JP2013051282A - Moving image generation apparatus, moving image generation method, and moving image generation system - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a moving image generation apparatus, a moving image generation method, and a moving image generation system which generate moving images that simulate design operation and detection operation of a substrate supporter, which is included in a transfer mechanism forming a substrate processing apparatus, and thereby providing cause determination materials regarding abnormal operation of the substrate supporter.SOLUTION: An operation data generation part 21b generates detection operation data 4D of a substrate supporter on the basis of received operation record information 2D regarding the substrate supporter. An extraction part 21a extracts shape data 5D and design operation data 6D of the substrate supporter from CAD data 1D relating to the substrate processing apparatus. A moving image generation apparatus includes a moving image generation part 21e, generating moving images that simulate design operation and detection operation of the substrate supporter on the basis of the extracted shape data 5D and the extracted design operation data 6D of the substrate supporter and the generated detection operation data 4D of the substrate supporter.

Description

本発明は、基板処理装置に係る動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムに関する。   The present invention relates to a moving image generation apparatus, a moving image generation method, and a moving image generation system according to a substrate processing apparatus.

基板処理装置に機械的異常が発生した場合、作業従事者は基板処理装置の狭い内部空間に潜り込み、目視により機械系部品の動作確認をする。しかし、目視による動作確認ができない状況があること、作業従事者の経験、スキル等には差があること等から、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因解明時間及び解明内容の品質にはバラツキがある。また、基板処理装置に機械的異常が発生した場合、作業従事者は必ず現場に出向かなければならないため、基板処理装置に機械的動作の不具合が発生してから問題解決までに長時間を要している。   When a mechanical abnormality occurs in the substrate processing apparatus, the worker enters the narrow internal space of the substrate processing apparatus and visually confirms the operation of the mechanical system parts. However, due to the fact that there is a situation where the operation cannot be confirmed visually, there are differences in the experience, skills, etc. of the workers, the cause elucidation time and the quality of the elucidated content of the substrate processing apparatus vary. There is. In addition, when a mechanical abnormality occurs in the substrate processing apparatus, workers must always go to the site, so it takes a long time to resolve the problem after a mechanical operation failure occurs in the substrate processing apparatus. doing.

そこで、基板処理装置に係る３次元ＣＡＤ（computer aided design）データと、基板処理装置に対する制御コマンド及び当該装置の状態を記録したログファイルとから、基板処理装置における故障時の動作を再生する技術がある（例えば、特許文献１参照）。   Therefore, there is a technique for reproducing the operation at the time of failure in the substrate processing apparatus from the three-dimensional CAD (computer aided design) data related to the substrate processing apparatus, the control command for the substrate processing apparatus, and the log file recording the state of the apparatus. Yes (see, for example, Patent Document 1).

特開２００３−１３３１９３号公報JP 2003-133193 A

しかしながら、基板処理装置の故障時における動作を再生するだけでは、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因を特定することは困難である。特に、故障時における動作と正常時における動作との差異が微妙な部品ほど、故障時における部品の動作を単に再生するだけでは、基板処理装置の機械的異常動作に関する原因を特定することは難しい。   However, it is difficult to specify the cause of the mechanical abnormal operation of the substrate processing apparatus only by reproducing the operation at the time of failure of the substrate processing apparatus. In particular, it is difficult to specify the cause of the mechanical abnormal operation of the substrate processing apparatus by simply reproducing the operation of the component at the time of failure as the difference between the operation at the time of failure and the operation at the time of normal operation is more delicate.

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものである。その目的は、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供可能な動画像生成装置、動画像生成方法及び動画像生成システムを提供することである。   The present invention has been made in view of such circumstances. An object of the present invention is to provide a moving image generating apparatus, a moving image generating method, and a moving image generating system that can provide a cause determination material related to an abnormal operation of a substrate supporter included in a transport mechanism that constitutes a substrate processing apparatus.

本願に係る動画像生成装置は、基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出した前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成装置において、前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける受付手段と、該受付手段が受け付けた前記基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、前記ＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段とを備えることを特徴とする。   The moving image generation apparatus according to the present application generates detection operation data related to an operation detected for a component constituting the substrate processing apparatus, and generates shape data and generation of the component extracted from CAD data related to the substrate processing apparatus In the moving image generation apparatus that generates a moving image that simulates the operation of the component based on the detected operation data of the component, the substrate support included in the transport mechanism that forms the substrate processing apparatus is detected. Receiving means for receiving operation history information, generating means for generating detection operation data of the substrate support based on the operation history information about the substrate support received by the receiving means, and the substrate from the CAD data Extraction means for extracting shape data and design operation data of the support, and shape data of the substrate support extracted by the extraction means and A moving image generation unit that generates a moving image that simulates the design operation and the detection operation of the substrate support based on the design operation data and the detection operation data of the substrate support generated by the generation unit. Features.

本願に係る動画像生成装置では、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける。動画像生成装置は、受け付けた基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。動画像生成装置は、基板処理装置に係るＣＡＤデータから基板支持具の形状データと設計動作データとを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した基板支持具の検出動作データに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段を備えている。   In the moving image generation apparatus according to the present application, the history information of the operation detected for the substrate support included in the transport mechanism that constitutes the substrate processing apparatus is received. The moving image generating device generates detection operation data of the substrate support based on the received history information about the operation related to the substrate support. The moving image generating apparatus extracts shape data and design operation data of the substrate support from CAD data related to the substrate processing apparatus. The moving image generation device generates a moving image that simulates the design operation and the detection operation of the substrate support based on the extracted shape data and design operation data of the substrate support and the generated detection operation data of the substrate support. Moving image generating means is provided.

本願に係る動画像生成装置は、前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データに基づいて、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出する算出手段を備え、前記動画像生成手段は、前記算出手段が算出した差分が所定の閾値より大きい場合、前記基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。   The moving image generation apparatus according to the present application includes a calculation unit that calculates a difference between the design operation and the detection operation of the substrate support based on the design operation data extracted by the extraction unit and the detection operation data generated by the generation unit. And the moving image generation means generates a moving image that simulates the design operation and the detection operation of the substrate support when the difference calculated by the calculation means is larger than a predetermined threshold value. And

本願に係る動画像生成装置では、ＣＡＤデータから抽出した設計動作データと、履歴情報から生成した検出動作データとに基づいて、基板支持具の設計動作と検出動作との差分を算出する。動画像生成装置は、算出した差分が所定の閾値より大きい場合、動画像生成手段により、基板支持具の設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成する。   The moving image generation apparatus according to the present application calculates a difference between the design operation and the detection operation of the substrate support based on the design operation data extracted from the CAD data and the detection operation data generated from the history information. When the calculated difference is larger than a predetermined threshold, the moving image generation device generates a moving image that simulates the design operation and the detection operation of the substrate support by the moving image generation unit.

本願に係る動画像生成装置は、前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データは、夫々前記基板支持具の動作を識別する識別情報を含み、
前記算出手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出するようにしてあることを特徴とする。 In the moving image generation device according to the present application, the design operation data extracted by the extraction unit and the detection operation data generated by the generation unit each include identification information for identifying the operation of the substrate support,
The calculating means calculates the difference between the design operation and the detection operation of the substrate support for the same operation specified by the identification information.

本願に係る動画像生成装置では、ＣＡＤデータから抽出した設計動作データと、履歴情報から生成した検出動作データとには、夫々基板支持具の動作を識別する識別情報が含まれている。動画像生成装置は、識別情報により特定される同一動作に関して、基板支持具の設計動作と検出動作との差分を算出する。   In the moving image generating apparatus according to the present application, the design operation data extracted from the CAD data and the detection operation data generated from the history information each include identification information for identifying the operation of the substrate support. The moving image generating apparatus calculates a difference between the design operation and the detection operation of the substrate support for the same operation specified by the identification information.

本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作に対応する動画像及び検出動作に対応する動画像を重畳又は並列配置した動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。   In the moving image generating apparatus according to the present application, the moving image generating means superimposes a moving image corresponding to a design operation of the substrate support and a moving image corresponding to a detection operation on the same operation specified by the identification information. It is characterized in that moving images arranged in parallel are generated.

本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段により、基板支持具の動作を特定する識別情報により、基板支持具の設計動作に対応する動画像と、基板支持具の検出動作に対応する動画像とを重畳又は並列配置した動画像を生成する。   In the moving image generation apparatus according to the present application, the moving image corresponding to the design operation of the substrate support and the moving image corresponding to the detection operation of the substrate support are identified by the moving image generation means by the identification information for specifying the operation of the substrate support. A moving image in which images are superimposed or arranged in parallel is generated.

本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段は前記検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を色彩又は輝度の変更により強調表示した動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。   In the moving image generating apparatus according to the present application, the moving image generating means generates a moving image in which the substrate support part indicated by the moving image corresponding to the detection operation is highlighted by changing the color or brightness. Features.

本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段により、検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を強調表示した動画像を生成する。基板支持具部分を強調表示する手法は、例えば基板支持具部分に対する色彩又は輝度の変更である。   In the moving image generating apparatus according to the present application, the moving image generating means generates a moving image in which the substrate support portion indicated by the moving image corresponding to the detection operation is highlighted. A technique for highlighting the substrate support part is, for example, a change in color or brightness with respect to the substrate support part.

本願に係る動画像生成装置は、前記受付手段が受け付けた複数の動作の履歴情報各々に基づいて、前記生成手段が夫々生成した前記基板支持具の検出動作データ各々を記録する記録手段を備え、前記動画像生成手段は、前記抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び前記記録手段が記録した該基板支持具の検出動作データ各々に基づいて、該検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成するようにしてあることを特徴とする。   The moving image generating apparatus according to the present application includes a recording unit that records each detection operation data of the substrate support generated by the generating unit based on each of history information of a plurality of operations received by the receiving unit, The moving image generation unit is configured to generate a plurality of detection operation data corresponding to the detection operation data based on the shape data of the substrate support extracted by the extraction unit and the detection operation data of the substrate support recorded by the recording unit. A moving image is generated by superimposing or arranging the moving images, or a moving image reproducible in time series.

本願に係る動画像生成装置では、基板支持具について検出された動作の履歴情報を複数受け付ける。動画像生成装置は、受け付けた複数の履歴情報各々に基づいて、基板支持具の検出動作データ各々を生成する。動画像生成装置は、生成した基板支持具の検出動作データ各々を記録手段に記録する。動画像生成装置は、ＣＡＤデータから抽出した基板支持具の形状データと記録手段が記録した基板支持具の検出動作データ各々とに基づいて、検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成する。   In the moving image generating apparatus according to the present application, a plurality of pieces of history information of the operation detected for the substrate support are received. The moving image generation device generates each detection operation data of the substrate support based on each of the received plurality of history information. The moving image generating apparatus records each generated detection operation data of the substrate support in the recording unit. The moving image generating apparatus superimposes a plurality of moving images corresponding to each detection operation data based on the shape data of the substrate support extracted from the CAD data and each detection operation data of the substrate support recorded by the recording unit. Alternatively, a moving image that is arranged and displayed or a reproducible moving image is generated.

本願に係る動画像生成装置は、前記動画像生成手段が生成した動画像を表示する表示部を備えることを特徴とする。   The moving image generating apparatus according to the present application includes a display unit that displays a moving image generated by the moving image generating means.

本願に係る動画像生成装置では、動画像生成手段が生成した動画像を表示部に表示する。   In the moving image generating apparatus according to the present application, the moving image generated by the moving image generating means is displayed on the display unit.

本願に係る動画像生成方法は、基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成方法において、前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成し、前記ＣＡＤデータから抽出された該基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した前記基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することを特徴とする。   The moving image generation method according to the present application generates detection operation data relating to an operation detected for a component constituting the substrate processing apparatus, and shape data of the component extracted from CAD data relating to the substrate processing apparatus, and In the moving image generation method for generating a moving image that simulates the operation of the component based on the generated detection operation data of the component, the substrate support included in the transport mechanism constituting the substrate processing apparatus is detected. Based on the history information of the operation, the detection operation data of the substrate support is generated, the shape data and design operation data of the substrate support extracted from the CAD data, and the generated detection operation data of the substrate support Based on the above, a moving image that simulates the design operation and the detection operation of the substrate support is generated.

