支持部1がX方向原点位置にあると認識する。また、移動制御部7は、X方向原点位置センサから原点検知信号が出力された時点から、X方向移動部4の駆動源であるステッピングモータをいずれの方向にどれだけ回転させたかによって(換言すると、ステッピングモータに供給する駆動パルスの計数結果に基づいて)、X方向における回転部3の回転中心Prの位置を認識する。
移動制御部7は、Y方向におけるワーク支持部1の原点位置(以下「Y方向原点位置」という。)を、図示しないY方向原点位置センサを用いて認識する。具体的には、Y方向原点位置センサから原点検知信号が出力されたときに、ワーク支持部1がY方向原点位置にあると認識する。また、移動制御部7は、Y方向原点位置センサから原点検知信号が出力された時点から、Y方向移動部5の駆動源であるステッピングモータをいずれの方向にどれだけ回転させたかによって、Y方向における回転部3の回転中心Prの位置を認識する。
移動制御部7は、θ方向におけるワーク支持部1の原点位置(以下「θ方向原点位置」という)を、図示しないエンコーダーに付属のθ方向原点位置センサを用いて認識する。具体的には、θ方向原点位置センサから原点検知信号が出力されたときに、ワーク支持部1の回転部3がθ方向原点位置にあると認識する。また、移動制御部7は、θ方向原点位置センサから原点検知信号が出力された状態から、θ方向移動部6の駆動源であるステッピングモータをいずれの方向にどれだけ回転させたかによって、θ方向における回転部3の回転角度を認識する。
続いて、形状測定装置の組み付け誤差を補正する方法について説明する。本発明の実施の形態においては、図2に示す補正用治具10を用いて形状測定装置の組み付け誤差を補正する。そのため、最初に補正用治具10の構成を説明し、その後で、組み付け誤差の補正方法を説明する。
図2は本発明の実施の形態に係る補正用治具の構成を示すものであって、(A)は平面図、(B)は側面図を示している。
次に、上記構成の補正用治具10を用いた組み付け誤差の補正方法について説明する。この補正方法は、図3に示すように、治具装着工程S1と、X方向補正工程S2と、Y方向補正工程S3と、照射対象切り替え工程S4と、θ方向補正工程S5とを含むものである。以下、各工程について説明する。
治具装着工程S1は、補正用治具10をワークの代わりにワーク支持部1に装着する工程である。具体的には、ワークを取り外した状態のワーク支持部1の回転部3に補正用治具10の軸部12を挿入するとともに、上述した位置決め孔12dと位置決めピンの嵌合によって補正用治具10を位置決めする。また、ワーク支持部1の回転部3と補正用治具10の軸部12とが同軸となるように両者を緊密に嵌合させる。そして、この嵌合状態を維持しながら、たとえば真空吸着により回転部3に軸部12を固定する。これにより、ワーク支持部1の回転部3を回転させると、回転部3と一体に補正用治具10が回転するようになる。また、補正用治具10は、回転部3と共通の回転中心Prをもって回転するようになる。
X方向補正工程S2は、X方向の組み付け誤差を補正する工程である。X方向補正工程S2においては、補正用治具10の円弧状の外周縁14上に複数の測定点を設定し、当該複数の測定点にレーザ変位計2からのレーザ光を照射したときに得られる測定データを用いて、円弧状の外周縁14上においてレーザ変位計2に最も近い点を特定する。そして、この特定した点が存在するX方向の位置に基づいて、X方向の組み付け誤差を補正する。具体的には、以下のような処理を行う。
Y方向補正工程S3は、Y方向の組み付け誤差を補正する工程である。Y方向補正工程S3は、X方向補正工程S2でX方向の組み付け誤差を補正した後に行う必要がある。その理由は、X方向補正工程S2で特定した最近接点Pxに関する情報を利用してY方向の組み付け誤差を補正するためである。具体的には、上記ステップS28で設定した距離L2の情報を利用してY方向の組み付け誤差を補正する。以下、詳しく説明する。
照射対象切り替え工程S4は、レーザ変位計2からのレーザ光を照射する対象が、円弧状の外周縁14と直線状の外周縁15との間で切り替わるように、θ方向移動部6の駆動によって補正用治具10を回転させる工程である。ここでは、レーザ光の照射対象を円弧状の外周縁14から直線状の外周縁15へと切り替えるように、補正用治具10を回転させる。具体的には、θ方向においてワーク支持部1の回転部3をθ方向原点位置に戻すために、図5に示す状態から補正用治具10をθ2方向に90°回転させる。これにより、補正用治具10の直線状の外周縁(第2外周縁部に相当する部分)15がレーザ変位計2に対向する状態に配置される。
