JP2013079883A - Sensor device - Google Patents

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Nobuhiro Kato
伸博 加藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor device capable of identifying a plurality of characteristics (physical quantities).SOLUTION: A second electrode 14 of a sensor device 10 comprises: a plurality of third electrode sections 14a arranged at an interval in a Y direction and extended in a X direction; and fourth electrode sections 14g arranged on one end sides of the plurality of the third electrode sections 14a and electrically connecting between adjacent third electrode sections 14a. The third electrode section 14a comprises: two first conductive parts 14b extended in the X direction; and a second conductive part 14c electrically connecting the two first conductive parts 14b on the other end side of the third electrode section 14a.

Description

本明細書では、センサ装置を開示する。   The present specification discloses a sensor device.

特許文献1に、液体内に配置される電極対を備える液面レベルセンサが開示されている。特許文献1の技術では、電極対の静電容量を測定することによって、液体の液面レベルが特定される。   Patent Document 1 discloses a liquid level sensor including an electrode pair disposed in a liquid. In the technique of Patent Document 1, the liquid level of the liquid is specified by measuring the capacitance of the electrode pair.

特開2007−40753号公報JP 2007-40753 A

測定対象の複数の特性(物理量)の特定が望まれる場合がある。この場合、特定すべき物理量の数と同じ数のセンサ装置を用いることによって、複数の特性(物理量)を特定することができる。しかしながら、この構成では、複数のセンサ装置を配置するスペースを確保しなければならない。本明細書では、複数の特性(物理量)を特定可能なセンサ装置を提供する。   It may be desired to specify a plurality of characteristics (physical quantities) to be measured. In this case, a plurality of characteristics (physical quantities) can be specified by using the same number of sensor devices as the number of physical quantities to be specified. However, in this configuration, a space for arranging a plurality of sensor devices must be secured. In the present specification, a sensor device capable of specifying a plurality of characteristics (physical quantities) is provided.

本明細書で開示される技術は、センサ装置である。センサ装置は、第1の電極と、第2の電極と、を備える。第1の電極は、第1の電源に電気的に接続可能な第1の接続部が設けられている。第2の電極は、第2の電源に電気的に接続可能な第2の接続部が一端に設けられ、特定の電位に維持される特定の部分に電気的に接続可能な第3の接続部が他端に設けられている。第1の電極は、第1の電極部分と、第2の電極部分とを備える。第1の電極部分は、第1の方向に間隔を空けて配置されている。第1の電極部分のそれぞれは、第1の方向と異なる第2の方向に伸びている。第2の電極部分は、複数個の第1の電極部分を電気的に接続する。第2の電極は、第3の電極部分と、第4の電極部分とを備える。第3の電極部分は、第1の方向に間隔を空けて配置されている。第3の電極部分のそれぞれは、第2の方向に伸びている。複数個の第3の電極部分のそれぞれは、隣り合う2個の第1の電極部分の間に配置されている。第4の電極部分は、複数個の第3の電極部分の一方の端側に配置されている。第4の電極部分は、複数個の第3の電極部分のそれぞれについて、当該第3の電極部分と隣り合う第3の電極部分とを電気的に接続する。複数個の第3の電極部分のうちの少なくとも1個の第3の電極部分は、2個の第1の導電部と、第2の導電部と、を備える。2個の第1の導電部のそれぞれは、第2の方向に伸びている。第2の導電部は、2個の第1の導電部を、第3の電極部分の他方の端側で電気的に接続する。   The technology disclosed in this specification is a sensor device. The sensor device includes a first electrode and a second electrode. The first electrode is provided with a first connection portion that can be electrically connected to a first power source. The second electrode is provided with a second connection portion that can be electrically connected to the second power supply at one end, and a third connection portion that can be electrically connected to a specific portion maintained at a specific potential. Is provided at the other end. The first electrode includes a first electrode portion and a second electrode portion. The first electrode portions are arranged at an interval in the first direction. Each of the first electrode portions extends in a second direction different from the first direction. The second electrode portion electrically connects the plurality of first electrode portions. The second electrode includes a third electrode portion and a fourth electrode portion. The third electrode portions are arranged at an interval in the first direction. Each of the third electrode portions extends in the second direction. Each of the plurality of third electrode portions is disposed between two adjacent first electrode portions. The fourth electrode portion is disposed on one end side of the plurality of third electrode portions. For each of the plurality of third electrode portions, the fourth electrode portion electrically connects the third electrode portion and the adjacent third electrode portion. At least one third electrode portion of the plurality of third electrode portions includes two first conductive portions and a second conductive portion. Each of the two first conductive portions extends in the second direction. The second conductive portion electrically connects the two first conductive portions on the other end side of the third electrode portion.

このセンサ装置は、第2の電極の第3の接続部を特定の電位(基準電位)に接続した状態で、第1の電極の第1の接続部を第1の電源に接続し、かつ、第2の電極の第2の接続部を第2の電源に接続しない第1の状態と、第1の電極の第1の接続部を第1の電源に接続せず、かつ、第2の電極の第2の接続部を第2の電源に接続する第2の状態の2つの状態で使用することができる。   The sensor device connects the first connection portion of the first electrode to the first power source in a state where the third connection portion of the second electrode is connected to a specific potential (reference potential), and A first state in which the second connection portion of the second electrode is not connected to the second power source, and a second state in which the first connection portion of the first electrode is not connected to the first power source. The second connection portion can be used in two states of a second state in which the second connection portion is connected to the second power source.

第1の状態では、第2の電極は、第2の電源に接続されないため、特定の電位(基準電位)に維持される。一方、第1の電極は、第1の電源に接続される。この結果、第1の電極と第2の電極との間に電荷が蓄えられ、その電荷は第1の電極と第2の電極との間の静電容量によって変化する。したがって、センサ装置を第1の状態とすることで、第1の電極と第2の電極との間の静電容量と相関のある物理量を特定することができる。   In the first state, the second electrode is not connected to the second power supply, and thus is maintained at a specific potential (reference potential). On the other hand, the first electrode is connected to a first power source. As a result, electric charge is stored between the first electrode and the second electrode, and the electric charge changes due to the capacitance between the first electrode and the second electrode. Therefore, by setting the sensor device to the first state, it is possible to specify a physical quantity having a correlation with the capacitance between the first electrode and the second electrode.

一方、第2の状態では、第2の電極の第2の接続部に第2の電源から電圧が印加され、第2の電極の第3の接続部は特定の電位(基準電位)に接続される。この結果、第2の電極に電流が流れ、その電流値は第2の電極の抵抗値によって変化する。したがって、センサ装置を第2の状態とすることで、第2の電極の抵抗値と相関のある物理量(第1の状態とは異なる物理量)を特定することができる。この構成によれば、測定対象の複数の物理量を特定することができる。ここで、複数個の第3の電極部分のうちの少なくとも1個の第3の電極部分は、2個の第1の導電部と第2の導電部とを備えている。この結果、第2の電極を流れる電流の経路を長くし得る。即ち、第2の電極の抵抗値を大きくし得る。これにより、測定対象の物理量の変化に対する第2の電極の抵抗値の変化量を大きくでき、第2の状態におけるセンサ感度を向上し得る。   On the other hand, in the second state, a voltage is applied from the second power source to the second connection portion of the second electrode, and the third connection portion of the second electrode is connected to a specific potential (reference potential). The As a result, a current flows through the second electrode, and the current value varies depending on the resistance value of the second electrode. Therefore, by setting the sensor device to the second state, it is possible to specify a physical quantity (physical quantity different from the first state) correlated with the resistance value of the second electrode. According to this configuration, a plurality of physical quantities to be measured can be specified. Here, at least one third electrode portion of the plurality of third electrode portions includes two first conductive portions and second conductive portions. As a result, the path of the current flowing through the second electrode can be lengthened. That is, the resistance value of the second electrode can be increased. Thereby, the change amount of the resistance value of the second electrode with respect to the change of the physical quantity to be measured can be increased, and the sensor sensitivity in the second state can be improved.

第3の電極部分の断面積は、第1の電極部分の断面積及び第2の電極部分の断面積よりも小さくてもよい。第4の電極部分の断面積は、第1の電極部分の断面積及び第2の電極部分の断面積よりも小さくてもよい。この構成によれば、第2の電極の抵抗値を大きくすることができる。この結果、第2の状態において、測定対象の物理量の変化に対する第2の電極の抵抗値の変化量を大きくでき、第2の状態におけるセンサ感度を向上し得る。   The cross-sectional area of the third electrode portion may be smaller than the cross-sectional area of the first electrode portion and the cross-sectional area of the second electrode portion. The cross-sectional area of the fourth electrode portion may be smaller than the cross-sectional area of the first electrode portion and the cross-sectional area of the second electrode portion. According to this configuration, the resistance value of the second electrode can be increased. As a result, in the second state, the change amount of the resistance value of the second electrode with respect to the change of the physical quantity to be measured can be increased, and the sensor sensitivity in the second state can be improved.

複数個の第3の電極のそれぞれが、第2の方向に伸びている2個の第1の導電部と、2個の第1の導電部を第3の電極部分の他方の端側で電気的に接続する第2の導電部を備えていてもよい。この構成によれば、第2の電極の長さを長くすることができ、第2の電極の抵抗値を大きくすることができる。これにより、第2の状態において、測定対象の物理量の変化に対する第2の電極の抵抗値の変化量を大きくし得る。   Each of the plurality of third electrodes has two first conductive portions extending in the second direction, and the two first conductive portions are electrically connected to the other end side of the third electrode portion. A second conductive portion that is electrically connected may be provided. According to this configuration, the length of the second electrode can be increased, and the resistance value of the second electrode can be increased. Thereby, in the second state, the change amount of the resistance value of the second electrode with respect to the change of the physical quantity to be measured can be increased.

