JP2011191887A - Vacuum processing apparatus, and method and program for controlling the same, and recording medium therefor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空を利用して対象物に所定の処理を施し、制御プログラムとしてラダープログラムで制御される真空処理装置、この真空処理装置の制御方法、この制御方法を実現する制御プログラム、および当該制御プログラムを記録した記録媒体に関する。 The present invention provides a vacuum processing apparatus that performs a predetermined process on an object using a vacuum and is controlled by a ladder program as a control program, a control method for the vacuum processing apparatus, a control program for realizing the control method, and the The present invention relates to a recording medium on which a control program is recorded.
従来の真空処理装置の構成の一般的な例として図8を参照して説明する。 A general example of the configuration of a conventional vacuum processing apparatus will be described with reference to FIG.
真空処理装置111は、いわゆるクラスタ型の装置構成を有し、中央の搬送室112の周囲に複数の室を備えている。これらの複数の室は、例えば、2室のロードロック室113A,113B、複数室の処理室114である。2室のロードロック室113A,113Bは、大気環境である外部と所定の真空環境である装置内部との間で、基板の搬入と搬出を行うための室である。基板の搬入と搬出は複数枚の基板を収容するカセットの状態で行われる。複数室の処理室114は、それぞれ、各種の成膜室、膜表面等をクリーニングする室等である。
The vacuum processing apparatus 111 has a so-called cluster type apparatus configuration, and includes a plurality of chambers around a
各処理室114では、真空処理装置111内で、予め定められた順序で移動する基板に対して決められた処理を行う。真空処理装置111内で順次に移動する基板は、1枚ごとである。搬送室112、2室のロードロック室113A,113B、複数室の処理室114のそれぞれには、内部を所要の真空状態(減圧状態)にするための排気機構(図示せず)が付設されている。また、基板の搬入と搬出が行われる各室の出入口部分あるいは境界部分にはゲートバルブ(図示せず)が設けられている。真空処理装置111内部では、ゲートバルブを開閉し、開状態にすることによって、成膜環境等の環境が異なる2室間で1枚の基板の出し入れが行われる。
In each
真空処理装置111の動作制御に関しては、例えば、全体の動作を管理する上位コンピュータ(上位ホスト)110が設けられている。上位コンピュータ110は例えばパーソナル・コンピュータ(PC)やサーバーで構成される。信号またはデータの伝送系または通信系としては、コンピュータ(SCを含む)間の接続およびコンピュータと制御対象の間の接続としてイーサネット(登録商標)17というLANが用いられている。プログラマブル・ロジック・コントローラ(以下「PLC」と記す)を用いて、このような真空処理装置111の各部の一連の工程を自動制御する制御方式が知られている。PLCは、予め作成された制御プログラム(以下「シーケンスプログラム」と記す)に従って、真空処理装置111の各部の動作状態を監視し、動作状態の変化に応じて制御を行う。
For operation control of the vacuum processing apparatus 111, for example, a host computer (host host) 110 that manages the overall operation is provided. The
上記のシーケンスプログラムの中にラダー図を用いたラダープログラムがある。ラダー図を構成する代表的な構成要素として例えば「入力接点」、「出力コイル」、「論理回路」がある。「入力接点」は制御対象機器の接点のオン/オフ状態を入力し記憶し、「出力コイル」は上記の「入力接点」等に対するオン/オフの指示を記憶し、出力する。また「論理回路」は複数の「入力接点」のオン/オフ情報の論理演算(アンド論理、オア論理等)を行う。 Among the above sequence programs, there is a ladder program using a ladder diagram. For example, there are “input contact”, “output coil”, and “logic circuit” as typical components constituting the ladder diagram. The “input contact” inputs and stores the ON / OFF state of the contact of the device to be controlled, and the “output coil” stores and outputs the ON / OFF instruction for the “input contact” and the like. The “logic circuit” performs logical operations (AND logic, OR logic, etc.) on / off information of a plurality of “input contacts”.
