JP2013064433A - 静圧気体軸受及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基部4、該基部4の一方の面5から一体的に突設されている環状突出部6、一端7では該環状突出部6の突出端面8で開口している一方、他端9では基部4の外周面10で開口すると共に環状突出部6及び基部4に設けられた給気通路11を備えた合成樹脂製の軸受基体2と、基部4の一方の面5に対面している一方の面41に形成されていると共に軸受基体2の環状突出部6を受容した環状凹所42、他方の面43で開口した環状凹溝44及び一端45では環状凹溝44に連通していると共に他端46では環状凹所42に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔47を有した合成樹脂製の軸受体3とを具備している。
【選択図】図1
Description
D1(円筒外壁面20の直径) φ41mm(公差+0.1、0)
D2(円筒外壁面18の直径) φ40mm(公差0、−0.05)
D3(円筒内壁面22の直径) φ20mm(公差0.05、0)
D4(円筒内壁面23の直径) φ19mm(公差0、−0.1)
d1(外側円筒内壁面66の直径) φ40mm(公差+0.10、+0.05)
d2(内側円筒内壁面76の直径) φ20mm(公差−0.05、−0.10)
<溶着条件>
加圧力:0.1MPa 振動振幅:40μm 発振時間:0.5秒 ホールド時間:0.5秒
2 軸受基体
3 軸受体
Claims (9)
- 基部、該基部の一方の面から一体的に突設されている環状突出部、一端では該環状突出部の突出端面で開口している一方、他端では基部の外周面で開口すると共に環状突出部及び基部に設けられた給気通路を備えた合成樹脂製の軸受基体と、基部の一方の面に対面している一方の面に形成されていると共に軸受基体の環状突出部を受容した環状凹所、他方の面で開口した環状凹溝及び一端では環状凹溝に連通していると共に他端では環状凹所に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔を有した合成樹脂製の軸受体とを具備しており、該軸受体は、該環状凹所を規定する軸受体の外側内周面及び内側内周面で環状突出部の外周面及び内周面に溶着接合されて、軸受基体に一体化されており、環状凹溝は、少なくとも0.3mmの幅と、少なくとも0.01mmの深さとを有しており、空気吹出孔は、その一端で少なくとも30μmの直径を有して、環状凹所と環状凹溝との間で自成絞りを形成していることを特徴とする静圧気体軸受。
- 環状凹溝は、0.3〜1.0mm又は0.3〜0.7mmの幅と、0.01〜0.05mm又は0.01〜0.03mmの深さとを有しており、該空気吹出孔は、その一端で30〜120μmの直径を有している請求項1に記載の静圧気体軸受。
- 環状凹溝及び空気吹出孔の夫々は、レーザー加工により形成されている請求項1又は2に記載の静圧気体軸受。
- 軸受基体の環状突出部の外周面は、円筒外壁面と、該円筒外壁面に連続して該円筒外壁面から外方に徐々に拡径する環状の截頭円錐外壁面と、該截頭円錐外壁面と連続して該基部の一方の面に連なると共に円筒外壁面よりも大径の円筒外壁面とを有しており、軸受基体の環状突出部の内周面は、円筒内壁面と、該円筒内壁面に連続して該円筒内壁面から内方に徐々に縮径する環状の截頭円錐内壁面と、該截頭円錐内壁面と連続して該基部の一方の面に連なると共に円筒内壁面よりも小径の円筒内壁面とを有しており、該軸受体の該環状凹所を規定する外側内周面は、当該環状凹所の開口端の外縁を規定する環状の周縁を有した外側円筒内壁面を具備しており、該軸受体の該環状凹所を規定する内側内周面は、当該環状凹所の開口端の内縁を規定する環状の周縁を有した内側円筒内壁面を有しており、該軸受体は、外側円筒内壁面を環状突出部の外周面の円筒外壁面に、内側円筒内壁面を環状突出部の内周面の円筒内壁面に夫々嵌合せしめると共に該環状凹所の開口端の外縁を規定する外側円筒内壁面の環状の周縁を環状突出部の外周面の截頭円錐外壁面に、該環状凹所の開口端の内縁を規定する内側円筒内壁面の環状の周縁を環状突出部の内周面の截頭円錐内壁面に夫々接触させており、該軸受体は、当該互いに接触する部位で超音波溶着により溶着接合されて、軸受基体に一体化されている請求項1から3のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 