JP2011191887A - Vacuum processing apparatus, and method and program for controlling the same, and recording medium therefor - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum processing apparatus that includes a plurality of processing chambers and whose process is controlled by a ladder program, and facilitates process management and progress confirmation by improving visibility about the process management and the progress confirmation of each kind of apparatus, and to provide a method of controlling the same or the like for the same. <P>SOLUTION: This vacuum processing apparatus 111 includes a controlling computer 110 and the processing chambers 114. Operation of the processing chamber is controlled according to the ladder program 51 prepared in the control computer. The processing chamber includes a PLC 54. Control data are imparted to the PLC from the controlling computer through a communicator. The ladder program is previously tabulated on the controlling computer. The tabulated control data are written in a storage area of the PLC. The PLC decomposes the control data written in the storage area, captures data related to input and a state needed by the processing chamber, executes decision of a progress condition related to processing operation based on the captured data, and executes the processing operation in the processing chamber. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、真空を利用して対象物に所定の処理を施し、制御プログラムとしてラダープログラムで制御される真空処理装置、この真空処理装置の制御方法、この制御方法を実現する制御プログラム、および当該制御プログラムを記録した記録媒体に関する。   The present invention provides a vacuum processing apparatus that performs a predetermined process on an object using a vacuum and is controlled by a ladder program as a control program, a control method for the vacuum processing apparatus, a control program for realizing the control method, and the The present invention relates to a recording medium on which a control program is recorded.

従来の真空処理装置の構成の一般的な例として図８を参照して説明する。   A general example of the configuration of a conventional vacuum processing apparatus will be described with reference to FIG.

真空処理装置１１１は、いわゆるクラスタ型の装置構成を有し、中央の搬送室１１２の周囲に複数の室を備えている。これらの複数の室は、例えば、２室のロードロック室１１３Ａ，１１３Ｂ、複数室の処理室１１４である。２室のロードロック室１１３Ａ，１１３Ｂは、大気環境である外部と所定の真空環境である装置内部との間で、基板の搬入と搬出を行うための室である。基板の搬入と搬出は複数枚の基板を収容するカセットの状態で行われる。複数室の処理室１１４は、それぞれ、各種の成膜室、膜表面等をクリーニングする室等である。   The vacuum processing apparatus 111 has a so-called cluster type apparatus configuration, and includes a plurality of chambers around a central transfer chamber 112. The plurality of chambers are, for example, two load lock chambers 113A and 113B and a plurality of processing chambers 114. The two load lock chambers 113A and 113B are chambers for carrying in and out the substrate between the outside which is an atmospheric environment and the inside of the apparatus which is a predetermined vacuum environment. The loading and unloading of the substrate is performed in the state of a cassette that accommodates a plurality of substrates. The plurality of processing chambers 114 are chambers for cleaning various film forming chambers, film surfaces, and the like.

各処理室１１４では、真空処理装置１１１内で、予め定められた順序で移動する基板に対して決められた処理を行う。真空処理装置１１１内で順次に移動する基板は、１枚ごとである。搬送室１１２、２室のロードロック室１１３Ａ，１１３Ｂ、複数室の処理室１１４のそれぞれには、内部を所要の真空状態（減圧状態）にするための排気機構（図示せず）が付設されている。また、基板の搬入と搬出が行われる各室の出入口部分あるいは境界部分にはゲートバルブ（図示せず）が設けられている。真空処理装置１１１内部では、ゲートバルブを開閉し、開状態にすることによって、成膜環境等の環境が異なる２室間で１枚の基板の出し入れが行われる。   In each processing chamber 114, a predetermined process is performed on a substrate that moves in a predetermined order in the vacuum processing apparatus 111. The substrates that move sequentially in the vacuum processing apparatus 111 are one by one. Each of the transfer chamber 112, the two load lock chambers 113A and 113B, and the plurality of processing chambers 114 is provided with an exhaust mechanism (not shown) for bringing the inside into a required vacuum state (reduced pressure state). Yes. A gate valve (not shown) is provided at the entrance / exit portion or boundary portion of each chamber where the substrate is carried in and out. Inside the vacuum processing apparatus 111, one substrate is taken in and out between two chambers having different environments such as a film forming environment by opening and closing the gate valve and opening the gate valve.

真空処理装置１１１の動作制御に関しては、例えば、全体の動作を管理する上位コンピュータ（上位ホスト）１１０が設けられている。上位コンピュータ１１０は例えばパーソナル・コンピュータ（ＰＣ）やサーバーで構成される。信号またはデータの伝送系または通信系としては、コンピュータ（ＳＣを含む）間の接続およびコンピュータと制御対象の間の接続としてイーサネット（登録商標）１７というＬＡＮが用いられている。プログラマブル・ロジック・コントローラ（以下「ＰＬＣ」と記す）を用いて、このような真空処理装置１１１の各部の一連の工程を自動制御する制御方式が知られている。ＰＬＣは、予め作成された制御プログラム（以下「シーケンスプログラム」と記す）に従って、真空処理装置１１１の各部の動作状態を監視し、動作状態の変化に応じて制御を行う。   For operation control of the vacuum processing apparatus 111, for example, a host computer (host host) 110 that manages the overall operation is provided. The host computer 110 is composed of, for example, a personal computer (PC) or a server. As a signal or data transmission system or communication system, a LAN called Ethernet (registered trademark) 17 is used as a connection between computers (including SC) and a connection between a computer and a controlled object. A control system that automatically controls a series of steps of each part of the vacuum processing apparatus 111 using a programmable logic controller (hereinafter referred to as “PLC”) is known. The PLC monitors the operating state of each part of the vacuum processing apparatus 111 in accordance with a control program created in advance (hereinafter referred to as “sequence program”), and performs control according to a change in the operating state.

