JP2013088062A

JP2013088062A - 放熱装置

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Publication number: JP2013088062A
Application number: JP2011230061A
Authority: JP
Inventors: Hsiu-Wei Yang; 修維楊
Original assignee: Kiko Kagi Kofun Yugenkoshi
Current assignee: Kiko Kagi Kofun Yugenkoshi
Priority date: 2011-10-19
Filing date: 2011-10-19
Publication date: 2013-05-13
Anticipated expiration: 2031-10-19
Also published as: JP5744699B2

Abstract

【課題】熱伝導性が高く、熱抵抗が発生するのを防ぐことができる構成を有する放熱装置、放熱装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本体１１は、第１の板体１１２と、第２の板体１１３と、チャンバ１１４と、第１の側面１１４１と、第２の側面１１４２と、複数の支柱１１６と、作業流体１１５と、少なくとも１つの毛細管構造１１７と、を具備し、固定孔１１１は、少なくとも１つの支柱１１６を貫通するように形成されているとともに、第１の板体１１２及び第２の板体１１３において、固定孔１１１が形成された支柱１１６が当接する部位にも、第１の板体１１２及び第２の板体１１３を貫通するよう形成されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、放熱装置、放熱装置の製造方法に関し、特に、内部のチャンバから作業流体が漏れたり、熱伝導率に悪影響を及ぼしたりするのを防ぐ構成を有する放熱装置、放熱装置の製造方法に関する。

現在、電子機器は、軽量化及び薄型化が要求されていることから、電子機器を構成する各部材のサイズを縮小する必要がある。

しかし、電子機器を構成する半導体のサイズが縮小した場合であっても、電子機器及び該電子機器を用いたシステムの高性能化が要求される。このため、サイズが縮小された半導体から発生する熱は、電子機器及び該電子機器を用いたシステムの性能を改善する際の障害となる。

ここで、プレート型ヒートパイプは、狭く小さい空間において点と点との接触により熱伝導を行うヒートパイプと異なり、広い範囲に亘って接触する面と面とを用いて熱伝導を行う場合に適する。

従来の放熱装置は、基板に接続されたプレート型ヒートパイプにより、基板上の発熱部材が発生する熱を伝導する構成を有している。

従来のプレート型ヒートパイプは、チャンバを避けるように封止された箇所の四隅にヒートパイプを貫通するようヒートパイプの貫通方向に形成された穿孔に、雌ネジが設けられた銅柱が貫通されて固定されている。

また、基板のプレート型ヒートパイプの銅柱に対応する位置には、貫通方向に沿って少なくとも１つの孔部が設けられている。さらに、螺着部材が、銅柱及び孔部に螺着されることにより、プレート型ヒートパイプは、基板上に固定される。

しかし、この固定方式は、銅柱がプレート型ヒートパイプの四隅に配置されていることから、発熱部材との距離が遠く、発熱部材に密着することができないため、プレート型ヒートパイプを用いた熱伝導の際、熱抵抗が発生するという問題がある。

上述の問題を解決するため、プレート型ヒートパイプが発熱部材に貼着される部位に隣接する基板の位置に対応するよう、プレート型ヒートパイプに銅柱が配置された構成も周知である。

この構成では、銅柱は、プレート型ヒートパイプに設けられたチャンバに直接貫通されて設けられている。この構成においては、プレート型ヒートパイプと発熱部材とを組み合わせる際の密着性を高めることかができるため、プレート型ヒートパイプを用いた熱伝導の際、熱抵抗が発生するのを防ぐことができる。

しかしながら、プレート型ヒートパイプのチャンバは、銅柱が貫通されて設けられていることにより気密性を失うため、内部が真空状態でなくなってしまう。

また、チャンバ内の作業流体の流動経路が阻害されてしまうことから、熱伝導率が低下し、深刻な場合は、作業流体が漏れたり、熱伝導機能がなくなったりしてしまう場合もあった。

ここで、図１及び図２を参照する。図１及び図２に示すように、特許文献１〜特許文献３には、プレート型ヒートパイプ構造５に関する技術が開示されている。

プレート型ヒートパイプ本体（以下、単に本体と称す）５１は、第１の平板５１１及び断面ハット型の第２の平板５１２を有し、外周縁部に外突出部５１３が配置されている。外突出部５１３が第１の平板５１１及び第２の平板５１２に接続されることにより、本体５１内に密封チャンバ５１４が設けられている。