本願に係る動画像生成方法では、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された搬送機構が有する基板支持具の形状データ及び設計動作データと、生成した基板支持具の検出動作データとに基づいて、基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する。   In the moving image generation method according to the present application, detection operation data of the substrate support is generated based on the history information of the operation detected for the substrate support included in the transport mechanism constituting the substrate processing apparatus. Design operation and detection operation of substrate support based on shape data and design operation data of substrate support included in transport mechanism extracted from CAD data related to substrate processing apparatus, and detection operation data of generated substrate support A moving image that simulates the above is generated.

本願に係る動画像生成システムは、基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する検出手段、該検出手段が検出した動作の履歴情報を記録する記録手段、及び該記録手段から取得した前記履歴情報に基づいて、前記基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段とを有する動画像生成装置を備えることを特徴とする。   A moving image generation system according to the present application includes a detection unit that detects an operation of a substrate support included in a transport mechanism that constitutes a substrate processing apparatus, a recording unit that records history information of an operation detected by the detection unit, and the recording unit Generation means for generating detection operation data of the substrate support based on the history information acquired from the above, and extraction means for extracting shape data and design operation data of the substrate support from CAD data related to the substrate processing apparatus And the design operation and detection operation of the substrate support based on the shape data and design operation data of the substrate support extracted by the extraction unit and the detection operation data of the substrate support generated by the generation unit. And a moving image generating unit that generates moving image generating means for generating the selected moving image.

本願に係る動画像生成システムでは、検出手段、記録手段及び動画像生成装置を備えている。検出手段は、基板の搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する。記録手段は、検出した基板支持具に関する動作の履歴情報を記録する。動画像生成装置は、記録手段から取得した基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、基板支持具の検出動作データを生成する。動画像生成装置は、基板処理装置に係るＣＡＤデータから基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する。動画像生成装置は、抽出した基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した基板支持具の検出動作データに基づいて、基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する。   The moving image generation system according to the present application includes a detection unit, a recording unit, and a moving image generation device. The detection means detects the operation of the substrate support included in the substrate transport mechanism. The recording unit records history information of the operation related to the detected substrate support. The moving image generating device generates detection operation data of the substrate support based on the history information of the operation related to the substrate support acquired from the recording unit. The moving image generating apparatus extracts shape data and design operation data of the substrate support from CAD data related to the substrate processing apparatus. The moving image generation device generates a moving image that simulates the design operation and the detection operation of the substrate support based on the extracted shape data and design operation data of the substrate support and the generated detection operation data of the substrate support. .

本願に係る動画像生成システムは、前記検出手段及び記録手段は前記基板処理装置に含まれることを特徴とする。   The moving image generation system according to the present application is characterized in that the detection unit and the recording unit are included in the substrate processing apparatus.

本願に係る動画像生成システムでは、検出手段と記録手段とが含まれた基板処理装置及び動画像生成装置を備えている。   The moving image generating system according to the present application includes a substrate processing apparatus and a moving image generating apparatus including a detecting unit and a recording unit.

基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、基板支持具の異常動作に関する原因判定材料を提供することができる。   By generating a moving image that simulates the design operation and the detection operation of the substrate supporter included in the transport mechanism constituting the substrate processing apparatus, it is possible to provide a cause determination material related to the abnormal operation of the substrate supporter.

動画像生成システムに含まれる動画像生成装置と基板処理装置との接続構成の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the connection structure of the moving image generation apparatus and substrate processing apparatus which are contained in a moving image generation system. 動画像生成装置のハードウェア群の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the hardware group of a moving image generation device. 端末装置のハードウェア群の一例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows an example of the hardware group of a terminal device. 熱処理装置の一例を示す概略側断面図である。It is a schematic sectional side view which shows an example of the heat processing apparatus. 熱処理装置の一例を示す概略平断面図である。It is a schematic plane sectional view showing an example of a heat treatment apparatus. 基板保持具の一例を示す概略斜視図である。It is a schematic perspective view which shows an example of a board | substrate holder. 基板保持具及び基板搬送機構の一例を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows an example of a board | substrate holder and a board | substrate conveyance mechanism. 基板搬送機構の一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of a board | substrate conveyance mechanism. ログファイルの一例の説明図である。It is explanatory drawing of an example of a log file. 動画像生成装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows the function structural example of a moving image generation apparatus. 対応テーブルのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows an example of the record layout of a correspondence table. 動画像生成装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows the function structural example of a moving image generation apparatus.

本発明の実施の形態について、その図面を参照して説明する。
なお、本発明は、以下の実施の形態に限定されるものではない。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
Note that the present invention is not limited to the following embodiments.

実施の形態１
図１は、動画像生成システム１に含まれる動画像生成装置２と基板処理装置３との接続構成の一例を示す説明図である。基板処理装置３は、端末装置４を含む。端末装置４は、ユーザと基板処理装置３との間のインタフェースをなすコンピュータであり、基板処理装置３の各構成部を制御する。端末装置４は、ユーザが入力した命令を受け付け、基板処理装置３に当該命令を送信する。端末装置４は、基板処理装置３の状態を表示する。端末装置４は、基板処理装置３に対する制御の履歴並びに基板処理装置３の動作及び状態の履歴をログファイル（履歴情報）として記録する。ログファイルの内容は、例えば基板処理装置３に対する制御コマンド、基板処理装置３の状態、基板処理装置３が実行した動作結果を含む。 Embodiment 1
FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating an example of a connection configuration between a moving image generation apparatus 2 and a substrate processing apparatus 3 included in the moving image generation system 1. The substrate processing apparatus 3 includes a terminal device 4. The terminal device 4 is a computer that provides an interface between the user and the substrate processing apparatus 3, and controls each component of the substrate processing apparatus 3. The terminal device 4 receives a command input by the user and transmits the command to the substrate processing apparatus 3. The terminal device 4 displays the state of the substrate processing apparatus 3. The terminal device 4 records a history of control on the substrate processing apparatus 3 and a history of operations and states of the substrate processing apparatus 3 as log files (history information). The contents of the log file include, for example, a control command for the substrate processing apparatus 3, the state of the substrate processing apparatus 3, and an operation result executed by the substrate processing apparatus 3.

なお、端末装置４と基板処理装置３との間に、基板処理装置３の制御のみを実行するコントローラを設置してもよい。かかる場合、端末装置４は当該コントローラと情報の送受信を行うことにより、間接的に基板処理装置３を制御する。
また、端末装置４は、基板処理装置３に含まれなくてもよい。かかる場合、端末装置４は、基板処理装置３の外部に設置され、基板処理装置３と有線又は無線により接続される。 A controller that executes only control of the substrate processing apparatus 3 may be installed between the terminal device 4 and the substrate processing apparatus 3. In such a case, the terminal device 4 indirectly controls the substrate processing apparatus 3 by transmitting / receiving information to / from the controller.
Further, the terminal device 4 may not be included in the substrate processing apparatus 3. In such a case, the terminal device 4 is installed outside the substrate processing apparatus 3 and connected to the substrate processing apparatus 3 by wire or wirelessly.

動画像生成装置２は、端末装置４とネットワークＮにより接続されている。ネットワークＮは、例えばＬＡＮ（Local Area Network）、ＷＡＮ（Wide Area Network）、インターネット、電話回線等である。動画像生成装置２は、ネットワークを介して、端末装置４が記録したログファイルを受け付ける。動画像生成装置２は、受け付けたログファイル及び基板処理装置３に係る３次元ＣＡＤデータに基づいて、基板処理装置３に含まれる基板の搬送機構に関する設計動作と検出動作とをシミュレートした動画像を生成し、これらの動作が対比可能な形態で表示する。   The moving image generating device 2 is connected to the terminal device 4 through a network N. The network N is, for example, a LAN (Local Area Network), a WAN (Wide Area Network), the Internet, a telephone line, or the like. The moving image generating device 2 receives the log file recorded by the terminal device 4 via the network. The moving image generation apparatus 2 simulates the design operation and the detection operation related to the substrate transport mechanism included in the substrate processing apparatus 3 based on the received log file and the three-dimensional CAD data related to the substrate processing apparatus 3. Are generated and displayed in a form in which these operations can be compared.

図２は、動画像生成装置２のハードウェア群の一例を示すブロック図である。動画像生成装置２は、ＣＰＵ（CentralProcessing Unit）２１、ＲＡＭ（Random Access Memory）２２、ハードディスク２３、ディスクドライブ２４、通信部（受付手段）２５、タイマ２６、表示部２７及び操作部２８を含む。動画像生成装置２の各構成部は、バス２ｂを介して接続されている。   FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of a hardware group of the moving image generation apparatus 2. The moving image generating apparatus 2 includes a CPU (Central Processing Unit) 21, a RAM (Random Access Memory) 22, a hard disk 23, a disk drive 24, a communication unit (accepting means) 25, a timer 26, a display unit 27, and an operation unit 28. Each component of the moving image generating apparatus 2 is connected via a bus 2b.

ＣＰＵ（生成手段、抽出手段、動画像生成手段、算出手段）２１は、動画像生成装置２の各構成部を制御する。ＣＰＵ２１は、ハードディスク２３に記録されたプログラム１Ｐを読み込み、当該プログラム１Ｐを実行する。
ＲＡＭ２２は、ＣＰＵ２１による処理の過程で必要な作業変数、データ等を一時的に記録する。なお、ＲＡＭ２２は主記憶装置の一例であり、ＲＡＭ２２の代わりにフラッシュメモリ、メモリカード等が用いられてもよい。 A CPU (generating unit, extracting unit, moving image generating unit, calculating unit) 21 controls each component of the moving image generating apparatus 2. The CPU 21 reads the program 1P recorded on the hard disk 23 and executes the program 1P.
The RAM 22 temporarily records work variables, data, and the like necessary during the process of the CPU 21. The RAM 22 is an example of a main storage device, and a flash memory, a memory card, or the like may be used instead of the RAM 22.

ハードディスク２３は、ＣＰＵ２１が実行するプログラム１Ｐを記録している。ハードディスク２３は、動画像生成装置２内部に取り付けられるものであっても、動画像生成装置２外部に置かれるものであってもよい。なお、ハードディスク２３は補助記憶装置の一例であり、大容量の情報の記録が可能なフラッシュメモリ、ＣＤ（Compact Disc）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）、ＢＤ（Blu-ray Disc、登録商標）等の光ディスク１ａにより代替されてもよい。   The hard disk 23 records a program 1P executed by the CPU 21. The hard disk 23 may be attached inside the moving image generation apparatus 2 or may be placed outside the moving image generation apparatus 2. The hard disk 23 is an example of an auxiliary storage device, such as a flash memory capable of recording a large amount of information, a CD (Compact Disc), a DVD (Digital Versatile Disk), a BD (Blu-ray Disc, registered trademark), or the like. It may be replaced by the optical disc 1a.

ディスクドライブ２４は、外部の記録媒体である光ディスク１ａから情報を読み込み、光ディスク１ａに情報を記録する。
通信部２５は、モデム又はＬＡＮカード等であり、ネットワークＮに接続されている。 The disk drive 24 reads information from the optical disk 1a which is an external recording medium, and records information on the optical disk 1a.
The communication unit 25 is a modem, a LAN card, or the like, and is connected to the network N.

タイマ２６は、計時を信号としてＣＰＵ２１に送信する。
表示部２７は、例えば液晶ディスプレイ、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ等の画面を有し、ＣＰＵ２１からの指示に従って、プログラム１Ｐに係る様々な画面を表示する。 The timer 26 transmits the time count as a signal to the CPU 21.
The display unit 27 has a screen such as a liquid crystal display or an organic EL (Electro-Luminescence) display, and displays various screens related to the program 1P in accordance with instructions from the CPU 21.

操作部２８は、ユーザが各種の入力を行うキーボード、マウス、タッチパネル等の入力デバイスを含む。操作部２８は、ユーザによる操作に基づいて入力信号を生成する。生成された入力信号は、バス２ｂを介してＣＰＵ２１に送信される。   The operation unit 28 includes input devices such as a keyboard, a mouse, and a touch panel on which a user performs various inputs. The operation unit 28 generates an input signal based on an operation by the user. The generated input signal is transmitted to the CPU 21 via the bus 2b.