上記のシーケンスプログラムの中にラダー図を用いたラダープログラムがある。ラダー図を構成する代表的な構成要素として例えば「入力接点」、「出力コイル」、「論理回路」がある。「入力接点」は制御対象機器の接点のオン／オフ状態を入力し記憶し、「出力コイル」は上記の「入力接点」等に対するオン／オフの指示を記憶し、出力する。また「論理回路」は複数の「入力接点」のオン／オフ情報の論理演算（アンド論理、オア論理等）を行う。   Among the above sequence programs, there is a ladder program using a ladder diagram. For example, there are “input contact”, “output coil”, and “logic circuit” as typical components constituting the ladder diagram. The “input contact” inputs and stores the ON / OFF state of the contact of the device to be controlled, and the “output coil” stores and outputs the ON / OFF instruction for the “input contact” and the like. The “logic circuit” performs logical operations (AND logic, OR logic, etc.) on / off information of a plurality of “input contacts”.

なお本発明に関連する従来技術として下記の特許文献１および特許文献２を挙げることができる。   In addition, the following patent document 1 and patent document 2 can be mentioned as a prior art relevant to this invention.

特開２０００−０９９１１０号公報JP 2000-099110 A 特開２００５−３１６９２２号公報JP 2005-316922 A

前述した通りラダープログラムによれば、入力接点のオン／オフ状態を入力し記憶させるために、真空処理装置１１１の各室での動作としての制御を進行させるための条件（以下では単に「条件」と記す）の元となる、例えば、真空処理装置１１１では真空計、基板処理用ガスの流量計などの各種の複数の計測機器からの入力値であるアナログ信号に関する情報を束ねてフラグ化する必要がある。しかしながら、ラダープログラムの表記上の特徴から、１つの状態に１つ対応するフラグを不必要に重複させて多数複数箇所設定してしまったり、または条件の選定について真空処理装置１１１としての全体の可視性に乏しいことから操作ミスを誘発するプログラム（いわゆるバグ）を作成してしまうなどの可能性があった。また上記の特許文献１，２に開示される発明でも上記の問題を解消し得るものではない。   As described above, according to the ladder program, in order to input and memorize the ON / OFF state of the input contact, a condition for proceeding control as an operation in each chamber of the vacuum processing apparatus 111 (hereinafter simply referred to as “condition”). For example, in the vacuum processing apparatus 111, it is necessary to bundle and flag information on analog signals that are input values from various measuring instruments such as a vacuum gauge and a substrate processing gas flow meter. There is. However, due to the notation characteristics of the ladder program, a plurality of flags corresponding to one state are unnecessarily overlapped and a plurality of places are set, or the condition of the vacuum processing apparatus 111 as a whole is visible. There is a possibility of creating a program (so-called bug) that induces an operation error because of its poor nature. The inventions disclosed in Patent Documents 1 and 2 do not solve the above problem.

本発明の目的は、上記の課題に鑑み、少なくとも１つの処理室を有しかつラダープログラムでシーケンス（工程）が制御される真空処理装置において、当該真空処理装置における条件からなる工程管理、および、制御対象である各種機器の進捗確認についてそれらの可視性を向上させることができ、これにより工程管理と進捗確認を容易に行うことができる真空処理装置を提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is a vacuum processing apparatus having at least one processing chamber and whose sequence (process) is controlled by a ladder program. It is an object of the present invention to provide a vacuum processing apparatus that can improve the visibility of progress confirmation of various devices to be controlled, and thereby facilitate process management and progress confirmation.

本発明の他の目的は、上記の真空処理装置を実現するための真空処理装置の動作を制御する制御方法、当該制御方法を実現する制御プログラム、および当該制御プログラムを格納する記録媒体を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a control method for controlling the operation of the vacuum processing apparatus for realizing the above-described vacuum processing apparatus, a control program for realizing the control method, and a recording medium for storing the control program. There is.

本発明に係る真空処理装置等は、上記の目的を達成するため、次のように構成される。   The vacuum processing apparatus and the like according to the present invention are configured as follows in order to achieve the above object.