凹部５１１１は、第１の平板５１１に形成されているとともに、外突出部５１３から離れて位置しており、一部が第２の平板５１２に接続されている。

第１の平板５１１の凹部５１１１と、第２の平板５１２とを貫通方向に貫通するように、開口部５２が形成されている。

尚、凹部５１１１は、第２の平板５１２側にリング状外表面５１１２を有する。リング状外表面５１１２に、第２の平板５１２上において対応するリング状辺縁表面５１２１が接続されている。これにより、開口部５２は、本体５１外に独立し、隔絶されて位置している。

間隔部５３は、貫通方向において、第１の平板５１１と第２の平板５１２との間に接触するように延伸している。毛細管構造５４は、密封チャンバ５１４内に配置されている。

米国特許第７０６６２４０号明細書米国特許第６３０２１９２号明細書米国特許第７１００６８０号明細書

しかしながら、特許文献１〜３に開示されたプレート型ヒートパイプ構造は、凹部５１１１が設けられることにより、ヒートパイプを支持する構造になっているとともに気密効果を有するが、プレート型ヒートパイプの内部において作業流体が循環するチャンバ空間が大幅に縮小されてしまうことから、プレート型ヒートパイプと熱源とが接触する面積も小さくなるため、熱伝導率が低下するという問題がある。

即ち、特許文献１〜３に開示されたプレート型ヒートパイプ構造は、熱抵抗が発生し易いばかりか放熱面積が小さく、また、熱伝導率が低いといった問題があった。

本発明の目的は、熱伝導性が高く、熱抵抗が発生するのを防ぐことができる構成を有する放熱装置、放熱装置の製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の一態様における放熱装置は、ヒートパイプ本体及び該ヒートパイプ本体に少なくとも１つの固定孔を備える放熱装置であって、前記ヒートパイプ本体は、第１の板体と、前記第１の板体の外周縁部に対し、前記第１の板体との間に空間を有するよう接続された第２の板体と、前記第１の板体に前記第２の板体が接続されることにより前記空間に形成されたチャンバと、前記第１の板体における前記チャンバ内の前記第２の板体に対向する面に設けられた、第１の側面と、前記第２の板体における前記チャンバ内の前記第１の板体に対向する面に設けられた、第２の側面と、前記チャンバ内に配置された、一端が前記第１の側面に接続され他端が前記第２の側面に接続された複数の支柱と、前記チャンバ内に注入された作業流体と、前記チャンバの表面に設けられた、少なくとも１つの毛細管構造と、を具備し、前記固定孔は、少なくとも１つの前記支柱を貫通するように形成されているとともに、前記第１の板体及び前記第２の板体において、前記固定孔が形成された前記支柱が当接する部位にも、前記第１の板体及び前記第２の板体を貫通するよう形成されている。

また、本発明の一態様における放熱装置の製造方法は、第１の板体の外周縁部に、前記第１の板体との間に空間を有するように第２の板体を接続して、前記空間に、表面に少なくとも１つの毛細管構造が設けられたチャンバを形成し、前記チャンバ内に、一端が前記第１の板体に接続され他端が前記第２の板体に接続された複数の支柱を配置するステップと、前記チャンバに真空引きを行って密封し、該密封された前記チャンバに作業流体を充填するステップと、前記第１の板体と前記第２の板体との間に配置された何れかの前記支柱に対し、前記第１の板体及び前記第２の板体を介して機械により固定孔を設けるステップと、を含む。