θ方向補正工程S5は、θ方向の組み付け誤差を補正する工程である。θ方向補正工程5は、X方向の組み付け誤差を補正する前に行ってもよいし、Y方向の組み付け誤差を補正する前に行ってもよい。その理由は、θ方向の組み付け誤差は、X方向の組み付け誤差やY方向の組み付け誤差の影響をほとんど受けないためである。
続いて、本発明の他の実施の形態について説明する。
本発明の他の実施の形態については、先述した実施の形態と比較して、特に、組み付け誤差の補正に用いる補正用治具の構成と、当該補正用治具を用いた組み付け誤差の補正方法が異なる。
図9は本発明の他の実施の形態に係る補正用治具の構成を示すものであって、(A)は平面図、(B)は側面図を示している。
次に、上記構成の補正用治具10を用いた組み付け誤差の補正方法について説明する。この補正方法は、図10に示すように、治具装着工程S11と、X方向補正工程S12と、Y方向補正工程S13と、照射対象切り替え工程S14と、θ方向補正工程S15と、補正適否確認工程S16と、確認結果通知工程S17とを含むものである。このうち、工程S11〜S15は、先述した実施の形態で説明した工程S1〜S5と基本的に同様である。ただし、工程S12においては、補正用治具10の回転中心Prから半径Raで規定される円弧状の外周縁(第1外周縁部に相当する部分)14aをレーザ光の照射対象とし、当該円弧状の外周縁14a上に複数の測定点を設定してX方向の組み付け誤差を補正する。また、工程S13においては、円弧状の外周縁14a上で特定した最近接点Px(図5参照)に関する情報を利用してY方向の組み付け誤差を補正する。また、工程S14においては、レーザ変位計2のレーザ光を照射する対象が、補正用治具10の円弧状の外周縁14aから直線状の外周縁(第2外周縁部に相当する部分)15aに切り替わるように、補正用治具10を回転させる。また、工程S15においては、補正用治具10の直線状の外周縁15a上に複数の測定点を設定してθ方向の組み付け誤差を補正する。以上で組み付け誤差の実質的な補正処理が完了となるが、これに引き続いて以下の工程S16,S17を行う。
補正適否確認工程S16は、上記の工程S11〜S15で実施した組み付け誤差の補正が適正に行われたかどうかを確認する工程である。補正適否確認工程S16においては、補正用治具10をθ方向に回転させるとともに、各々の回転角度位置でレーザ変位計2を用いて測定した測定データを取り込むことにより、補正用治具10の形状測定を行う。このとき得られる形状測定データは、補正用治具10の回転角度ごとの外周縁の位置データとなる。このため、補正用治具10の1回転分のデータをもとに補正用治具10の輪郭を表す平面視形状を測定(把握)することができる。また、レーザ変位計10が二次元レーザ変位計であるため、補正用治具10の回転角度ごとの外周縁の断面形状を測定(把握)することもできる。このような形状測定によって得られた補正用治具10の外周縁の形状測定データと、あらかじめメモリ等に記憶してある補正用治具10の外周縁の形状基準データとを、たとえばパターンマッチングにより比較し、この比較結果に基づいて組み付け誤差の補正適否を判断する。具体的には、パターンマッチングによる比較結果において、上記の形状測定データと形状基準データの類似度が、あらかじめ設定された許容値以内であれば、組み付け誤差の補正が適正に行われたと判断し、許容値オーバーであれば、組み付け誤差の補正が適正に行われていないと判断する。上記の形状基準データは、たとえば、組み付け誤差の補正対象となる形状測定装置よりも測定精度の高い形状測定装置を用いて、補正用治具10の形状測定を行うことにより得られるデータである。
確認結果通過工程S17は、上記補正適否確認工程S16での確認結果をオペレータに通知する工程である。オペレータに対する確認結果の通知は、メッセージ表示や音声案内などで行えばよい。具体的には、メッセージ表示による通知は、形状測定装置が備える操作部(不図示)の表示パネルに、確認結果を知らせるメッセージを表示することで行えばよい。また、音声案内による通知は、形状測定装置が備える操作部(不図示)のスピーカーから、確認結果を知らせる音声を出力することで行えばよい。
すなわち、形状測定装置の組み付け誤差をX方向、Y方向、θ方向のすべてについて補正した後に、当該補正の適否を確認し、その結果を通知するため、組み付け誤差の補正が適正に行われたことを確認したうえで、ワークの形状測定を実施することができる。
まず、上述したとおり補正用治具10を用いて、X方向、Y方向およびθ方向の組み付け誤差を補正した後、X方向移動部4、Y方向移動部5およびθ方向移動部6を適宜駆動することにより、レーザ変位計2の基準位置FPまたはその近傍に円弧状の外周縁14または直線状の外周縁15が配置された状態にする。ここでは一例として、レーザ変位計2の基準位置FPまたはその近傍に円弧状の外周縁14が配置されるものとする。