なお本発明に関連する従来技術として下記の特許文献1および特許文献2を挙げることができる。
In addition, the following
前述した通りラダープログラムによれば、入力接点のオン/オフ状態を入力し記憶させるために、真空処理装置111の各室での動作としての制御を進行させるための条件(以下では単に「条件」と記す)の元となる、例えば、真空処理装置111では真空計、基板処理用ガスの流量計などの各種の複数の計測機器からの入力値であるアナログ信号に関する情報を束ねてフラグ化する必要がある。しかしながら、ラダープログラムの表記上の特徴から、1つの状態に1つ対応するフラグを不必要に重複させて多数複数箇所設定してしまったり、または条件の選定について真空処理装置111としての全体の可視性に乏しいことから操作ミスを誘発するプログラム(いわゆるバグ)を作成してしまうなどの可能性があった。また上記の特許文献1,2に開示される発明でも上記の問題を解消し得るものではない。
As described above, according to the ladder program, in order to input and memorize the ON / OFF state of the input contact, a condition for proceeding control as an operation in each chamber of the vacuum processing apparatus 111 (hereinafter simply referred to as “condition”). For example, in the vacuum processing apparatus 111, it is necessary to bundle and flag information on analog signals that are input values from various measuring instruments such as a vacuum gauge and a substrate processing gas flow meter. There is. However, due to the notation characteristics of the ladder program, a plurality of flags corresponding to one state are unnecessarily overlapped and a plurality of places are set, or the condition of the vacuum processing apparatus 111 as a whole is visible. There is a possibility of creating a program (so-called bug) that induces an operation error because of its poor nature. The inventions disclosed in
本発明の目的は、上記の課題に鑑み、少なくとも1つの処理室を有しかつラダープログラムでシーケンス(工程)が制御される真空処理装置において、当該真空処理装置における条件からなる工程管理、および、制御対象である各種機器の進捗確認についてそれらの可視性を向上させることができ、これにより工程管理と進捗確認を容易に行うことができる真空処理装置を提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is a vacuum processing apparatus having at least one processing chamber and whose sequence (process) is controlled by a ladder program. It is an object of the present invention to provide a vacuum processing apparatus that can improve the visibility of progress confirmation of various devices to be controlled, and thereby facilitate process management and progress confirmation.
本発明の他の目的は、上記の真空処理装置を実現するための真空処理装置の動作を制御する制御方法、当該制御方法を実現する制御プログラム、および当該制御プログラムを格納する記録媒体を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a control method for controlling the operation of the vacuum processing apparatus for realizing the above-described vacuum processing apparatus, a control program for realizing the control method, and a recording medium for storing the control program. There is.
本発明に係る真空処理装置等は、上記の目的を達成するため、次のように構成される。 The vacuum processing apparatus and the like according to the present invention are configured as follows in order to achieve the above object.
本発明に係る真空処理装置(請求項1に対応)は、
制御用コンピュータと少なくとも1つの処理室とを備え、処理室での処理動作が制御コンピュータに用意されたラダープログラムの手順に従って制御される真空処理装置であって、
処理室はプログラマブル・ロジック・コントローラを備え、処理室の制御に必要な制御データは制御用コンピュータから通信手段を経由してプログラマブル・ロジック・コントローラに与えられ、
制御データは予め制御用コンピュータ上でテーブル化され、
テーブル化された制御データは処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込まれ、
プログラマブル・ロジック・コントローラは、記憶領域に書き込まれた制御データを分解し、処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、処理室での処理動作を実行するように構成される。
本発明に係る真空処理装置の制御方法(請求項2に対応)は、
制御用コンピュータと少なくとも1つの処理室とを備え、制御用コンピュータはラダープログラムを有し、処理室は記憶領域を有するプログラマブル・ロジック・コントローラを備え、ラダープログラムは通信手段を介して制御用コンピュータからプログラマブル・ロジック・コントローラに送信されて記憶領域に記憶され、処理室での処理動作がラダープログラムの手順に従って制御される真空処理装置の制御方法であって、
ラダープログラムを予め制御用コンピュータ上でテーブル化する工程と、
テーブル化されたラダープログラムを、処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込む工程と、
プログラマブル・ロジック・コントローラで、テーブル化されたラダープログラムを分解し、処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、処理室での処理動作を実行する工程と、
有することを特徴としている。
上記の真空処理装置の制御方法において、好ましくは、制御用コンピュータから処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラに送信されるラダープログラムはマトリックス状の表示態様で表示されることを特徴とする(請求項3に対応)。
本発明に係る真空処理装置の制御プログラム(請求項4に対応)は、
少なくとも1つの処理室を備える真空処理装置の制御用コンピュータに、
ラダープログラムを予め制御用コンピュータ上でテーブル化する手順と、
テーブル化したラダープログラムを制御用コンピュータから処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラへ通信手段を介して送信する手順と、
テーブル化されたラダープログラムを、処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込む手順と、
プログラマブル・ロジック・コントローラで、テーブル化されたラダープログラムを分解し、処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、処理室での処理動作を実行する手順と、
を実行させることを特徴とする。