軸受基体の環状突出部の外周面は、円筒外壁面と、該円筒外壁面に連続して該円筒外壁面から外方に徐々に拡径する環状の截頭円錐外壁面と、該截頭円錐外壁面と連続して該基部の一方の面に連なると共に円筒外壁面よりも大径の円筒外壁面とを有しており、軸受基体の環状突出部の内周面は、円筒内壁面と、該円筒内壁面に連続して該円筒内壁面から内方に徐々に縮径する環状の截頭円錐内壁面と、該截頭円錐内壁面と連続して該基部の一方の面に連なると共に円筒内壁面よりも小径の円筒内壁面とを有しており、該軸受体の該環状凹所を規定する外側内周面は、外側円筒内壁面と、該外側円筒内壁面から徐々に拡径していると共に該環状凹所の開口端の外縁を規定する環状の周縁を有した外側截頭円錐内壁面とを具備しており、該軸受体の該環状凹所を規定する内側内周面は、内側円筒内壁面と、該内側円筒内壁面から徐々に縮径していると共に該環状凹所の開口端の内縁を規定する環状の周縁を有した内側截頭円錐内壁面とを具備しており、該軸受体は、外側円筒内壁面を環状突出部の外周面の円筒外壁面に、内側円筒内壁面を環状突出部の内周面の円筒内壁面に夫々嵌合せしめると共に外側截頭円錐内壁面を截頭円錐外壁面に、内側截頭円錐内壁面を截頭円錐内壁面に夫々接触させており、該軸受体は、当該互いに接触する部位で超音波溶着により溶着接合されて、軸受基体に一体化されている請求項1から3のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- 軸受体は、環状凹溝に加えて、その一方の面に形成されていると共に、該環状凹溝の外側に該環状凹溝を囲む大径環状凹溝と、一方の端部が該環状凹溝に開口すると共に他方の端部が大径環状凹溝に開口する複数個の第一の放射状凹溝と、該環状凹溝の内側に形成された小径環状凹溝と、一方の端部が環状凹溝に開口すると共に他方の端部が小径環状凹溝に開口する複数個の第二の放射状凹溝とを具備している請求項1から5のいずれか一項に記載の静圧気体軸受。
- (a)基部、該基部の一方の面から一体的に突設されている環状突出部、一端では該環状突出部の突出端面で開口している一方、他端では基部の外周面で開口すると共に環状突出部及び基部に設けられた給気通路を備えており、環状突出部の外周面が、円筒外壁面と、該円筒外壁面に連続して該円筒外壁面から外方に徐々に拡径する環状の截頭円錐外壁面と、該截頭円錐外壁面と連続して該基部の一方の面に連なると共に円筒外壁面よりも大径の円筒外壁面とを有しており、環状突出部の内周面が、円筒内壁面と、該円筒内壁面に連続して該円筒内壁面から内方に徐々に縮径する環状の截頭円錐内壁面と、該截頭円錐内壁面と連続して該基部の一方の面に連なると共に円筒内壁面よりも小径の円筒内壁面とを有している合成樹脂製の軸受基体を準備する工程と、(b)一方の面に形成されている環状凹所、他方の面で開口した環状凹溝及び一端では環状凹溝に連通していると共に他端では環状凹所に開口した複数個の空気吹出孔を備えており、該環状凹所を規定する外側内周面が、当該環状凹所の開口端の外縁を規定する環状の周縁を有した外側円筒内壁面を具備しており、該環状凹所を規定する内側内周面が、当該環状凹所の開口端の内縁を規定する環状の周縁を有した内側円筒内壁面を有している合成樹脂製の軸受体を準備する工程と、(c)基部の一方の面に軸受体の一方の面を対面させると共に軸受基体の環状突出部を軸受体の環状凹所に受容させ、該環状凹所の開口端の外縁を規定する外側円筒内壁面の環状の周縁を環状突出部の外周面の截頭円錐外壁面に、該環状凹所の開口端の内縁を規定する内側円筒内壁面の環状の周縁を環状突出部の内周面の截頭円錐内壁面に夫々接触させて該軸受体と軸受基体との組立体を形成する工程と、(d)該組立体における軸受体に工具ホーンを押し当て、加圧力0.098〜0.60MPa、振動振幅20〜80μm、発信時間0.1〜1.5秒、ホールド時間0.5〜1.0秒の溶着条件で超音波振動を与え、該接触部位において該軸受基体に軸受体を溶着接合する工程と、(e)軸受基体に溶着接合した軸受体の他方の面にレーザーを照射し、少なくとも0.3mmの幅と少なくとも0.01mmの深さとを有した環状凹溝と、一端では環状凹溝に連通していると共に他端では環状凹所に開口しており、一端で少なくとも30μmの直径を有した複数個の空気吹出孔を自成絞りとして形成する工程とからなる静圧気体軸受の製造方法。