2…レーザ変位計
3…回転部
4…X方向移動部
5…Y方向移動部
6…θ方向移動部
7…移動制御部
8…データ処理部
10…補正用治具
11…治具本体
12…軸部
13…正円
14…円弧状の外周縁
15…直線状の外周縁
Claims (5)
- 測定の対象となるワークを支持するワーク支持部と、前記ワーク支持部に支持されたワークの外周縁にレーザ光を照射し、そこからの反射光を受光して測定データを出力するレーザ変位計と、前記ワーク支持部と前記レーザ変位計を相対的にX方向に直線移動させるX方向移動手段と、前記ワーク支持部と前記レーザ変位計を相対的にY方向に直線移動させるY方向移動手段と、前記ワーク支持部に支持されたワークをθ方向に回転移動させるθ方向移動手段と、を備える形状測定装置の組み付け誤差を補正する方法であって、
X方向およびY方向の組み付け誤差を補正するための第1外周縁部と、θ方向の組み付け誤差を補正するための第2外周縁部とを有する補正用治具を、前記ワーク支持部に装着する治具装着工程と、
前記補正用治具の第1外周縁部に前記レーザ変位計からのレーザ光を照射したときに得られる測定データを用いて、X方向の組み付け誤差を補正するX方向補正工程と、
前記X方向補正工程の後に、前記補正用治具の第1外周縁部に前記レーザ変位計からのレーザ光を照射したときに得られる測定データを用いて、Y方向の組み付け誤差を補正するY方向補正工程と、
前記レーザ変位計からのレーザ光を照射する対象が、前記第1外周縁部と前記第2外周縁部との間で切り替わるように、前記θ方向移動手段の駆動によって前記補正用治具を回転させる照射対象切り替え工程と、
前記補正用治具の第2外周縁部に前記レーザ変位計からのレーザ光を照射したときに得られる測定データを用いて、θ方向の組み付け誤差を補正するθ方向補正工程と、
を含むことを特徴とする形状測定装置の組み付け誤差補正方法。 - 前記補正用治具の第1外周縁部は、正円の一部をなす円弧状の外周縁で構成され、
前記補正用治具の第2外周縁部は、直線状の外周縁で構成され、
前記正円の中心は、前記補正用治具を前記ワーク支持部に装着して回転させたときの回転中心に位置し、
前記補正用治具の外周縁の全体形状が、前記円弧状の外周縁と前記直線状の外周縁を交互に2つずつ形成した略小判形に形成され、
前記2つの円弧状の外周縁は、前記補正用治具の長軸方向に対をなして形成され、
前記2つの直線状の外周縁は、前記補正用治具の短軸方向に対をなして形成され、
前記補正用治具を前記ワーク支持部に装着して回転させたときの回転中心は、前記補正用治具の長軸上において前記2つの円弧状の外周縁間の中心位置からずれた位置に設定され、
前記補正用治具の短軸方向において、前記回転中心から一方の直線状の外周縁までの距離と前記回転中心から他方の直線状の外周縁までの距離とが、互いに異なる距離に設定されている
ことを特徴とする請求項1に記載の形状測定装置の組み付け誤差補正方法。 - 測定の対象となるワークを支持するワーク支持部と、前記ワーク支持部に支持されたワークの外周縁にレーザ光を照射し、そこからの反射光を受光して測定データを出力するレーザ変位計と、前記ワーク支持部と前記レーザ変位計を相対的にX方向に直線移動させるX方向移動手段と、前記ワーク支持部と前記レーザ変位計を相対的にY方向に直線移動させるY方向移動手段と、前記ワーク支持部に支持されたワークをθ方向に回転移動させるθ方向移動手段と、を備える形状測定装置の組み付け誤差を補正する際に用いられる補正用治具であって、
X方向およびY方向の組み付け誤差を補正するための第1外周縁部と、
θ方向の組み付け誤差を補正するための第2外周縁部と、
を有し、
前記第1外周縁部は、正円の一部をなす円弧状の外周縁で構成され、
前記第2外周縁部は、直線状の外周縁で構成され、
前記正円の中心は、前記補正用治具を前記ワーク支持部に装着して回転させたときの回転中心に位置している
ことを特徴とする補正用治具。 - 前記補正用治具の外周縁の全体形状が、前記円弧状の外周縁と前記直線状の外周縁を交互に2つずつ形成した略小判形に形成されている
ことを特徴とする請求項3に記載の補正用治具。 - 前記2つの円弧状の外周縁は、前記補正用治具の長軸方向に対をなして形成され、
前記2つの直線状の外周縁は、前記補正用治具の短軸方向に対をなして形成され、
前記補正用治具を前記ワーク支持部に装着して回転させたときの回転中心は、前記補正用治具の長軸上において前記2つの円弧状の外周縁間の中心位置からずれた位置に設定されている