本発明に係るコンピュータで読み取り可能な記録媒体(請求項5に対応)は、上記の真空処理装置の制御プログラムを記録したことを特徴としている。
なおここで、「テーブル化」とは、後述する通り、ラダープログラムの新たな表示形態であり、マトリックス(行列)状の形態をなしてデータベース構造で取り扱うことができることをいう。
The vacuum processing apparatus according to the present invention (corresponding to claim 1)
A vacuum processing apparatus comprising a control computer and at least one processing chamber, wherein the processing operation in the processing chamber is controlled according to the procedure of a ladder program prepared in the control computer,
The processing chamber includes a programmable logic controller, and control data necessary for controlling the processing chamber is given to the programmable logic controller from the control computer via communication means.
The control data is tabulated in advance on the control computer,
The tabulated control data is written into the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber,
The programmable logic controller decomposes the control data written in the storage area, takes in the data related to the input and state required by the processing chamber, and determines the progress condition related to the processing operation based on the fetched data. And configured to perform processing operations in the processing chamber.
A method for controlling a vacuum processing apparatus according to the present invention (corresponding to claim 2) is as follows:
A control computer and at least one processing chamber are provided, the control computer includes a ladder program, the processing chamber includes a programmable logic controller having a storage area, and the ladder program is transmitted from the control computer via communication means. A method for controlling a vacuum processing apparatus which is transmitted to a programmable logic controller and stored in a storage area, and a processing operation in a processing chamber is controlled according to a ladder program procedure,
A step of making the ladder program into a table on a control computer in advance;
Writing the tabulated ladder program into the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber;
The programmable logic controller disassembles the tabulated ladder program, captures data related to the input and state required by the processing chamber, and executes the determination of the progress condition related to the processing operation based on the captured data. Performing a processing operation in the processing chamber;
It is characterized by having.
In the above-described vacuum processing apparatus control method, it is preferable that the ladder program transmitted from the control computer to the programmable logic controller of the processing chamber is displayed in a matrix display mode. Corresponding).
The control program (corresponding to claim 4) of the vacuum processing apparatus according to the present invention is:
A computer for controlling a vacuum processing apparatus comprising at least one processing chamber;
A procedure for making a ladder program into a table on a control computer in advance;
A procedure for transmitting the tabulated ladder program from the control computer to the programmable logic controller of the processing chamber via the communication means,
A procedure for writing the tabulated ladder program to the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber,
The programmable logic controller disassembles the tabulated ladder program, captures data related to the input and state required by the processing chamber, and executes the determination of the progress condition related to the processing operation based on the captured data. A procedure for performing processing operations in the processing chamber;
Is executed.
A computer-readable recording medium according to the present invention (corresponding to claim 5) is characterized in that the control program for the vacuum processing apparatus is recorded.
Here, “table” is a new display form of a ladder program, as will be described later, and means that it can be handled in a database structure in a matrix form.