本発明によれば、熱伝導性が高く、熱抵抗が発生するのを防ぐことができる構成を有する放熱装置、放熱装置の製造方法を提供することができる。

従来の放熱装置のプレート型ヒートパイプを示す断面図図１の放熱装置のプレート型ヒートパイプの平面図第１実施形態の放熱装置のプレート型ヒートパイプを示す分解斜視図図３の放熱装置のプレート型ヒートパイプを組み立てた状態を示す斜視図図４中のＡ−Ａ線に沿ったプレート型ヒートパイプの断面図第２実施形態の放熱装置のプレート型ヒートパイプを示す斜視図第３実施形態の放熱装置のプレート型ヒートパイプを示す断面図第４実施形態の放熱装置のプレート型ヒートパイプを示す断面図第５実施形態の放熱装置のプレート型ヒートパイプを示す分解斜視図第６実施形態の放熱装置のプレート型ヒートパイプを示す斜視図第７実施形態の放熱装置を示す分解斜視図図１１の放熱装置を組み立てた状態を示す斜視図第８実施形態の放熱装置を示す分解斜視図第９実施形態の放熱装置を示す分解斜視図図１４の放熱装置を組み立てた状態を示す斜視図第１〜第６実施の形態の放熱装置の製造方法を示す工程図

以下、本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、これによって本発明が限定されるものではない。

（第１実施形態）
図３〜図５を参照する。図３〜図５に示すように、第１実施形態による放熱装置１は、プレート型ヒートパイプ本体（以下、単に本体と称す）１１を具備する。

図５に示すように、本体１１は、該本体１１の一方の側面である一面１１２ｉにおいて外周縁部が他の部位よりも低く形成された断面略ハット状に折り曲げられた内部に空間を有する第１の板体１１２と、該第１の板体１１２の外周縁部において一面１１２ｉと反対側の面１１２ｔに対し、第１の板体１１２の空間を覆うように接続された平板状の第２の板体１１３と、第１の板体１１２と第２の板体１１３との間に配置される複数の支柱１１６とを有して主要部が構成されている。

尚、第１の板体１１２及び第２の板体１１３は、熱伝導に優れた材料から構成されており、銅材料、アルミニウム材料、ステンレス材料又はセラミック材料等が挙げられる。以下、第１の板体１１２及び第２の板体１１３を構成する材料としては、銅材料を例に挙げて説明するが、これに限定されない。

また、本体１１において、上述したように第１の板体１１２に第２の板体１１３が接続されることにより、内部にチャンバ１１４が密封されて形成されている。尚、チャンバ１１４内は、真空引きされることにより真空状態となっている。

チャンバ１１４内において、第１の板体１１２の第２の板体１１３に対向する面１１２ｔに、第１の側面１１４１が形成されており、第２の板体１１３の第１の板体１１２に対向する面に、第２の側面１１４２が形成されている。

さらに、図３、図５に示すように、チャンバ１１４内には、一端が第１の側面１１４１に接続され、他端が第２の側面１１４２に接続された複数の支柱１１６が、平面方向に互いに離間して複数設けられている。尚、支柱１１６は、拡散接合、焼結又は溶接等により、第１の側面１１４１及び第２の側面１１４２に接続される。

また、支柱１１６は、以下、銅材料から構成された銅柱を例に挙げて説明するが、これに限定されず、アルミニウム材料からなるアルミニウム等から構成された支柱でもよい。

さらに、チャンバ１１４内には、作業流体１１５が注入されており、作業流体１１５は、複数の支柱１１６を介してチャンバ１１４内において移動自在となっている。

チャンバ１１４の表面、例えば第１の側面１１４１には、少なくとも１つの既知の毛細管構造１１７が、拡散接合、焼結又は溶接等により形成されている。尚、毛細管構造１１７は焼結粉末体から構成されている。尚、チャンバ１１４の表面に毛細管構造１１が形成されていることにより、チャンバ１１４の表面と作業流体１１５との接触面積を大きくすることができることから、チャンバ１１４の表面から作業流体１１５に、または作業流体１１５からチャンバ１１４の表面に熱が伝熱しやすくなっている。

固定孔１１１は、第１の板体１１２と第２の板体１１３との接続方向Ｐにおいて、複数の支柱１１６の内、少なくとも１つの支柱１１６（図３中においては４つの支柱）を貫通するように形成されているとともに、第１の板体１１２及び第２の板体１１３において、固定孔１１１が形成された支柱１１６が当接する部位にも、第１の板体１１２及び第２の板体１１３を、方向Ｐにおいて貫通するよう形成されている。

（第２実施形態）
図６を参照する。図６に示すように、第２実施形態における放熱装置１のプレート型ヒートパイプの本体１１は、固定孔１１１が雌ネジ１１１１を有する点が第１実施形態と異なる。尚、その他の構造は、上述した第１実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。