ハードディスク２３には、基板処理装置３の設計データである３次元ＣＡＤデータ（ＣＡＤデータ）１Ｄが記録されている。３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、基板処理装置３を構成する各部品の形状データ及び設計動作データを含む。ハードディスク２３には、基板処理装置３に対する命令及び設計動作を部品毎に対応付けた対応テーブル１Ｔが記録されている。
ハードディスク２３には、３次元アニメーションビューワ２Ｐがインストールされている。３次元アニメーションビューワ２Ｐは、入力された部品の形状データ及び動作データに基づいて、部品の動作をシミュレートし、その結果を動画像として出力する。
なお、ハードディスク２３には、３次元ＣＡＤソフトがインストールされていてもよい。 On the hard disk 23, three-dimensional CAD data (CAD data) 1D, which is design data of the substrate processing apparatus 3, is recorded. The three-dimensional CAD data 1D includes shape data and design operation data of each part constituting the substrate processing apparatus 3. The hard disk 23 stores a correspondence table 1T in which commands and design operations for the substrate processing apparatus 3 are associated with each part.
A 3D animation viewer 2P is installed in the hard disk 23. The three-dimensional animation viewer 2P simulates the motion of the component based on the input shape data and motion data of the component, and outputs the result as a moving image.
Note that three-dimensional CAD software may be installed in the hard disk 23.

図３は、端末装置４のハードウェア群の一例を示すブロック図である。端末装置４は、ＣＰＵ（検出手段）４１、ＲＡＭ４２、ハードディスク（記録手段）４３、ディスクドライブ４４、通信部４５、タイマ４６、表示部４７及び操作部４８を含む。端末装置４の各構成部は、バス４ｂを介して接続されている。端末装置４の各構成部の機能は、動画像再生装置２の各構成部の機能とほぼ同じである。   FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a hardware group of the terminal device 4. The terminal device 4 includes a CPU (detection means) 41, a RAM 42, a hard disk (recording means) 43, a disk drive 44, a communication unit 45, a timer 46, a display unit 47, and an operation unit 48. Each component of the terminal device 4 is connected via a bus 4b. The function of each component of the terminal device 4 is almost the same as the function of each component of the moving image reproduction device 2.

端末装置４のハードディスク４３は、ＣＰＵ４１が実行するプログラム３Ｐを記録している。プログラム３Ｐは、基板処理装置３を制御するプログラムである。プログラム３Ｐは、基板処理装置３に対する命令並びにその結果である動作及び状態を履歴として記録する処理を含む。ＣＰＵ４１は、当該処理による履歴をログファイル（履歴情報）２Ｄとしてハードディスク４３に記録する。また、ハードディスク４３には、基板処理装置３が実行する各種処理のレシピ３Ｄが記録されている。   The hard disk 43 of the terminal device 4 records a program 3P executed by the CPU 41. The program 3P is a program that controls the substrate processing apparatus 3. The program 3P includes a process for recording a command to the substrate processing apparatus 3 and an operation and a state as a result as a history. CPU41 records the log | history by the said process on the hard disk 43 as log file (history information) 2D. The hard disk 43 stores recipes 3D for various processes executed by the substrate processing apparatus 3.

基板処理装置３は、例えば半導体基板又は有機素子基板を熱処理する熱処理装置である。以下では、基板処理装置３の一例として、半導体基板について、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）による成膜処理、アニール処理、酸化処理、拡散処理等の熱処理を行う熱処理装置について説明する。   The substrate processing apparatus 3 is a heat treatment apparatus that heats a semiconductor substrate or an organic element substrate, for example. Hereinafter, as an example of the substrate processing apparatus 3, a heat treatment apparatus that performs heat treatment such as film formation processing by CVD (Chemical Vapor Deposition), annealing processing, oxidation processing, and diffusion processing on a semiconductor substrate will be described.

図４は、熱処理装置５の一例を示す概略側断面図である。図５は、熱処理装置５の一例を示す概略平断面図である。熱処理装置５の正面は、図４の右側及び図５の右側である。熱処理装置５の背面は、図４の左側及び図５の左側である。熱処理装置５の上方及び下方は、夫々図４の上方及び下方である。熱処理装置５の側方は、図５の上方及び下方である。以下、熱処理装置５の側方について、正面から熱処理装置５を見た右側の側方を右側方、正面から熱処理装置５を見た左側の側方を左側方と呼ぶ。   FIG. 4 is a schematic side sectional view showing an example of the heat treatment apparatus 5. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example of the heat treatment apparatus 5. The front of the heat treatment apparatus 5 is the right side of FIG. 4 and the right side of FIG. The rear surface of the heat treatment apparatus 5 is the left side of FIG. 4 and the left side of FIG. The upper and lower portions of the heat treatment apparatus 5 are the upper and lower portions of FIG. 4, respectively. The sides of the heat treatment apparatus 5 are above and below in FIG. Hereinafter, regarding the side of the heat treatment apparatus 5, the right side when the heat treatment apparatus 5 is viewed from the front is referred to as the right side, and the left side when the heat treatment apparatus 5 is viewed from the front is referred to as the left side.

熱処理装置５の筐体６内は、側方向に延設された隔壁６１で仕切られた搬入搬出領域Ｓ１及び作業領域（ローディングエリア）Ｓ２を含む。搬入搬出領域Ｓ１は正面側に位置し、作業領域Ｓ２は背面側に位置する。搬入搬出領域Ｓ１は、基板Ｗ（例えば、シリコンウエハ）を収納した収納容器であるキャリアＣを搬入、搬出するための領域である。キャリアＣは、例えば直径３００ｍｍの基板Ｗ２５枚程度を上下方向に所定間隔で収納し、基板Ｗの取り出し口（図示せず）を塞ぐ蓋体Ｃ１及び搬送される場合に保持されるフランジ部Ｃ２を有する。蓋体Ｃ１は着脱可能である。搬入搬出領域Ｓ１は、大気雰囲気で満たされている。   The inside of the housing 6 of the heat treatment apparatus 5 includes a loading / unloading area S1 and a work area (loading area) S2 partitioned by a partition wall 61 extending in the lateral direction. The loading / unloading area S1 is located on the front side, and the work area S2 is located on the back side. The loading / unloading area S1 is an area for loading / unloading the carrier C which is a storage container storing the substrate W (for example, a silicon wafer). The carrier C stores, for example, about 25 substrates W having a diameter of 300 mm at predetermined intervals in the vertical direction, and includes a lid C1 that closes a take-out port (not shown) of the substrate W and a flange C2 that is held when the substrate is transported. Have. The lid C1 is detachable. The loading / unloading area S1 is filled with an air atmosphere.

作業領域Ｓ２は、基板ＷをキャリアＣから熱処理炉に搬送し、搬送した基板Ｗを熱処理するための領域である。作業領域Ｓ２は、不活性ガス雰囲気（例えば窒素ガス雰囲気）又は清浄乾燥気体雰囲気（パーティクル及び有機成分が少なく、露点−６０℃以下の空気雰囲気）で満たされている。   The work area S2 is an area for transporting the substrate W from the carrier C to the heat treatment furnace and heat-treating the transported substrate W. The work area S2 is filled with an inert gas atmosphere (for example, a nitrogen gas atmosphere) or a clean dry gas atmosphere (air atmosphere with few particles and organic components and a dew point of −60 ° C. or lower).

搬入搬出領域Ｓ１は、正面側に位置する第一領域６２及び背面側に位置する第二領域６３を含む。第一領域６２及び第二領域６３には、夫々キャリアＣを各２個ずつ載置可能な第一載置台６４及び第二載置台６５が設けられている。また、第二領域６３には、キャリア保管部６６及びキャリア搬送機構６７が設けられている。
キャリア保管部６６は、第二領域６３の上部に配置されており、キャリアＣを載置し、かつ保管する棚を有する。 The carry-in / out area S1 includes a first area 62 located on the front side and a second area 63 located on the back side. The first region 62 and the second region 63 are provided with a first mounting table 64 and a second mounting table 65 on which two carriers C can be mounted, respectively. In the second region 63, a carrier storage unit 66 and a carrier transport mechanism 67 are provided.
The carrier storage unit 66 is disposed on the second region 63 and has a shelf on which the carrier C is placed and stored.

キャリア搬送機構６７は、キャリアＣを第一載置台６４、第二載置台６５及びキャリア保管部６６の間で搬送する構成部である。キャリア搬送機構６７は、昇降部６７ａ、水平移動部６７ｂ、アーム６７ｃ及び保持部６７ｄを含む。昇降部６７ａは、昇降自在であり、側方向に伸びるガイドレールを備えている。水平移動部６７ｂは、昇降部６７ａが備えるガイドレールに滑合しており、当該ガイドレールにガイドされて側方向に移動する。アーム６７ｃは、互いに端で水平方向に回転自在に軸着された２本のアームからなる。アーム６７ｃの基部は略水平方向に回転自在に水平移動部６７ｂと軸着されている。アーム６７ｃの先端には、キャリアＣ上面のフランジ部Ｃ２を保持する保持部６７ｄが設けられている。保持部６７ｄがキャリアＣを保持し、アーム６７ｃが略水平方向に回転し、かつ水平移動部６７ｂが側方向に移動することにより、キャリアＣは略水平方向に搬送される。   The carrier transport mechanism 67 is a component that transports the carrier C between the first mounting table 64, the second mounting table 65, and the carrier storage unit 66. The carrier transport mechanism 67 includes an elevating part 67a, a horizontal moving part 67b, an arm 67c, and a holding part 67d. The elevating part 67a is movable up and down and includes a guide rail extending in the lateral direction. The horizontal moving part 67b slides on a guide rail provided in the elevating part 67a, and moves in the lateral direction while being guided by the guide rail. The arm 67c is composed of two arms that are axially attached to each other so as to be rotatable in the horizontal direction. The base of the arm 67c is pivotally attached to the horizontal moving part 67b so as to be rotatable in a substantially horizontal direction. A holding portion 67d that holds the flange portion C2 on the upper surface of the carrier C is provided at the tip of the arm 67c. The holding part 67d holds the carrier C, the arm 67c rotates in the substantially horizontal direction, and the horizontal moving part 67b moves in the lateral direction, whereby the carrier C is transported in the substantially horizontal direction.

隔壁６１の下部には、第二載置台６５に載置されたキャリアＣが隔壁６１に当接した場合、キャリアＣ内と作業領域Ｓ２とを連通する開口部６０が形成されている。また、作業領域Ｓ２側の隔壁６１には、扉６８及び蓋開閉機構６９が設けられている。扉６８は、開口部６０を開閉する。蓋開閉機構６９は、扉６８が閉じた状態で、キャリアＣの蓋体Ｃ１を開閉する。蓋開閉機構６９がキャリアＣの蓋体Ｃ１を開けた場合、蓋開閉機構６９とキャリアＣの蓋体Ｃ１とは、図示しない機構により例えば上方又は下方に退避される。   In the lower part of the partition wall 61, there is formed an opening 60 that allows the inside of the carrier C and the work area S2 to communicate with each other when the carrier C mounted on the second mounting table 65 contacts the partition wall 61. The partition wall 61 on the work area S2 side is provided with a door 68 and a lid opening / closing mechanism 69. The door 68 opens and closes the opening 60. The lid opening / closing mechanism 69 opens and closes the lid C1 of the carrier C with the door 68 closed. When the lid opening / closing mechanism 69 opens the lid C1 of the carrier C, the lid opening / closing mechanism 69 and the lid C1 of the carrier C are retracted, for example, upward or downward by a mechanism (not shown).

開口部６０の側方端側には不活性ガス供給管（図示せず）が、開口部６０の下端側には排気路（図示せず）が夫々設けられている。キャリアＣの蓋体Ｃ１が開かれた場合、キャリアＣ内の空気は不活性ガス供給管及び排気路により不活性ガス（例えば、窒素ガス）と置換される。   An inert gas supply pipe (not shown) is provided on the side end side of the opening 60, and an exhaust passage (not shown) is provided on the lower end side of the opening 60. When the cover C1 of the carrier C is opened, the air in the carrier C is replaced with an inert gas (for example, nitrogen gas) through the inert gas supply pipe and the exhaust path.

作業領域Ｓ２には、熱処理炉７、基板保持具（ウエハボート）８及び基板搬送機構９が設けられている。基板搬送機構９は、第二載置台６５上のキャリアＣ内に載置された基板Ｗを基板保持具８に搬送する。   In the work area S2, a heat treatment furnace 7, a substrate holder (wafer boat) 8, and a substrate transport mechanism 9 are provided. The substrate transport mechanism 9 transports the substrate W placed in the carrier C on the second placement table 65 to the substrate holder 8.