本発明に係る真空処理装置（請求項１に対応）は、
制御用コンピュータと少なくとも１つの処理室とを備え、処理室での処理動作が制御コンピュータに用意されたラダープログラムの手順に従って制御される真空処理装置であって、
処理室はプログラマブル・ロジック・コントローラを備え、処理室の制御に必要な制御データは制御用コンピュータから通信手段を経由してプログラマブル・ロジック・コントローラに与えられ、
制御データは予め制御用コンピュータ上でテーブル化され、
テーブル化された制御データは処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込まれ、
プログラマブル・ロジック・コントローラは、記憶領域に書き込まれた制御データを分解し、処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、処理室での処理動作を実行するように構成される。
本発明に係る真空処理装置の制御方法（請求項２に対応）は、
制御用コンピュータと少なくとも１つの処理室とを備え、制御用コンピュータはラダープログラムを有し、処理室は記憶領域を有するプログラマブル・ロジック・コントローラを備え、ラダープログラムは通信手段を介して制御用コンピュータからプログラマブル・ロジック・コントローラに送信されて記憶領域に記憶され、処理室での処理動作がラダープログラムの手順に従って制御される真空処理装置の制御方法であって、
ラダープログラムを予め制御用コンピュータ上でテーブル化する工程と、
テーブル化されたラダープログラムを、処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込む工程と、
プログラマブル・ロジック・コントローラで、テーブル化されたラダープログラムを分解し、処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、処理室での処理動作を実行する工程と、
有することを特徴としている。
上記の真空処理装置の制御方法において、好ましくは、制御用コンピュータから処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラに送信されるラダープログラムはマトリックス状の表示態様で表示されることを特徴とする（請求項３に対応）。
本発明に係る真空処理装置の制御プログラム（請求項４に対応）は、
少なくとも１つの処理室を備える真空処理装置の制御用コンピュータに、
ラダープログラムを予め制御用コンピュータ上でテーブル化する手順と、
テーブル化したラダープログラムを制御用コンピュータから処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラへ通信手段を介して送信する手順と、
テーブル化されたラダープログラムを、処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込む手順と、
プログラマブル・ロジック・コントローラで、テーブル化されたラダープログラムを分解し、処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、処理室での処理動作を実行する手順と、
を実行させることを特徴とする。
本発明に係るコンピュータで読み取り可能な記録媒体（請求項５に対応）は、上記の真空処理装置の制御プログラムを記録したことを特徴としている。
なおここで、「テーブル化」とは、後述する通り、ラダープログラムの新たな表示形態であり、マトリックス（行列）状の形態をなしてデータベース構造で取り扱うことができることをいう。 The vacuum processing apparatus according to the present invention (corresponding to claim 1)
A vacuum processing apparatus comprising a control computer and at least one processing chamber, wherein the processing operation in the processing chamber is controlled according to the procedure of a ladder program prepared in the control computer,
The processing chamber includes a programmable logic controller, and control data necessary for controlling the processing chamber is given to the programmable logic controller from the control computer via communication means.
The control data is tabulated in advance on the control computer,
The tabulated control data is written into the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber,
The programmable logic controller decomposes the control data written in the storage area, takes in the data related to the input and state required by the processing chamber, and determines the progress condition related to the processing operation based on the fetched data. And configured to perform processing operations in the processing chamber.
A method for controlling a vacuum processing apparatus according to the present invention (corresponding to claim 2) is as follows:
A control computer and at least one processing chamber are provided, the control computer includes a ladder program, the processing chamber includes a programmable logic controller having a storage area, and the ladder program is transmitted from the control computer via communication means. A method for controlling a vacuum processing apparatus which is transmitted to a programmable logic controller and stored in a storage area, and a processing operation in a processing chamber is controlled according to a ladder program procedure,
A step of making the ladder program into a table on a control computer in advance;
Writing the tabulated ladder program into the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber;
The programmable logic controller disassembles the tabulated ladder program, captures data related to the input and state required by the processing chamber, and executes the determination of the progress condition related to the processing operation based on the captured data. Performing a processing operation in the processing chamber;
It is characterized by having.
In the above-described vacuum processing apparatus control method, it is preferable that the ladder program transmitted from the control computer to the programmable logic controller of the processing chamber is displayed in a matrix display mode. Corresponding).
The control program (corresponding to claim 4) of the vacuum processing apparatus according to the present invention is:
A computer for controlling a vacuum processing apparatus comprising at least one processing chamber;
A procedure for making a ladder program into a table on a control computer in advance;
A procedure for transmitting the tabulated ladder program from the control computer to the programmable logic controller of the processing chamber via the communication means,
A procedure for writing the tabulated ladder program to the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber,
The programmable logic controller disassembles the tabulated ladder program, captures data related to the input and state required by the processing chamber, and executes the determination of the progress condition related to the processing operation based on the captured data. A procedure for performing processing operations in the processing chamber;
Is executed.
A computer-readable recording medium according to the present invention (corresponding to claim 5) is characterized in that the control program for the vacuum processing apparatus is recorded.
Here, “table” is a new display form of a ladder program, as will be described later, and means that it can be handled in a database structure in a matrix form.

本発明によれば、少なくとも１つの処理室を有しかつラダープログラムで各部の動作についてのシーケンス（工程）が制御される真空処理装置において、制御データは予め制御用コンピュータ上でテーブル化され、テーブル化された制御データを処理室のＰＬＣの記憶領域に書き込み、ＰＬＣは、記憶領域に書き込まれた制御データを分解し、処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、処理室での処理動作を実行するようにしたため、真空処理装置における条件からなる工程管理、および、制御対象である各種機器の進捗確認についてそれらの可視性を向上させることができ、これにより工程管理と進捗確認を容易に行うことができる。   According to the present invention, in a vacuum processing apparatus having at least one processing chamber and in which a sequence (process) for the operation of each unit is controlled by a ladder program, the control data is tabulated in advance on the control computer. The control data written into the storage area of the PLC in the processing chamber is written, the PLC decomposes the control data written in the storage area, takes in the data related to the input and state required by the processing chamber, and converts it into the acquired data. Based on the determination of the progress condition related to the processing operation and the processing operation in the processing chamber, the process management consisting of the conditions in the vacuum processing apparatus and the progress confirmation of various devices being controlled Their visibility can be improved, whereby process management and progress confirmation can be easily performed.

