JP2013082587A - β−Ga2O3系単結晶の成長方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】EFG(Edge-defined film-fed growth)法によるβ−Ga2O3系単結晶の製造において、β−Ga2O3系単結晶をその(101)面に平行な方向に成長させ、(101)面内における<10−1>方向と成長方向とのなす角度φ(0°≦φ<90°)を90°未満とする。FZ(Floating Zone)法等の他の結晶成長方法を用いた場合であってもβ−Ga2O3系単結晶25の双晶化を効果的に抑えることができる。
【選択図】図5
Description
本実施の形態においては、EFG(Edge-defined film-fed growth)法によりβ−Ga2O3系単結晶を成長させる。
第2の実施の形態は、結晶の成長方向の範囲が第1の実施の形態と異なる。第1の実施の形態と同様の点については、説明を省略又は簡略化する。
本実施の形態によれば、β−Ga2O3系単結晶の結晶方位とその成長方向を制御することにより、β−Ga2O3系単結晶の双晶化を効果的に抑えることができる。
Claims (11)
- β−Ga2O3系単結晶をその(101)面に平行な方向に成長させ、前記(101)面内における<10−1>方向と前記方向とのなす角度φ(0°≦φ<90°)が90°未満である、
β−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - 前記角度φは45°以下である、
請求項1に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - 前記角度φは20°以下である、
請求項2に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - 前記角度φは0°である、
請求項3に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - 前記β−Ga2O3系単結晶は前記(101)面を主面とする平板状の結晶である、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - EFG法により前記β−Ga2O3系単結晶を成長させる、
請求項5に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - β−Ga2O3系単結晶をその(100)面に垂直な直線となす角度が55.2°以内の方向に成長させる、
β−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - β−Ga2O3系単結晶をその(100)面に垂直な直線となす角度が36.2°以内の方向に成長させる、
請求項7に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - β−Ga2O3系単結晶をその(100)面に垂直な直線となす角度が13.7°の方向に成長させる、
請求項8に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - β−Ga2O3系単結晶をその(100)面に垂直な直線となす角度が0°の方向に成長させる、
請求項9に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。 - FZ法により前記β−Ga2O3系単結晶を成長させる、
請求項7〜10のいずれか1項に記載のβ−Ga2O3系単結晶の成長方法。
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