JP2012504324A5 - - Google Patents

Claims (1)

1. マイクロリソグラフィ投影露光装置（１０）の照明システムであって、
   ａ）一次光源（３０）と、
   ｂ）システム瞳面（７０）と、
   ｃ）ミラーアレイ（４６）であって、
   ｉ）前記一次光源（３０）と前記システム瞳面（７０）との間に配置され、
   ｉｉ）複数のアダプティブミラー素子（Ｍ_ｉｊ）を含み、該ミラー素子（Ｍ_ｉｊ）はそれぞれ、
   ミラー支持体（１００）及び反射性コーティング（１０２）を含むと共に、
   前記一次光源（３０）により生成される光（３４）を前記システム瞳面（７０）に向けるように構成される、
   ミラーアレイ（４６）と、
   を備え、前記ミラー素子（Ｍ_ｉｊ）は、異なる熱膨張係数を有し互いに取り付け固定される構造（１００、１０２）を含み、
   該照明システム（１２）は、前記ミラー素子（Ｍ_ｉｊ）の形状を個別に変えるために前記構造内の温度分布を可変に変更するように構成される温度制御デバイス（９０）を備える、照明システム。