本発明に係る真空処理装置に適用される制御プログラムの実施形態を示し、アナログ値フラグの作成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows embodiment of the control program applied to the vacuum processing apparatus which concerns on this invention, and shows creation of an analog value flag. 本実施形態におけるアナログ値フラグから状態フラグの作成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows preparation of a status flag from the analog value flag in this embodiment. 本実施形態のける状態フラグから統合状態フラグの作成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows preparation of an integrated state flag from the state flag in this embodiment. 本実施形態における統合状態フラグから操作条件フラグの作成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows creation of the operation condition flag from the integrated state flag in this embodiment. 真空処理装置での制御方法を実施するための制御プログラム（ラダープログラム）の取扱いについてのプロセス（自動工程）を示す図である。It is a figure which shows the process (automatic process) about the handling of the control program (ladder program) for implementing the control method with a vacuum processing apparatus. 本発明に係る制御プログラムの他の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of other embodiment of the control program which concerns on this invention. 本発明に係る真空処理装置の他の構成例（Ａ），（Ｂ）を示す図である。It is a figure which shows the other structural examples (A) and (B) of the vacuum processing apparatus which concerns on this invention. 従来の真空処理装置の基本的な構成例を示す図である。It is a figure which shows the basic structural example of the conventional vacuum processing apparatus.

以下に、本発明の好適な実施形態（実施例）を添付図面に基づいて説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Preferred embodiments (examples) of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

本発明に係る真空処理装置の基本的な構成は、「背景技術」の箇所で図８を参照して説明した構成と同じである。すなわちクラスタ型の装置構成を有する真空処理装置１１１であり、中央の搬送室１１２の周囲に、２室のロードロック室１１３Ａ，１１３Ｂ、複数室の処理室１１４を備えた構成である。   The basic configuration of the vacuum processing apparatus according to the present invention is the same as the configuration described with reference to FIG. That is, the vacuum processing apparatus 111 has a cluster-type apparatus configuration, and includes two load lock chambers 113A and 113B and a plurality of processing chambers 114 around a central transfer chamber 112.

真空処理装置１１１の動作制御は、全体の動作を管理する上位コンピュータ（ＰＣ）１１０の制御の下で行われ、プログラマブル・ロジック・コントローラ（ＰＬＣ）を用いて、かつ、信号またはデータの伝送系であるイーサネット（登録商標）１７を経由して、各処理室１１４等に制御プログラム（「シーケンスプログラム」）を与え、この制御プログラムに基づいて各処理室１１４の動作が制御される。制御プログラムには、ラダー図を用いたラダープログラムが使用される。複数の処理室１１４の各々にはＰＬＣが配置されている。   The operation control of the vacuum processing apparatus 111 is performed under the control of a host computer (PC) 110 that manages the entire operation, and using a programmable logic controller (PLC) and in a signal or data transmission system. A control program ("sequence program") is given to each processing chamber 114 and the like via a certain Ethernet (registered trademark) 17, and the operation of each processing chamber 114 is controlled based on this control program. A ladder program using a ladder diagram is used as the control program. A PLC is disposed in each of the plurality of processing chambers 114.

複数の処理室１１４の各々にＰＬＣが設けられ、装置の全体がラダープログラムで制御される真空処理装置１１１において、真空処理装置１１１の上位コンピュータ１１０からイーサネット（登録商標）１７を介して各処理室１１４に提供されるラダープログラムについて、その中からテーブル化可能なデータの作成例として図１〜図４を参照して説明する。図１〜図４では、真空処理装置１１４を制御するラダープログラムのうちマトリックス状に表示した箇所を示している。   In a vacuum processing apparatus 111 in which a PLC is provided in each of the plurality of processing chambers 114 and the entire apparatus is controlled by a ladder program, each processing chamber is connected from the host computer 110 of the vacuum processing apparatus 111 via the Ethernet (registered trademark) 17. The ladder program provided to 114 will be described with reference to FIGS. 1 to 4 as an example of creating data that can be tabulated from the ladder program. 1 to 4 show the portions displayed in a matrix form in the ladder program for controlling the vacuum processing apparatus 114.

図１〜図４の各々は、本発明に係るマトリックス状表示の作成過程、すなわち工程１（図１）→工程２（図２）→工程３（図３）→工程４（図４）を示している。   1 to 4 show a process for creating a matrix display according to the present invention, that is, step 1 (FIG. 1) → step 2 (FIG. 2) → step 3 (FIG. 3) → step 4 (FIG. 4). ing.