（第３実施形態）
図７を参照する。図７に示すように、第３実施形態における放熱装置１のプレート型ヒートパイプの本体１１は、毛細管構造１１７がメッシュ体から構成されている点が第１実施形態と異なる。尚、その他の構造は、上述した第１実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。

（第４実施形態）
図８を参照する。図８に示すように、第４実施形態における放熱装置１のプレート型ヒートパイプの本体１１は、毛細管構造１１７がトレンチ（溝）から構成されている点が、第１実施形態と異なる。尚、その他の構造は、上述した第１実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。

（第５実施形態）
図９を参照する。図９に示すように、第５実施形態における放熱装置１のプレート型ヒートパイプの本体１１は、固定部材１１８を有する点が第１実施形態と異なる。

固定部材１１８は、方向Ｐの端部が固定孔１１１に貫通されて設けられるものであり、固定部材１１８には、雌ネジ１１８２を有する孔部１１８１が、方向Ｐに沿って貫通して形成されている。尚、その他の構造は、上述した第１実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。

（第６実施形態）
図１０を参照する。図１０に示すように、第６実施形態における放熱装置１のプレート型ヒートパイプの本体１１は、第１の板体１１２の一面１１２ｉに、少なくとも１つの受熱部１１９が、図１０中方向Ｐの上方に突設されている点が、第１実施形態と異なる。尚、一面１１２ｉを上方から平面視した状態において、受熱部１１９の周囲に、該受熱部１１９を囲むよう固定孔１１１が設けられている。尚、その他の構造は、上述した第１実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。

（第７実施形態）
図１１及び図１２を参照する。図１１及び図１２に示すように、第７実施形態における放熱装置１は、本体１１が基板２に貼着される点が第１実施形態と異なる。

図１１に示すように、本体１１は、第１の板体１１２の一面１１２ｉに、上述した少なくとも１つの受熱部１１９が突設されており、本体１１の他方の側面である、第２の板体１１３において第２の側面１１４２が形成された面とは反対側の面１１３ｔ（図５参照）に、放熱器３が接続されている。

本体１１の受熱部１１９は、基板２上の少なくとも１つの熱源２１に接触する。基板２の熱源２１の周囲には、上方から平面視した状態で熱源２１を囲むように、複数の固定ピン２２が、基板２を方向Ｐに貫通するように配置されている。

固定ピン２２は、基板２に本体１１が接続された際、固定孔１１１に対応する位置に設けられており、雌ネジ２２１が形成されている。

締結部材４が、放熱器３に形成された孔３ｈと固定孔１１１とを介して、固定ピン２２の雌ネジ２２１に螺着されることにより、図１２に示すように、放熱器３は、締結部材４により本体１１に固定され、本体１１は基板２上に固定される。尚、その他の構造は、上述した第１実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。

（第８実施形態）
図１３を参照する。図１３に示すように、第８実施形態における放熱装置１は、第２の実施形態の図６同様に、固定孔１１１が雌ネジ１１１１を有する点が第７実施形態と異なる。

締結部材４が、放熱器３に形成された孔３ｈを介して、固定孔１１１の雌ネジ１１１１と固定ピン２２の雌ネジ２２１とに螺着されることにより、放熱器３は、締結部材４により本体１１に固定され、本体１１は基板２上に固定される。尚、その他の構造は、上述した第７実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。

（第９実施形態）
図１４及び図１５を参照する。図１４及び図１５に示すように、第９実施形態における放熱装置１は、第５実施の形態の図９同様に、本体１１が少なくとも１つの固定部材１１８を有する点が第７実施形態と異なる。

固定部材１１８は、方向Ｐの端部が固定孔１１１に貫通されて設けられるものであり、固定部材１１８には、雌ネジ１１８２を有する孔部１１８１が、方向Ｐに沿って貫通して形成されている。

締結部材４が、放熱器３に形成された孔３ｈを介して、孔部１１８１の雌ネジ１１８２と、固定ピン２２の雌ネジ２２１とに螺着されることにより、図１５に示すように、放熱器３は、締結部材４により本体１１に固定され、本体１１は基板２上に固定される。尚、その他の構造は、上述した第７実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。