第2の電極は、第5の電極部分をさらに備えていてもよい。第5の電極部分は、複数個の第1の電極部分のうちの少なくとも一方の第1の電極部分よりも外側に位置してもよい。第4の電極部分は、さらに、第5の電極部分と、第5の電極部分と隣り合う第3の電極部分と、を第3の電極部分の一方の端側で接続してもよい。第5の電極部分は、それぞれが第2の方向に伸びている2個の第3の導電部と、2個の第3の導電部を第3の電極部分の他方の端側で電気的に接続する第4の導電部を備えていてもよい。この構成によれば、第2の電極の長さを長くすることができ、第2の電極の抵抗値を大きくすることができる。これにより、第2の状態において、測定対象の物理量の変化に対する第2の電極の抵抗値の変化量を大きくし得る。   The second electrode may further include a fifth electrode portion. The fifth electrode portion may be positioned outside at least one first electrode portion of the plurality of first electrode portions. The fourth electrode portion may further connect the fifth electrode portion and the third electrode portion adjacent to the fifth electrode portion on one end side of the third electrode portion. The fifth electrode portion includes two third conductive portions each extending in the second direction and the two third conductive portions electrically on the other end side of the third electrode portion. You may provide the 4th electroconductive part to connect. According to this configuration, the length of the second electrode can be increased, and the resistance value of the second electrode can be increased. Thereby, in the second state, the change amount of the resistance value of the second electrode with respect to the change of the physical quantity to be measured can be increased.

上記のセンサ装置を備えるセンサシステムも新規で有用である。このセンサシステムは、上記のセンサ装置と、特定装置と、を備える。特定装置は、センサ装置の少なくとも一部が液体内に配置されており、かつ、第3の接続部が上記の特定の部分に接続されている状態で、第1の接続部に第1の電源が接続されず、かつ、第2の接続部に第2の電源が接続されるときの第2の電極の抵抗値に基づいて、液体の温度を特定する。特定装置は、上記の特定の状態において、第1の接続部に第1の電源が接続され、かつ、第2の接続部に第2の電源が接続されていないときの第1の電極と第2の電極との間の静電容量と、特定された液体の温度と、に基づいて、液体の液位と、液体に含まれる特定の物体の濃度と、の少なくとも一方を特定する。   A sensor system including the sensor device is also novel and useful. This sensor system includes the above-described sensor device and a specific device. The specific device includes a first power source connected to the first connection portion in a state where at least a part of the sensor device is disposed in the liquid and the third connection portion is connected to the specific portion. Is not connected, and the temperature of the liquid is specified based on the resistance value of the second electrode when the second power source is connected to the second connection portion. In the specific state, the specific device includes the first electrode and the first electrode when the first power source is connected to the first connection unit and the second power source is not connected to the second connection unit. Based on the capacitance between the two electrodes and the temperature of the specified liquid, at least one of the liquid level and the concentration of a specific object included in the liquid is specified.

第1の電極と第2の電極との間の静電容量を検出することによって、液体の液位と、液体に含まれる特定の物質の濃度の少なくとも一方を特定することができる。しかしながら、液体の誘電率は、液体の温度によって変化するため、液体の液位等を適切に特定するためには、液体の温度を考慮することが好ましい。上記のセンサシステムでは、第2の電極の抵抗値を検出することによって、液体の温度を特定することができる。この結果、液体の温度と、第1の電極と第2の電極との間の静電容量に基づいて、液体の液位と、液体に含まれる特定の物質の濃度の少なくとも一方を、適切に特定することができる。   By detecting the capacitance between the first electrode and the second electrode, it is possible to specify at least one of the liquid level and the concentration of a specific substance contained in the liquid. However, since the dielectric constant of the liquid changes depending on the temperature of the liquid, it is preferable to consider the temperature of the liquid in order to appropriately specify the liquid level and the like. In the above sensor system, the temperature of the liquid can be specified by detecting the resistance value of the second electrode. As a result, based on the temperature of the liquid and the capacitance between the first electrode and the second electrode, at least one of the liquid level and the concentration of the specific substance contained in the liquid is appropriately set. Can be identified.

第1実施例のセンサシステムの概略を示す。1 shows an outline of a sensor system according to a first embodiment. 第2実施例のセンサシステムの概略を示す。The outline of the sensor system of the 2nd example is shown. 第3実施例のセンサ装置の正面図を示す。The front view of the sensor apparatus of 3rd Example is shown. 変形例のセンサ装置の正面図を示す。The front view of the sensor apparatus of a modification is shown.

(第1実施例)
(センサシステム2の構成)
図1に示すように、センサシステム2は、センサ装置10と、特定装置50を備える。センサシステム2は、燃料タンク(図示省略)内に配置され、エタノールを含む混合燃料のエタノール濃度を特定するために用いられる。
(First embodiment)
(Configuration of sensor system 2)
As shown in FIG. 1, the sensor system 2 includes a sensor device 10 and a specifying device 50. The sensor system 2 is disposed in a fuel tank (not shown), and is used for specifying the ethanol concentration of the mixed fuel containing ethanol.

(特定装置50の構成)
特定装置50は、発振回路52と、抵抗器54と、信号増幅部56と、整流部58と、演算部(MCU)60と、スイッチ62を備える。
(Configuration of specific device 50)
The identification device 50 includes an oscillation circuit 52, a resistor 54, a signal amplification unit 56, a rectification unit 58, a calculation unit (MCU) 60, and a switch 62.

発振回路52は、一定の周波数の信号(電圧)を発生する。発振回路52は、抵抗器54を介してスイッチ62に接続されている。スイッチ62は、発振回路52を、端子T1に接続する状態と、端子T2に接続する状態に切り替える。   The oscillation circuit 52 generates a signal (voltage) having a constant frequency. The oscillation circuit 52 is connected to the switch 62 via the resistor 54. The switch 62 switches the oscillation circuit 52 between a state connected to the terminal T1 and a state connected to the terminal T2.

信号増幅部56は、抵抗器54とスイッチ62との間の位置P1に接続されている。信号増幅部56には、位置P1における信号(電圧)が入力される。信号増幅部56は、入力する信号(電圧)を増幅する。整流部58には、信号増幅部56で増幅された信号が入力する。整流部58は、入力した信号(電圧)を整流する。演算部60は、信号増幅部56及び整流部58を介して位置P1における信号(電圧)が入力される。演算部60は、整流部58から入力された信号の電圧値と、燃料の温度とを用いて、エタノール濃度を算出するための濃度データベースと、整流部58から入力された信号の電圧値を用いて、燃料の温度を特定するための温度データベースを記憶している。これらのデータベースは、予め試験等を元に作成され、演算部60に記憶されている。   The signal amplifying unit 56 is connected to a position P1 between the resistor 54 and the switch 62. A signal (voltage) at the position P1 is input to the signal amplifier 56. The signal amplifier 56 amplifies the input signal (voltage). The signal amplified by the signal amplifier 56 is input to the rectifier 58. The rectifier 58 rectifies the input signal (voltage). The calculation unit 60 receives a signal (voltage) at the position P <b> 1 through the signal amplification unit 56 and the rectification unit 58. The calculation unit 60 uses the voltage value of the signal input from the rectification unit 58 and the temperature of the fuel, the concentration database for calculating the ethanol concentration, and the voltage value of the signal input from the rectification unit 58. Thus, a temperature database for specifying the temperature of the fuel is stored. These databases are created in advance based on tests and the like and stored in the calculation unit 60.

(センサ装置10の構成)
センサ装置10は、第1の電極12と、第2の電極14と、基板20を備える。基板20は、ポリイミドで形成されている。変形例では、基板20は、PPS(Poly Phenylene Sulfide Resin、ポリフェニレンサルファイド樹脂)で形成されていてもよい。基板20は、矩形状の平板である。
(Configuration of sensor device 10)
The sensor device 10 includes a first electrode 12, a second electrode 14, and a substrate 20. The substrate 20 is made of polyimide. In the modification, the substrate 20 may be formed of PPS (Poly Phenylene Sulfide Resin, polyphenylene sulfide resin). The substrate 20 is a rectangular flat plate.

基板20の一方の面には、第1の電極12と第2の電極14が配置されている。第1の電極12は、複数個(図1では5個)の第1の電極部分12b(なお、図1では1個の第1の電極部分12bのみに符号を付している)と、第2の電極部分12aを備える。複数個の第1の電極部分12bは、互いに平行に、燃料タンクの深さ方向(即ち燃料の深さ方向、図1のY方向)に垂直な方向(図1のX方向)に伸びている。複数個の第1の電極部分12bは、Y方向に等間隔に配置されている。複数個の第1の電極部分12bは、同一形状で形成されている。第2の電極部分12aは、Y方向に伸びている。第2の電極部分12aは、複数個の第1の電極部分12bの一方の端(図1の右側の端)に接続されている。これにより、複数個の第1の電極部分12bは、第2の電極部分12aに電気的に接続される。第2の電極部分12aの上端には、第1の電極12と端子T1とを接続する第1の接続部12cが設けられている。   The first electrode 12 and the second electrode 14 are disposed on one surface of the substrate 20. The first electrode 12 includes a plurality of (five in FIG. 1) first electrode portions 12b (in FIG. 1, only one first electrode portion 12b is provided with a reference numeral), Two electrode portions 12a are provided. The plurality of first electrode portions 12b extend in parallel to each other in a direction (X direction in FIG. 1) perpendicular to the depth direction of the fuel tank (that is, the fuel depth direction, the Y direction in FIG. 1). . The plurality of first electrode portions 12b are arranged at equal intervals in the Y direction. The plurality of first electrode portions 12b are formed in the same shape. The second electrode portion 12a extends in the Y direction. The second electrode portion 12a is connected to one end (the right end in FIG. 1) of the plurality of first electrode portions 12b. Thereby, the plurality of first electrode portions 12b are electrically connected to the second electrode portion 12a. A first connection portion 12c that connects the first electrode 12 and the terminal T1 is provided at the upper end of the second electrode portion 12a.