最初に、工程１として、図１に示されるように「アナログ値フラグ」を作成する。
ここで「アナログ値フラグ」とは、各処理室１１４等に設けられた各種の計測機器で計測される計測値（アナログ値）に対して、それぞれに設定された閾値との大小関係等の状態から生成されたフラグである。
図１に示した例では、１つの計測値すなわちアナログ値１１について、テーブル１２の形式で、３つの閾値１〜３が示され、さらに３つの閾値１〜３の各々について下限値（DOWN)と上限値（UP）が示されている。３つの閾値１〜３の各々についての下限値（DOWN)と上限値（UP）のそれぞれが「アナログ値フラグ」として設定される。
なおテーブル１２では、当該アナログ値１１についてのその値がとり得る「スパン（範囲）」と、「計測最小値（スケーリングMIN）」と、「計測最大値（スケーリングＭＡＸ）」の数値が示される。 First, as step 1, an “analog value flag” is created as shown in FIG.
Here, the “analog value flag” refers to a state such as a magnitude relationship between a measured value (analog value) measured by various measuring devices provided in each processing chamber 114 and the like and a threshold value set for each measurement value. Is a flag generated from
In the example shown in FIG. 1, three threshold values 1 to 3 are shown in the form of a table 12 for one measurement value, that is, an analog value 11, and a lower limit value (DOWN) for each of the three threshold values 1 to 3. The upper limit (UP) is indicated. The lower limit value (DOWN) and the upper limit value (UP) for each of the three threshold values 1 to 3 are set as “analog value flags”.
In the table 12, numerical values of “span (range)”, “measurement minimum value (scaling MIN)”, and “measurement maximum value (scaling MAX)” that the analog value 11 can take are shown.

次に、工程２として、図２に示されるように上記の「アナログ値フラグ」から“状態フラグ”を作成する。ここでは、一例としてアナログ値フラグＡを対象としている。
図２に示すテーブル２１は、“１”と“０”とで表記され、行（縦方向）に「状態」を表し、列（横方向）に「入力［Ｘ］」および「アナログ値フラグＡ」を表したマトリックス（行列）で構成されている。
「状態」は、一通りしかない真空処理装置１１１の処理上の一状態を表すものであり、例えば、「安全スイッチは作動中か」、「シリンダセンサは正常か」等の安全に関するもの、あるいは、各種機器から出力される計測値等に関するもので構成される。
「入力」は、真空計、ガス流量計等の各種機器に依存する部分である。
「アナログ値フラグＡ」は、前述の通り、各種機器で計測される計測値に対して、それぞれに設定された閾値との大小関係等の状態から生成されたフラグである。
そこで、これらの「状態」に対応する新たなフラグを、上記の「入力」および「アナログ値フラグＡ」を組み合わせて「状態フラグ」とする。この「状態フラグ」によって各種機器を中心にした真空処理装置１１１の「状態」をラダー図と切り離して図示しないモニター等に表示する。 Next, as step 2, a “status flag” is created from the “analog value flag” as shown in FIG. Here, the analog value flag A is targeted as an example.
The table 21 shown in FIG. 2 is represented by “1” and “0”, “state” is indicated in the row (vertical direction), “input [X]” and “analog value flag A” are indicated in the column (horizontal direction). It is comprised with the matrix (matrix) showing.
The “state” represents one state on the processing of the vacuum processing apparatus 111 that has only one way. For example, the “state” relates to safety such as “the safety switch is operating”, “the cylinder sensor is normal”, or These are composed of measurement values output from various devices.
“Input” is a part depending on various devices such as a vacuum gauge and a gas flow meter.
As described above, the “analog value flag A” is a flag generated from a state such as a magnitude relationship with a threshold value set for each measurement value measured by various devices.
Therefore, a new flag corresponding to these “states” is combined with the above “input” and “analog value flag A” to form a “state flag”. With this “status flag”, the “status” of the vacuum processing apparatus 111 centering on various devices is separated from the ladder diagram and displayed on a monitor (not shown).

次に、工程３として、図３に示されるように「状態フラグ」から「統合状態フラグ」を作成する。ここでは、一例として状態フラグＢを対象としている。
図３に示すテーブル３１は、工程２で作成した「状態フラグＢ」から、新たに、行（縦方向）に「統合状態」を表し、列（横方向）に「状態フラグＢ」を表したマトリックス（行列）で構成されている。
ここで、「統合状態」とは、図２の工程２で示したいくつかの「状態」から構成され、上位にくる真空処理装置１１１の一状態を示す項目であり、各種機器からの情報等で構成される「状態」を束ねるものである。前述した例示の「安全スイッチは作動中か」、「シリンダセンサは正常か」等を合わせて、例えば、「搬送系正常」などで括られるものである。
これらの「統合状態」に対応する新たなフラグを「統合状態フラグ」とする。
従って、テーブル２１の「状態」とテーブル３１の「統合状態」は、重複する内容も含まれることが生じるが、プログラムとして、一つの「統合状態」からその次の「統合状態」に移るためには、全ての「状態フラグ」が満足されなければならない。
なお、本発明に係る真空処理装置では、「統合状態フラグ」は、各処理室１１４に設けられたＰＬＣ内で記憶され、実行される。 Next, as step 3, an “integrated state flag” is created from the “state flag” as shown in FIG. Here, the state flag B is targeted as an example.
The table 31 shown in FIG. 3 newly expresses “integrated state” in the row (vertical direction) and “state flag B” in the column (horizontal direction) from the “state flag B” created in step 2. It is composed of a matrix.
Here, the “integrated state” is an item that indicates one state of the vacuum processing apparatus 111 that is composed of several “states” shown in step 2 of FIG. 2 and includes information from various devices. It is a bundle of “states” composed of For example, the above-described “Is the safety switch in operation?”, “Is the cylinder sensor normal?” And the like are combined, for example, “transport system normal”.
A new flag corresponding to these “integrated states” is referred to as an “integrated state flag”.
Accordingly, the “status” of the table 21 and the “integration status” of the table 31 may include overlapping contents, but in order to move from one “integration status” to the next “integration status” as a program. All “status flags” must be satisfied.
In the vacuum processing apparatus according to the present invention, the “integrated state flag” is stored and executed in the PLC provided in each processing chamber 114.