本発明によれば、少なくとも1つの処理室を有しかつラダープログラムで各部の動作についてのシーケンス(工程)が制御される真空処理装置において、制御データは予め制御用コンピュータ上でテーブル化され、テーブル化された制御データを処理室のPLCの記憶領域に書き込み、PLCは、記憶領域に書き込まれた制御データを分解し、処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、処理室での処理動作を実行するようにしたため、真空処理装置における条件からなる工程管理、および、制御対象である各種機器の進捗確認についてそれらの可視性を向上させることができ、これにより工程管理と進捗確認を容易に行うことができる。 According to the present invention, in a vacuum processing apparatus having at least one processing chamber and in which a sequence (process) for the operation of each unit is controlled by a ladder program, the control data is tabulated in advance on the control computer. The control data written into the storage area of the PLC in the processing chamber is written, the PLC decomposes the control data written in the storage area, takes in the data related to the input and state required by the processing chamber, and converts it into the acquired data. Based on the determination of the progress condition related to the processing operation and the processing operation in the processing chamber, the process management consisting of the conditions in the vacuum processing apparatus and the progress confirmation of various devices being controlled Their visibility can be improved, whereby process management and progress confirmation can be easily performed.
以下に、本発明の好適な実施形態(実施例)を添付図面に基づいて説明する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Preferred embodiments (examples) of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
本発明に係る真空処理装置の基本的な構成は、「背景技術」の箇所で図8を参照して説明した構成と同じである。すなわちクラスタ型の装置構成を有する真空処理装置111であり、中央の搬送室112の周囲に、2室のロードロック室113A,113B、複数室の処理室114を備えた構成である。
The basic configuration of the vacuum processing apparatus according to the present invention is the same as the configuration described with reference to FIG. That is, the vacuum processing apparatus 111 has a cluster-type apparatus configuration, and includes two
真空処理装置111の動作制御は、全体の動作を管理する上位コンピュータ(PC)110の制御の下で行われ、プログラマブル・ロジック・コントローラ(PLC)を用いて、かつ、信号またはデータの伝送系であるイーサネット(登録商標)17を経由して、各処理室114等に制御プログラム(「シーケンスプログラム」)を与え、この制御プログラムに基づいて各処理室114の動作が制御される。制御プログラムには、ラダー図を用いたラダープログラムが使用される。複数の処理室114の各々にはPLCが配置されている。
The operation control of the vacuum processing apparatus 111 is performed under the control of a host computer (PC) 110 that manages the entire operation, and using a programmable logic controller (PLC) and in a signal or data transmission system. A control program ("sequence program") is given to each
複数の処理室114の各々にPLCが設けられ、装置の全体がラダープログラムで制御される真空処理装置111において、真空処理装置111の上位コンピュータ110からイーサネット(登録商標)17を介して各処理室114に提供されるラダープログラムについて、その中からテーブル化可能なデータの作成例として図1〜図4を参照して説明する。図1〜図4では、真空処理装置114を制御するラダープログラムのうちマトリックス状に表示した箇所を示している。
In a vacuum processing apparatus 111 in which a PLC is provided in each of the plurality of
図1〜図4の各々は、本発明に係るマトリックス状表示の作成過程、すなわち工程1(図1)→工程2(図2)→工程3(図3)→工程4(図4)を示している。 1 to 4 show a process for creating a matrix display according to the present invention, that is, step 1 (FIG. 1) → step 2 (FIG. 2) → step 3 (FIG. 3) → step 4 (FIG. 4). ing.
最初に、工程1として、図1に示されるように「アナログ値フラグ」を作成する。
ここで「アナログ値フラグ」とは、各処理室114等に設けられた各種の計測機器で計測される計測値(アナログ値)に対して、それぞれに設定された閾値との大小関係等の状態から生成されたフラグである。
図1に示した例では、1つの計測値すなわちアナログ値11について、テーブル12の形式で、3つの閾値1〜3が示され、さらに3つの閾値1〜3の各々について下限値(DOWN)と上限値(UP)が示されている。3つの閾値1〜3の各々についての下限値(DOWN)と上限値(UP)のそれぞれが「アナログ値フラグ」として設定される。
なおテーブル12では、当該アナログ値11についてのその値がとり得る「スパン(範囲)」と、「計測最小値(スケーリングMIN)」と、「計測最大値(スケーリングMAX)」の数値が示される。
First, as
Here, the “analog value flag” refers to a state such as a magnitude relationship between a measured value (analog value) measured by various measuring devices provided in each
In the example shown in FIG. 1, three
In the table 12, numerical values of “span (range)”, “measurement minimum value (scaling MIN)”, and “measurement maximum value (scaling MAX)” that the
次に、工程2として、図2に示されるように上記の「アナログ値フラグ」から“状態フラグ”を作成する。ここでは、一例としてアナログ値フラグAを対象としている。
図2に示すテーブル21は、“1”と“0”とで表記され、行(縦方向)に「状態」を表し、列(横方向)に「入力[X]」および「アナログ値フラグA」を表したマトリックス(行列)で構成されている。
「状態」は、一通りしかない真空処理装置111の処理上の一状態を表すものであり、例えば、「安全スイッチは作動中か」、「シリンダセンサは正常か」等の安全に関するもの、あるいは、各種機器から出力される計測値等に関するもので構成される。
「入力」は、真空計、ガス流量計等の各種機器に依存する部分である。
「アナログ値フラグA」は、前述の通り、各種機器で計測される計測値に対して、それぞれに設定された閾値との大小関係等の状態から生成されたフラグである。
そこで、これらの「状態」に対応する新たなフラグを、上記の「入力」および「アナログ値フラグA」を組み合わせて「状態フラグ」とする。この「状態フラグ」によって各種機器を中心にした真空処理装置111の「状態」をラダー図と切り離して図示しないモニター等に表示する。
Next, as step 2, a “status flag” is created from the “analog value flag” as shown in FIG. Here, the analog value flag A is targeted as an example.