第2の電極14は、複数個(図1では4個)の第3の電極部分14a(なお、図1では1個の第3の電極部分14aのみに符号を付している)と、2個の第5の電極部分14f1,f2と、複数個(図1では5個)の第4の電極部分14gを備える。   The second electrode 14 includes a plurality of (four in FIG. 1) third electrode portions 14a (in FIG. 1, only one third electrode portion 14a is provided with a reference numeral), 2 A plurality of fifth electrode portions 14f1 and f2 and a plurality (five in FIG. 1) of fourth electrode portions 14g are provided.

第3の電極部分14aのそれぞれは、隣り合う2個の第1の電極部分12bの間に配置されている。第3の電極部分14aのそれぞれは、2個の第1の導電部14bと、1個の第2の導電部14cを備える。2個の第1の導電部14bは、互いに平行に、Y方向に間隔を空けて配置されている。2個の第1の導電部14bは、X方向に伸びており、同一の長さを有する。第2の導電部14cは、Y方向に伸びており、第1の導電部14bの右側の端において、2個の第1の導電部14bを電気的に接続している。複数個の第3の電極部分14aは、同一形状で形成されている。   Each of the third electrode portions 14a is disposed between two adjacent first electrode portions 12b. Each of the third electrode portions 14a includes two first conductive portions 14b and one second conductive portion 14c. The two first conductive portions 14b are arranged in parallel to each other and spaced from each other in the Y direction. The two first conductive portions 14b extend in the X direction and have the same length. The second conductive portion 14c extends in the Y direction, and electrically connects the two first conductive portions 14b at the right end of the first conductive portion 14b. The plurality of third electrode portions 14a are formed in the same shape.

一方の第5の電極部分14f2は、最も上方に位置する第1の電極部分12bよりも上方に配置されている。第5の電極部分14f2は、2個の第3の導電部14d2と、1個の第4の導電部14e2を備える。2個の第3の導電部14d2は、互いに平行に、Y方向に間隔を空けて配置されている。2個の第3の導電部14d2は、X方向に伸びている。なお、2個の第3の導電部14d2のうち、上方の第3の導電部14d2は、下方の第3の導電部14d2よりも短い。第4の導電部14e2は、Y方向に伸びており、第3の導電部14d2の右側の端において、第3の導電部14d2を電気的に接続している。   One fifth electrode portion 14f2 is disposed above the uppermost first electrode portion 12b. The fifth electrode portion 14f2 includes two third conductive portions 14d2 and one fourth conductive portion 14e2. The two third conductive portions 14d2 are arranged in parallel to each other with an interval in the Y direction. The two third conductive portions 14d2 extend in the X direction. Of the two third conductive portions 14d2, the upper third conductive portion 14d2 is shorter than the lower third conductive portion 14d2. The fourth conductive portion 14e2 extends in the Y direction, and electrically connects the third conductive portion 14d2 at the right end of the third conductive portion 14d2.

他方の第5の電極部分14f1は、複数個の第1の電極部分12bのうちの最も下方に位置する第1の電極部分12bよりも下方に配置されている。第5の電極部分14f1は、2個の第3の導電部14d1と、1個の第4の導電部14e1を備える。2個の第3の導電部14d1は、互いに平行に、Y方向に間隔を空けて配置されている。2個の第3の導電部14d1は、X方向に伸びており、同一の長さを有する。第4の導電部14e1は、Y方向に伸びており、第3の導電部14d1の右側の端において、第3の導電部14d1を電気的に接続している。   The other fifth electrode portion 14f1 is disposed below the first electrode portion 12b positioned at the lowest position among the plurality of first electrode portions 12b. The fifth electrode portion 14f1 includes two third conductive portions 14d1 and one fourth conductive portion 14e1. The two third conductive portions 14d1 are arranged in parallel to each other with an interval in the Y direction. The two third conductive portions 14d1 extend in the X direction and have the same length. The fourth conductive portion 14e1 extends in the Y direction, and electrically connects the third conductive portion 14d1 at the right end of the third conductive portion 14d1.

第5の電極部分14f1の第3の導電部14d1は、上方に位置する第5の電極部分14f2の第3の導電部14d2よりも長く、複数個の第3の電極部分14aの第1の導電部14bよりも長い。   The third conductive portion 14d1 of the fifth electrode portion 14f1 is longer than the third conductive portion 14d2 of the fifth electrode portion 14f2 positioned above, and the first conductive portions of the plurality of third electrode portions 14a. It is longer than the part 14b.

隣り合う2個の第3の電極部分14aはそれぞれ、第3の電極部分14a(即ち第1の導電部14b)の左側の端において、1個の第4の電極部分14gによって電気的に接続されている。詳細には、第4の電極部分14gは、隣り合う2個の第3の電極部分14aのうち、上方に位置する第3の電極部分14aの下側の第1の導電部14dと、下方に位置する第3の電極部分14aの上側の第1の導電部14dとを電気的に接続する。また、隣り合う第3の電極部分14aと第5の電極部分14f2とは、1個の第4の電極部分14gで接続されている。詳細には、第4の電極部分14gは、第5の電極部分14f2の下側の第3の導電部14d2と、第3の電極部分14aの上側の第1の導電部14bとを電気的に接続する。さらに、隣り合う第3の電極部分14aと第5の電極部分14f1とは、1個の第4の電極部分14gで接続されている。詳細には、第4の電極部分14gは、第5の電極部分14f1の上側の第3の導電部14d1と、第3の電極部分14aの下側の第1の導電部14bとを電気的に接続する。これにより、複数個の第3の電極部分14aと2個の第5の電極部分14f1,f2とが電気的に接続されている。   Two adjacent third electrode portions 14a are electrically connected to each other by one fourth electrode portion 14g at the left end of the third electrode portion 14a (that is, the first conductive portion 14b). ing. Specifically, the fourth electrode portion 14g includes a first conductive portion 14d below the third electrode portion 14a located above the two adjacent third electrode portions 14a and a lower portion. The first conductive portion 14d on the upper side of the third electrode portion 14a positioned is electrically connected. Further, the adjacent third electrode portion 14a and the fifth electrode portion 14f2 are connected by one fourth electrode portion 14g. Specifically, the fourth electrode portion 14g electrically connects the third conductive portion 14d2 below the fifth electrode portion 14f2 and the first conductive portion 14b above the third electrode portion 14a. Connecting. Further, the adjacent third electrode portion 14a and the fifth electrode portion 14f1 are connected by one fourth electrode portion 14g. Specifically, the fourth electrode portion 14g electrically connects the third conductive portion 14d1 above the fifth electrode portion 14f1 and the first conductive portion 14b below the third electrode portion 14a. Connecting. Thereby, the plurality of third electrode portions 14a and the two fifth electrode portions 14f1 and f2 are electrically connected.

第2の電極14は、第5の電極部分14f2の2個の第3の導電部14dのうち、上方に位置する第3の導電部14d2の左側の端から、Y方向に沿って基板20の上端まで伸びている。第2の電極14の基板20の上端に位置する部分には、第2の電極14と端子T2とを接続する第2の接続部14hが設けられている。   Of the two third conductive portions 14d of the fifth electrode portion 14f2, the second electrode 14 extends from the left end of the upper third conductive portion 14d2 along the Y direction along the Y direction. Extends to the top. A second connection portion 14 h that connects the second electrode 14 and the terminal T <b> 2 is provided in a portion of the second electrode 14 positioned at the upper end of the substrate 20.

また、第2の電極14は、第5の電極部分14f1の2個の第3の導電部14d1のうち、下方に位置する1個の第3の導電部14d1の左側の端から、Y方向に沿って基板20の上端まで伸びている延伸部14jを備える。延伸部14jの上端には、第2の電極14を接地するための第3の接続部14iが設けられている。   Further, the second electrode 14 extends in the Y direction from the left end of one third conductive portion 14d1 positioned below the two third conductive portions 14d1 of the fifth electrode portion 14f1. An extending portion 14j extending to the upper end of the substrate 20 is provided. A third connecting portion 14i for grounding the second electrode 14 is provided at the upper end of the extending portion 14j.

第2の電極14では、第2の接続部14hから第3の接続部14iに至るまでに、2個の第5の電極部分14f1,f2と、複数個の第3の電極部分14aと、複数個の第4の電極部分14gが直列に接続され、一本の導電経路が形成されている。   In the second electrode 14, from the second connection portion 14h to the third connection portion 14i, two fifth electrode portions 14f1 and f2, a plurality of third electrode portions 14a, a plurality of The four fourth electrode portions 14g are connected in series to form one conductive path.

第1、第2の電極12,14は、銅、銀又は白金を主原料とする導電材で形成されている。第1、第2の電極12,14は、例えば、導電材を基板20上に蒸着させることによって形成することができる。第1の電極12と第2の電極14とは、同一の材料であってもよいし、異なる材料であってもよい。第1の電極12の各電極部分12a,12bの長手方向に垂直な方向の断面積(以下、第1の断面積という)は、同一である。第2の電極14の各電極部分14a,14f1,f2,14gの長手方向に垂直な方向の断面積(以下、第2の断面積という)は、同一である。第2の断面積は、第1の断面積よりも小さい。基板20に形成されている第1及び第2の電極12,14は、保護膜22によって覆われている。保護膜22は、基板20と同じ材料、即ちポリイミドで形成されている。なお、第1の電極12と第2の電極14とは、電気的に接続されていない。   The first and second electrodes 12 and 14 are made of a conductive material mainly composed of copper, silver or platinum. The first and second electrodes 12 and 14 can be formed by evaporating a conductive material on the substrate 20, for example. The first electrode 12 and the second electrode 14 may be made of the same material or different materials. The cross-sectional areas in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the electrode portions 12a and 12b of the first electrode 12 (hereinafter referred to as the first cross-sectional area) are the same. The cross-sectional areas in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the electrode portions 14a, 14f1, f2, 14g of the second electrode 14 (hereinafter referred to as second cross-sectional areas) are the same. The second cross-sectional area is smaller than the first cross-sectional area. The first and second electrodes 12 and 14 formed on the substrate 20 are covered with a protective film 22. The protective film 22 is made of the same material as the substrate 20, that is, polyimide. Note that the first electrode 12 and the second electrode 14 are not electrically connected.