ことを特徴とする請求項4に記載の補正用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012232104A JP5961090B2 (ja) | 2011-10-20 | 2012-10-19 | 形状測定装置の組み付け誤差補正方法、および補正用治具 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011230829 | 2011-10-20 | ||
JP2011230829 | 2011-10-20 | ||
JP2012232104A JP5961090B2 (ja) | 2011-10-20 | 2012-10-19 | 形状測定装置の組み付け誤差補正方法、および補正用治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013101114A true JP2013101114A (ja) | 2013-05-23 |
JP5961090B2 JP5961090B2 (ja) | 2016-08-02 |
Family
ID=48621833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012232104A Expired - Fee Related JP5961090B2 (ja) | 2011-10-20 | 2012-10-19 | 形状測定装置の組み付け誤差補正方法、および補正用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5961090B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103307987A (zh) * | 2013-06-27 | 2013-09-18 | 爱司帝光电科技(苏州)有限公司 | 组装物的组装方法 |
JP2016021825A (ja) * | 2014-07-15 | 2016-02-04 | 三菱電機株式会社 | 巻線装置および巻線装置の巻線方法 |
WO2023032053A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社ニコン | 加工システム |
TWI834273B (zh) * | 2022-09-01 | 2024-03-01 | 台達電子工業股份有限公司 | 距離調整量測方法以及量測裝置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61137004A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-24 | Fujitsu Autom Kk | 半球状自由曲面体計測方法 |
JP2001165630A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-22 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機のセンサー校正装置 |
JP2008170376A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Toyota Motor Corp | 形状測定装置の校正方法及び校正用軸物 |
WO2011125829A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-13 | Hoya株式会社 | レンズ形状測定装置 |
-
2012
- 2012-10-19 JP JP2012232104A patent/JP5961090B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61137004A (ja) * | 1984-12-07 | 1986-06-24 | Fujitsu Autom Kk | 半球状自由曲面体計測方法 |
JP2001165630A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-06-22 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機のセンサー校正装置 |
JP2008170376A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Toyota Motor Corp | 形状測定装置の校正方法及び校正用軸物 |