最後に、工程４として、図４に示されるように「統合状態フラグ」から「操作可能フラグ」を作成する。ここでは、一例として統合状態フラグＣを対象としている。
図４に示すテーブル４１は、工程３で作成した「統合状態フラグＣ」から、新たに、行（縦方向）に「操作条件」を表し、列（横方向）に「状態」および「統合状態フラグＣ」とを表したマトリックス（行列）で構成されている。
ここで、「操作条件」とは、工程３の図３で示したいくつかの「統合状態」から構成され、さらに、上位にくる真空処理装置の一状態を示す項目であって、真空処理装置による処理の一動作を示すものであり。上記の工程３で例示した「搬送系正常」などで括られ、例えば「搬送実行」となる。 Finally, as step 4, as shown in FIG. 4, an “operation enable flag” is created from the “integrated state flag”. Here, the integrated state flag C is targeted as an example.
The table 41 shown in FIG. 4 newly represents “operation conditions” in the row (vertical direction), “state” and “integrated state” in the column (horizontal direction) from the “integrated state flag C” created in step 3. It consists of a matrix (matrix) representing “flag C”.
Here, the “operation condition” is an item that is composed of several “integrated states” shown in FIG. 3 of step 3 and further indicates one state of the vacuum processing apparatus that is at the upper level. It shows one operation of processing by. For example, “conveyance execution” is performed by “normal transport system” or the like exemplified in step 3 above.

図４に示したテーブル４１を真空処理装置１１１においてモニター等に表示し実行させることにより、ラダープログラミングによるシーケンス制御が行われる。上記構成によれば、ラダープログラミングに使用される「操作条件」の設定（主に手動操作により行われる）、自動工程の設定、および警報発生に関する設定などを、テーブル化したデータベース構造で取扱うことが可能となり、ラダープログラムの簡素化と可視化を向上させることが可能となった。   The sequence control by ladder programming is performed by displaying and executing the table 41 shown in FIG. 4 on a monitor or the like in the vacuum processing apparatus 111. According to the above configuration, it is possible to handle the setting of “operation conditions” used for ladder programming (mainly by manual operation), automatic process settings, alarm generation settings, etc. in a tabular database structure. It became possible, and it became possible to improve the simplification and visualization of the ladder program.

図５に、真空処理装置１１１での制御方法を実施するための制御プログラム（ラダープログラム）の取扱いについてのプロセス（自動工程）を示す。このプロセスは、「テーブル化」、「書込」、「分解」、「判定」に到るプロセスである。
真空処理装置１１１の上位コンピュータ１１０（ＰＣ）において、状態と入力で構成されるマトリックス状のラダープログラム５１について、テーブル入力値を２進数変換してテーブル５２を作る。さらにこれを１６進数変換してテーブル５３を作り、このテーブル５３を上位コンピュータ（ＰＣ）１１０の書込ボタンの押下で各ＰＬＣ５４の記憶領域に書き込む（ステップ５５）。テーブル５３のデータは、さらにテーブル５６の形式でイーサネット（登録商標）１１７を経由して伝送され、テーブル５６に含まれる格納先アドレスに基づいて分解され（ステップ５７）、関係付けられた各処理室１１４のＰＬＣ５４に書き込まれる。各ＰＬＣ５４では、制御用データについて状態フラグのＯＮ状態に基づいて判定して制御を実行する（ステップ５８）。 FIG. 5 shows a process (automatic process) for handling a control program (ladder program) for carrying out the control method in the vacuum processing apparatus 111. This process is a process leading to “tabulation”, “writing”, “decomposition”, and “determination”.
In the host computer 110 (PC) of the vacuum processing apparatus 111, a table 52 is created by converting the table input values into binary numbers for the matrix-like ladder program 51 composed of states and inputs. Further, this is converted into a hexadecimal number to create a table 53, and this table 53 is written into the storage area of each PLC 54 by pressing the write button of the host computer (PC) 110 (step 55). The data of the table 53 is further transmitted via the Ethernet (registered trademark) 117 in the form of the table 56, and is decomposed based on the storage destination address included in the table 56 (step 57), and the associated processing chambers. 114 is written to the PLC 54. Each PLC 54 determines the control data based on the ON state of the state flag and executes control (step 58).

上記の真空処理装置１１１の制御方法によれば、
ラダープログラム５１を予め制御用の上記コンピュータ１１０上でテーブル化する工程（ステップ２０１）と、
テーブル化されたラダープログラム５１を、各処理室１１４のＰＬＣ５４の記憶領域に書き込む工程（ステップ５５）と、
ＰＬＣ５４で、テーブル化されたラダープログラム５１を分解し（ステップ５７）、各処理室１１４が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだデータに基づいて処理動作に関係する進行条件の判定を実行し（ステップ５８）、各処理室１１４での前記処理動作を実行する工程と、有している。 According to the control method of the vacuum processing apparatus 111 described above,
A step of making the ladder program 51 into a table on the computer 110 for control in advance (step 201);
A step of writing the tabulated ladder program 51 in the storage area of the PLC 54 of each processing chamber 114 (step 55);
The PLC 54 disassembles the tabulated ladder program 51 (step 57), captures data related to the input and state required by each processing chamber 114, and determines the progress condition related to the processing operation based on the captured data. (Step 58) and performing the processing operation in each processing chamber 114.