次いで、センサシステム2の動作について説明する。最初に、スイッチ62は、端子T2に接続される。これにより、発振回路52からの信号(電圧)は、第2の電極14の第2の接続部14hに印加される。この結果、第2の電極14の全体、即ち、2個の第5の電極部分14f1,f2と、複数個の第3の電極部分14aと、複数個の第4の電極部分14gを電流が流れる。第2の電極14は、抵抗器として機能する。第2の電極14は、燃料タンク内に設置されているため、第2の電極14のうち燃料内に位置する部分の温度は、燃料タンク内の燃料の温度と略等しい温度となっている。第2の電極14の抵抗値は、第2の電極14の温度(即ち燃料の温度)に依存して変化する。このため、第2の電極14の抵抗値を特定できると、燃料の温度を特定することができる。抵抗器54の抵抗値は一定であるため、第2の電極14の抵抗値に応じて、位置P1の電圧が変化する。したがって、位置P1の電圧を検出することで、第2の電極14の抵抗値を特定でき、燃料の温度を特定することができる。   Next, the operation of the sensor system 2 will be described. Initially, switch 62 is connected to terminal T2. Thereby, the signal (voltage) from the oscillation circuit 52 is applied to the second connection portion 14 h of the second electrode 14. As a result, current flows through the entire second electrode 14, that is, the two fifth electrode portions 14f1 and f2, the plurality of third electrode portions 14a, and the plurality of fourth electrode portions 14g. . The second electrode 14 functions as a resistor. Since the second electrode 14 is installed in the fuel tank, the temperature of the portion of the second electrode 14 located in the fuel is substantially equal to the temperature of the fuel in the fuel tank. The resistance value of the second electrode 14 changes depending on the temperature of the second electrode 14 (that is, the temperature of the fuel). For this reason, if the resistance value of the second electrode 14 can be specified, the temperature of the fuel can be specified. Since the resistance value of the resistor 54 is constant, the voltage at the position P1 changes according to the resistance value of the second electrode 14. Therefore, by detecting the voltage at the position P1, the resistance value of the second electrode 14 can be specified, and the temperature of the fuel can be specified.

演算部60は、発振回路52の信号が第2の電極14に入力されている間に、整流部58から入力される信号の電圧値と温度データベースとを用いて、燃料の温度を特定する。   The arithmetic unit 60 specifies the temperature of the fuel by using the voltage value of the signal input from the rectifier 58 and the temperature database while the signal of the oscillation circuit 52 is input to the second electrode 14.

続いて、スイッチ62は、端子T1に接続される。これにより、発振回路52からの信号(電圧)は、第1の電極12に印加される。第2の電極14は、第2の接続部14hが開放され、第3の接続部14iによって接地された状態となっている。この結果、第1の電極12と第2の電極14との間に、電荷が蓄えられる。第1の電極12と第2の電極14との静電容量は、燃料のエタノール濃度によって変化する。従って、第1の電極12と第2の電極14との静電容量が特定できると、燃料内のエタノール濃度を特定することができる。抵抗器54の抵抗値は一定であるため、第1の電極12と第2の電極14との静電容量に応じて、位置P1の電圧が変化する。したがって、位置P1の電圧を検出することで、第1の電極12と第2の電極14との静電容量を特定でき、燃料内のエタノール濃度を特定することができる。なお、第1の電極12と第2の電極14との静電容量は、燃料の温度によっても変化する。   Subsequently, the switch 62 is connected to the terminal T1. Thereby, a signal (voltage) from the oscillation circuit 52 is applied to the first electrode 12. The second electrode 14 is in a state in which the second connection portion 14h is opened and grounded by the third connection portion 14i. As a result, electric charges are stored between the first electrode 12 and the second electrode 14. The capacitances of the first electrode 12 and the second electrode 14 vary depending on the ethanol concentration of the fuel. Therefore, if the capacitance between the first electrode 12 and the second electrode 14 can be specified, the ethanol concentration in the fuel can be specified. Since the resistance value of the resistor 54 is constant, the voltage at the position P <b> 1 changes according to the capacitance between the first electrode 12 and the second electrode 14. Therefore, by detecting the voltage at the position P1, the capacitance between the first electrode 12 and the second electrode 14 can be specified, and the ethanol concentration in the fuel can be specified. In addition, the electrostatic capacitance of the 1st electrode 12 and the 2nd electrode 14 changes also with the temperature of a fuel.

演算部60は、発振回路52からの信号が第1の電極12に入力されている間に、整流部58から入力する信号の電圧値(即ち第1の電極12に印加される電圧値)と、特定済みの燃料の温度と、濃度データベースとを用いて、エタノール濃度を特定する。   The arithmetic unit 60 calculates the voltage value of the signal input from the rectifying unit 58 (that is, the voltage value applied to the first electrode 12) while the signal from the oscillation circuit 52 is input to the first electrode 12. The ethanol concentration is specified using the temperature of the specified fuel and the concentration database.

センサシステム2では、センサ装置10を用いて、燃料の温度を特定することができる。センサシステム2では、さらに、センサ装置10を用いて、燃料のエタノール濃度を特定することができる。この構成によれば、複数個のセンサ装置を用いることなく、燃料の温度とエタノール濃度とを特定することができる。   In the sensor system 2, the temperature of the fuel can be specified using the sensor device 10. In the sensor system 2, the ethanol concentration of the fuel can be specified using the sensor device 10. According to this configuration, the fuel temperature and the ethanol concentration can be specified without using a plurality of sensor devices.

第2の電極14の各電極部分14a,14f1,f2,14gの断面積(第2の断面積)は、第1の電極12の各電極部分12a,12bの断面積(第1の断面積)よりも小さい。この構成では、第2の断面積を第1の断面積と等しくする場合と比較して、第2の電極14の抵抗値を大きくすることができる。この結果、燃料の温度変化に応じた第2の電極14の抵抗値の変化量を大きくでき、燃料の温度に対するセンサ感度を向上することができる。   The cross-sectional area (second cross-sectional area) of each electrode portion 14a, 14f1, f2, 14g of the second electrode 14 is the cross-sectional area (first cross-sectional area) of each electrode part 12a, 12b of the first electrode 12. Smaller than. In this configuration, the resistance value of the second electrode 14 can be increased as compared with the case where the second cross-sectional area is equal to the first cross-sectional area. As a result, the amount of change in the resistance value of the second electrode 14 in accordance with the change in the fuel temperature can be increased, and the sensor sensitivity to the fuel temperature can be improved.

第2の電極14では、複数個の第3の電極部分のそれぞれは、2個の第1の導電部14bと、1個の第2の導電部14cを備える。第2の電極14に電圧が印加されると、複数個の第3の電極部分のそれぞれについて、2個の第1の導電部14bと、1個の第2の導電部14cに電流が流れる。この構成によれば、第2の電極14の全長、即ち、電流が流れる導電経路を長くすることができる。これにより、第2の電極14の抵抗値が大きくなる。この結果、燃料の温度変化に応じた第2の電極14の抵抗値の変化量を大きくでき、燃料の温度に対するセンサ感度を向上することができる。   In the second electrode 14, each of the plurality of third electrode portions includes two first conductive portions 14b and one second conductive portion 14c. When a voltage is applied to the second electrode 14, a current flows through the two first conductive portions 14b and the one second conductive portion 14c for each of the plurality of third electrode portions. According to this configuration, the entire length of the second electrode 14, that is, the conductive path through which the current flows can be lengthened. Thereby, the resistance value of the second electrode 14 is increased. As a result, the amount of change in the resistance value of the second electrode 14 in accordance with the change in the fuel temperature can be increased, and the sensor sensitivity to the fuel temperature can be improved.

第2の電極14は、第5の電極部分14f1,f2を備える。この構成によれば、第2の電極14の全長、即ち、電流が流れる電流経路を長くすることができる。これにより、第2の電極14の抵抗値が大きくなる。この結果、燃料の温度変化に応じた第2の電極14の抵抗値の変化量を大きくでき、燃料の温度に対するセンサ感度を向上することができる。   The second electrode 14 includes fifth electrode portions 14f1 and f2. According to this configuration, the entire length of the second electrode 14, that is, the current path through which the current flows can be lengthened. Thereby, the resistance value of the second electrode 14 is increased. As a result, the amount of change in the resistance value of the second electrode 14 in accordance with the change in the fuel temperature can be increased, and the sensor sensitivity to the fuel temperature can be improved.

1個の発振回路52によって、第1の電極12と第2の電極14とに電圧が印加される。この構成によれば、電極ごとに電源を設ける場合と比較して、特定装置50の構成を簡素化することができる。   A voltage is applied to the first electrode 12 and the second electrode 14 by one oscillation circuit 52. According to this structure, compared with the case where a power supply is provided for every electrode, the structure of the specific apparatus 50 can be simplified.

(第2実施例)
図2に示すように、センサシステム100は、センサ装置10と、特定装置150と、を備える。センサ装置10は、第1実施例のセンサ装置10と同一の構成である。
(Second embodiment)
As shown in FIG. 2, the sensor system 100 includes a sensor device 10 and a specifying device 150. The sensor device 10 has the same configuration as the sensor device 10 of the first embodiment.