The table 21 shown in FIG. 2 is represented by “1” and “0”, “state” is indicated in the row (vertical direction), “input [X]” and “analog value flag A” are indicated in the column (horizontal direction). It is comprised with the matrix (matrix) showing.
The “state” represents one state on the processing of the vacuum processing apparatus 111 that has only one way. For example, the “state” relates to safety such as “the safety switch is operating”, “the cylinder sensor is normal”, or These are composed of measurement values output from various devices.
“Input” is a part depending on various devices such as a vacuum gauge and a gas flow meter.
As described above, the “analog value flag A” is a flag generated from a state such as a magnitude relationship with a threshold value set for each measurement value measured by various devices.
Therefore, a new flag corresponding to these “states” is combined with the above “input” and “analog value flag A” to form a “state flag”. With this “status flag”, the “status” of the vacuum processing apparatus 111 centering on various devices is separated from the ladder diagram and displayed on a monitor (not shown).
次に、工程3として、図3に示されるように「状態フラグ」から「統合状態フラグ」を作成する。ここでは、一例として状態フラグBを対象としている。
図3に示すテーブル31は、工程2で作成した「状態フラグB」から、新たに、行(縦方向)に「統合状態」を表し、列(横方向)に「状態フラグB」を表したマトリックス(行列)で構成されている。
ここで、「統合状態」とは、図2の工程2で示したいくつかの「状態」から構成され、上位にくる真空処理装置111の一状態を示す項目であり、各種機器からの情報等で構成される「状態」を束ねるものである。前述した例示の「安全スイッチは作動中か」、「シリンダセンサは正常か」等を合わせて、例えば、「搬送系正常」などで括られるものである。
これらの「統合状態」に対応する新たなフラグを「統合状態フラグ」とする。
従って、テーブル21の「状態」とテーブル31の「統合状態」は、重複する内容も含まれることが生じるが、プログラムとして、一つの「統合状態」からその次の「統合状態」に移るためには、全ての「状態フラグ」が満足されなければならない。
なお、本発明に係る真空処理装置では、「統合状態フラグ」は、各処理室114に設けられたPLC内で記憶され、実行される。
Next, as step 3, an “integrated state flag” is created from the “state flag” as shown in FIG. Here, the state flag B is targeted as an example.
The table 31 shown in FIG. 3 newly expresses “integrated state” in the row (vertical direction) and “state flag B” in the column (horizontal direction) from the “state flag B” created in step 2. It is composed of a matrix.
Here, the “integrated state” is an item that indicates one state of the vacuum processing apparatus 111 that is composed of several “states” shown in step 2 of FIG. 2 and includes information from various devices. It is a bundle of “states” composed of For example, the above-described “Is the safety switch in operation?”, “Is the cylinder sensor normal?” And the like are combined, for example, “transport system normal”.
A new flag corresponding to these “integrated states” is referred to as an “integrated state flag”.
