JP2012255909A - Resist stripping agent and stripping method using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は半導体集積回路、プリント配線基板、液晶の製造工程におけるフォトレジスト層を剥離するための剥離剤に関するものである。 The present invention relates to a release agent for removing a photoresist layer in a manufacturing process of a semiconductor integrated circuit, a printed wiring board, and a liquid crystal.
半導体集積回路、フラットパネルディスプレイは、基体上にフォトレジスト（以下、単に「レジスト」と称する。）を塗布し、露光、現像の後、エッチングを行い、回路を形成した後、レジストを基体上から剥離するか、回路形成の後、アッシングを行い、レジストを除去した後、残ったレジスト残渣を剥離する方法で製造される。 In a semiconductor integrated circuit and a flat panel display, a photoresist (hereinafter simply referred to as “resist”) is applied on a substrate, and after exposure and development, etching is performed to form a circuit. After peeling or circuit formation, ashing is performed to remove the resist, and then the remaining resist residue is peeled off.
レジストを基体上から剥離するため、又はレジスト残渣を基体上から剥離するため、従来、様々なレジスト剥離剤が提案されてきた。 Conventionally, various resist stripping agents have been proposed for stripping a resist from a substrate or stripping a resist residue from a substrate.
現在、レジスト剥離剤として、最も広く使用されているのは、モノエタノールアミンと有機溶媒の組合せである（例えば、特許文献１参照）。このレジスト剥離剤は、安価で工業的に入手しやすいモノエタノールアミンを使用している。しかし、モノエタノールアミンは、銅に対しては腐食が大きいため、銅配線プロセスに用いられるレジスト剥離に使用することが困難である。 Currently, a combination of monoethanolamine and an organic solvent is most widely used as a resist stripper (see, for example, Patent Document 1). This resist stripper uses monoethanolamine which is inexpensive and easily industrially available. However, monoethanolamine is difficult to be used for resist stripping used in a copper wiring process because it is highly corrosive to copper.
銅配線の腐食が小さいレジスト剥離剤としては、２−（Ｎ，Ｎ−ジメチル−２−アミノエトキシ）エタノールを必須成分とするレジスト剥離剤が提案されている（たとえば、特許文献２参照）。この剥離剤は優れたレジスト剥離性を示すとともに、銅への腐食性が小さいため、銅配線プロセスに用いられるレジスト剥離には有効である。しかしながら、２−（Ｎ，Ｎ−ジメチル−２−アミノエトキシ）エタノールは、モノエタノールアミンほどレジスト剥離力が強くなく、高温処理したレジスト、イオン注入したレジストなど剥離しにくいレジストを除去することができない。 As a resist stripper that has low corrosion of copper wiring, a resist stripper containing 2- (N, N-dimethyl-2-aminoethoxy) ethanol as an essential component has been proposed (for example, see Patent Document 2). This stripping agent exhibits excellent resist stripping properties and is less corrosive to copper, and is therefore effective for stripping resists used in copper wiring processes. However, 2- (N, N-dimethyl-2-aminoethoxy) ethanol does not have as strong a resist stripping force as monoethanolamine, and cannot remove resists that are difficult to strip, such as resists subjected to high temperature treatment and resists subjected to ion implantation. .
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、優れたレジスト剥離性及び銅、アルミに対し高いエッチング速度を示すレジスト剥離剤を提供することにある。 This invention is made | formed in view of said subject, The objective is to provide the resist remover which shows the high resisting rate and the high etching rate with respect to copper and aluminum.
本発明者らは、レジスト剥離剤について鋭意検討した結果、モノメチルアミン・ギ酸塩を含むレジスト剥離剤が、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成させるに至ったものである。 As a result of intensive studies on the resist stripper, the present inventors have found that a resist stripper containing monomethylamine formate can achieve the above object, and has completed the present invention.
すなわち、本発明は、以下に示すとおりのレジスト剥離剤及びそれを用いた剥離方法である。 That is, the present invention is a resist stripper as shown below and a stripping method using the same.
［１］モノメチルアミン・ギ酸塩を含むことを特徴とするレジスト剥離剤。 [1] A resist stripper comprising monomethylamine formate.
［２］レジスト剥離剤中のモノメチルアミン・ギ酸塩の量が０．１重量％以上１０重量％以下の範囲であることを特徴とする上記［１］に記載のレジスト剥離剤。 [2] The resist stripper as described in [1] above, wherein the amount of monomethylamine formate in the resist stripper is in the range of 0.1 wt% to 10 wt%.