特定装置150は、発振回路152と、抵抗器154と、信号増幅部156と、整流部158と、演算部(MCU)160を備える。各部152〜160は、第1実施例の各部50〜60と同一の構成である。特定装置150は、さらに、直流電源168と、抵抗器166と、スイッチ162,164を備える。   The identification device 150 includes an oscillation circuit 152, a resistor 154, a signal amplification unit 156, a rectification unit 158, and a calculation unit (MCU) 160. Each part 152-160 is the same structure as each part 50-60 of 1st Example. The identification device 150 further includes a DC power source 168, a resistor 166, and switches 162 and 164.

スイッチ162は、発振回路152と第1の電極12とを、接続する状態と切断する状態に切り替える。なお、信号増幅部156は、抵抗器154とスイッチ162との間の位置P2に接続されている。直流電源168は、抵抗器166を介して、スイッチ164に接続されている。スイッチ164は、直流電源168と第2の電極14とを、接続する状態と切断する状態に切り替える。   The switch 162 switches the oscillation circuit 152 and the first electrode 12 between a connected state and a disconnected state. The signal amplification unit 156 is connected to a position P2 between the resistor 154 and the switch 162. The DC power supply 168 is connected to the switch 164 via the resistor 166. The switch 164 switches the DC power source 168 and the second electrode 14 between a connected state and a disconnected state.

演算部160は、スイッチ164と第2の電極14との間の位置P3に接続されている。この結果、演算部160には、直流電源168が第2の電極14に接続されている間に、位置P3における信号(電圧)が入力する。   The calculation unit 160 is connected to a position P3 between the switch 164 and the second electrode 14. As a result, the signal (voltage) at the position P <b> 3 is input to the arithmetic unit 160 while the DC power source 168 is connected to the second electrode 14.

スイッチ164によって直流電源168と第2の電極14が接続され、スイッチ162によって発振回路152と第1の電極12が切断されている状態では、第2の電極14の全体を電流が流れる。第2の電極14は、抵抗器として機能する。演算部160には、位置P3における信号(電圧)が入力される。演算部160は、入力された信号の電圧値と温度データベースとを用いて、燃料の温度を特定することができる。   In a state where the DC power source 168 and the second electrode 14 are connected by the switch 164 and the oscillation circuit 152 and the first electrode 12 are disconnected by the switch 162, a current flows through the entire second electrode 14. The second electrode 14 functions as a resistor. A signal (voltage) at the position P3 is input to the calculation unit 160. The calculation unit 160 can specify the temperature of the fuel using the voltage value of the input signal and the temperature database.

一方、スイッチ164によって直流電源168と第2の電極14が切断され、スイッチ162によって発振回路152と第1の電極12が接続されている状態では、第1の電極12と第2の電極14との間に、電荷が蓄えられる。演算部160は、発振回路152からの信号電圧が第1の電極12に印加されている間に、整流部158から入力する信号の電圧値(即ち第1の電極12に印加される電圧)と、特定済みの燃料の温度と、濃度データベースとを用いて、エタノール濃度を特定する。   On the other hand, in a state where the DC power source 168 and the second electrode 14 are disconnected by the switch 164 and the oscillation circuit 152 and the first electrode 12 are connected by the switch 162, the first electrode 12 and the second electrode 14 During this period, charges are stored. The arithmetic unit 160 calculates the voltage value of the signal input from the rectifier unit 158 (that is, the voltage applied to the first electrode 12) while the signal voltage from the oscillation circuit 152 is applied to the first electrode 12. The ethanol concentration is specified using the temperature of the specified fuel and the concentration database.

第2実施例の構成でも、第1実施例と同様の効果を奏することができる。   The configuration of the second embodiment can achieve the same effects as the first embodiment.

また、特定装置150は、第1の電極12に電圧を印加する発振回路152と、第2の電極14に電圧を印加する直流電源168とが、別個に設けられている。この構成によれば、電極12,14毎に、特定すべき物理量に合わせて、適切な電圧信号を選択することができる。   Further, the identification device 150 is provided with an oscillation circuit 152 that applies a voltage to the first electrode 12 and a DC power source 168 that applies a voltage to the second electrode 14. According to this configuration, an appropriate voltage signal can be selected for each of the electrodes 12 and 14 according to the physical quantity to be specified.

(第3実施例)
図3に示すように、第3実施例のセンサ装置200は、第1の電極202と、第2の電極204と、第3の電極206と、基板220を備える。
(Third embodiment)
As shown in FIG. 3, the sensor device 200 of the third embodiment includes a first electrode 202, a second electrode 204, a third electrode 206, and a substrate 220.

基板220の一方の面には、3個の電極202,204,206が配置されている。第1の電極202は、複数個(図1では5個)の第1の電極部分202b(なお、図3では1個の第1の電極部分202bのみに符号を付している)と、第2の電極部分202aを備える。第1の電極部分202bと第2の電極部分202aとは、第1の電極部分12bと第2の電極部分12aと同様の構成を有する。第2の電極202は、さらに、第2の電極部分202aの上端(最も上に位置する第1の電極部分202bに接続されている部分)から基板220の上端まで、Y方向に伸びる延長部分202dを備える。なお、延長部分202dの上端には、発振回路(図示省略)に接続される第1の接続部202cが設けられている。   Three electrodes 202, 204, and 206 are disposed on one surface of the substrate 220. The first electrode 202 includes a plurality of (five in FIG. 1) first electrode portions 202b (in FIG. 3, only one first electrode portion 202b is provided with a reference numeral), Two electrode portions 202a are provided. The first electrode portion 202b and the second electrode portion 202a have the same configuration as the first electrode portion 12b and the second electrode portion 12a. The second electrode 202 is further extended in the Y direction from the upper end of the second electrode portion 202a (the portion connected to the uppermost first electrode portion 202b) to the upper end of the substrate 220. Is provided. Note that a first connection portion 202c connected to an oscillation circuit (not shown) is provided at the upper end of the extension portion 202d.

第1の電極202の延長部分202dと第2の電極204との間には、第3の電極206が配置されている。第3の電極206は、第1の電極部分202bよりも上側に位置する。   A third electrode 206 is disposed between the extended portion 202 d of the first electrode 202 and the second electrode 204. The third electrode 206 is located above the first electrode portion 202b.

第3の電極206は、複数個(図3では26個)の第6の電極部分206b(なお、図3では1個の第6の電極部分206bのみに符号を付している)と第7の電極部分206aとを備える。複数個の第6の電極部分206bは、互いに平行に、X方向に伸びている。複数個の第6の電極部分206bは、Y方向に等間隔に配置されている。複数個の第6の電極部分206bは、同一形状で形成されている。第7の電極部分206aは、Y方向に伸びている。第7の電極部分206aは、複数個の第1の電極部分206bの一方の端(図3の右側の端)に接続されている。これにより、複数個の第6の電極部分206bは、第7の電極部分206aに電気的に接続される。第7の電極部分206aの上端には、発振回路(図示省略)に接続される第4の接続部206cが設けられている。   The third electrode 206 includes a plurality (26 in FIG. 3) of sixth electrode portions 206b (in FIG. 3, only one sixth electrode portion 206b is provided with a reference numeral) and a seventh electrode portion. Electrode portion 206a. The plurality of sixth electrode portions 206b extend in the X direction in parallel with each other. The plurality of sixth electrode portions 206b are arranged at equal intervals in the Y direction. The plurality of sixth electrode portions 206b are formed in the same shape. The seventh electrode portion 206a extends in the Y direction. The seventh electrode portion 206a is connected to one end (the right end in FIG. 3) of the plurality of first electrode portions 206b. As a result, the plurality of sixth electrode portions 206b are electrically connected to the seventh electrode portion 206a. A fourth connection portion 206c connected to an oscillation circuit (not shown) is provided at the upper end of the seventh electrode portion 206a.

第6の電極部分206bは、第1の電極部分202bに平行に配置されている。第6の電極部分206bの長さ(X方向の長さ)は、第1の電極部分202bの長さ(X方向の長さ)よりも短い。   The sixth electrode portion 206b is disposed in parallel to the first electrode portion 202b. The length of the sixth electrode portion 206b (length in the X direction) is shorter than the length of the first electrode portion 202b (length in the X direction).

第2の電極204は、複数個の第3の電極部分204aと、複数個の第5の電極部分204f1〜f4と、複数個の第4の電極部分204gと、を備える。複数個の第3の電極204aは、第1の電極202に対応する複数個(図3では4個)の下方第3の電極部分204a1と、第3の電極206に対応する複数個(図3では25個)の上方第3の電極部分204a2と、を備える。なお、図3では、第3の電極部分204aと、下方第3の電極部分204a1と、上方第3の電極部分204a2と、第4の電極部分204gと、のそれぞれについて、1個の電極部分のみに符号を付している。   The second electrode 204 includes a plurality of third electrode portions 204a, a plurality of fifth electrode portions 204f1 to f4, and a plurality of fourth electrode portions 204g. The plurality of third electrodes 204a includes a plurality (four in FIG. 3) of lower third electrode portions 204a1 corresponding to the first electrode 202 and a plurality of third electrodes 204a (FIG. 3). 25) upper third electrode portions 204a2. In FIG. 3, only one electrode portion is provided for each of the third electrode portion 204a, the lower third electrode portion 204a1, the upper third electrode portion 204a2, and the fourth electrode portion 204g. The code | symbol is attached | subjected to.