Accordingly, the “status” of the table 21 and the “integration status” of the table 31 may include overlapping contents, but in order to move from one “integration status” to the next “integration status” as a program. All “status flags” must be satisfied.
In the vacuum processing apparatus according to the present invention, the “integrated state flag” is stored and executed in the PLC provided in each
最後に、工程4として、図4に示されるように「統合状態フラグ」から「操作可能フラグ」を作成する。ここでは、一例として統合状態フラグCを対象としている。
図4に示すテーブル41は、工程3で作成した「統合状態フラグC」から、新たに、行(縦方向)に「操作条件」を表し、列(横方向)に「状態」および「統合状態フラグC」とを表したマトリックス(行列)で構成されている。
ここで、「操作条件」とは、工程3の図3で示したいくつかの「統合状態」から構成され、さらに、上位にくる真空処理装置の一状態を示す項目であって、真空処理装置による処理の一動作を示すものであり。上記の工程3で例示した「搬送系正常」などで括られ、例えば「搬送実行」となる。
Finally, as step 4, as shown in FIG. 4, an “operation enable flag” is created from the “integrated state flag”. Here, the integrated state flag C is targeted as an example.
The table 41 shown in FIG. 4 newly represents “operation conditions” in the row (vertical direction), “state” and “integrated state” in the column (horizontal direction) from the “integrated state flag C” created in step 3. It consists of a matrix (matrix) representing “flag C”.
Here, the “operation condition” is an item that is composed of several “integrated states” shown in FIG. 3 of step 3 and further indicates one state of the vacuum processing apparatus that is at the upper level. It shows one operation of processing by. For example, “conveyance execution” is performed by “normal transport system” or the like exemplified in step 3 above.
図4に示したテーブル41を真空処理装置111においてモニター等に表示し実行させることにより、ラダープログラミングによるシーケンス制御が行われる。上記構成によれば、ラダープログラミングに使用される「操作条件」の設定(主に手動操作により行われる)、自動工程の設定、および警報発生に関する設定などを、テーブル化したデータベース構造で取扱うことが可能となり、ラダープログラムの簡素化と可視化を向上させることが可能となった。 The sequence control by ladder programming is performed by displaying and executing the table 41 shown in FIG. 4 on a monitor or the like in the vacuum processing apparatus 111. According to the above configuration, it is possible to handle the setting of “operation conditions” used for ladder programming (mainly by manual operation), automatic process settings, alarm generation settings, etc. in a tabular database structure. It became possible, and it became possible to improve the simplification and visualization of the ladder program.
図5に、真空処理装置111での制御方法を実施するための制御プログラム(ラダープログラム)の取扱いについてのプロセス(自動工程)を示す。このプロセスは、「テーブル化」、「書込」、「分解」、「判定」に到るプロセスである。
真空処理装置111の上位コンピュータ110(PC)において、状態と入力で構成されるマトリックス状のラダープログラム51について、テーブル入力値を2進数変換してテーブル52を作る。さらにこれを16進数変換してテーブル53を作り、このテーブル53を上位コンピュータ(PC)110の書込ボタンの押下で各PLC54の記憶領域に書き込む(ステップ55)。テーブル53のデータは、さらにテーブル56の形式でイーサネット(登録商標)117を経由して伝送され、テーブル56に含まれる格納先アドレスに基づいて分解され(ステップ57)、関係付けられた各処理室114のPLC54に書き込まれる。各PLC54では、制御用データについて状態フラグのON状態に基づいて判定して制御を実行する(ステップ58)。
FIG. 5 shows a process (automatic process) for handling a control program (ladder program) for carrying out the control method in the vacuum processing apparatus 111. This process is a process leading to “tabulation”, “writing”, “decomposition”, and “determination”.