- (a)基部、該基部の一方の面から一体的に突設されている環状突出部、一端では該環状突出部の突出端面で開口している一方、他端では基部の外周面で開口すると共に環状突出部及び基部に設けられた給気通路を備えており、環状突出部の外周面が、円筒外壁面と、該円筒外壁面に連続して該円筒外壁面から外方に徐々に拡径する環状の截頭円錐外壁面と、該截頭円錐外壁面と連続して該基部の一方の面に連なると共に円筒外壁面よりも大径の円筒外壁面とを有しており、環状突出部の内周面が、円筒内壁面と、該円筒内壁面に連続して該円筒内壁面から内方に徐々に縮径する環状の截頭円錐内壁面と、該截頭円錐内壁面と連続して該基部の一方の面に連なると共に円筒内壁面よりも小径の円筒内壁面とを有している合成樹脂製の軸受基体を準備する工程と、(b)一方の面に形成されている環状凹所、他方の面で開口した環状凹溝及び一端では環状凹溝に連通していると共に他端では環状凹所に開口した複数個の空気吹出孔を備えており、該環状凹所を規定する外側内周面が、外側円筒内壁面と、該外側円筒内壁面から徐々に拡径していると共に該環状凹所の開口端の外縁を規定する環状の周縁を有した外側截頭円錐内壁面とを具備しており、該環状凹所を規定する内側内周面が、内側円筒内壁面と、該内側円筒内壁面から徐々に縮径していると共に該環状凹所の開口端の内縁を規定する環状の周縁を有した内側截頭円錐内壁面とを具備している合成樹脂製の軸受体を準備する工程と、(c)基部の一方の面に軸受体の一方の面を対面させると共に軸受基体の環状突出部を軸受体の環状凹所に受容させ、外側截頭円錐内壁面を截頭円錐外壁面に、内側截頭円錐内壁面を截頭円錐内壁面に夫々接触させて該軸受体と軸受基体との組立体を形成する工程と、(d)該組立体における軸受体に工具ホーンを押し当て、加圧力0.098〜0.60MPa、振動振幅20〜80μm、発信時間0.1〜1.5秒、ホールド時間0.5〜1.0秒の溶着条件で超音波振動を与え、該接触部位において該軸受基体に軸受体を溶着接合する工程と、(e)軸受基体に溶着接合した軸受体の他方の面にレーザーを照射して、少なくとも0.3mmの幅と少なくとも0.01mmの深さとを有した環状凹溝と、一端では環状凹溝に連通していると共に他端では環状凹所に開口しており、一端で少なくとも30μmの直径を有した複数個の空気吹出孔を自成絞りとして形成する工程とからなる静圧気体軸受の製造方法。
- 軸受基体に溶着接合した軸受体の他方の面にレーザーを照射して、少なくとも0.3mm又は0.3〜1.0mmの幅と少なくとも0.01mm又は0.01〜0.1mmの深さとを有した環状凹溝と、一端では環状凹溝に連通していると共に他端では環状凹所に開口しており、一端で少なくとも30μm又は30〜120μmの直径を有した複数個の空気吹出孔を形成する工程とからなる請求項7又は8に記載の静圧気体軸受の製造方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001041242A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Ntn Corp | 静圧気体軸受装置 |
JP2007247762A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
JP2008082356A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体軸受 |
JP2008082449A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-04-10 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体軸受 |
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JP2008002356A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Sanden Corp | 圧縮機のシール構造 |
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JP2001041242A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-13 | Ntn Corp | 静圧気体軸受装置 |
JP2007247762A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Ntn Corp | 静圧気体軸受スピンドル |
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JP2008082356A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体軸受 |
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