下方第3の電極部分204a1のそれぞれは、隣り合う2個の第1の電極部分202bの間に配置されている。下方第3の電極部分204a1のそれぞれは、2個の下方第1の導電部204b1と、1個の下方第2の導電部204c1を備える。2個の下方第1の導電部204b1は、互いに平行に、Y方向に間隔を空けて配置されている。2個の下方第1の導電部204b1は、X方向に伸びており、同一の長さを有する。下方第2の導電部204c1は、Y方向に伸びており、下方第1の導電部204b1の右側の端において、2個の下方第1の導電部204b1を電気的に接続している。複数個の下方第3の電極部分204a1は、同一形状で形成されている。   Each of the lower third electrode portions 204a1 is disposed between two adjacent first electrode portions 202b. Each of the lower third electrode portions 204a1 includes two lower first conductive portions 204b1 and one lower second conductive portion 204c1. The two lower first conductive portions 204b1 are arranged in parallel with each other and spaced in the Y direction. The two lower first conductive portions 204b1 extend in the X direction and have the same length. The lower second conductive portion 204c1 extends in the Y direction, and electrically connects the two lower first conductive portions 204b1 at the right end of the lower first conductive portion 204b1. The plurality of lower third electrode portions 204a1 are formed in the same shape.

上方第3の電極部分204a2のそれぞれは、隣り合う2個の第6の電極部分206bの間に配置されている。上方第3の電極部分204a2のそれぞれは、2個の上方第1の導電部204b2と、1個の上方第2の導電部204c2を備える。2個の上方第1の導電部204b2は、互いに平行に、Y方向に間隔を空けて配置されている。2個の上方第1の導電部204b2は、X方向に伸びており、同一の長さを有する。上方第2の導電部204c2は、Y方向に伸びており、上方第1の導電部204b2の右側の端において、2個の上方第1の導電部204b2を電気的に接続している。複数個の上方第3の電極部分204a2は、同一形状で形成されている。   Each of the upper third electrode portions 204a2 is disposed between two adjacent sixth electrode portions 206b. Each of the upper third electrode portions 204a2 includes two upper first conductive portions 204b2 and one upper second conductive portion 204c2. The two upper first conductive portions 204b2 are arranged in parallel with each other and spaced in the Y direction. The two upper first conductive portions 204b2 extend in the X direction and have the same length. The upper second conductive portion 204c2 extends in the Y direction, and electrically connects the two upper first conductive portions 204b2 at the right end of the upper first conductive portion 204b2. The plurality of upper third electrode portions 204a2 are formed in the same shape.

第3の電極204の下端には、1個の第5の電極部分204f1が配置されている。第5の電極部分204f1は、最も下方に位置する第1の電極部分202bよりも下方に配置されている。第5の電極部分204f1は、2個の第3の導電部204d1と、1個の第4の導電部204e1を備える。2個の第3の導電部204d1は、互いに平行に、Y方向に間隔を空けて配置されている。2個の第3の導電部204d1は、X方向に伸びており、同一の長さを有する。なお、第3の導電部204d1のX方向の長さは、下方第1の導電部204b1よりも長い。第4の導電部204e1は、Y方向に伸びており、第3の導電部204d1の右側の端において、2個の第3の導電部204d1を電気的に接続している。   One fifth electrode portion 204f1 is disposed at the lower end of the third electrode 204. The fifth electrode portion 204f1 is disposed below the lowermost first electrode portion 202b. The fifth electrode portion 204f1 includes two third conductive portions 204d1 and one fourth conductive portion 204e1. The two third conductive portions 204d1 are arranged in parallel to each other and spaced from each other in the Y direction. The two third conductive portions 204d1 extend in the X direction and have the same length. The length of the third conductive portion 204d1 in the X direction is longer than that of the lower first conductive portion 204b1. The fourth conductive portion 204e1 extends in the Y direction, and electrically connects the two third conductive portions 204d1 at the right end of the third conductive portion 204d1.

最も上方に位置する第1の電極部分202bと最も下方に位置する第6の電極部分206bとの間には、2個の第5の電極部分204f2,f3が配置されている。第5の電極部分204f2は、2個の第3の導電部204d2と、1個の第4の導電部204e2を備える。第5の電極部分204f2は、下方第3の電極部分204a1と同一の形状を有する。2個の第3の導電部204d2は、2個の下方第1の導電部204b1に対応し、1個の第4の導電部204e2は、1個の下方第2の導電部204c1に対応する。   Two fifth electrode portions 204f2 and f3 are disposed between the uppermost first electrode portion 202b and the lowermost sixth electrode portion 206b. The fifth electrode portion 204f2 includes two third conductive portions 204d2 and one fourth conductive portion 204e2. The fifth electrode portion 204f2 has the same shape as the lower third electrode portion 204a1. The two third conductive portions 204d2 correspond to the two lower first conductive portions 204b1, and the one fourth conductive portion 204e2 corresponds to the one lower second conductive portion 204c1.

第5の電極部分204f3は、第5の電極部分204f2と第6の電極部分206bとの間に配置されている。第5の電極部分204f3は、2個の第3の導電部204d3と、1個の第4の導電部204e3を備える。第5の電極部分204f3は、上方第3の電極部分204a2と同一の形状を有する。2個の第3の導電部204d3は、2個の上方第1の導電部204b2に対応し、1個の第4の導電部204e3は、1個の上方第2の導電部204c2に対応する。   The fifth electrode portion 204f3 is disposed between the fifth electrode portion 204f2 and the sixth electrode portion 206b. The fifth electrode portion 204f3 includes two third conductive portions 204d3 and one fourth conductive portion 204e3. The fifth electrode portion 204f3 has the same shape as the upper third electrode portion 204a2. The two third conductive portions 204d3 correspond to the two upper first conductive portions 204b2, and the one fourth conductive portion 204e3 corresponds to the one upper second conductive portion 204c2.

第3の電極部分204aの上端には、1個の第5の電極部分204f4が配置されている。第5の電極部分204f4は、最も上方に位置する第6の電極部分206bよりも上方に配置されている。第5の電極部分204f4は、2個の第3の導電部204d4と、1個の第4の導電部204e4と、を備える。第5の電極部分204f4は、上方第3の電極部分204a2と同一の形状を有する。2個の第3の導電部204d4は、2個の上方第1の導電部204b2に対応し、1個の第4の導電部204e4は、1個の上方第2の導電部204c2に対応する。   One fifth electrode portion 204f4 is disposed at the upper end of the third electrode portion 204a. The fifth electrode portion 204f4 is disposed above the uppermost sixth electrode portion 206b. The fifth electrode portion 204f4 includes two third conductive portions 204d4 and one fourth conductive portion 204e4. The fifth electrode portion 204f4 has the same shape as the upper third electrode portion 204a2. The two third conductive portions 204d4 correspond to the two upper first conductive portions 204b2, and the one fourth conductive portion 204e4 corresponds to the one upper second conductive portion 204c2.

隣り合う2個の下方第3の電極部分204a1はそれぞれ、下方第3の電極部分204a1(即ち下方第1の導電部204b1)の左側の端において、1個の第4の電極部分204gによって電気的に接続されている。隣り合う2個の上方第3の電極部分204a2はそれぞれ、上方第3の電極部分204a2(即ち上方第1の導電部204b2)の左側の端において、1個の第4の電極部分204gによって、電気的に接続されている。   Two adjacent lower third electrode portions 204a1 are electrically connected to each other by one fourth electrode portion 204g at the left end of the lower third electrode portion 204a1 (ie, the lower first conductive portion 204b1). It is connected to the. Two adjacent upper third electrode portions 204a2 are electrically connected to each other by one fourth electrode portion 204g at the left end of the upper third electrode portion 204a2 (ie, the upper first conductive portion 204b2). Connected.

隣り合う下方第3の電極部分204a1と第5の電極部分204f1と、隣り合う下方第3の電極部分204a1と第5の電極部分204f2とは、それぞれ、下方第3の電極部分204a1の左側の端において、1個の第4の電極部分204gで接続される。隣り合う上方第3の電極部分204a2と第5の電極部分204f3と、隣り合う上方第3の電極部分204a2と第5の電極部分204f4とは、それぞれ、上方第3の電極部分204a2の左側の端において、1個の第4の電極部分204gで接続される。さらに、隣り合う第5の電極部分204f2と第5の電極部分204f3とは、上方第5の電極部分204f2の左側の端において、1個の第4の電極部分204gで接続される。これにより、複数個の第3の電極部分14aと4個の第5の電極部分14fとが電気的に接続されている。なお、第4の電極部分204gは、Y方向に沿って伸びている。   The adjacent lower third electrode portion 204a1 and fifth electrode portion 204f1, and the adjacent lower third electrode portion 204a1 and fifth electrode portion 204f2 are the left ends of the lower third electrode portion 204a1, respectively. In this case, the connection is made by one fourth electrode portion 204g. The adjacent upper third electrode portion 204a2 and fifth electrode portion 204f3, and the adjacent upper third electrode portion 204a2 and fifth electrode portion 204f4 are respectively the left ends of the upper third electrode portion 204a2. In this case, the connection is made by one fourth electrode portion 204g. Further, the adjacent fifth electrode portion 204f2 and the fifth electrode portion 204f3 are connected by one fourth electrode portion 204g at the left end of the upper fifth electrode portion 204f2. Accordingly, the plurality of third electrode portions 14a and the four fifth electrode portions 14f are electrically connected. The fourth electrode portion 204g extends along the Y direction.

なお、第4の電極部分204gは、第1実施例の第4の電極部分14gと同様に、隣り合う2個の電極部分のうち、上方に位置する電極部分の下側の導電部と、下方に位置する電極部分の上側の導電部とを電気的に接続する。   The fourth electrode portion 204g, like the fourth electrode portion 14g of the first embodiment, is connected to the lower conductive portion below the electrode portion located above the lower of the two adjacent electrode portions. Is electrically connected to the conductive portion on the upper side of the electrode portion located at the top.