次に、図３〜図１０及び図１６を参照して、第１〜第６実施の形態の放熱装置１の本体１１の製造方法を示す。

先ず、ステップＳ１において、第１の板体１１２及び第２の板体１１３を準備する。

次いで、ステップＳ２において、第１の板体１１２の外周縁部の底部１１２ｔに、第２の板体１１３の外周縁部を接続することにより、第１の板体１１２と第２の板体１１３との間に、チャンバ１１４を形成する。

その結果、チャンバ１１４内に、チャンバ１１４の第１の側面１１４１に一端が接続され、チャンバ１１４の第２の側面１１４２に他端が接続された複数の支柱１１６が、平面方向に互いに離間して複数設けられる。また、チャンバ１１４の表面、例えば第１の側面１１４１に、上述したように、少なくとも１つの既知の毛細管構造１１７が形成されている。

毛細管構造１１７は、上述した図５に示すように、例えば第１の側面１１４１に対し、焼結粉末体や、図７に示すように、メッシュ体や、図８に示すように、トレンチ等が用いられることにより構成されている。

次いで、ステップＳ３において、密封されたチャンバ１１４に真空引きを行い、該チャンバ１１４に作業流体１１５を充填する。

最後に、ステップＳ４において、第１の板体１１２と第２の板体１１３との間に配置された何れかの支柱１１６に対し、第１の板体１１２及び第２の板体１１３を介して機械により固定孔１１１を形成する。

尚、固定孔１１１の位置は、本体１１上に貼着され熱伝導が行われる熱源２１の位置に対応して決定する。機械により形成された固定孔１１１は、第１の板体１１２及び第２の板体１１３と、放熱装置１のチャンバ１１４内に配置された支柱１１６とを貫通する。

上述の機械により行う加工は、プレス加工、ドリル加工又はミーリング加工であり、本実施形態においては、例えばプレス加工を用いるとするが、これに限定されない。

このような製造方法によって、本体１１は製造される。

また、以上の放熱装置１の構成によれば、本体１１と基板２とが組み合わされる際の密着性を高め、本体１１において、熱伝導の際、熱抵抗が発生するのを防ぐことができ、さらに、固定孔１１１がチャンバ１１４には設けられないことから、本体１１のチャンバ１１４が破壊されることがないため、チャンバ１１４が真空気密性を維持し、チャンバ１１４内部の作業流体が漏れることがない。

即ち、本体１１は、熱源２１との密着性が高く、熱抵抗が発生しないばかりか、チャンバ１１４から作業流体が漏れず、さらには、使用寿命が長い放熱装置１を提供することができる。

尚、当該分野の技術を熟知するものが理解できるように、本発明の好適な実施形態を前述の通り開示したが、これらは決して本発明を限定するものではない。本発明の主旨と領域を逸脱しない範囲内で各種の変更や修正を加えることができる。従って、本発明の特許請求の範囲は、このような変更や修正を含めて広く解釈されるべきである。

１…放熱装置
２…基板
３…放熱器
４…締結部材
１１…本体
２１…熱源
２２…固定ピン
１１１…固定孔
１１２…第１の板体
１１３…第２の板体
１１４…チャンバ
１１５…作業流体
１１６…支柱
１１７…毛細管構造
１１８…固定部材
１１９…受熱部
２２１…雌ネジ
１１１１…雌ネジ
１１４１…第１の側面
１１４２…第２の側面
１１８１…孔部
１１８２…雌ネジ