次に、図６を参照して、本発明に係る制御プログラムの他の実施形態を説明する。
図６に示したテーブル６１は、自動工程に関するものであり、行（縦方向）に工程のステップ（STEP001〜STEP013）と、列（横方向）に進捗条件となる「統合状態フラグ」および「操作可能フラグ」とを設定している。
テーブル６１において「保持時間」は、条件成立後、次のステップに移行するまでの保持時間である
同様に「繰り返し回数」は、そこを起点として「繰り返し時ジャンプ」の工程に戻り、設定の回数まで繰り返すという内容である。
「タイムアップ時間」は、条件成立せず、エラーとするまでの時間であり、エラー時は「エラー時ジャンプ」の工程まで移行するものとする。
この図６に示すテーブル６１を真空処理装置１１１においてモニター等に表示し実行させることによって、ラダープログラミングによるシーケンス制御に使用される自動工程を、テーブル化したデータベース構造で取扱うことが可能となり、ラダープログラムの簡素化と可視化を向上させることが可能となる。 Next, another embodiment of the control program according to the present invention will be described with reference to FIG.
The table 61 shown in FIG. 6 relates to an automatic process. The process steps (STEP001 to STEP013) are arranged in rows (vertical direction), and the “integrated state flag” and “operation” which are progress conditions are arranged in columns (horizontal direction). "Available flag" is set.
In the table 61, “holding time” is the holding time until the next step after the condition is satisfied. Similarly, the “repetition count” returns to the “jump at repetition” step from that point, and the set number of times. It is the content of repeating until.
The “time up time” is a time until an error is not satisfied and an error occurs, and the process proceeds to the “jump on error” step.
By displaying and executing the table 61 shown in FIG. 6 on a monitor or the like in the vacuum processing apparatus 111, it becomes possible to handle an automatic process used for sequence control by ladder programming with a tabular database structure. Simplification and visualization can be improved.

上記の実施形態の説明では、真空処理装置の構成を、図８に示したクラスタ型の装置構成を有する真空処理装置１１１としたが、図７の（Ａ）に示されるような巡回型の構成を有した成膜処理室７１Ａからなる真空処理装置７１であって上位コンピュータ（ＰＣ）７２によって制御される構成のもの、あるいは、図７の（Ｂ）に示されるような複数の成膜処理室８１Ａが上位コンピュータ（ＰＣ）８２にハブ８３およびイーサネット（登録商標）８４を介して接続されて制御可能に構成された真空処理装置８１であっても良い。   In the description of the above embodiment, the configuration of the vacuum processing apparatus is the vacuum processing apparatus 111 having the cluster type apparatus configuration shown in FIG. 8, but the cyclic type configuration as shown in FIG. Or a plurality of film forming chambers as shown in FIG. 7B, which is a vacuum processing apparatus 71 composed of a film forming chamber 71A having a structure controlled by a host computer (PC) 72. 81A may be a vacuum processing apparatus 81 that is connected to a host computer (PC) 82 via a hub 83 and an Ethernet (registered trademark) 84 so as to be controllable.

以上の実施形態で説明された構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎない。従って本発明は、説明された実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。   The configurations, shapes, sizes, and arrangement relationships described in the above embodiments are merely schematically shown to the extent that the present invention can be understood and implemented. Therefore, the present invention is not limited to the described embodiments, and can be modified in various forms without departing from the scope of the technical idea shown in the claims.

本発明に係る真空処理装置の制御方法等は、複数の処理室を有しかつラダープログラムでシーケンス（工程）が制御される真空処理装置に適用され、当該真空処理装置における条件からなる工程管理、および、制御対象である各種機器の進捗確認についてそれらの可視性を向上させ、工程管理と進捗確認を容易に行うことに利用される。   The control method of the vacuum processing apparatus according to the present invention is applied to a vacuum processing apparatus having a plurality of processing chambers and a sequence (process) controlled by a ladder program, and process management including conditions in the vacuum processing apparatus, In addition, it is used for improving the visibility of progress confirmation of various devices to be controlled and easily performing process management and progress confirmation.