［３］さらに水及び／又は水溶性有機溶媒を含むことを特徴とする上記［１］又は［２］に記載のレジスト剥離剤。 [3] The resist remover according to [1] or [2] above, further comprising water and / or a water-soluble organic solvent.
［４］水溶性有機溶媒が、ジメチルスルホキシド、ジメチルスルホン、ジエチルスルホン、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−エチル−２−ピロリドン、Ｎ−プロピル−２−ピロリドン、Ｎ−ヒドロキシエチル−２−ピロリドン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、及びジプロピレングリコールモノブチルエーテルからなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする上記［３］に記載のレジスト剥離剤。 [4] Water-soluble organic solvent is dimethyl sulfoxide, dimethyl sulfone, diethyl sulfone, N-methylformamide, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide N-methyl-2-pyrrolidone, N-ethyl-2-pyrrolidone, N-propyl-2-pyrrolidone, N-hydroxyethyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, ethylene glycol, diethylene glycol , Triethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol mono From the group consisting of chill ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, and dipropylene glycol monobutyl ether The resist remover according to [3] above, which is at least one selected.
［５］さらにアミン類を含むことを特徴とする上記［１］〜［４］のいずれかに記載のレジスト剥離剤。 [5] The resist remover according to any one of [1] to [4], further comprising an amine.
［６］アミン類が、モノエタノールアミン、Ｎ−メチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミンなどのモノエタノールアミンのＮ−メチル化体、モノエタノールアミンのＮ−エチル化体、２−アミノエトキシエタノール、２−アミノエトキシエタノールのＮ−メチル化体、Ｎ−エチル化体、Ｎ−（２−アミノエチル）エタノールアミン、Ｎ−（２−アミノエチル）エタノールアミンのメチル化体、Ｎ−（２−アミノエチル）エタノールアミンのエチル化体、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジンのメチル化体、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジンのエチル化体、エチレンジアミン、エチレンジアミンのメチル化体、ジエチレントリアミン、ジエチレントリアミンのメチル化体、トリエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミンのメチル化体、テトラエチレンペンタミン、テトラエチレンペンタミンのメチル化体、ピペラジン、ピペラジンのメチル化体、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペラジン、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペラジン及びモノメチルアミンのメチル化体及びモノメチルアミンからなる群より選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする上記［５］に記載のレジスト剥離剤。 [6] Amines are monoethanolamine, N-methylethanolamine, N-methylated amines such as N, N-dimethylethanolamine, N-methylated monoethanolamine, N-ethylated monoethanolamine, 2-aminoethoxy N-methylated product of ethanol, 2-aminoethoxyethanol, N-ethylated product, N- (2-aminoethyl) ethanolamine, methylated product of N- (2-aminoethyl) ethanolamine, N- (2 -Aminoethyl) ethylamine of ethanolamine, N- (2-hydroxyethyl) piperazine, methylated N- (2-hydroxyethyl) piperazine, ethylated N- (2-hydroxyethyl) piperazine, ethylenediamine , Methylated ethylenediamine, methyl diethylenetriamine, diethylenetriamine , Triethylenetetramine, methylated triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, methylated tetraethylenepentamine, piperazine, methylated piperazine, N- (2-aminoethyl) piperazine, N- (2 -Aminoethyl) Piperazine and a methylated product of monomethylamine and at least one selected from the group consisting of monomethylamine, The resist stripping agent according to the above [5].
［７］上記［１］〜［６］のいずれかに記載のレジスト剥離剤の水溶液がアルカリ性を示すことを特徴とするレジスト剥離剤。 [7] A resist remover wherein the aqueous solution of the resist remover according to any one of [1] to [6] exhibits alkalinity.
［８］上記［１］〜［７］のいずれかに記載のレジスト剥離剤を用いて銅配線用レジスト又はアルミ配線用レジストを剥離することを特徴とするレジスト剥離方法。 [8] A resist stripping method comprising stripping a copper wiring resist or an aluminum wiring resist using the resist stripping agent according to any one of [1] to [7].
本発明のレジスト剥離剤は、優れたレジスト剥離性を示すとともに、アルミ及び銅を腐食しない安価なレジスト剥離剤として、工業的に極めて有用である。 The resist remover of the present invention is extremely industrially useful as an inexpensive resist remover that does not corrode aluminum and copper while exhibiting excellent resist peelability.
本発明のレジスト剥離剤は、モノメチルアミン・ギ酸塩を含む。 The resist stripper of the present invention contains monomethylamine formate.