本発明は、放熱装置に関し、特に、内部のチャンバから作業流体
が漏れたり、熱伝導率に悪影響を及ぼしたりするのを防ぐ構成を有する放熱装置に関する。

本発明の目的は、熱伝導性が高く、熱抵抗が発生するのを防ぐことができる構成を有す
る放熱装置を提供することにある。

本発明によれば、熱伝導性が高く、熱抵抗が発生するのを防ぐことができる構成を有す
る放熱装置を提供することができる。

Claims

ヒートパイプ本体及び該ヒートパイプ本体に少なくとも１つの固定孔を備える放熱装置であって、
前記ヒートパイプ本体は、
第１の板体と、
前記第１の板体の外周縁部に対し、前記第１の板体との間に空間を有するよう接続された第２の板体と、
前記第１の板体に前記第２の板体が接続されることにより前記空間に形成されたチャンバと、
前記第１の板体における前記チャンバ内の前記第２の板体に対向する面に設けられた、第１の側面と、
前記第２の板体における前記チャンバ内の前記第１の板体に対向する面に設けられた、第２の側面と、
前記チャンバ内に配置された、一端が前記第１の側面に接続され他端が前記第２の側面に接続された複数の支柱と、
前記チャンバ内に注入された作業流体と、
前記チャンバの表面に設けられた、少なくとも１つの毛細管構造と、
を具備し、
前記固定孔は、少なくとも１つの前記支柱を貫通するように形成されているとともに、前記第１の板体及び前記第２の板体において、前記固定孔が形成された前記支柱が当接する部位にも、前記第１の板体及び前記第２の板体を貫通するよう形成されていることを特徴とする放熱装置。
前記毛細管構造は、焼結粉末体、メッシュ体又はトレンチのいずれかから構成されていることを特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
前記固定孔に貫設された、雌ネジを有する孔部が形成された固定部材をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
前記ヒートパイプ本体の外周面の一方の側面には、周囲に前記固定孔が設けられた少なくとも１つの受熱部が突設されていることを特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
前記ヒートパイプ本体は、プレート型ヒートパイプであることを特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
前記ヒートパイプ本体の外周面の一方の側面に、少なくとも１つの基板に接触するとともに前記基板上の少なくとも１つの熱源に接触する受熱部が突設されており、前記外周面の前記一方の側面とは反対の他方の側面に、放熱器が接続されており、
前記基板の前記熱源の周囲には、複数の固定ピンが配置されており、前記固定ピンは、前記ヒートパイプ本体の前記固定孔に対応する位置に雌ネジが形成されており、
締結部材が、前記固定孔を介して前記固定ピンの前記雌ネジに螺着されることにより、前記ヒートパイプ本体は、前記基板上に固定されることを特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
前記ヒートパイプ本体は、該ヒートパイプ本体の前記固定孔に貫設されるとともに雌ネジを有する孔部が形成された少なくとも１つの固定部材を有し、
前記締結部材が、前記固定部材の前記孔部の前記雌ネジと前記固定ピンの前記雌ネジとに螺着されることにより、前記本体は、前記基板上に固定されることを特徴とする請求項６に記載の放熱装置の固定構造。
前記固定孔は、雌ネジを有することを特徴とする請求項１に記載の放熱装置。
前記固定孔は、雌ネジを有し、
前記締結部材が、前記固定孔の前記雌ネジと前記固定ピンの前記雌ネジとに螺着されることにより、前記本体は、前記基板上に固定されることを特徴とする請求項６に記載の放熱装置の固定構造。
第１の板体の外周縁部に、前記第１の板体との間に空間を有するように第２の板体を接続して、前記空間に、表面に少なくとも１つの毛細管構造が設けられたチャンバを形成し、前記チャンバ内に、一端が前記第１の板体に接続され他端が前記第２の板体に接続された複数の支柱を配置するステップと、
前記チャンバに真空引きを行って密封し、該密封された前記チャンバに作業流体を充填するステップと、
前記第１の板体と前記第２の板体との間に配置された何れかの前記支柱に対し、前記第１の板体及び前記第２の板体を介して機械により固定孔を設けるステップと、
を含むことを特徴とする放熱装置の製造方法。
前記毛細管構造は、焼結粉末体、メッシュ体又はトレンチのいずれかから構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の放熱装置の製造方法。
前記固定孔に貫設された、雌ネジを有する孔部が形成された固定部材をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の放熱装置の製造方法
前記機械による前記固定孔の加工は、プレス加工、ドリル加工又はミーリング加工のいずれかであることを特徴とする請求項１０に記載の放熱装置の製造方法。
前記支柱を、拡散接合、焼結又は溶接のいずれかにより、前記第１の板体及び前記第２の板体に接続するとともに、前記毛細管構造を、拡散接合、焼結又は溶接のいずれかにより、前記チャンバの表面に形成することを特徴とする請求項１０に記載の放熱装置の製造方法。