熱処理炉７は、図示しない縦型の処理容器、キャップ７１、昇降機構７２及び図示しないヒータを含む。処理容器は、例えば石英製の反応管であり、下部に開口された炉口を有する。キャップ７１は、昇降機構７２により支持されている。キャップ７１は、昇降機構７２により昇降することにより、処理容器の炉口を開閉する。ヒータは処理容器の外側周囲を覆うように設けられており、処理容器内の温度を所定の温度に加熱制御する。   The heat treatment furnace 7 includes a vertical processing container (not shown), a cap 71, an elevating mechanism 72, and a heater (not shown). The processing vessel is a reaction tube made of, for example, quartz, and has a furnace port opened at the bottom. The cap 71 is supported by the lifting mechanism 72. The cap 71 is opened and closed by the lifting mechanism 72 to open and close the furnace port of the processing container. The heater is provided so as to cover the outer periphery of the processing container, and controls the temperature inside the processing container to a predetermined temperature.

基板保持具８はキャップ７１の上に配置されることにより、昇降可能に構成されている。基板Ｗが載置された基板保持具８は、炉口から上方の熱処理炉７内に搬入される。熱処理炉７は、搬入された基板Ｗに対して熱処理を施す。熱処理が施された基板Ｗを載置する基板保持具８は、炉口から下方に搬出される。基板搬送機構９は、基板保持具８に載置された熱処理済みの基板Ｗを第二載置台６５上のキャリアＣに搬送する。   The substrate holder 8 is configured to be moved up and down by being disposed on the cap 71. The substrate holder 8 on which the substrate W is placed is carried into the upper heat treatment furnace 7 from the furnace port. The heat treatment furnace 7 performs heat treatment on the loaded substrate W. The substrate holder 8 on which the heat-treated substrate W is placed is unloaded from the furnace port. The substrate transport mechanism 9 transports the heat-treated substrate W placed on the substrate holder 8 to the carrier C on the second placement table 65.

次に、基板保持具８及び基板搬送機構９について詳述する。
図６は、基板保持具８の一例を示す概略斜視図である。図７は、基板保持具８及び基板搬送機構９の一例を示す概略側面図である。基板保持具８は、例えば直径３００ｍｍの基板Ｗを７５枚程度略水平状態で多段に保持することができる。 Next, the substrate holder 8 and the substrate transport mechanism 9 will be described in detail.
FIG. 6 is a schematic perspective view showing an example of the substrate holder 8. FIG. 7 is a schematic side view showing an example of the substrate holder 8 and the substrate transport mechanism 9. The substrate holder 8 can hold, for example, about 75 substrates W having a diameter of 300 mm in multiple stages in a substantially horizontal state.

基板保持具８は、支柱８１、天板８２、底板８３及びリング部材８４を含む。支柱８１、天板８２及び底板８３は、例えば石英製又はセラミック製である。支柱８１は、略同一の長さのものが複数本あり、全てが上下方向と略同一方向に配列している。複数の支柱８１の上端及び下端の高さは略同一である。天板８２及び底板８３は、共に円盤状の部材であり、支柱８１の夫々上端及び下端に接合されている。天板８２及び底板８３の面内方向は、水平方向と略同一である。
複数の支柱８１には、保持爪８１ａが上下方向に所定間隔（例えば、１０ｍｍピッチ）で設けられている。基板Ｗは、その周縁部が略同一の高さに位置する複数の保持爪８１ａに載置されることにより、基板保持具８に保持される。 The substrate holder 8 includes a column 81, a top plate 82, a bottom plate 83, and a ring member 84. The support column 81, the top plate 82, and the bottom plate 83 are made of, for example, quartz or ceramic. There are a plurality of columns 81 having substantially the same length, and all are arranged in substantially the same direction as the vertical direction. The heights of the upper ends and the lower ends of the plurality of columns 81 are substantially the same. The top plate 82 and the bottom plate 83 are both disk-shaped members, and are joined to the upper end and the lower end of the column 81, respectively. The in-plane directions of the top plate 82 and the bottom plate 83 are substantially the same as the horizontal direction.
The plurality of support columns 81 are provided with holding claws 81a in the vertical direction at a predetermined interval (for example, 10 mm pitch). The substrate W is held by the substrate holder 8 by being placed on a plurality of holding claws 81a whose peripheral portions are positioned at substantially the same height.

リング部材８４は、上下方向に設けられた隣接する保持爪８１ａの間の支柱８１に設けられている。リング部材８４の厚さは２〜３ｍｍ程度に、外径Ｌ１は基板Ｗの外径よりも若干大きい大きさに、内径Ｌ２は基板Ｗの外径よりも若干小さい大きさに形成されている。上下方向に隣接するリング部材８４の配列間隔は、例えば１０ｍｍである。リング部材８４の材質は、例えばＳｉ、ＳｉＣ、Ｃ（ガラス状炭素）、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 等である。リング部材８４は、基板Ｗ上に形成される薄膜の面内均一性を向上させるために設けられた部材である。 The ring member 84 is provided on a column 81 between adjacent holding claws 81a provided in the vertical direction. The ring member 84 has a thickness of about 2 to 3 mm, an outer diameter L1 that is slightly larger than the outer diameter of the substrate W, and an inner diameter L2 that is slightly smaller than the outer diameter of the substrate W. The arrangement interval of the ring members 84 adjacent in the vertical direction is, for example, 10 mm. The material of the ring member 84 is, for example, Si, SiC, C (glassy carbon), SiO 2 , Al 2 O 3 or the like. The ring member 84 is a member provided to improve the in-plane uniformity of the thin film formed on the substrate W.

図８は、基板搬送機構９の一例を示す説明図である。図８Ａは、基板搬送機構９の一例を示す概略斜視図である。図８Ｂは、基板搬送機構９の一例を示す概略平面図である。図８Ｃは、基板搬送機構９の一例を示す概略側面図である。基板搬送機構９は、フォーク（基板支持具）９１、搬送基台９２、回転機構９３、昇降機構９４及び水平移動機構９５（図５・７参照）を含む。フォーク９１は、例えば５つの保持アームを含んで構成される。保持アームの形状は平面視略Ｕ字形である。搬送基台９２は、正面−背面方向を長手方向とする直方体状をなす。搬送基台９２の上面及び底面は、略水平である。フォーク９１は、搬送基台９２の上面に設置されている。   FIG. 8 is an explanatory diagram showing an example of the substrate transport mechanism 9. FIG. 8A is a schematic perspective view showing an example of the substrate transport mechanism 9. FIG. 8B is a schematic plan view showing an example of the substrate transport mechanism 9. FIG. 8C is a schematic side view showing an example of the substrate transport mechanism 9. The substrate transport mechanism 9 includes a fork (substrate support) 91, a transport base 92, a rotation mechanism 93, an elevating mechanism 94, and a horizontal movement mechanism 95 (see FIGS. 5 and 7). The fork 91 includes, for example, five holding arms. The shape of the holding arm is substantially U-shaped in plan view. The conveyance base 92 has a rectangular parallelepiped shape with the front-back direction as the longitudinal direction. The upper surface and the bottom surface of the transport base 92 are substantially horizontal. The fork 91 is installed on the upper surface of the transport base 92.

回転機構９３は、モータ９３ａ、エンコーダ９３ｂ及びカウンタ（検出手段）９３ｃを含む。モータ９３ａは略上下方向の回転軸を有し、搬送基台９２の底面は当該回転軸に軸着されている。そのため、搬送基台９２はモータ９３ａの回転により略水平方向に回転可能である。モータ９３ａは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ９３ｂは、モータ９３ａの回転に伴うパルス列をカウンタ９３ｃに出力する。カウンタ９３ｃは、エンコーダ９３ｂから受け付けたパルス列を微小時間である制御周期毎にカウントし、カウントした数をパルス数として、端末装置４に出力する。   The rotation mechanism 93 includes a motor 93a, an encoder 93b, and a counter (detection means) 93c. The motor 93a has a substantially vertical rotating shaft, and the bottom surface of the conveyance base 92 is pivotally attached to the rotating shaft. Therefore, the conveyance base 92 can be rotated in a substantially horizontal direction by the rotation of the motor 93a. The motor 93a performs rotation start, rotation stop, rotation speed setting, and the like based on a command from the terminal device 4. The encoder 93b outputs a pulse train accompanying the rotation of the motor 93a to the counter 93c. The counter 93c counts the pulse train received from the encoder 93b for each control cycle that is a minute time, and outputs the counted number to the terminal device 4 as the number of pulses.

昇降機構９４は、ガイドレール９４ａ、モータ９４ｂ、エンコーダ９４ｃ及びカウンタ（検出手段）９４ｄを含む。ガイドレール９４ａは略上下方向に延びており、搬送基台９２はガイドレール９４ａに滑合している（図７参照）。ガイドレール９４ａの内部には、図示しない昇降軸が設けられている。モータ９４ｂは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ９４ｃは、モータ９４ｂの回転に伴うパルス列をカウンタ９４ｄに出力する。カウンタ９４ｄは、エンコーダ９４ｃから受け付けたパルス列を微小時間である制御周期毎にカウントし、カウントした数をパルス数として、端末装置４に出力する。
昇降機構９４は、モータ９４ｂがガイドレール９４ａの内部に設けられた昇降軸を回転させることにより、搬送基台９２をガイドレール９４ａに沿って昇降させる。 The elevating mechanism 94 includes a guide rail 94a, a motor 94b, an encoder 94c, and a counter (detecting means) 94d. The guide rail 94a extends substantially in the vertical direction, and the conveyance base 92 slides on the guide rail 94a (see FIG. 7). A lifting shaft (not shown) is provided inside the guide rail 94a. The motor 94b performs rotation start, rotation stop, rotation speed setting, and the like based on a command from the terminal device 4. The encoder 94c outputs a pulse train accompanying the rotation of the motor 94b to the counter 94d. The counter 94d counts the pulse train received from the encoder 94c for each control period that is a minute time, and outputs the counted number to the terminal device 4 as the number of pulses.
The elevating mechanism 94 elevates and lowers the transport base 92 along the guide rail 94a by causing the motor 94b to rotate an elevating shaft provided inside the guide rail 94a.

水平移動機構９５は、図５に示すガイドレール、図示しないモータ、エンコーダ及びカウンタを含む。ガイドレールは略側方向に伸びており、搬送基台９２はガイドレールに滑合している。ガイドレールの下部には、図示しないプーリ及び当該プーリに巻き掛けられたベルトが設けられている。モータは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。エンコーダ及びカウンタの機能は、夫々エンコーダ９３ｂ、９４ｃ及びカウンタ９３ｃ、９４ｄの機能と同じである。
水平移動機構９５は、モータがガイドレールの下部に設けられたプーリを回転させることにより、ベルトを介して搬送基台９２をガイドレールに沿って側方向に水平移動させる。 The horizontal movement mechanism 95 includes a guide rail, a motor (not shown), an encoder, and a counter shown in FIG. The guide rail extends substantially in the lateral direction, and the transport base 92 is slid on the guide rail. A pulley (not shown) and a belt wound around the pulley are provided below the guide rail. The motor performs rotation start, rotation stop, rotation speed setting, and the like based on a command from the terminal device 4. The functions of the encoder and the counter are the same as the functions of the encoders 93b and 94c and the counters 93c and 94d, respectively.
The horizontal moving mechanism 95 horizontally moves the conveyance base 92 sideways along the guide rail via a belt by rotating a pulley provided at a lower portion of the guide rail.

基板搬送機構９のフォーク９１は、図８Ｂ及び図８Ｃに示すように、夫々基板Ｗを保持し得る第一フォーク９１ａ、第二フォーク９１ｂ、第三フォーク９１ｃ、第四フォーク９１ｄ及び第五フォーク９１ｅを含む。これら５つのフォーク９１ａ〜９１ｅは、上下方向に略等間隔で配置され、５段階構成の保持アーム群をなす。   As shown in FIGS. 8B and 8C, the fork 91 of the substrate transport mechanism 9 includes a first fork 91a, a second fork 91b, a third fork 91c, a fourth fork 91d, and a fifth fork 91e that can hold the substrate W, respectively. including. These five forks 91a to 91e are arranged at substantially equal intervals in the vertical direction and form a holding arm group having a five-stage configuration.

