JP2013098407A - 太陽電池関連試料測定システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ソーラシミュレータ10と、付加測定装置20とによって試料測定システム1Aを構成する。ソーラシミュレータ10は、試料Sを載置するステージ11と、白色光供給部13と、ハウジング部15とを有する。付加測定装置20は、本体部21と、測定光路上に挿入された測定位置及び測定光路を外れた待機位置の間で移動可能に構成されたPL測定ユニット22とを有する。また、PL測定ユニット22は、供給部13からの白色光を励起光へと変換する光学フィルタ23と、励起光が照射された試料Sから放出される被測定光を検出する被測定光検出部24と、フィルタ23及び検出部24を一体に保持するユニット枠部25とを有する。
【選択図】 図2
Description
20…付加測定装置、21…測定装置本体部、22…フォトルミネッセンス測定ユニット(PL測定ユニット)、23…光学フィルタ、24…被測定光検出部、25…ユニット枠部、26…バンドパスフィルタ、27…照明装置、30…制御装置、31…表示装置、32…入力装置。
Claims (8)
- 太陽電池に関連する試料の特性を測定するためのソーラシミュレータと、
前記ソーラシミュレータを利用して、フォトルミネッセンス法による前記試料の測定を行うために用いられる付加測定装置とを備え、
前記ソーラシミュレータは、
前記試料を載置する試料ステージと、
前記試料に対して、擬似的な太陽光となる白色光を供給する白色光供給部と、
前記試料ステージ及び前記白色光供給部を一体に保持するハウジング部とを有し、
前記付加測定装置は、
前記ソーラシミュレータに対して所定位置に付加的に配置される測定装置本体部と、
前記測定装置本体部に取り付けられ、前記ソーラシミュレータに対し、前記白色光供給部から前記試料ステージへの測定光路上に挿入された測定位置、及び前記測定光路を外れた待機位置の間で移動可能に構成されたフォトルミネッセンス測定ユニットとを有し、
前記フォトルミネッセンス測定ユニットは、
前記フォトルミネッセンス測定ユニットを前記測定位置に配置したときに、前記白色光供給部から前記試料ステージへと供給される前記白色光を、所定の波長スペクトルを有する励起光へと変換する光学フィルタと、
前記光学フィルタからの前記励起光が照射された前記試料から放出される被測定光を検出する被測定光検出部と、
前記光学フィルタ及び前記被測定光検出部を一体に保持するとともに、前記測定位置及び前記待機位置の間で移動可能に前記測定装置本体部に取り付けられるユニット枠部とを有することを特徴とする太陽電池関連試料測定システム。 - 前記被測定光検出部は、前記被測定光による2次元画像を取得する撮像装置を有することを特徴とする請求項1記載の試料測定システム。
- 前記被測定光検出部は、前記被測定光を分光する分光器と、前記分光器によって分光された前記被測定光を検出する光検出器とを有することを特徴とする請求項1記載の試料測定システム。
- 前記フォトルミネッセンス測定ユニットは、前記試料ステージ及び前記被測定光検出部の間に配置され、前記被測定光のうちで所定の波長範囲内の光成分を前記被測定光検出部へと選択的に通過させる第2の光学フィルタを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の試料測定システム。
- 前記フォトルミネッセンス測定ユニットは、前記試料の通常画像の取得に用いられる照明装置を有することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の試料測定システム。
- 前記ソーラシミュレータ及び前記付加測定装置による前記試料のフォトルミネッセンス測定を制御する制御装置を備えることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の試料測定システム。
- 前記制御装置は、前記ソーラシミュレータにおいて、前記白色光供給部と前記試料ステージとの間に設けられているシャッタの動作を制御することを特徴とする請求項6記載の試料測定システム。
- 前記ソーラシミュレータに対して設けられ、前記試料の電気的特性の測定を行うための電気的特性測定装置を備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の試料測定システム。
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