In the host computer 110 (PC) of the vacuum processing apparatus 111, a table 52 is created by converting the table input values into binary numbers for the matrix-
上記の真空処理装置111の制御方法によれば、
ラダープログラム51を予め制御用の上記コンピュータ110上でテーブル化する工程(ステップ201)と、
テーブル化されたラダープログラム51を、各処理室114のPLC54の記憶領域に書き込む工程(ステップ55)と、
PLC54で、テーブル化されたラダープログラム51を分解し(ステップ57)、各処理室114が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し(ステップ58)、各処理室114での前記処理動作を実行する工程と、有している。
According to the control method of the vacuum processing apparatus 111 described above,
A step of making the
A step of writing the tabulated
The
次に、図6を参照して、本発明に係る制御プログラムの他の実施形態を説明する。
図6に示したテーブル61は、自動工程に関するものであり、行(縦方向)に工程のステップ(STEP001〜STEP013)と、列(横方向)に進捗条件となる「統合状態フラグ」および「操作可能フラグ」とを設定している。
テーブル61において「保持時間」は、条件成立後、次のステップに移行するまでの保持時間である
同様に「繰り返し回数」は、そこを起点として「繰り返し時ジャンプ」の工程に戻り、設定の回数まで繰り返すという内容である。
「タイムアップ時間」は、条件成立せず、エラーとするまでの時間であり、エラー時は「エラー時ジャンプ」の工程まで移行するものとする。
この図6に示すテーブル61を真空処理装置111においてモニター等に表示し実行させることによって、ラダープログラミングによるシーケンス制御に使用される自動工程を、テーブル化したデータベース構造で取扱うことが可能となり、ラダープログラムの簡素化と可視化を向上させることが可能となる。
Next, another embodiment of the control program according to the present invention will be described with reference to FIG.
The table 61 shown in FIG. 6 relates to an automatic process. The process steps (STEP001 to STEP013) are arranged in rows (vertical direction), and the “integrated state flag” and “operation” which are progress conditions are arranged in columns (horizontal direction). "Available flag" is set.
In the table 61, “holding time” is the holding time until the next step after the condition is satisfied. Similarly, the “repetition count” returns to the “jump at repetition” step from that point, and the set number of times. It is the content of repeating until.
The “time up time” is a time until an error is not satisfied and an error occurs, and the process proceeds to the “jump on error” step.
By displaying and executing the table 61 shown in FIG. 6 on a monitor or the like in the vacuum processing apparatus 111, it becomes possible to handle an automatic process used for sequence control by ladder programming with a tabular database structure. Simplification and visualization can be improved.
上記の実施形態の説明では、真空処理装置の構成を、図8に示したクラスタ型の装置構成を有する真空処理装置111としたが、図7の(A)に示されるような巡回型の構成を有した成膜処理室71Aからなる真空処理装置71であって上位コンピュータ(PC)72によって制御される構成のもの、あるいは、図7の(B)に示されるような複数の成膜処理室81Aが上位コンピュータ(PC)82にハブ83およびイーサネット(登録商標)84を介して接続されて制御可能に構成された真空処理装置81であっても良い。
In the description of the above embodiment, the configuration of the vacuum processing apparatus is the vacuum processing apparatus 111 having the cluster type apparatus configuration shown in FIG. 8, but the cyclic type configuration as shown in FIG. Or a plurality of film forming chambers as shown in FIG. 7B, which is a vacuum processing apparatus 71 composed of a
以上の実施形態で説明された構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎない。従って本発明は、説明された実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。 The configurations, shapes, sizes, and arrangement relationships described in the above embodiments are merely schematically shown to the extent that the present invention can be understood and implemented. Therefore, the present invention is not limited to the described embodiments, and can be modified in various forms without departing from the scope of the technical idea shown in the claims.
本発明に係る真空処理装置の制御方法等は、複数の処理室を有しかつラダープログラムでシーケンス(工程)が制御される真空処理装置に適用され、当該真空処理装置における条件からなる工程管理、および、制御対象である各種機器の進捗確認についてそれらの可視性を向上させ、工程管理と進捗確認を容易に行うことに利用される。 The control method of the vacuum processing apparatus according to the present invention is applied to a vacuum processing apparatus having a plurality of processing chambers and a sequence (process) controlled by a ladder program, and process management including conditions in the vacuum processing apparatus, In addition, it is used for improving the visibility of progress confirmation of various devices to be controlled and easily performing process management and progress confirmation.