５つのフォーク９１ａ〜９１ｅは、夫々腕部９６ａ、９６ｂ及び段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄを含む。腕部９６ａ、９６ｂは、所定の距離を隔てて進退方向に延出した２本の板状腕である。ここで、進退方向とは各フォーク９１ａ〜９１ｅがキャリアＣ又は基板保持具８に対して基板Ｗを搬入、搬出する場合の略水平面内における移動方向を意味する。キャリアＣ又は基板保持具８に近づくフォーク９１の移動を前進、キャリアＣ又は基板保持具８から遠ざかるフォーク９１の移動を後退と呼ぶ。   The five forks 91a to 91e include arm portions 96a and 96b and step portions 97a, 97b, 97c, and 97d, respectively. The arm portions 96a and 96b are two plate-like arms extending in the forward / backward direction at a predetermined distance. Here, the advancing / retreating direction means a moving direction in a substantially horizontal plane when each of the forks 91a to 91e carries the substrate W into or out of the carrier C or the substrate holder 8. The movement of the fork 91 approaching the carrier C or the substrate holder 8 is called forward, and the movement of the fork 91 moving away from the carrier C or the substrate holder 8 is called backward.

腕部９６ａ、９６ｂ及び基部を含めた保持アームである各フォーク９１ａ〜９１ｅの形状は平面視略Ｕ字形をなす。段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄは、基板Ｗの周縁部を載置する階段状の構成部であり、各フォーク９１ａ〜９１ｅについて、夫々４つずつ設けられている。２つの段部９７ａ、９７ｂは、夫々腕部９６ａ、９６ｂの外側先端部に設けられている。残りの２つの段部９７ｃ、９７ｄは、夫々腕部９６ａ、９６ｂ又はフォーク９１の外側基端部に設けられている。４つの段部９７ａ、９７ｂ、９７ｃ、９７ｄを仮に線分で結んだ場合、その形状は平面視、進退方向を長手方向とする略矩形状である。   Each of the forks 91a to 91e, which are holding arms including the arm portions 96a and 96b and the base portion, has a substantially U shape in plan view. The step portions 97a, 97b, 97c, and 97d are step-like components that place the peripheral edge of the substrate W, and four forks 91a to 91e are provided. The two step portions 97a and 97b are provided at the outer end portions of the arm portions 96a and 96b, respectively. The remaining two step portions 97c and 97d are provided at the outer base end portions of the arm portions 96a and 96b or the fork 91, respectively. When the four step portions 97a, 97b, 97c, and 97d are connected by a line segment, the shape thereof is a substantially rectangular shape in plan view and having the forward / backward direction as the longitudinal direction.

フォーク９１は、保持部材９８及び進退機構９９を含む。保持部材９８は、５つのフォーク９１ａ〜９１ｅを進退機構９９に対して固定する部材である。保持部材９８は、進退機構９９に接合されている。各フォーク９１ａ〜９１ｅの基端部中央から後退方向側に、平面視における腕部９６ａ、９６ｂの幅よりも狭い幅の延出部が夫々設けられている。当該延出部は略水平な板状をなす。保持部材９８は、当該延出部各々を上下から挟み込み、ネジ９８ａ、９８ｂ、９８ｃ、９８ｄで各フォーク９１ａ〜９１ｅを進退機構９９に固定するように構成されている。   The fork 91 includes a holding member 98 and an advance / retreat mechanism 99. The holding member 98 is a member that fixes the five forks 91 a to 91 e to the advance / retreat mechanism 99. The holding member 98 is joined to the advance / retreat mechanism 99. Extending portions each having a width smaller than the width of the arm portions 96a and 96b in a plan view are provided from the center of the base end portion of each of the forks 91a to 91e in the backward direction. The extension part has a substantially horizontal plate shape. The holding member 98 is configured such that each of the extending portions is sandwiched from above and below, and the forks 91a to 91e are fixed to the advance / retreat mechanism 99 with screws 98a, 98b, 98c, and 98d.

進退機構９９は、各フォーク９１ａ〜９１ｅを進退方向に移動させる構成部である。進退機構９９は、第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂを含む。まず、第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂに共通する構成及び機能について説明する。
図７及び図８には、進退機構９９の一部である移動体が描かれている。保持部材９８は当該移動体に接合されている。移動体以外の進退機構９９は、図示しないモータ、プーリ、ベルト、ガイドロッド及び摺動体を含み、これらは搬送基台９２内部に設けられている。モータはプーリを回転させ、プーリは巻き掛けられたベルトを駆動する。ガイドロッドは搬送基台９２の長手方向に対して略平行に設置されており、ガイドロッドには摺動体が摺動可能に支持されている。移動体及び摺動体は、ベルトを挟むように、当該ベルトに取り付けられている。そのため、各フォーク９１ａ〜９１ｅは、図示しない搬送基台９２内部のモータにより、前進又は後退をすることができる。 The advance / retreat mechanism 99 is a component that moves the forks 91a to 91e in the advance / retreat direction. The advance / retreat mechanism 99 includes a first advance / retreat mechanism 99a and a second advance / retreat mechanism 99b. First, configurations and functions common to the first advance / retreat mechanism 99a and the second advance / retreat mechanism 99b will be described.
7 and 8 illustrate a moving body that is a part of the advance / retreat mechanism 99. The holding member 98 is joined to the moving body. The advancing / retracting mechanism 99 other than the moving body includes a motor, a pulley, a belt, a guide rod, and a sliding body (not shown), and these are provided inside the transport base 92. The motor rotates the pulley, and the pulley drives the wound belt. The guide rod is installed substantially parallel to the longitudinal direction of the conveyance base 92, and a sliding body is slidably supported on the guide rod. The moving body and the sliding body are attached to the belt so as to sandwich the belt. Therefore, each of the forks 91a to 91e can be moved forward or backward by a motor inside the transport base 92 (not shown).

進退機構９９のモータは、端末装置４からの命令に基づいて、回転開始、回転停止、回転速度設定等を行う。進退機構９９は、回転機構９３、昇降機構９４及び水平移動機構９５と同様のエンコーダ及びカウンタを含む。進退機構９９のカウンタは、カウントしたモータの回転に伴うパルス列の数をパルス数として、端末装置４に出力する。   The motor of the advance / retreat mechanism 99 performs rotation start, rotation stop, rotation speed setting, and the like based on a command from the terminal device 4. The advance / retreat mechanism 99 includes the same encoder and counter as the rotation mechanism 93, the elevating mechanism 94, and the horizontal movement mechanism 95. The counter of the advance / retreat mechanism 99 outputs the number of pulse trains accompanying the counted rotation of the motor to the terminal device 4 as the number of pulses.

第一進退機構９９ａは、第三フォーク９１ｃを前進又は後退させる機構である。一方、第二進退機構９９ｂは、第三フォーク９１ｃ以外のフォーク９１、すなわち第一フォーク９１ａ、第二フォーク９１ｂ、第四フォーク９１ｄ、第五フォーク９１ｅを同時に進退又は後退させる機構である。基板搬送機構９では、第一進退機構９９ａの単独動により１枚の基板Ｗを搬送する枚葉搬送と、第一及び第二進退機構９９ａ、９９ｂの協働により５枚の基板Ｗを同時に搬送する一括搬送との両方を行うことができるように構成されている。   The first advance / retreat mechanism 99a is a mechanism for moving the third fork 91c forward or backward. On the other hand, the second advancing / retracting mechanism 99b is a mechanism for simultaneously advancing / retreating the forks 91 other than the third fork 91c, that is, the first fork 91a, the second fork 91b, the fourth fork 91d, and the fifth fork 91e. The substrate transport mechanism 9 transports a single substrate W by single movement of the first advance / retreat mechanism 99a and simultaneously transports five substrates W by cooperation of the first and second advance / retreat mechanisms 99a, 99b. It is comprised so that both the collective conveyance to perform can be performed.

端末装置４は、回転機構９３、昇降機構９４、水平移動機構９５及び第一進退機構９９ａ及び第二進退機構９９ｂが有するカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて、搬送基台９２及びフォーク９１の水平面内の方向、高さ、側方向及び正面−背面方向の位置を検出する。
なお、フォーク９１の先端には図示しない光センサ等のセンサが設置されており、基板Ｗの搬送時に生じた異常を検出する。当該異常は、例えばフォーク９１と基板Ｗの成膜面又はリング部材８４との接触、フォーク９１と支柱８１、天板８２又は底板８３との接触を含む。当該異常は、例えばフォーク９１と隔壁６１、キャリアＣ又は熱処理炉７との接触を含む。センサは、当該異常を検出した場合、異常を特定可能なエラー信号を端末装置４に送信する。 The terminal device 4 includes a transport base 92 and a base 92 based on the counts received from the counters 93c, 94d, etc. of the rotation mechanism 93, the lifting mechanism 94, the horizontal movement mechanism 95, the first advance / retreat mechanism 99a, and the second advance / retreat mechanism 99b. The direction, height, side direction, and front-back direction position within the horizontal plane of the fork 91 are detected.
Note that a sensor such as an optical sensor (not shown) is installed at the tip of the fork 91, and detects an abnormality that occurs when the substrate W is transported. The abnormality includes, for example, contact between the fork 91 and the film formation surface of the substrate W or the ring member 84, and contact between the fork 91 and the support column 81, the top plate 82, or the bottom plate 83. The abnormality includes, for example, contact between the fork 91 and the partition wall 61, the carrier C, or the heat treatment furnace 7. When the sensor detects the abnormality, the sensor transmits an error signal that can identify the abnormality to the terminal device 4.

次に、動画像生成システム１の動作について説明する。
ユーザは、端末装置４の操作部４８を操作し、熱処理装置５を稼働させる。基板搬送機構９のフォーク９１は、キャリアＣから基板保持具８に５枚の基板Ｗを同時に搬送する。基板搬送機構９が所定枚数の基板Ｗを基板保持具８に載置し終えた場合、熱処理装置５は昇降機構７２により基板保持具８を上昇させて熱処理炉７に搬入し、かつキャップ７１で処理容器の炉口を密閉する。熱処理装置５は、熱処理炉７の温度をレシピ３Ｄに従って上昇させ、基板Ｗに熱処理を施す。熱処理が終了した場合、熱処理装置５は昇降機構７２により基板保持具８を下方へ搬出する。基板処理機構９のフォーク９は、基板保持具８からキャリアＣに基板Ｗを５枚ずつ同時に搬送する。 Next, the operation of the moving image generation system 1 will be described.
The user operates the operation unit 48 of the terminal device 4 to operate the heat treatment apparatus 5. The fork 91 of the substrate transport mechanism 9 transports five substrates W from the carrier C to the substrate holder 8 simultaneously. When the substrate transport mechanism 9 has placed the predetermined number of substrates W on the substrate holder 8, the heat treatment apparatus 5 raises the substrate holder 8 by the elevating mechanism 72 and carries it into the heat treatment furnace 7. Seal the furnace port of the processing vessel. The heat treatment apparatus 5 raises the temperature of the heat treatment furnace 7 in accordance with the recipe 3D, and performs heat treatment on the substrate W. When the heat treatment is completed, the heat treatment apparatus 5 carries the substrate holder 8 downward by the lifting mechanism 72. The fork 9 of the substrate processing mechanism 9 simultaneously carries five substrates W from the substrate holder 8 to the carrier C.

端末装置４のＣＰＵ４１は、ハードディスク４３に上述の熱処理の経過及び結果をログファイル２Ｄとして記録する。
図９は、ログファイル２Ｄの一例の説明図である。ログファイル２Ｄには、熱処理のプロセス履歴を時系列で記録したもの、エラー履歴を時系列で記録したもの等がある。図９のログファイル２Ｄは、熱処理装置５における基板Ｗの搬送履歴を時系列に記録している。 The CPU 41 of the terminal device 4 records the progress and result of the above heat treatment in the hard disk 43 as a log file 2D.
FIG. 9 is an explanatory diagram of an example of the log file 2D. The log file 2D includes a record in which a heat treatment process history is recorded in time series, an error history in a time series, and the like. The log file 2D in FIG. 9 records the transfer history of the substrate W in the heat treatment apparatus 5 in time series.