第2の電極204は、第5の電極部分204f4の2個の第3の導電部204d4のうち、上方に位置する第3の導電部204d4の左側の端から、Y方向に沿って基板220の上端まで伸びている。第2の電極204の基板220の上端に位置する部分には、第2の電極204と端子T2とを接続する第2の接続部204hが設けられている。   The second electrode 204 extends from the left end of the third conductive portion 204d4 located above the second conductive portion 204d4 of the fifth electrode portion 204f4 along the Y direction along the Y direction. Extends to the top. A second connection portion 204h that connects the second electrode 204 and the terminal T2 is provided at a portion of the second electrode 204 positioned at the upper end of the substrate 220.

また、第2の電極204は、第5の電極部分204f1の2個の第3の導電部204d1のうち、下方に位置する第3の導電部204d1の左側の端から、Y方向に沿って、基板220の上端まで伸びている延伸部204jを備える。延伸部204jの上端には、第2の電極204を接地するための第3の接続部204iが設けられている。   Further, the second electrode 204 extends from the left end of the third conductive portion 204d1 positioned below the two third conductive portions 204d1 of the fifth electrode portion 204f1 along the Y direction. An extending portion 204j extending to the upper end of the substrate 220 is provided. At the upper end of the extending portion 204j, a third connection portion 204i for grounding the second electrode 204 is provided.

第2の電極204では、第2の接続部204hから第3の接続部204iに至るまでに、複数個の第5の電極部分204f1〜4と、複数個の第3の電極部分204aと、複数個の第4の電極部分204gが直列に接続され、一本の導電経路が形成されている。   In the second electrode 204, a plurality of fifth electrode parts 204f1 to 204f4, a plurality of third electrode parts 204a, a plurality of parts from the second connection part 204h to the third connection part 204i. The fourth electrode portions 204g are connected in series to form one conductive path.

第1、第2、第3の電極202,204,206は、第1実施例の第1、第2の電極12,14と同様に形成されていてもよい。第1、第2、第3の電極202,204,206とは、同一の材料であってもよいし、異なる材料であってもよい。第1の電極202の各電極部分202a,202bの長手方向に垂直な方向の断面積(以下、第3の断面積という)は、同一である。第3の電極206の各電極部分206a,206bの長手方向に垂直な方向の断面積(以下、第4の断面積という)は、同一である。第2の電極204の各電極部分204a等の長手方向に垂直な方向の断面積(以下、第2の断面積という)は、同一である。第1の断面積と第3の断面積とは同一であり、第2の断面積は、第1、第3の断面積よりも小さい。   The first, second, and third electrodes 202, 204, and 206 may be formed in the same manner as the first and second electrodes 12 and 14 of the first embodiment. The first, second, and third electrodes 202, 204, and 206 may be made of the same material or different materials. The cross-sectional areas (hereinafter referred to as third cross-sectional areas) in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the electrode portions 202a and 202b of the first electrode 202 are the same. The cross-sectional area in the direction perpendicular to the longitudinal direction of the electrode portions 206a and 206b of the third electrode 206 (hereinafter referred to as the fourth cross-sectional area) is the same. The sectional area in the direction perpendicular to the longitudinal direction of each electrode portion 204a and the like of the second electrode 204 (hereinafter referred to as the second sectional area) is the same. The first cross-sectional area is the same as the third cross-sectional area, and the second cross-sectional area is smaller than the first and third cross-sectional areas.

センサ装置200の使用方法について説明する。センサ装置200は、例えば、混合燃料の燃料タンク内に、Y方向が深さ方向となるように収容される。センサ装置200の一部は、燃料タンク内の燃料に浸かった状態で使用される。詳細には、センサ装置200のうち、第1の電極202の第1の電極部分202bは、常時、燃料に浸かった状態であり、第3の電極206は、燃料の液位に応じて、燃料に浸かっている長さが異なる。   A method of using the sensor device 200 will be described. The sensor device 200 is accommodated, for example, in a fuel tank of mixed fuel so that the Y direction is the depth direction. A part of the sensor device 200 is used in a state where it is immersed in the fuel in the fuel tank. Specifically, in the sensor device 200, the first electrode portion 202b of the first electrode 202 is always immersed in the fuel, and the third electrode 206 is a fuel according to the fuel level. The length immersed in is different.

燃料の温度を特定すべき場合、図示省略した発振回路からの信号(電圧)を、第2の接続部204hに印加する。この結果、第2の電極204は、抵抗器として機能する。第2の電極204に電圧が印加されると、第2の電極204の全体、即ち、複数個の第5の電極部分204fと、複数個の第3の電極部分204aと、複数個の第4の電極部分204gを電流が流れる。これにより、燃料の温度に依存して変化する第2の電極204の抵抗値を特定できると、燃料の温度を特定することができる。   When the temperature of the fuel is to be specified, a signal (voltage) from an oscillation circuit (not shown) is applied to the second connection portion 204h. As a result, the second electrode 204 functions as a resistor. When a voltage is applied to the second electrode 204, the entire second electrode 204, that is, a plurality of fifth electrode portions 204f, a plurality of third electrode portions 204a, and a plurality of fourth electrodes. Current flows through the electrode portion 204g. Accordingly, if the resistance value of the second electrode 204 that changes depending on the temperature of the fuel can be specified, the temperature of the fuel can be specified.

燃料のエタノール濃度を特定すべき場合、図示省略した発振回路からの信号(電圧)を、第1の接続部202cに印加する。第2の電極204は、第3の接続部204iによって接地された状態となっている。この結果、第2の電極202と第2の電極204との間に、電荷が蓄えられる。第1の電極202と第2の電極204との静電容量は、燃料のエタノール濃度によって変化する。従って、第1の電極202と第2の電極204との静電容量が特定できると、燃料内のエタノール濃度を特定することができる。この際、第1実施例と同様に、燃料の温度を考慮することによって、燃料内のエタノール濃度を、より適切に特定することができる。   When the ethanol concentration of the fuel is to be specified, a signal (voltage) from an oscillation circuit (not shown) is applied to the first connection portion 202c. The second electrode 204 is in a state of being grounded by the third connection portion 204i. As a result, electric charge is stored between the second electrode 202 and the second electrode 204. The capacitance between the first electrode 202 and the second electrode 204 varies depending on the ethanol concentration of the fuel. Therefore, if the capacitance between the first electrode 202 and the second electrode 204 can be specified, the ethanol concentration in the fuel can be specified. At this time, as in the first embodiment, the ethanol concentration in the fuel can be specified more appropriately by taking the temperature of the fuel into consideration.

燃料の液位を特定すべき場合、図示省略した発振回路からの信号(電圧)を、第4の接続部206cに印加をする。なお、第2の電極204は、第3の接続部204iによって接地された状態となっている。この結果、第3の電極206と第2の電極204との間に、電荷が蓄えられる。第3の電極206と第2の電極204との静電容量は、燃料に浸かっている第3の電極206(及び第2の電極204)の長さに依存して変化する。従って、第3の電極206と第2の電極204との静電容量を特定することによって、燃料の液位を特定することができる。なお、第3の電極206と第2の電極204との静電容量は、燃料の温度とエタノール濃度とによっても変化するため、燃料の温度とエタノール濃度とを考慮することによって、燃料の液位を、より適切に特定することができる。   When the fuel level is to be specified, a signal (voltage) from an oscillation circuit (not shown) is applied to the fourth connection portion 206c. Note that the second electrode 204 is grounded by the third connection portion 204i. As a result, electric charge is stored between the third electrode 206 and the second electrode 204. The capacitance between the third electrode 206 and the second electrode 204 varies depending on the length of the third electrode 206 (and the second electrode 204) immersed in the fuel. Therefore, by specifying the capacitance between the third electrode 206 and the second electrode 204, the fuel level can be specified. Note that the capacitance between the third electrode 206 and the second electrode 204 also changes depending on the fuel temperature and the ethanol concentration. Can be identified more appropriately.

第3実施例の構成でも、第1実施例と同様の効果を奏することができる。さらに、センサ装置200では、3個の電極を用いて、3個の物理量(燃料の温度、エタノール濃度及び液位)を特定することができる。   The configuration of the third embodiment can achieve the same effects as the first embodiment. Furthermore, in the sensor device 200, three physical quantities (fuel temperature, ethanol concentration, and liquid level) can be specified using three electrodes.

以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described in detail, these are only illustrations and do not limit a claim. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the specific examples illustrated above.

(変形例)
(1)センサ装置は、第1の電極302と、第2の電極304と、第3の電極306と、を備えるセンサ装置300であってもよい。第1の電極302は、第1実施例の第1の電極12と同様に、第1の電極部分302bと第2の電極部分302aとを備えていてもよい。第3の電極306は、第1の電極302に対して、対称に配置されていてもよい。即ち、第3の電極306は、第1の電極302と同様に、第1の電極部分306bと第2の電極部分306aとを備えていてもよい。第2の電極304は、隣り合う第1の電極部分306bの間と、隣り合う第1の電極部分302bの間と、に配置される複数個(図4では8個)の第3の電極部分304aを備えていてもよい。第2の電極304は、さらに、その上端側に、2個の第5の電極部分304bを備えていてもよい。複数個の第3の電極部分304aと2個の第5の電極部分304bとのうちの隣り合う電極部分は、第4の電極部分304cで接続されていてもよい。
(Modification)
(1) The sensor device may be a sensor device 300 including a first electrode 302, a second electrode 304, and a third electrode 306. Similar to the first electrode 12 of the first embodiment, the first electrode 302 may include a first electrode portion 302b and a second electrode portion 302a. The third electrode 306 may be disposed symmetrically with respect to the first electrode 302. That is, the third electrode 306 may include a first electrode portion 306 b and a second electrode portion 306 a, similarly to the first electrode 302. The second electrode 304 includes a plurality of (eight in FIG. 4) third electrode portions disposed between the adjacent first electrode portions 306b and between the adjacent first electrode portions 302b. 304a may be provided. The second electrode 304 may further include two fifth electrode portions 304b on the upper end side. Adjacent electrode portions of the plurality of third electrode portions 304a and the two fifth electrode portions 304b may be connected by the fourth electrode portion 304c.