11 アナログ値
12 テーブル
21 テーブル
31 テーブル
41 テーブル
51 ラダープログラム
52,53 テーブル
54 プログラマブル・ロジック・コントローラ(PLC)
56 テーブル
61 テーブル
71 真空処理装置
81 真空処理装置
110 上位コンピュータ
111 真空処理装置
114 処理室
117 イーサネット(登録商標)
11
56 table 61 table 71 vacuum processing device 81
Claims (5)
前記処理室はプログラマブル・ロジック・コントローラを備え、前記処理室の制御に必要な制御データは前記制御用コンピュータから通信手段を経由して前記プログラマブル・ロジック・コントローラに与えられ、
前記制御データは予め前記制御用コンピュータ上でテーブル化され、
テーブル化された前記制御データは前記処理室の前記プログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込まれ、
前記プログラマブル・ロジック・コントローラは、前記記憶領域に書き込まれた前記制御データを分解し、前記処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだ前記データに基づいて前記処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、前記処理室での前記処理動作を実行することを特徴とする真空処理装置。 A vacuum processing apparatus comprising a control computer and at least one processing chamber, wherein a processing operation in the processing chamber is controlled according to a procedure of a ladder program prepared in the control computer,
The processing chamber includes a programmable logic controller, and control data necessary for controlling the processing chamber is given to the programmable logic controller from the control computer via communication means,
The control data is preliminarily tabulated on the control computer,
The control data tabulated is written to the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber,
The programmable logic controller decomposes the control data written in the storage area, takes in data related to inputs and states required by the processing chamber, and relates to the processing operation based on the taken-in data. A vacuum processing apparatus that performs determination of an advancing condition for performing the processing operation in the processing chamber.
前記ラダープログラムを予め前記制御用コンピュータ上でテーブル化する工程と、
テーブル化された前記ラダープログラムを、前記処理室の前記プログラマブル・ロジック・コントローラの前記記憶領域に書き込む工程と、
前記プログラマブル・ロジック・コントローラで、テーブル化された前記ラダープログラムを分解し、前記処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだ前記データに基づいて前記処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、前記処理室での前記処理動作を実行する工程と、
有することを特徴とする真空処理装置の制御方法。 A control computer and at least one processing chamber, wherein the control computer includes a ladder program, the processing chamber includes a programmable logic controller having a storage area, and the ladder program is communicated via communication means. A control method for a vacuum processing apparatus, which is transmitted from a control computer to the programmable logic controller and stored in the storage area, and a processing operation in the processing chamber is controlled according to a procedure of the ladder program,
Table the ladder program in advance on the control computer;
Writing the tabulated ladder program into the storage area of the programmable logic controller of the processing chamber;
The programmable logic controller decomposes the tabulated ladder program, captures data related to the input and state required by the processing chamber, and progress conditions related to the processing operation based on the captured data Performing the determination and performing the processing operation in the processing chamber;
A method for controlling a vacuum processing apparatus, comprising:
ラダープログラムを予め前記制御用コンピュータ上でテーブル化する手順と、
テーブル化した前記ラダープログラムを前記制御用コンピュータから前記処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラへ通信手段を介して送信する手順と、
テーブル化された前記ラダープログラムを、前記処理室の前記プログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込む手順と、
前記プログラマブル・ロジック・コントローラで、テーブル化された前記ラダープログラムを分解し、前記処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだ前記データに基づいて前記処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、前記処理室での前記処理動作を実行する手順と、
を実行させることを特徴とする真空処理装置の制御プログラム。 A computer for controlling a vacuum processing apparatus comprising at least one processing chamber;
A procedure for making a table of the ladder program in advance on the control computer;
A procedure for transmitting the ladder program tabulated from the control computer to a programmable logic controller of the processing chamber via a communication unit;
Writing the ladder program tabulated into the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber;
The programmable logic controller decomposes the tabulated ladder program, captures data related to the input and state required by the processing chamber, and progress conditions related to the processing operation based on the captured data And performing the processing operation in the processing chamber,
A control program for a vacuum processing apparatus, characterized in that
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CN109224322A (en) * | 2018-10-29 | 2019-01-18 | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 | A kind of vacuum-control(led) system applied to proton therapeutic appts |
CN109847200A (en) * | 2019-01-31 | 2019-06-07 | 中国科学院近代物理研究所 | A kind of vacuum monitoring system for medical heavy ion avcceleration |
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