ログファイル２Ｄは、年月日、時間、コマンドＩＤ、部品ＩＤ、搬送状態、検出速度、検出位置及び検出方向を含む。年月日及び時間は、タイマ４６の計時に基づくタイムスタンプである。コマンドＩＤは、基板Ｗの搬送処理の内容を特定することができる制御命令の識別記号である。例えば、基板保持具８に載置された基板Ｗをフォーク９１が搬出する場合、コマンドＩＤは各フォーク９１ａ〜９１ｅを保持爪８１ａの下に前進させるＩＤ、各フォーク９１ａ〜９１ｅを上昇させて基板Ｗを持ち上げるＩＤを含む。また、コマンドＩＤは、基板Ｗを支持した各フォーク９１ａ〜９１ｅを後退させるＩＤを含む。このような部品の各動作は、コマンドＩＤと対応付けられている。   The log file 2D includes date, time, command ID, component ID, conveyance state, detection speed, detection position, and detection direction. The date and time are time stamps based on the time measured by the timer 46. The command ID is an identification symbol of a control command that can specify the content of the substrate W transfer process. For example, when the fork 91 carries the substrate W placed on the substrate holder 8, the command ID is an ID for advancing the forks 91 a to 91 e below the holding claws 81 a, and the forks 91 a to 91 e are raised to raise the substrate. Contains the ID that lifts W. Further, the command ID includes an ID for moving the forks 91a to 91e supporting the substrate W backward. Each operation of such a component is associated with a command ID.

部品ＩＤは、基板搬送機構９を構成する各部品を特定することができる部品の識別記号である。搬送状態は、命令された基板Ｗの搬送動作の状態であり、例えば開始、搬送中及び終了を含む。検出速度は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された部品の移動速度である。検出位置は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された部品の高さ、側方向及び正面−背面方向の位置である。検出方向は、基板搬送機構９のカウンタ９３ｃ、９４ｄ等から受け付けたカウント数に基づいて検出された、所定の方向に対する部品の水平面内における方向である。ここでの所定の方向は、正面から背面に向かう方向であってもよいし、左側方から右側方に向かう方向であってもよいし、その他の方向であってもよい。   The component ID is an identification symbol of a component that can specify each component constituting the substrate transport mechanism 9. The transport state is a state of the transport operation of the instructed substrate W, and includes, for example, start, during transport, and end. The detection speed is a moving speed of the component detected based on the count number received from the counters 93c, 94d, etc. of the substrate transport mechanism 9. The detection positions are the height, side direction, and front-rear direction position of the components detected based on the counts received from the counters 93c, 94d and the like of the substrate transport mechanism 9. The detection direction is a direction in the horizontal plane of the component with respect to a predetermined direction, which is detected based on the count number received from the counters 93c and 94d of the substrate transport mechanism 9. Here, the predetermined direction may be a direction from the front to the back, a direction from the left side to the right side, or another direction.

図１０は、動画像生成装置２の機能構成例を示す機能ブロック図である。図１０の各機能部は、ＣＰＵ２１がハードディスク２３に記録されたプログラム１Ｐに基づいて動作することにより実行される。なお、動作データ生成部（生成手段）２１ｂは、ＣＰＵ２１が通信部２５と協働して実現する機能である。   FIG. 10 is a functional block diagram illustrating a functional configuration example of the moving image generating apparatus 2. Each function unit in FIG. 10 is executed by the CPU 21 operating based on the program 1P recorded on the hard disk 23. The operation data generation unit (generation unit) 21b is a function realized by the CPU 21 in cooperation with the communication unit 25.

動画像生成装置２のハードディスク２３には、３次元ＣＡＤソフトにより制作された熱処理装置５の設計データすなわち３次元ＣＡＤデータ１Ｄが記録されている。当該３次元ＣＡＤソフトは、設計した部品オブジェクトを並進移動、回転、拡縮及び変形するアニメーションを作成し、再生することができる。このアニメーションには、部品の設計動作が含まれている。
３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、アセンブリを構成する部品の各時刻における位置、姿勢、形状等である。各部品は、部品の識別記号である部品ＩＤにより管理される。３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、データベースにより管理された各種のファイルである。 The hard disk 23 of the moving image generating apparatus 2 stores design data of the heat treatment apparatus 5 produced by 3D CAD software, that is, 3D CAD data 1D. The three-dimensional CAD software can create and reproduce an animation that translates, rotates, scales, and deforms a designed part object. This animation includes part design movements.
The three-dimensional CAD data 1D is the position, posture, shape, etc., of each part constituting the assembly at each time. Each component is managed by a component ID which is a component identification symbol. The three-dimensional CAD data 1D is various files managed by a database.

具体的には、３次元ＣＡＤデータ１Ｄは、基板搬送機構９を構成する部品の形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを含む。
３次元ＣＡＤデータ１Ｄに含まれる形状の表現形式は、例えばワイヤフレーム、ポリゴン、サーフェイス、ソリッド等である。形状の表現形式がソリッドである場合、形状データ５Ｄは部品ＩＤに関連付けられた幾何情報及び位相情報を含む。位相情報は、点、線、面の隣接関係を表す。ここでの形状は基板搬送機構９を構成する部品の形状の他に、当該部品が組み合わさったアセンブリの形状も含まれる。部品の形状データ５Ｄは、部品の位置、姿勢、形状を特定するが、部品の材質、色彩、部品間の拘束関係等の属性も含む。 Specifically, the three-dimensional CAD data 1D includes shape data 5D and design operation data 6D of components that constitute the substrate transport mechanism 9.
The expression form of the shape included in the three-dimensional CAD data 1D is, for example, a wire frame, a polygon, a surface, a solid, or the like. When the shape expression format is solid, the shape data 5D includes geometric information and phase information associated with the component ID. The phase information represents the adjacency relationship between points, lines, and surfaces. The shape here includes not only the shape of the components constituting the substrate transport mechanism 9 but also the shape of an assembly in which the components are combined. The part shape data 5D specifies the position, posture, and shape of the part, but also includes attributes such as the material, color, and the constraint relationship between the parts.

部品の設計動作データ６Ｄは、時間的要素が加わった、部品の回転及び並進移動に関するデータを含む。設計動作データ６Ｄは、部品ＩＤ及び設計動作ＩＤに関連付けられた部品毎の各動作を示すベクトルである。設計動作ＩＤは、設計時における部品毎の設計動作を識別する識別記号である。設計動作データ６Ｄは、使用された３次元ＣＡＤソフトにおける操作及び設定値（例えば、コマンドの文字列、部品オブジェクトに対するドラッグ操作の方向及び移動量、移動速度等）であってもよい。
なお、設計動作データ６Ｄは、物体表面の色、テクスチャ、影等の時間的変化、光源の位置及び明るさの時間的変化、視点の位置及び向きの時間的変化を含んでもよい。 The part design operation data 6D includes data related to the rotation and translation of the part to which a temporal element is added. The design operation data 6D is a vector indicating each operation for each component associated with the component ID and the design operation ID. The design operation ID is an identification symbol for identifying the design operation for each part at the time of design. The design motion data 6D may be an operation and a set value (for example, a character string of a command, a direction and a moving amount of a drag operation on a component object, a moving speed, etc.) in the used 3D CAD software.
The design motion data 6D may include temporal changes in the color, texture, shadow, etc. of the object surface, temporal changes in the light source position and brightness, and temporal changes in the viewpoint position and orientation.

抽出部（抽出手段）２１ａは、３次元ＣＡＤデータ１Ｄから形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを抽出し、抽出した形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄをハードディスク２３に記録する。   The extracting unit (extracting means) 21a extracts the shape data 5D and the design operation data 6D from the three-dimensional CAD data 1D, and records the extracted shape data 5D and the design operation data 6D on the hard disk 23.

動作データ生成部２１ｂは、端末装置４からネットワークＮを経由してログファイル２Ｄを取得する。動作データ生成部２１ｂは、取得したログファイル２Ｄを解析する。動作データ生成部２１ｂは、解析結果に基づいて、検出動作データ４Ｄを生成し、ハードディスク２３に記録する。検出動作データ４Ｄは、基板搬送機構９を構成する部品の回転及び並進移動に関する検出データを含む。動作データ生成部２１ｂは、検出動作データ４Ｄのデータ形式を設計動作データ６Ｄのデータ形式にフォーマットして生成する。例えば、動作データ生成部２１ｂは、検出位置、検出方向、検出速度等に基づいて、部品の各動作をベクトルに変換し、変換したベクトルを各部品ＩＤ及び設計動作ＩＤ毎に並べ替えて検出動作データ４Ｄを生成する。   The operation data generation unit 21b acquires the log file 2D from the terminal device 4 via the network N. The motion data generation unit 21b analyzes the acquired log file 2D. The operation data generation unit 21 b generates detection operation data 4 </ b> D based on the analysis result and records it on the hard disk 23. The detection operation data 4 </ b> D includes detection data related to rotation and translational movement of components that constitute the substrate transport mechanism 9. The operation data generation unit 21b generates the data format of the detection operation data 4D by formatting it into the data format of the design operation data 6D. For example, the operation data generation unit 21b converts each operation of the component into a vector based on the detection position, the detection direction, the detection speed, and the like, and rearranges the converted vector for each component ID and design operation ID. Data 4D is generated.

上述の処理のために、動作データ生成部２１ｂは、対応テーブル１Ｔを利用する。対応テーブル１Ｔは、部品ＩＤ、コマンドＩＤ及び設計動作ＩＤとの対応関係を示すテーブルである。
図１１は、対応テーブル１Ｔのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。対応テーブル１Ｔは、部品ＩＤ、コマンドＩＤ及び設計動作ＩＤの各列を含む。部品ＩＤ及びコマンドＩＤは、夫々ログファイル２Ｄに含まれる部品ＩＤ及びコマンドＩＤと同じである。設計動作ＩＤは、設計動作データ６Ｄに含まれる設計動作ＩＤと同じである。動作データ生成部２１ｂは、対応テーブル１Ｔを参照し、ログファイル２Ｄに含まれるコマンドＩＤを設計動作ＩＤに置換する。 For the above-described processing, the operation data generation unit 21b uses the correspondence table 1T. The correspondence table 1T is a table showing a correspondence relationship between the component ID, the command ID, and the design operation ID.
FIG. 11 is an explanatory diagram showing an example of the record layout of the correspondence table 1T. The correspondence table 1T includes columns of component ID, command ID, and design operation ID. The component ID and the command ID are the same as the component ID and the command ID included in the log file 2D, respectively. The design operation ID is the same as the design operation ID included in the design operation data 6D. The operation data generation unit 21b refers to the correspondence table 1T and replaces the command ID included in the log file 2D with the design operation ID.

なお、対応テーブル１Ｔは、端末装置４のハードディスク４３に記録されていてもよい。かかる場合、動作データ生成部２１ｂは、通信部２５を介して対応テーブル１Ｔを端末装置４から取得する。
あるいは、設計動作ＩＤは基板Ｗの搬送処理の開始から終了まで動作順序に関する連番とし、動作データ生成部２１ｂは、ログファイル２Ｄの先頭からＥＯＦまでのシーケンスに従って、コマンドＩＤと設計動作ＩＤとの対応関係を生成してもよい。 The correspondence table 1T may be recorded on the hard disk 43 of the terminal device 4. In such a case, the motion data generation unit 21b acquires the correspondence table 1T from the terminal device 4 via the communication unit 25.
Alternatively, the design operation ID is a serial number related to the operation order from the start to the end of the transfer process of the substrate W, and the operation data generation unit 21b sets the command ID and the design operation ID according to the sequence from the top of the log file 2D to EOF. A correspondence relationship may be generated.

差分算出部（算出手段）２１ｃは、ハードディスク２３に記録された検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６ＤをＲＡＭ２２に読み込み、基板搬送機構９を構成する各部品の前進、後退、昇降、側方向の移動若しくは回転に係る動作の大きさ、速さ又は方向の差分を算出する。その際、差分算出部２１ｃは、部品ＩＤ及び設計動作ＩＤ毎に部品の動作を対比する。   The difference calculation unit (calculation means) 21c reads the detection operation data 4D and the design operation data 6D recorded on the hard disk 23 into the RAM 22, and advances, retracts, moves up and down, and moves in the lateral direction of each component constituting the substrate transport mechanism 9. Or the difference of the magnitude | size, speed, or direction of the operation | movement which concerns on rotation is calculated. At that time, the difference calculation unit 21c compares the operation of the component for each component ID and design operation ID.