センサ装置300は、第2の電極304が接地されている状態で、第1,第3の電極302,306に、同一の信号(電圧)を印加してもよい。これにより、第1,第3の電極302,306と第2の電極304との間の静電容量を特定することができる。さらに、第2の電極304に電圧を印加することによって、第2の電極304の抵抗値を特定することができる。センサ装置300によっても、第1実施例と同様の効果を奏することができる。   The sensor device 300 may apply the same signal (voltage) to the first and third electrodes 302 and 306 in a state where the second electrode 304 is grounded. Thereby, the electrostatic capacitance between the 1st, 3rd electrodes 302 and 306 and the 2nd electrode 304 can be specified. Further, the resistance value of the second electrode 304 can be specified by applying a voltage to the second electrode 304. The sensor device 300 can provide the same effects as those of the first embodiment.

(2)上記の第1実施例では、第2の導電部14cは、第2の導電部14bの右端において、2個の第2の導電部14bを接続している。しかしながら、第2の導電部14cは、第2の導電部14bの右端から所定の距離だけ左側の位置において、2個の第2の導電部14bを接続していてもよい。この構成も、「2個の第1の導電部を、第3の電極部分の他方の端側で電気的に接続する第2の導電部」に含まれる。 (2) In the first embodiment, the second conductive portion 14c connects two second conductive portions 14b at the right end of the second conductive portion 14b. However, the second conductive portion 14c may connect two second conductive portions 14b at a position on the left side by a predetermined distance from the right end of the second conductive portion 14b. This configuration is also included in the “second conductive portion that electrically connects two first conductive portions on the other end side of the third electrode portion”.

(3)上記の各実施例では、センサ装置10等は、燃料の温度、エタノール濃度及び液位を特定するために用いられている。しかしながら、センサ装置10等は、粒状の物体(例えば米)の貯留タンク内に配置されていてもよい。この場合、センサ装置10は、粒状の物体の温度と貯留量とを特定するために用いてもよい。 (3) In each of the above-described embodiments, the sensor device 10 or the like is used to specify the temperature, ethanol concentration, and liquid level of the fuel. However, the sensor device 10 or the like may be arranged in a storage tank for a granular object (for example, rice). In this case, the sensor device 10 may be used to specify the temperature and the storage amount of the granular object.

また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。   The technical elements described in this specification or the drawings exhibit technical usefulness alone or in various combinations, and are not limited to the combinations described in the claims at the time of filing. In addition, the technology illustrated in the present specification or the drawings achieves a plurality of objects at the same time, and has technical utility by achieving one of the objects.

2:センサシステム
10:センサ装置
12:第1の電極
12a:第2の電極部分
12b:第1の電極部分
12c:第1の接続部
14:第2の電極
14a:第3の電極部分
14b:第1の導電部
14c:第2の導電部
14d1,d2:第3の導電部
14e1,e2:第4の導電部
14f1,f2:第5の電極部分
14g:第4の電極部分
14h:第2の接続部
14i:第3の接続部
2: sensor system 10: sensor device 12: first electrode 12a: second electrode portion 12b: first electrode portion 12c: first connection portion 14: second electrode 14a: third electrode portion 14b: First conductive portion 14c: second conductive portion 14d1, d2: third conductive portion 14e1, e2: fourth conductive portion 14f1, f2: fifth electrode portion 14g: fourth electrode portion 14h: second Connecting portion 14i: third connecting portion

Claims (5)

第1の電源に電気的に接続可能な第1の接続部が設けられている第1の電極と、
第2の電源に電気的に接続可能な第2の接続部が一端に設けられ、特定の電位に維持される特定の部分に電気的に接続可能な第3の接続部が他端に設けられている第2の電極と、を備え、
前記第1の電極は、
第1の方向に間隔を空けて配置されており、それぞれが前記第1の方向と異なる第2の方向に伸びている複数個の第1の電極部分と、
前記複数個の第1の電極部分を電気的に接続する第2の電極部分と、を備え、
前記第2の電極は、
前記第1の方向に間隔を空けて配置されており、それぞれが前記第2の方向に伸びており、隣り合う2個の前記第1の電極部分の間に配置されている複数個の第3の電極部分と、
前記複数個の第3の電極部分の一方の端側に配置されており、前記複数個の第3の電極部分のそれぞれについて、当該第3の電極部分と隣り合う前記第3の電極部分とを電気的に接続する第4の電極部分と、を備え、
前記複数個の第3の電極部分のうちの少なくとも1個の前記第3の電極部分は、
それぞれが前記第2の方向に伸びている2個の第1の導電部と、
前記2個の第1の導電部を、前記第3の電極部分の他方の端側で電気的に接続する第2の導電部と、を備える、センサ装置。
A first electrode provided with a first connection portion electrically connectable to a first power source;
A second connection portion that can be electrically connected to the second power source is provided at one end, and a third connection portion that can be electrically connected to a specific portion maintained at a specific potential is provided at the other end. A second electrode,
The first electrode is
A plurality of first electrode portions that are spaced apart in a first direction and each extend in a second direction different from the first direction;
A second electrode portion that electrically connects the plurality of first electrode portions;
The second electrode is
A plurality of third electrodes are arranged in the first direction with an interval, each extending in the second direction, and arranged between two adjacent first electrode portions. An electrode portion of
The third electrode portions are arranged on one end side of the plurality of third electrode portions, and for each of the plurality of third electrode portions, the third electrode portion adjacent to the third electrode portion is arranged. A fourth electrode portion that is electrically connected,
At least one of the plurality of third electrode portions is the third electrode portion,
Two first conductive portions each extending in the second direction;
A sensor device comprising: a second conductive portion that electrically connects the two first conductive portions on the other end side of the third electrode portion.
前記第3の電極部分の断面積は、前記第1の電極部分の断面積及び前記第2の電極部分の断面積よりも小さく、
前記第4の電極部分の断面積は、前記第1の電極部分の断面積及び前記第2の電極部分の断面積よりも小さい、請求項1に記載のセンサ装置。
A cross-sectional area of the third electrode portion is smaller than a cross-sectional area of the first electrode portion and a cross-sectional area of the second electrode portion;
2. The sensor device according to claim 1, wherein a cross-sectional area of the fourth electrode portion is smaller than a cross-sectional area of the first electrode portion and a cross-sectional area of the second electrode portion.
前記複数個の第3の電極のそれぞれが、
前記第2の方向に伸びている前記2個の第1の導電部と、
前記2個の第1の導電部を、前記第3の電極部分の他方の端側で電気的に接続する前記第2の導電部と、
を備える、請求項1又は2に記載のセンサ装置。
Each of the plurality of third electrodes is
The two first conductive portions extending in the second direction;
The second conductive portion electrically connecting the two first conductive portions on the other end side of the third electrode portion;
The sensor device according to claim 1, comprising:
前記第2の電極は、
前記複数個の第1の電極部分のうち、前記第1の方向において、両端に配置される前記第1の電極部分のうちの少なくとも一方の前記第1の電極部分よりも外側に位置する第5の電極部分を、さらに備え、
前記第4の電極部分は、さらに、前記第5の電極部分と、前記第5の電極部分と隣り合う前記第3の電極部分と、を前記第3の電極部分の前記一方の端側で接続し、
前記第5の電極部分は、それぞれが前記第2の方向に伸びている2個の第3の導電部と、前記2個の第3の導電部を、前記第3の電極部分の他方の端側で電気的に接続する第4の導電部と、
を備える、請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサ装置。
The second electrode is
Of the plurality of first electrode portions, in the first direction, the fifth electrode is located outside of the first electrode portion of at least one of the first electrode portions arranged at both ends. The electrode portion of
The fourth electrode portion further connects the fifth electrode portion and the third electrode portion adjacent to the fifth electrode portion at the one end side of the third electrode portion. And
The fifth electrode portion includes two third conductive portions each extending in the second direction, and the two third conductive portions on the other end of the third electrode portion. A fourth conductive portion electrically connected on the side;
The sensor device according to claim 1, comprising:
請求項1から4のいずれか一項に記載のセンサ装置と、
特定装置と、を備え、
前記特定装置は、
前記センサ装置の少なくとも一部が液体内に配置されており、かつ、前記第3の接続部が前記特定の部分に接続されている特定の状態において、前記第1の接続部に前記第1の電源が接続されず、かつ、前記第2の接続部に前記第2の電源が接続されるときの前記第2の電極の抵抗値に基づいて、前記液体の温度を特定し、
前記特定の状態において、前記第1の接続部に前記第1の電源が接続され、かつ、前記第2の接続部に前記第2の電源が接続されてないときの前記第1の電極と前記第2の電極との間の静電容量と、特定された前記液体の温度と、に基づいて、前記液体の液位と、前記液体に含まれる特定の物体の濃度と、の少なくとも一方を特定する、センサシステム。
The sensor device according to any one of claims 1 to 4,
A specific device,
The specific device is:
In a specific state in which at least a part of the sensor device is disposed in the liquid and the third connecting portion is connected to the specific portion, the first connecting portion is connected to the first connecting portion. Based on the resistance value of the second electrode when the power source is not connected and the second power source is connected to the second connection portion, the temperature of the liquid is specified,
In the specific state, the first electrode when the first power supply is connected to the first connection portion and the second power supply is not connected to the second connection portion, and Based on the capacitance between the second electrode and the specified temperature of the liquid, at least one of the liquid level of the liquid and the concentration of a specific object included in the liquid is specified. A sensor system.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105765354A (en) * 2013-11-28 2016-07-13 西港电力公司 Capacitance-type sensor probe

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