１１ アナログ値
１２ テーブル
２１ テーブル
３１ テーブル
４１ テーブル
５１ ラダープログラム
５２，５３ テーブル
５４ プログラマブル・ロジック・コントローラ（ＰＬＣ）
５６ テーブル
６１ テーブル
７１ 真空処理装置
８１ 真空処理装置
１１０ 上位コンピュータ
１１１ 真空処理装置
１１４ 処理室
１１７ イーサネット（登録商標） 11 Analog value 12 Table 21 Table 31 Table 41 Table 51 Ladder program 52, 53 Table 54 Programmable logic controller (PLC)
56 table 61 table 71 vacuum processing device 81 vacuum processing device 110 host computer 111 vacuum processing device 114 processing chamber 117 Ethernet (registered trademark)

Claims (5)

制御用コンピュータと少なくとも１つの処理室とを備え、前記処理室での処理動作が前記制御コンピュータに用意されたラダープログラムの手順に従って制御される真空処理装置であって、
前記処理室はプログラマブル・ロジック・コントローラを備え、前記処理室の制御に必要な制御データは前記制御用コンピュータから通信手段を経由して前記プログラマブル・ロジック・コントローラに与えられ、
前記制御データは予め前記制御用コンピュータ上でテーブル化され、
テーブル化された前記制御データは前記処理室の前記プログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込まれ、
前記プログラマブル・ロジック・コントローラは、前記記憶領域に書き込まれた前記制御データを分解し、前記処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだ前記データに基づいて前記処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、前記処理室での前記処理動作を実行することを特徴とする真空処理装置。 A vacuum processing apparatus comprising a control computer and at least one processing chamber, wherein a processing operation in the processing chamber is controlled according to a procedure of a ladder program prepared in the control computer,
The processing chamber includes a programmable logic controller, and control data necessary for controlling the processing chamber is given to the programmable logic controller from the control computer via communication means,
The control data is preliminarily tabulated on the control computer,
The control data tabulated is written to the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber,
The programmable logic controller decomposes the control data written in the storage area, takes in data related to inputs and states required by the processing chamber, and relates to the processing operation based on the taken-in data. A vacuum processing apparatus that performs determination of an advancing condition for performing the processing operation in the processing chamber. 制御用コンピュータと少なくとも１つの処理室とを備え、前記制御用コンピュータはラダープログラムを有し、前記処理室は記憶領域を有するプログラマブル・ロジック・コントローラを備え、前記ラダープログラムは通信手段を介して前記制御用コンピュータから前記プログラマブル・ロジック・コントローラに送信されて前記記憶領域に記憶され、前記処理室での処理動作が前記ラダープログラムの手順に従って制御される真空処理装置の制御方法であって、
前記ラダープログラムを予め前記制御用コンピュータ上でテーブル化する工程と、
テーブル化された前記ラダープログラムを、前記処理室の前記プログラマブル・ロジック・コントローラの前記記憶領域に書き込む工程と、
前記プログラマブル・ロジック・コントローラで、テーブル化された前記ラダープログラムを分解し、前記処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだ前記データに基づいて前記処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、前記処理室での前記処理動作を実行する工程と、
有することを特徴とする真空処理装置の制御方法。 A control computer and at least one processing chamber, wherein the control computer includes a ladder program, the processing chamber includes a programmable logic controller having a storage area, and the ladder program is communicated via communication means. A control method for a vacuum processing apparatus, which is transmitted from a control computer to the programmable logic controller and stored in the storage area, and a processing operation in the processing chamber is controlled according to a procedure of the ladder program,
Table the ladder program in advance on the control computer;
Writing the tabulated ladder program into the storage area of the programmable logic controller of the processing chamber;
The programmable logic controller decomposes the tabulated ladder program, captures data related to the input and state required by the processing chamber, and progress conditions related to the processing operation based on the captured data Performing the determination and performing the processing operation in the processing chamber;
A method for controlling a vacuum processing apparatus, comprising: 前記制御用コンピュータから前記処理室の前記プログラマブル・ロジック・コントローラに送信される前記ラダープログラムはマトリックス状の表示態様で表示されることを特徴とする請求項２記載の真空処理装置の制御方法。   3. The method of controlling a vacuum processing apparatus according to claim 2, wherein the ladder program transmitted from the control computer to the programmable logic controller of the processing chamber is displayed in a matrix display mode. 少なくとも１つの処理室を備える真空処理装置の制御用コンピュータに、
ラダープログラムを予め前記制御用コンピュータ上でテーブル化する手順と、
テーブル化した前記ラダープログラムを前記制御用コンピュータから前記処理室のプログラマブル・ロジック・コントローラへ通信手段を介して送信する手順と、
テーブル化された前記ラダープログラムを、前記処理室の前記プログラマブル・ロジック・コントローラの記憶領域に書き込む手順と、
前記プログラマブル・ロジック・コントローラで、テーブル化された前記ラダープログラムを分解し、前記処理室が必要とする入力および状態に係るデータを取り込み、取り込んだ前記データに基づいて前記処理動作に関係する進行条件の判定を実行し、前記処理室での前記処理動作を実行する手順と、
を実行させることを特徴とする真空処理装置の制御プログラム。 A computer for controlling a vacuum processing apparatus comprising at least one processing chamber;
A procedure for making a table of the ladder program in advance on the control computer;
A procedure for transmitting the ladder program tabulated from the control computer to a programmable logic controller of the processing chamber via a communication unit;
Writing the ladder program tabulated into the storage area of the programmable logic controller in the processing chamber;
The programmable logic controller decomposes the tabulated ladder program, captures data related to the input and state required by the processing chamber, and progress conditions related to the processing operation based on the captured data And performing the processing operation in the processing chamber,
A control program for a vacuum processing apparatus, characterized in that 請求項４に記載した真空処理装置の制御プログラムを記録したことを特徴とするコンピュータで読み取り可能な記録媒体。   A computer-readable recording medium having recorded thereon a control program for the vacuum processing apparatus according to claim 4.

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