本発明において、モノメチルアミン・ギ酸塩とは、モノメチルアミン、またはその塩並びにギ酸、又はその塩がレジスト剥離剤中に存在していることを意味し、モノメチルアミンとギ酸が必ずしも１：１である必要はなく、どちらかが過剰でも一向に差し支えない。本発明のレジスト剥離剤の水溶液がアルカリ性を示すことが重要である。水溶液が中性、又は酸性であるとレジスト剥離力が低下してしまう。本発明のレジスト剥離剤の水溶液をアルカリ性にするためには、モノメチルアミンをギ酸より過剰に使用するか、モノメチルアミンがギ酸より少量の場合は、モノメチルアミン以外の塩基性物質、例えばアミン類をレジスト剥離剤に添加することができる。 In the present invention, monomethylamine formate means that monomethylamine, or a salt thereof, and formic acid, or a salt thereof are present in the resist stripper, and monomethylamine and formic acid are not necessarily 1: 1. There is no need, and either one can be overkill. It is important that the aqueous solution of the resist stripper of the present invention exhibits alkalinity. If the aqueous solution is neutral or acidic, the resist stripping force is reduced. In order to make the aqueous solution of the resist stripper of the present invention alkaline, monomethylamine is used in excess of formic acid, or when monomethylamine is less than formic acid, basic substances other than monomethylamine, such as amines, are resisted. It can be added to the release agent.
本発明のレジスト剥離剤はモノメチルアミンのギ酸塩を含み、更に、水及び／又は水溶性有機溶媒を含んでも良い。 The resist stripper of the present invention contains monomethylamine formate, and may further contain water and / or a water-soluble organic solvent.
水溶性有機溶媒としては、レジスト剥離剤として一般に使用しているものを用いることができ、特に制限はない。具体的には、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類；ジメチルスルホン、ジエチルスルホン等のスルホン類；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド等のアミド類；Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−エチル−２−ピロリドン、Ｎ−プロピル−２−ピロリドン、Ｎ−ヒドロキシエチル−２−ピロリドン等のラクタム類；１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン等のイミダゾリジノン類；エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール等のグリコール類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル等のグリコールエーテル類が例示される。これら水溶性有機溶媒は単独で使用してもよいし、二種類以上を混合して使用してもよい。 As the water-soluble organic solvent, those generally used as a resist stripper can be used, and there is no particular limitation. Specifically, sulfoxides such as dimethyl sulfoxide; sulfones such as dimethyl sulfone and diethyl sulfone; N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide and the like Amides; lactams such as N-methyl-2-pyrrolidone, N-ethyl-2-pyrrolidone, N-propyl-2-pyrrolidone, N-hydroxyethyl-2-pyrrolidone; 1,3-dimethyl-2-imidazo Imidazolidinones such as lydinone; glycols such as ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, tripropylene glycol; ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene Lenglycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol Examples include glycol ethers such as monobutyl ether. These water-soluble organic solvents may be used alone or in combination of two or more.
また、本発明のレジスト剥離剤には、アミン類を添加することができる。アミン類は一般的なものを使用することができ、レジスト剥離力を有するアミン類を添加することが好ましい。レジスト剥離力を有するアミン類は一般に知られているものを使用することができ、例えばモノエタノールアミン、Ｎ−メチルエタノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミンなどのモノエタノールアミンのＮ−メチル化体、モノエタノールアミンのＮ−エチル化体、２−アミノエトキシエタノール、２−アミノエトキシエタノールのＮ−メチル化体、Ｎ−エチル化体、Ｎ−（２−アミノエチル）エタノールアミン、Ｎ−（２−アミノエチル）エタノールアミンのメチル化体、Ｎ−（２−アミノエチル）エタノールアミンのエチル化体、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジンのメチル化体、Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジンのエチル化体、エチレンジアミン、エチレンジアミンのメチル化体、ジエチレントリアミン、ジエチレントリアミンのメチル化体、トリエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミンのメチル化体、テトラエチレンペンタミン、テトラエチレンペンタミンのメチル化体、ピペラジン、ピペラジンのメチル化体、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペラジン、Ｎ−（２−アミノエチル）ピペラジンのメチル化体及びモノメチルアミンが挙げられる。これらのアミン類は一種類を使用しても良いし、二種類以上を混合して使用しても良い。 In addition, amines can be added to the resist stripper of the present invention. Common amines can be used, and it is preferable to add amines having resist stripping ability. As the amines having resist stripping ability, generally known amines can be used. For example, N-methylated monoethanolamine such as monoethanolamine, N-methylethanolamine, N, N-dimethylethanolamine and the like. N-ethylated monoethanolamine, 2-aminoethoxyethanol, N-methylated 2-aminoethoxyethanol, N-ethylated, N- (2-aminoethyl) ethanolamine, N- (2 -Methylated product of -aminoethyl) ethanolamine, ethylated product of N- (2-aminoethyl) ethanolamine, N- (2-hydroxyethyl) piperazine, methylated product of N- (2-hydroxyethyl) piperazine, Ethylated N- (2-hydroxyethyl) piperazine, ethylenediamine, ethylenediamine Methylated product, diethylenetriamine, methylated product of diethylenetriamine, triethylenetetramine, methylated product of triethylenetetramine, tetraethylenepentamine, methylated product of tetraethylenepentamine, piperazine, methylated product of piperazine, N- (2 -Aminoethyl) piperazine, methylated product of N- (2-aminoethyl) piperazine and monomethylamine. One kind of these amines may be used, or two or more kinds may be mixed and used.
さらに、本発明のレジスト剥離剤には、ベンゾトリアゾール類等の一般に使用されている防食剤も使用することができる。 Furthermore, generally used anticorrosive agents, such as benzotriazoles, can also be used for the resist stripper of the present invention.
本発明のレジスト剥離剤中のモノメチルアミン・ギ酸塩の含有量としては、レジスト剥離性、材料へのダメージを考慮すると、０．１〜１５重量％が好ましく、特に好ましくは０．１〜１０重量％である。 The content of monomethylamine formate in the resist stripper of the present invention is preferably 0.1 to 15% by weight, particularly preferably 0.1 to 10% by weight in consideration of resist strippability and damage to the material. %.
水及び／又は水溶性有機溶媒を用いる場合、水及び／又は水溶性有機溶媒の含有量としては、レジスト剥離能力の観点から１０〜９９.５重量％以下の範囲で用いることが好ましい。 When water and / or a water-soluble organic solvent is used, the content of water and / or the water-soluble organic solvent is preferably 10 to 99.5% by weight or less from the viewpoint of resist stripping ability.
アミン類を用いる場合、アミン類の含有量としては、レジスト剥離性能の観点から１〜４０重量％以下の範囲で用いることが好ましい。 When using amines, the content of amines is preferably in the range of 1 to 40% by weight or less from the viewpoint of resist stripping performance.
レジスト剥離剤中の各成分の含有量が上記した範囲にあれば、レジストの剥離性、安定性、各種金属への耐腐食性が優れたものとなる。なお、上記したレジスト剥離剤中の各成分の含有量の合計が１００重量％を超えることがないことはいうまでもない。 If the content of each component in the resist stripper is within the above-described range, the resist strippability, stability, and corrosion resistance to various metals are excellent. In addition, it cannot be overemphasized that the sum total of content of each component in an above-described resist stripper does not exceed 100 weight%.
本発明のレジスト剥離剤は上記した成分及び含有量から構成され、これらの各成分はレジストを剥離する際に各成分を添加して使用してもよいし、予め混合したものを使用してもよい。 The resist stripper of the present invention is composed of the above-described components and contents, and these components may be used by adding each component when stripping the resist, or those previously mixed may be used. Good.
本発明のレジスト剥離方法は、上記した本発明のレジスト剥離剤を用いて銅配線用レジスト又はアルミ配線用レジストを剥離することをその特徴とする。 The resist stripping method of the present invention is characterized in that the resist for copper wiring or the resist for aluminum wiring is stripped using the resist stripping agent of the present invention described above.
本発明のレジスト剥離剤を使用して、レジストを剥離する際の温度は、１５〜１００℃が好ましく、レジストの剥離性、配線材料へのアタックを考慮すると２０〜５０℃が特に好ましい。 The temperature at which the resist is stripped using the resist stripper of the present invention is preferably 15 to 100 ° C., and 20 to 50 ° C. is particularly preferable in view of the strippability of the resist and the attack on the wiring material.
本発明のレジスト剥離剤は、無機質基体上に塗布されたレジスト膜、無機質基体上に塗布されたレジスト膜をドライエッチング後に残存するレジスト層、ドライエッチング後にアッシングを行い残存するレジスト残渣物等を剥離するのに用いられる。本発明のレジスト剥離剤は、銅、アルミ等の金属に対する腐食性が特に小さいため、微細化された銅配線用のレジストを剥離するのに好適に用いられる。また、本発明のレジスト剥離剤を使用する際には、加熱、超音波等で剥離を促進してもよい。 The resist remover of the present invention removes a resist film applied on an inorganic substrate, a resist layer remaining after dry etching of the resist film applied on the inorganic substrate, ashing after dry etching, and remaining resist residues, etc. Used to do. Since the resist stripper of the present invention has particularly low corrosiveness to metals such as copper and aluminum, it is preferably used for stripping a miniaturized resist for copper wiring. Moreover, when using the resist stripper of this invention, you may accelerate | stimulate peeling by a heating, an ultrasonic wave, etc.
本発明のレジスト剥離剤の使用方法としては、特に制限はなく、浸漬法、スプレー噴霧式、その他従来公知の方法を使用しても差し支えない。 The method for using the resist stripper of the present invention is not particularly limited, and a dipping method, a spray spray method, and other conventionally known methods may be used.
本発明を以下の実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定して解釈されるものではない。 The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, but the present invention should not be construed as being limited thereto.
なお、表記を簡潔にするため、以下の略記号を使用した。 In order to simplify the notation, the following abbreviations were used.
ＭＥＡ：モノエタノールアミン、
ＭＡ：モノメチルアミン、
ＰＭＥＤＡ：エチレンジアミンのメチル化体、
ＨＥＰ：Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン、
ＮＭＦ：Ｎ−メチルホルムアミド、
ＮＭＰ：Ｎ−メチル−２−ピロリドン、
ＭＤＧ：ジエチレングリコールモノメチルエーテル、
ＤＭＡｃ：ジメチルアセトアミド。
MEA: monoethanolamine,
MA: monomethylamine,
PMEDA: methylated product of ethylenediamine,
HEP: N- (2-hydroxyethyl) piperazine,
NMF: N-methylformamide,
NMP: N-methyl-2-pyrrolidone,
MDG: Diethylene glycol monomethyl ether,
DMAc: dimethylacetamide.
また、以下の実施例、比較例において、レジストの剥離性は以下のように評価した。 In the following Examples and Comparative Examples, the resist peelability was evaluated as follows.
◎：剥離性極めて良好（９０秒以内に除去可能）、
○：剥離性良好（１２０秒以内に除去可能）、
×：１２０秒間処理後、大部分残存していた。
A: Excellent peelability (removable within 90 seconds),
○: Good peelability (removable within 120 seconds),
X: Most remained after processing for 120 seconds.
実施例１〜９、比較例１〜３
シリコン基板上に銅が成膜された基板、及びシリコン基板上にアルミが成膜された基板を用い、パターニングされたポジ型フォトレジストをマスクとして、そのエッチングを行った。すなわち、これらの基板を表１に示す剥離剤に６０℃で１２０秒間、若しくは９０秒間浸漬し、その後、水洗いし、乾燥した。基板上のレジストの有無を光学顕微鏡及び走査型電子顕微鏡で観察して、レジストの剥離性を評価した。また、これらの基板を表１に示す剥離剤に５０℃で３０分間浸漬し、エッチング速度を測定して、銅、アルミの腐食を評価した。
Examples 1-9, Comparative Examples 1-3
Etching was performed using a patterned positive photoresist as a mask using a substrate in which copper was formed on a silicon substrate and a substrate in which aluminum was formed on a silicon substrate. That is, these substrates were immersed in a release agent shown in Table 1 at 60 ° C. for 120 seconds or 90 seconds, then washed with water and dried. The presence or absence of the resist on the substrate was observed with an optical microscope and a scanning electron microscope, and the peelability of the resist was evaluated. Further, these substrates were immersed in a release agent shown in Table 1 at 50 ° C. for 30 minutes, and the etching rate was measured to evaluate the corrosion of copper and aluminum.
表１から明らかなとおり、本発明のレジスト剥離剤は、レジスト剥離性に優れるとともに銅及びアルミのエッチング速度が小さかった。 As is clear from Table 1, the resist stripper of the present invention was excellent in resist strippability and low in etching rate of copper and aluminum.
一方、モノメチルアミン・ギ酸塩を用いずアルカノールアミン水溶液を使用した比較例１、２、３は、銅、アルミのエッチング速度が大きかった。 On the other hand, Comparative Examples 1, 2, and 3 using alkanolamine aqueous solution without using monomethylamine / formate showed high etching rates of copper and aluminum.
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2011
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