比較部（動画像生成手段）２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分を所定の閾値と比較する。比較部２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分が所定の閾値より大きい場合、動画像生成部（動画像生成手段）２１ｅに処理を開始するように指示する。
比較部２１ｄは、差分算出部２１ｃが算出した差分を数段階の閾値と比較してもよい。比較部２１ｄは、閾値によって区分される複数の領域のうち、差分がどの領域に属するか判定し、その判定結果を動画像生成部２１ｅに出力してもよい。 The comparison unit (moving image generation unit) 21d compares the difference calculated by the difference calculation unit 21c with a predetermined threshold. When the difference calculated by the difference calculation unit 21c is greater than a predetermined threshold, the comparison unit 21d instructs the moving image generation unit (moving image generation unit) 21e to start processing.
The comparison unit 21d may compare the difference calculated by the difference calculation unit 21c with several threshold levels. The comparison unit 21d may determine which region the difference belongs to among the plurality of regions divided by the threshold value, and output the determination result to the moving image generation unit 21e.

動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄにより差分が所定の閾値より大きいと判定された場合、形状データ５Ｄ、検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６Ｄをハードディスク２３からＲＡＭ２２に読み出す。動画像生成部２１ｅは、形状データ５Ｄが示す部品を検出動作データ４Ｄにより動かすアニメーション画像と、形状データ５Ｄが示す部品を設計動作データ６Ｄにより動かすアニメーション画像とを生成する。動画像生成部２１ｅは、生成した２つのアニメーション画像を比較認識しやすい動画像を生成する。   When the comparison unit 21d determines that the difference is greater than a predetermined threshold, the moving image generation unit 21e reads the shape data 5D, the detection operation data 4D, and the design operation data 6D from the hard disk 23 to the RAM 22. The moving image generation unit 21e generates an animation image that moves the component indicated by the shape data 5D by the detection operation data 4D and an animation image that moves the component indicated by the shape data 5D by the design operation data 6D. The moving image generation unit 21e generates a moving image that is easy to compare and recognize the two generated animation images.

ここで、上記比較認識しやすい動画像は、例えば２つのアニメーション画像を縦又は横に並列配置し、２つのアニメーション画像が同期して動く動画像である。比較認識しやすい動画像は、例えば２つのアニメーション画像を重畳した動画像である。比較認識しやすい動画像は、検出動作データ４Ｄに基づく部品部分の色彩、輝度、濃淡、形状又は大きさを変更し、当該部品部分を強調表示した動画像である。この強調表示した動画像は、検出動作データ４Ｄに基づく部品部分に対して、搬送動作の大きさよりも小さな大きさの揺らぎ動作を加えた動画像であってもよい。   Here, the moving image that is easy to compare and recognize is, for example, a moving image in which two animation images are arranged in parallel vertically or horizontally and the two animation images move in synchronization. A moving image that is easy to compare and recognize is, for example, a moving image in which two animation images are superimposed. A moving image that is easy to compare and recognize is a moving image in which the color, brightness, shading, shape, or size of a component portion is changed based on the detection operation data 4D, and the component portion is highlighted. The highlighted moving image may be a moving image obtained by adding a fluctuation operation having a size smaller than the size of the conveyance operation to the component portion based on the detection operation data 4D.

なお、動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄによる判定結果と無関係に、検出動作データ４Ｄ及び設計動作データ６Ｄに対応するアニメーション画像を生成してもよい。また、動画像生成部２１ｅは、比較部２１ｄから差分が複数の閾値によって区分される領域のどの領域に属するかという判定結果を受け付けた場合、領域の違いによって上述の強調表示の程度又は形態を変更した動画像を生成してもよい。   The moving image generation unit 21e may generate an animation image corresponding to the detection operation data 4D and the design operation data 6D regardless of the determination result by the comparison unit 21d. In addition, when the moving image generation unit 21e receives a determination result as to which region of the regions where the difference is divided by a plurality of threshold values from the comparison unit 21d, the moving image generation unit 21e changes the degree or form of the above-described highlight display depending on the region. A changed moving image may be generated.

動画像生成部２１ｅは、アニメーション画像の生成に際し、レンダリング、キーフレーム法、キネマティクス、モーションブラー等の３次元ＣＧアニメーション技術を利用してもよい。なお、動画像生成部２１ｅの処理機能は、既存のＣＧアプリケーション（３次元アニメーションビューワ２Ｐ）で代替されてもよい。   The moving image generation unit 21e may use a three-dimensional CG animation technique such as rendering, key frame method, kinematics, motion blur, and the like when generating an animation image. Note that the processing function of the moving image generation unit 21e may be replaced with an existing CG application (three-dimensional animation viewer 2P).

動画像表示部２１ｆは、動画像生成部２１ｅが生成した動画像を表示部２７に表示する。   The moving image display unit 21 f displays the moving image generated by the moving image generation unit 21 e on the display unit 27.

動画像生成システム１によれば、基板処理装置２を構成する基板搬送機構９が有するフォーク９１の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成することにより、フォーク９１の異常動作に関する原因判定材料を提供することができる。
フォーク９１は、販売品である基板Ｗに直接接触する重要な部品であり、その動作はたいへん精密に設計されている。従って、フォーク９１の動作の正確性は担保されている必要がある。しかしながら、ティーチングの不備、ギアへのグリスの塗り忘れ、ベルトの緩み、ネジの緩み等からフォーク９１に機械的な不具合が発生した場合、単にフォーク９１の動作をシミュレートした動画像を見ても、正常時の動作に比較してどのような違いがあるのか認識しづらい。そのため、基板搬送機構９における機械的不具合の原因を特定することは困難である。しかしながら、フォーク９１について、設計時の動作と実際の稼働時の動作とをシミュレートした動画像を対比可能な形態で表示することにより、機械的不具合の原因を特定することがより容易になる。これにより、基板処理装置３の調整、修理等に費やされる時間は短縮され、基板処理装置３の歩留り及び生産性を向上させることができる。 According to the moving image generation system 1, the cause of the abnormal operation of the fork 91 is determined by generating a moving image that simulates the design operation and the detection operation of the fork 91 included in the substrate transport mechanism 9 constituting the substrate processing apparatus 2. Material can be provided.
The fork 91 is an important part that comes into direct contact with the substrate W, which is a product for sale, and its operation is designed with high precision. Therefore, the accuracy of the operation of the fork 91 needs to be ensured. However, if a mechanical malfunction occurs in the fork 91 due to inadequate teaching, forgetting to apply grease to the gear, loose belt, loose screws, etc., even if you see a moving image that simulates the operation of the fork 91 It's hard to recognize what the difference is compared to normal operation. Therefore, it is difficult to specify the cause of the mechanical malfunction in the substrate transport mechanism 9. However, for the fork 91, displaying a moving image that simulates the operation at the time of design and the operation at the time of actual operation in a comparable form makes it easier to identify the cause of the mechanical failure. Thereby, the time spent for adjustment, repair, etc. of the substrate processing apparatus 3 is shortened, and the yield and productivity of the substrate processing apparatus 3 can be improved.

基板搬送装置３又は熱処理装置５には、機械的異常が発生した場合、その発生を通知するアラーム機能を備えている。フォーク９１に係るアラームの原因には、フォーク９１の側の調整不備又は劣化と、基板保持具８の側の劣化とがある。基板保持具８の劣化とは、たび重なる熱処理に伴う形状変化である。動画像生成システム１によれば、動像画におけるフォーク９１の動作が正常と判定されるにもかかわらず、アラームが発生している場合、アラームの原因としてフォーク９１の機械的不具合を消去することができる。その結果、基板保持具８の調査に作業を移行する判断が可能となり、アラームの原因探求作業時間の短縮を図ることができる。   The substrate transfer apparatus 3 or the heat treatment apparatus 5 is provided with an alarm function for notifying the occurrence of a mechanical abnormality. Causes of alarms related to the fork 91 include imperfect adjustment or deterioration on the fork 91 side and deterioration on the substrate holder 8 side. The deterioration of the substrate holder 8 is a change in shape due to repeated heat treatment. According to the moving image generation system 1, when an alarm is generated even though it is determined that the operation of the fork 91 in the moving image is normal, the mechanical trouble of the fork 91 is deleted as a cause of the alarm. Can do. As a result, it is possible to make a decision to shift the work to the investigation of the substrate holder 8, and it is possible to shorten the alarm cause search work time.

実施の形態２
実施の形態２は、動作データ生成部２１ｂにより検出動作データ４Ｄを逐次ハードディスク２３に記録、蓄積する形態に関する。
図１２は、動画像生成装置２の機能構成例を示す機能ブロック図である。図１２の機能ブロック図は、差分算出部２１ｃ及び比較部２１ｄを欠く点において、図１０の機能ブロック図と異なる。 Embodiment 2
The second embodiment relates to a mode in which detected motion data 4D is sequentially recorded and stored in the hard disk 23 by the motion data generation unit 21b.
FIG. 12 is a functional block diagram illustrating a functional configuration example of the moving image generation apparatus 2. The functional block diagram of FIG. 12 differs from the functional block diagram of FIG. 10 in that the difference calculation unit 21c and the comparison unit 21d are omitted.

抽出部２１ａは、予め３次元ＣＡＤデータ１Ｄから形状データ５Ｄ及び設計動作データ６Ｄを抽出し、ハードディスク２３に記録しておく。動作データ生成部２１ｂは、納品された熱処理装置５が稼働を始めた時から、記録されたログファイル２Ｄに基づいて生成した検出動作データ４Ｄをハードディスク２３に記録及び蓄積する。動作データ生成部２１ｂは、異なる時期に取得した異なるログデータ２Ｄに基づいて、検出動作データ４Ｄの生成、記録及び蓄積を繰り返す。   The extraction unit 21a extracts the shape data 5D and the design operation data 6D from the three-dimensional CAD data 1D in advance and records them in the hard disk 23. The operation data generating unit 21b records and accumulates the detected operation data 4D generated based on the recorded log file 2D in the hard disk 23 from when the delivered heat treatment apparatus 5 starts operation. The operation data generation unit 21b repeats generation, recording, and accumulation of the detection operation data 4D based on different log data 2D acquired at different times.

アラームが発生した場合、動画像生成部２１ｅは、動作データ生成部２１ｂが生成、記録及び蓄積した複数の検出動作データ４Ｄ並びに抽出部２１ａが抽出した形状データ５Ｄをハードディスク２３からＲＡＭ２２に読み出す。動画像生成部２１ｅは、形状データ５Ｄが示す部品を複数の検出動作データ４Ｄにより夫々動かす複数のアニメーション画像を生成する。動画像生成部２１ｅは、生成した複数のアニメーション画像を比較認識しやすい動画像を生成する。   When an alarm occurs, the moving image generation unit 21e reads the plurality of detection operation data 4D generated, recorded, and accumulated by the operation data generation unit 21b and the shape data 5D extracted by the extraction unit 21a from the hard disk 23 to the RAM 22. The moving image generation unit 21e generates a plurality of animation images for moving the component indicated by the shape data 5D using the plurality of detection operation data 4D. The moving image generation unit 21e generates a moving image that is easy to compare and recognize the generated animation images.

上記比較認識しやすい動画像は、例えば生成した複数のアニメーション画像が４つである場合、左右上下の縦横に４分割した画面に各アニメーション画像を表示する動画像である。
比較認識しやすい動画像は、例えば複数のアニメーション画像を時系列の順に、連続して又は不連続に再生可能な動画像である。
比較認識しやすい動画像は、例えば複数のアニメーション画像各々が設計動作データ６Ｄにより部品を動かすアニメーション画像と重畳された動画像である。
なお、複数のアニメーション画像各々の一部に、元となるログファイル２Ｄのデータの年月日及び時間を示す文字列が含まれてもよい。 The moving image that is easy to compare and recognize is a moving image that displays each animation image on a screen divided into four vertically and horizontally and vertically when there are four generated animation images.
A moving image that is easy to compare and recognize is, for example, a moving image in which a plurality of animation images can be reproduced continuously or discontinuously in chronological order.
A moving image that is easy to compare and recognize is, for example, a moving image in which each of a plurality of animation images is superimposed on an animation image that moves a component by design motion data 6D.
A character string indicating the date and time of the data of the original log file 2D may be included in a part of each of the plurality of animation images.

動画像表示部２１ｆは、動画像生成部２１ｅが生成した動画像を表示部２７に表示する。   The moving image display unit 21 f displays the moving image generated by the moving image generation unit 21 e on the display unit 27.

実施の形態２に係る動画像生成システム１によれば、フォーク９１の動作に関する時間的変遷を比較観察することができる。これにより、フォーク９１の異常動作に関する原因を探ることがより容易になる。   According to the moving image generation system 1 according to the second embodiment, temporal transitions regarding the operation of the fork 91 can be compared and observed. This makes it easier to find the cause of the abnormal operation of the fork 91.

動画像生成装置２は、異なる複数の熱処理装置５に含まれる各端末装置４から、ログファイル２Ｄを取得してもよい。動画像生成装置２は、異なる熱処理装置５の基板搬送機構９が有するフォーク９１の設計動作及び検出動作を対比可能な動画像を生成してもよい。あるいは、動画像生成装置２は、異なる熱処理装置５の基板搬送機構９が有する各フォーク９１について、動作の時間的変遷を比較観察することができる動画像を生成してもよい。これにより、例えば同一の工場に同時に設置された複数の熱処理装置５がある場合、熱処理装置５間におけるフォーク９１の動作を比較することにより、機械的不具合が発生した熱処理装置５の原因特定材料を増大させることができる。   The moving image generating device 2 may acquire the log file 2D from each terminal device 4 included in a plurality of different heat treatment devices 5. The moving image generation apparatus 2 may generate a moving image that can compare the design operation and the detection operation of the fork 91 included in the substrate transfer mechanism 9 of the different heat treatment apparatus 5. Alternatively, the moving image generation apparatus 2 may generate a moving image that allows comparative observation of temporal transitions of operations of the respective forks 91 included in the substrate transfer mechanism 9 of the different heat treatment apparatuses 5. Thereby, for example, when there are a plurality of heat treatment apparatuses 5 installed simultaneously in the same factory, by comparing the operation of the fork 91 between the heat treatment apparatuses 5, the cause identifying material of the heat treatment apparatus 5 in which the mechanical failure has occurred can be obtained. Can be increased.

なお、ＣＰＵ２１は、プログラム１Ｐを、ディスクドライブ２４を介して光ディスク１ａ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等から読み込んでもよい。また、プログラム１Ｐを記録したフラッシュメモリ等の半導体メモリ１ｃ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等が動画像生成装置２内に実装されてもよい。さらに、ＣＰＵ２１は、プログラム１Ｐを、通信部２５を介して図示しない外部の情報処理装置又は記録装置からダウンロードすることも可能である。
また、動画像生成装置２は、端末装置４からネットワークＮを介してログファイル２Ｄを取得するのではなく、ログファイル２Ｄを記録したフラッシュメモリ等の半導体メモリ１ｃ、磁気テープ、磁気ディスク、光磁気ディスク等を介して、ログファイル２Ｄを取得してもよい。
端末装置４は、ログファイル２Ｄをハードディスク４３に記録するのではなく、ログファイル２Ｄを記録保存する前のログデータを、ネットワークＮを介して動画像生成装置２に送信してもよい。動画像生成装置２は、当該ログデータを端末装置４から受信し、ログファイル２Ｄとしてハードディスク２３に記録してもよい。 The CPU 21 may read the program 1P from the optical disk 1a, magnetic tape, magnetic disk, magneto-optical disk, or the like via the disk drive 24. Further, a semiconductor memory 1c such as a flash memory in which the program 1P is recorded, a magnetic tape, a magnetic disk, a magneto-optical disk, or the like may be mounted in the moving image generating apparatus 2. Further, the CPU 21 can also download the program 1P from an external information processing device or recording device (not shown) via the communication unit 25.
The moving image generating apparatus 2 does not acquire the log file 2D from the terminal device 4 via the network N, but a semiconductor memory 1c such as a flash memory in which the log file 2D is recorded, a magnetic tape, a magnetic disk, and a magneto-optical device. The log file 2D may be acquired via a disk or the like.
Instead of recording the log file 2D on the hard disk 43, the terminal device 4 may transmit the log data before recording and saving the log file 2D to the moving image generation device 2 via the network N. The moving image generation device 2 may receive the log data from the terminal device 4 and record it in the hard disk 23 as the log file 2D.

実施の形態２は以上の如きであり、その他は実施の形態１と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明を省略する。   The second embodiment is as described above, and the other parts are the same as those of the first embodiment. Accordingly, the corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.

１ 動画像生成システム
２ 動画像生成装置
２１ ＣＰＵ（生成手段、抽出手段、動画像生成手段、算出手段）
２１ａ 抽出部（抽出手段）
２１ｂ 動作データ生成部（生成手段）
２１ｃ 差分算出部（算出手段）
２１ｄ 比較部（動画像生成手段）
２１ｅ 動画像生成部（動画像生成手段）
２６ 通信部（受付手段）
３ 基板処理装置
４ 端末装置
４１ ＣＰＵ（検出手段）
４３ ハードディスク（記録手段）
８ 基板保持具（ウエハボート）
９ 基板搬送機構
９１ フォーク（基板支持具）
９３ｃ カウンタ（検出手段）
９４ｄ カウンタ（検出手段）
Ｗ 基板
１Ｄ ３次元ＣＡＤデータ（ＣＡＤデータ）
２Ｄ ログファイル（履歴情報）
４Ｄ 検出動作データ
５Ｄ 形状データ
６Ｄ 設計動作データ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Moving image generation system 2 Moving image generation apparatus 21 CPU (Generation means, extraction means, moving image generation means, calculation means)
21a Extraction unit (extraction means)
21b Motion data generator (generator)
21c Difference calculation part (calculation means)
21d Comparison unit (moving image generation means)
21e Moving image generating unit (moving image generating means)
26 Communication Department (Accepting means)
3 Substrate Processing Device 4 Terminal Device 41 CPU (Detection Unit)
43 Hard disk (recording means)
8 Substrate holder (wafer boat)
9 Board transport mechanism 91 Fork (board support)
93c Counter (detection means)
94d counter (detection means)
W substrate 1D 3D CAD data (CAD data)
2D log file (history information)
4D detection operation data 5D shape data 6D design operation data

Claims (10)

基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出した前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成装置において、
前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報を受け付ける受付手段と、
該受付手段が受け付けた前記基板支持具に関する動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、
前記ＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、
該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段と
を備えることを特徴とする動画像生成装置。 Detection operation data relating to the operation detected for the component constituting the substrate processing apparatus is generated, and the shape data of the component extracted from the CAD data relating to the substrate processing apparatus and the generated detection operation data of the component are generated. Based on the above, in a moving image generating apparatus that generates a moving image that simulates the operation of the component,
Receiving means for receiving history information of operations detected for a substrate support included in a transport mechanism constituting the substrate processing apparatus;
Generating means for generating detection operation data of the substrate support based on history information of the operation related to the substrate support received by the reception means;
Extraction means for extracting shape data and design operation data of the substrate support from the CAD data;
Based on the shape data and design operation data of the substrate support extracted by the extraction unit and the detection operation data of the substrate support generated by the generation unit, the design operation and detection operation of the substrate support were simulated. A moving image generating device comprising: a moving image generating means for generating a moving image. 前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データに基づいて、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出する算出手段を備え、
前記動画像生成手段は、前記算出手段が算出した差分が所定の閾値より大きい場合、前記基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１に記載の動画像生成装置。 Based on the design operation data extracted by the extraction unit and the detection operation data generated by the generation unit, a calculation unit that calculates a difference between the design operation and the detection operation of the substrate support,
The moving image generation means generates a moving image that simulates a design operation and a detection operation of the substrate support when the difference calculated by the calculation means is larger than a predetermined threshold value. The moving image generating apparatus according to claim 1. 前記抽出手段が抽出した設計動作データ及び前記生成手段が生成した検出動作データは、夫々前記基板支持具の動作を識別する識別情報を含み、
前記算出手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作及び検出動作の差分を算出するようにしてある
ことを特徴とする請求項２に記載の動画像生成装置。 The design operation data extracted by the extraction unit and the detection operation data generated by the generation unit each include identification information for identifying the operation of the substrate support,
The moving image generation apparatus according to claim 2, wherein the calculation unit calculates a difference between a design operation and a detection operation of the substrate support for the same operation specified by the identification information. . 前記動画像生成手段は、前記識別情報により特定される同一動作に関して、前記基板支持具の設計動作に対応する動画像及び検出動作に対応する動画像を重畳又は並列配置した動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項３に記載の動画像生成装置。 The moving image generation means generates a moving image in which the moving image corresponding to the design operation of the substrate support and the moving image corresponding to the detection operation are superimposed or arranged in parallel with respect to the same operation specified by the identification information. The moving image generating apparatus according to claim 3, wherein the moving image generating apparatus is configured as described above. 前記動画像生成手段は前記検出動作に対応する動画像が示す基板支持具部分を色彩又は輝度の変更により強調表示した動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。 The moving image generation means generates a moving image in which the substrate support portion indicated by the moving image corresponding to the detection operation is highlighted by changing the color or brightness. 5. The moving image generating apparatus according to any one of up to 4. 前記受付手段が受け付けた複数の動作の履歴情報各々に基づいて、前記生成手段が夫々生成した前記基板支持具の検出動作データ各々を記録する記録手段を備え、
前記動画像生成手段は、前記抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び前記記録手段が記録した該基板支持具の検出動作データ各々に基づいて、該検出動作データ各々に対応する複数の動画像を、重畳若しくは配列表示した動画像又は時系列順に再生可能な動画像を生成するようにしてある
ことを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。 Based on each of a plurality of movement history information received by the receiving means, the recording means for recording each detection operation data of the substrate support generated by the generating means,
The moving image generation unit is configured to generate a plurality of detection operation data corresponding to the detection operation data based on the shape data of the substrate support extracted by the extraction unit and the detection operation data of the substrate support recorded by the recording unit. The moving image according to any one of claims 1 to 5, wherein the moving image is generated by superimposing or arranging and displaying a moving image or a moving image reproducible in time series. Generator. 前記動画像生成手段が生成した動画像を表示する表示部を備える
ことを特徴とする請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の動画像生成装置。 The moving image generation apparatus according to claim 1, further comprising a display unit that displays the moving image generated by the moving image generation unit. 基板処理装置を構成する構成要素について検出された動作に係る検出動作データを生成し、前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから抽出された前記構成要素の形状データ及び生成した該構成要素の検出動作データに基づいて、該構成要素の動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成方法において、
前記基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具について検出された動作の履歴情報に基づいて、該基板支持具の検出動作データを生成し、
前記ＣＡＤデータから抽出された該基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに生成した前記基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する
ことを特徴とする動画像生成方法。 Detection operation data related to the operation detected for the component constituting the substrate processing apparatus is generated, the shape data of the component extracted from the CAD data related to the substrate processing apparatus, and the generated detection operation data of the component In a moving image generation method for generating a moving image simulating the operation of the component based on
Based on the history information of the operation detected for the substrate support included in the transport mechanism constituting the substrate processing apparatus, the detection operation data of the substrate support is generated,
Based on the shape data and design operation data of the substrate support extracted from the CAD data and the detection operation data of the generated substrate support, a moving image simulating the design operation and detection operation of the substrate support is generated. A moving image generating method characterized by generating the moving image. 基板処理装置を構成する搬送機構が有する基板支持具の動作を検出する検出手段、
該検出手段が検出した動作の履歴情報を記録する記録手段、及び
該記録手段から取得した前記履歴情報に基づいて、前記基板支持具の検出動作データを生成する生成手段と、
前記基板処理装置に係るＣＡＤデータから前記基板支持具の形状データ及び設計動作データを抽出する抽出手段と、
該抽出手段が抽出した前記基板支持具の形状データ及び設計動作データ並びに前記生成手段が生成した該基板支持具の検出動作データに基づいて、該基板支持具の設計動作及び検出動作をシミュレートした動画像を生成する動画像生成手段と
を有する動画像生成装置
を備える
ことを特徴とする動画像生成システム。 Detecting means for detecting the operation of the substrate support included in the transport mechanism constituting the substrate processing apparatus;
Recording means for recording history information of the operation detected by the detection means; and generation means for generating detection operation data of the substrate support based on the history information acquired from the recording means;
Extraction means for extracting shape data and design operation data of the substrate support from CAD data relating to the substrate processing apparatus;
Based on the shape data and design operation data of the substrate support extracted by the extraction unit and the detection operation data of the substrate support generated by the generation unit, the design operation and detection operation of the substrate support were simulated. A moving image generating system comprising: a moving image generating device including a moving image generating means for generating a moving image. 前記検出手段及び記録手段は前記基板処理装置に含まれる
ことを特徴とする請求項９に記載の動画像生成システム。 The moving image generation system according to claim 9, wherein the detection unit and the recording unit are included in the substrate processing apparatus.
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