JP2012247482A - プリアライメント装置及びプリアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プリアライメント装置20は、精密温調プレート22に載置された基板Wの温度を調整する基板温調機構、精密温調プレート22に載置された基板の異物を検出する異物検出機構34を有することで、プリアライメント装置20と基板温調機構と異物検出機構が単一の装置となり、また、搬送用ロボットの数も削減でき、露光ユニット全体を小型化することができる。また、温度の調整が行われている基板にプリアライメント、異物検出を行うことで、タクトタイムの短縮を図ることができる。また、複数のカメラ30のY方向一方側に配置された複数の第1の光源31Aは、隣接する第1の光源31A同士の両端部をY方向から見てオーバーラップさせた状態で、X方向に沿って千鳥状に配置されるので、精度良く異物を検出することが可能となる。
【選択図】図3
Description
また、特許文献2に記載のプリアライメント装置は、ウェハを回転させてプリアライメントしながら、ウェハの下面からランプを照射させてウェハを加熱する。
(1) 露光装置に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置であって、
前記基板を載置するための基板保持部と、
前記基板保持部を所定の方向及び該所定の方向と直交する方向に駆動するとともに、これらの方向と直交する軸まわりに回転駆動する基板駆動機構と、
前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構と、
前記基板保持部に載置された基板の異物を検出する異物検出機構と、
を有し、
前記異物検出機構は、
前記基板保持部の上方に配置され、前記所定の方向に並んで配置される複数のカメラと、
前記複数のカメラの少なくとも前記直交方向一方側にそれぞれ配置され、該カメラが撮像する基板の位置に光を照射する複数の光源と、
前記複数のカメラ及び前記複数の光源を前記直交方向に搬送する搬送機構と、
を備え
前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とするプリアライメント装置。
(2) 前記複数の光源は、前記複数のカメラの前記直交方向両側にそれぞれ配置され、
前記複数のカメラの前記直交方向一方側又は他方側に配置された前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とする(1)に記載のプリアライメント装置。
(3) 前記複数の光源は、前記複数のカメラの前記直交方向両側にそれぞれ配置され、
前記複数のカメラの前記直交方向両側に配置された前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とする(1)に記載のプリアライメント装置。
(4) 前記複数のカメラは、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とする(1)〜(3)の何れか1項に記載のプリアライメント装置。
(5) 基板を載置するための基板保持部と、
前記基板保持部を所定の方向及び該所定の方向と直交する方向に駆動可能、並びにこれらの方向と直交する軸まわりに回転駆動可能な基板駆動機構と、
前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構と、
前記基板保持部に載置された基板の異物を検出する異物検出機構と、
を有するプリアライメント装置のプリアライメント方法であって、
前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する工程と、
前記温調が行われている基板にプリアライメントを行う工程と、
前記温調が行われている基板の異物を検出する工程と、
を有し、
前記異物検出機構は、
前記基板保持部の上方に配置され、前記所定の方向に並んで配置される複数のカメラと、
前記複数のカメラの少なくとも前記直交方向一方側にそれぞれ配置され、該カメラが撮像する基板の位置に光を照射する複数の光源と、
前記複数のカメラ及び前記複数の光源を前記直交方向に搬送する搬送機構と、
を備え
前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とするプリアライメント方法。
また、カメラ30のY方向両側にそれぞれ光源31が配置されるので、照度不足となることを防止することができる。
さらに、幅の長い1つの光源ではなく、比較的幅の短い複数の光源31によって基板Wに光を照射するようにしたので、基板Wが大型化した場合であっても、光源31の製造が困難となることがなく、光源31が撓むことを防止することができる。
22 精密温調プレート(基板保持部、基板温調機構)
24 基板駆動機構
30 カメラ
31 光源
33 搬送機構
34 異物検出機構
W 基板
Claims (5)
- 露光装置に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置であって、
前記基板を載置するための基板保持部と、
前記基板保持部を所定の方向及び該所定の方向と直交する方向に駆動するとともに、これらの方向と直交する軸まわりに回転駆動する基板駆動機構と、
前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構と、
前記基板保持部に載置された基板の異物を検出する異物検出機構と、
を有し、
前記異物検出機構は、
前記基板保持部の上方に配置され、前記所定の方向に並んで配置される複数のカメラと、
前記複数のカメラの少なくとも前記直交方向一方側にそれぞれ配置され、該カメラが撮像する基板の位置に光を照射する複数の光源と、
前記複数のカメラ及び前記複数の光源を前記直交方向に搬送する搬送機構と、
を備え
前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とするプリアライメント装置。 - 前記複数の光源は、前記複数のカメラの前記直交方向両側にそれぞれ配置され、
前記複数のカメラの前記直交方向一方側又は他方側に配置された前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とする請求項1に記載のプリアライメント装置。 - 前記複数の光源は、前記複数のカメラの前記直交方向両側にそれぞれ配置され、
前記複数のカメラの前記直交方向両側に配置された前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とする請求項1に記載のプリアライメント装置。 - 前記複数のカメラは、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のプリアライメント装置。 - 基板を載置するための基板保持部と、
前記基板保持部を所定の方向及び該所定の方向と直交する方向に駆動可能、並びにこれらの方向と直交する軸まわりに回転駆動可能な基板駆動機構と、
前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する基板温調機構と、
前記基板保持部に載置された基板の異物を検出する異物検出機構と、
を有するプリアライメント装置のプリアライメント方法であって、
前記基板保持部に載置された基板の温度を調整する工程と、
前記温調が行われている基板にプリアライメントを行う工程と、
前記温調が行われている基板の異物を検出する工程と、
を有し、
前記異物検出機構は、
前記基板保持部の上方に配置され、前記所定の方向に並んで配置される複数のカメラと、
前記複数のカメラの少なくとも前記直交方向一方側にそれぞれ配置され、該カメラが撮像する基板の位置に光を照射する複数の光源と、
前記複数のカメラ及び前記複数の光源を前記直交方向に搬送する搬送機構と、
を備え
前記複数の光源は、隣接する前記光源同士の両端部を前記直交方向から見てオーバーラップさせた状態で、前記所定方向に沿って千鳥状に配置される
ことを特徴とするプリアライメント方法。
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