WO2011125829A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-13 | Hoya株式会社 | レンズ形状測定装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103307987A (zh) * | 2013-06-27 | 2013-09-18 | 爱司帝光电科技(苏州)有限公司 | 组装物的组装方法 |
JP2016021825A (ja) * | 2014-07-15 | 2016-02-04 | 三菱電機株式会社 | 巻線装置および巻線装置の巻線方法 |
WO2023032053A1 (ja) * | 2021-08-31 | 2023-03-09 | 株式会社ニコン | 加工システム |
TWI834273B (zh) * | 2022-09-01 | 2024-03-01 | 台達電子工業股份有限公司 | 距離調整量測方法以及量測裝置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5961090B2 (ja) | 2016-08-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5961090B2 (ja) | 形状測定装置の組み付け誤差補正方法、および補正用治具 | |
JP5801796B2 (ja) | レンズ形状測定装置 | |
KR20150140561A (ko) | 판재의 둘레가장자리 가공장치 및 곡면판의 둘레가장자리 가공방법 | |
WO2006003939A1 (ja) | 眼鏡レンズの製造方法 | |
JP2006330210A (ja) | レンズの心出し方法及び装置 | |
JP6420063B2 (ja) | 回転テーブルの機械誤差の測定方法及び板材の周縁加工方法 | |
JP2008084938A (ja) | 基板処理装置に対する各種設定値の教示方法、教示用装置及びその校正治具 | |
KR20130096840A (ko) | 자동 초점 조절 기능을 가진 레이저 마킹 장치 | |
JP5688280B2 (ja) | 平板状ワークの周縁加工装置 | |
JP2010207978A (ja) | 切断ワイヤーとワークとの位置決め方法、及びその方法を用いた位置決め角度検出治具付きワイヤーソー | |
JP2013036804A (ja) | ワークテーブルのピッチエラーの測定方法 | |
JP2008171873A (ja) | 位置決め装置、位置決め方法、加工装置及び加工方法 | |
JP5301919B2 (ja) | 硬質脆性板の面取装置 | |
CN108061956B (zh) | 一种高精度透镜定心装校方法 | |
JP2019015704A (ja) | カム形状測定装置 | |
JP2005225113A (ja) | 成形型の位置決め方法及び装置並びにレンズ成形型組立方法及び装置 | |
JP2008209537A (ja) | レンズ心出し装置及びレンズ心出し方法 | |
CN208147134U (zh) | 激光加工机 | |
KR20170029381A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP3892992B2 (ja) | 眼鏡レンズのセンタリング装置 | |
JP2009088401A (ja) | ウェハ位置検出装置と、これを有する半導体製造装置 | |
EP4266001A1 (en) | Measuring apparatus and measuring method | |
WO2022185741A1 (ja) | ワーク形状計測システム、ワーク形状計測方法およびワーク形状計測プログラム | |
WO2022195907A1 (ja) | 脆性板の加工装置および脆性板の加工方法 | |
JP2007301695A (ja) | 眼鏡レンズの面取り方法および面取り装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150826 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160527 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160624 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5961090 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |