JP2012223875A - 研磨パッド - Google Patents

Abstract

【課題】シリコンベアウエハ、ガラス、化合物半導体基板およびハードディスク基板等の高精度研磨特性が得られる仕上げ研磨パッドを提供する。
【解決手段】研磨シートａとクッションシートｂを有する研磨パッドであって、研磨シートａは湿式凝固法で得られるポリウレタンを主成分とする多孔質ポリウレタンシートまたは不織布内部にポリウレタンを主成分とした溶液を含浸させ後に湿式凝固法でポリウレタンを凝固させた状態で不織布内部に含有させたポリウレタン含浸不織布であり、クッションシートｂは多孔質架橋ポリウレタンシートであり、その多孔質架橋ポリウレタンシートの圧縮弾性率が０．０５ＭＰa以上０．２０ＭＰａ以下で、かつ５分後回復率と１分後回復率の比率が１．０４以上であり、研磨シートａとクッションシートｂとの間にプラスチックフィルムｃが介在されてなる研磨パッド。
【選択図】図１

Description

本発明は、シリコンベアウエハ、ガラス、化合物半導体基板およびハードディスク基板等において良好な鏡面を形成するために使用される仕上げ用に好適な研磨パッドに関するものである。

従来、研磨シートからなる研磨布は、合成繊維と合成ゴム等からなる不織布や編織布を基材にして、その上面にポリウレタン系溶液が塗布され、湿式凝固法によりポリウレタン系溶液が凝固されて連続気孔を有する多孔層の表皮層が形成され、必要に応じてその表皮層の表面が研削、除去されることにより（以下、表皮層の表面が研削されたものをスエードと表現することがある。）製造されている（特許文献１参照。）。

このような研磨シートからなる研磨布は、既に、液晶ガラス、ガラスディスク、シリコンウエハ、化合物半導体基板およびハードディスク等の電子部品用表面鏡面研磨のための粗研磨から仕上げ用研磨パッドまで広く使用されている。しかしながら、近年、鏡面研磨面の測定機器の発達とあいまって、ユーザーからの要求品質が高くなり、ますます精度の高い鏡面研磨が出来る研磨パッドが求められており、一層の研磨シートと硬質プラスチックシートとゴム弾性体層から構成される研磨布が提案されている（特許文献２参照。）。しかしながら、かかる技術では、研磨時の被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥を少なくし、同時に被鏡面研磨面の表面粗さを小さくすることは困難であった。

また別に、一層の研磨シートと硬質薄板と熱可塑性エラストマーからなる独立気泡の発泡体の積層研磨布が提案されている（特許文献３参照。）。しかしながら、かかる技術でも、研磨時の被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥を少なくし、同時に被鏡面研磨面の表面粗さを小さくすることは困難であった。

特開平１１−３３５９７９号公報 特開平１１−２７７４０８号公報 特開平７−１６４３０８号公報

そこで本発明の目的は、上記従来技術の背景に鑑み、シリコンベアウエハ、ガラス、化合物半導体基板およびハードディスク基板等において良好な鏡面を形成するために使用される仕上げ用に好適な研磨パッドであって、研磨時の被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥が少なく、かつ、被鏡面研磨面の表面粗さが小さくなる安定した研磨特性が得られる仕上げ用に好適な研磨パッドを提供することにある。

本発明は、上記課題を解決するために、次の手段を採用するものである。すなわち、本発明の研磨パッドは、研磨シート（ａ）とクッションシート（ｂ）を有する研磨パッドであって、前記研磨シート（ａ）は湿式凝固法で得られるポリウレタンを主成分とする多孔質ポリウレタンシートまたは不織布内部にポリウレタンを主成分とした溶液を含浸させ後に湿式凝固法でポリウレタンを凝固させた状態で不織布内部に含有させたポリウレタン含浸不織布であり、前記クッションシート（ｂ）は乾式発泡製膜法で得られた多孔質架橋型ポリウレタンシートであり、該多孔質架橋型ポリウレタンシートの圧縮弾性率が０．０５ＭＰa以上０．２０ＭＰａ以下で、かつ５分後回復率と１分後回復率の比率が１．０４以上であり、前記研磨シート（ａ）と前記クッションシート（ｂ）との間にプラスチックフィルム（ｃ）が介在されてなることを特徴とする研磨パッドである。

本発明の研磨パッドの好ましい態様によれば、前記の乾式発泡製膜法で得られた多孔質架橋型ポリウレタンシートは、シート内に存在する気泡が概略互いに連通しているシートである。

本発明の研磨パッドの好ましい態様によれば、前記の乾式発泡製膜法で得られた多孔質架橋型ポリウレタンシートの５分後回復率と１分後回復率の比率は、１．０７以上である。

本発明の研磨パッドの好ましい態様によれば、前記のプラスチックフィルム（ｃ）の平均引張り弾性率は、３．５〜５．５ＧＰａである。

本発明の研磨パッドの好ましい態様によれば、前記のプラスチックシート（ｃ）厚みは、１００μｍ以上２５０μｍ以下である。

本発明によれば、シリコンベアウエハ、ガラス、化合物半導体基板およびハードディスク基板等において良好な鏡面を形成するために使用される仕上げ用に好適な研磨パッドであって、研磨時の被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥が少なく、かつ、被鏡面研磨面の表面粗さが小さくなる安定した研磨特性が得られる仕上げ用に好適な研磨パッドが得られる。

図１は、本発明の実施例１で得られた研磨パットを例示説明するための模式断面図である。

本発明の研磨パッドは、研磨シート（ａ）とクッションシート（ｂ）を有する研磨パッドであって、前記研磨シート（ａ）は湿式凝固法で得られるポリウレタンを主成分とする多孔質ポリウレタンシートまたは不織布内部にポリウレタンを主成分とした溶液を含浸させ後に湿式凝固法でポリウレタンを凝固させた状態で不織布内部に含有させたポリウレタン含浸不織布であり、前記クッションシート（ｂ）は多孔質架橋型ポリウレタンシートであり、その多孔質架橋型ポリウレタンシートの圧縮弾性率が０．０５ＭＰa以上０．２０ＭＰａ以下で、かつ５分後回復率と１分後回復率の比率が１．０４以上であり、前記研磨シート（ａ）と前記クッションシート（ｂ）との間にプラスチックフィルム（ｃ）が介在されてなる研磨パッドである。

まず、本発明で用いられる研磨シート（ａ）について説明する。

本発明で用いられる研磨シート（ａ）は、湿式凝固法で得られるポリウレタンを主成分とする多孔質ポリウレタンシートまたは不織布内部にポリウレタンを主成分とした溶液を含浸させ後に湿式凝固法でポリウレタンを凝固させた状態で不織布内部に含有させたポリウレタン含浸不織布で構成される。

本発明において、上記の湿式凝固法とは、ポリウレタンを有機溶媒に溶解させたポリウレタン溶液をシート状の基材に塗布後、水系凝固液中でポリウレタンを凝固再生させることにより、上記の多孔質ポリウレタンシートを製造する方法である。

本発明で研磨シート（ａ）として用いられる多孔質ポリウレタンシートは、ポリウレタンの凝固再生に伴う微多孔が緻密に形成された厚さ数μｍ程度の表面層（スキン層）を有しており、その内部（表面層の内側）にスキン層の微多孔より平均孔径の大きい多数の好適には５０μｍ〜４００μｍ程度の粗大孔が形成された内部層を有している。スキン層に形成された微多孔が緻密なため、スキン層の表面はミクロな平坦性を有している。このスキン層表面のミクロな平坦性を使用して、被研磨物であるシリコンベアウエハ、ガラス、化合物半導体基板およびハードディスク基板等の仕上げ研磨加工が行われる。

本発明で用いられるポリウレタンとは、末端に複数の活性水素を有するプレポリマと複数のイソシアネート基を有する化合物から重合されたウレタン結合またはウレア結合を有する重合体である。末端に複数の活性水素を有するプレポリマは、主鎖骨格によってポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系およびポリカプロラクトン系等のプレポリマに分類することができる。

上記の湿式凝固法に使用される有機溶媒としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、テトラヒドロフラン、ジオキサンおよびＮ−メチルピロリドン等の極性を有する溶媒が用いられる。上記のポリウレタンを溶解させる溶媒としては、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）が特に好適に用いられる。

上記のポリウレタン溶液には、他の樹脂、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリエステル樹脂、ポリエーテルスルホンおよびポリスルホン等を適宜配合することができる。また、ポリウレタン溶液に、必要に応じて、カーボンを代表とする有機顔料、表面張力を下げる界面活性剤および撥水性を付与できる撥水剤等を添加することもできる。

本発明で用いられるシート状の基材の例としては、綿、レーヨン、ポリアミド、ポリエステルおよびポリアクリロニトリル等の繊維またはこれらの混合物よりなる編織布や不織布、あるいはこれらに合成ゴムやポリウレタン等の樹脂を含浸して得られるシート類またはポリエステルフィルム等が挙げられる。

ポリウレタンの凝固再生後にこれらのシート状の基材を剥離することにより、研磨パットを構成する最上層の表層（多孔質ポリウレタンシート）を得ることができる。

シート状の基材に上記のポリウレタン溶液を塗布する手段の例としては、ロールコーター、ナイフコーター、ナイフオーバーロールコーターおよびダイコーター等が挙げられる。ポリウレタン溶液をシート状の基材に塗布した後、多孔質層を形成させる凝固浴には、ＤＭＦとは親和性を有するが、ポリウレタンは溶解しない溶媒を使用する。一般的には、凝固浴には、水または水とＤＭＦの混合溶液が使用される。

本発明における多孔質ポリウレタンシートの厚みは、３００μｍ〜１２００μｍが好ましく、より好ましくは４００〜８００μｍである。多孔質ポリウレタンシートの厚みが３００μｍ未満の場合、研磨後ウエハのスクラッチが多くなる懸念がある。また、多孔質ポリウレタンシートの厚みが１２００μｍより大きい場合、研磨後ウエハの平坦性が悪くなる懸念がある。

本発明で研磨シート（ａ）として用いられるポリウレタン含浸不織布は、不織布内部にポリウレタンを主成分とした溶液を含浸させ後に、湿式凝固法でポリウレタンを凝固させた状態で不織布内部に含有させたシート状物である。用いられる不織布は、ＤＭＦ、ＭＥＫおよびテトラヒドロフラン等のポリウレタン可溶性の溶剤に対して耐性があり、かつ研磨時に使用されるｐＨ１０〜１１程度の研磨液に対する耐アルカリ性を有するものが好ましく使用される。不織布としては、例えば、ナイロン、ポリエステル、アラミド繊維等からなる繊維質シートが挙げられる。この繊維質シートは、シートを構成する繊維が単繊維繊度２．２ｄｔｅｘ〜１１．１ｄｔｅｘ、繊維長３０〜１００ｍｍで、その目付質量が１５０〜４００ｇ／ｍ^２の範囲の不織布が好ましく、さらに好ましくはバインダーを含まないニードルパンチ不織布が好ましく用いられる。

これらのうち目付質量は、通常、ニードルパンチの頻度や繊維長によって変更し得る。また、不織布の構成繊維の単繊維繊度が２．２ｄｔｅｘに満たない場合は、研磨パットの研磨面に繊維が非常に緻密な状態にあるので、研磨時の研磨屑が目詰まりしやすく、単繊維繊度が１１．１ｄｔｅｘを超える場合には、研磨布の表面にある繊維が被研磨面のスクラッチの原因となることがある。

不織布内部に含有させるポリウレタンは、弾性体であり、１００％伸び時のモジュラスが１０ＭＰａ以上のものが好ましく用いられる。使用されるポリウレタンは、一般的に人工皮革用として市販されているものがいずれも使用できる。ポリウレタンとしては、例えば、ポリエステル系あるいはポリエーテル系のＭＤＩ（４、４′−ジフェニルメタンイソシアネート）あるいはＴＤＩ（トリレンジイソシアネート）末端を持つウレタンプレポリマー単体、あるいは研磨布の硬度や圧縮率を調整するためにメラミン樹脂やポリカーボネート樹脂等をブレンドしたものが挙げられる。これらのポリウレタンは、３、３′ジクロロ−４、４′ジアミノジフェニルメタン等の２官能性有機アミン硬化剤、さらに必要であれば、アジピン酸等のジカルボン酸を主体とした促進剤を含有し得る。

ポリウレタン含浸不織布の製造方法は、不織布に上記のポリウレタンのＤＭＦ溶液を含浸させ、水系凝固液中でポリウレタンを凝固再生させる方法である。得られた表面は、サンドペーパーを巻いたバフロールで表面を研削して、厚み調整をおこなうことができる。ポリウレタン含浸不織布の厚みは、０．５〜４．０ｍｍが好ましい。ポリウレタン含浸不織布の厚みが０．５ｍｍより小さい場合、研磨後ウエハのスクラッチが多くなる懸念がある。また、リウレタン含浸不織布の厚みが４．０ｍｍより大きい場合、研磨後ウエハの平坦性が悪くなる懸念がある。

次に、本発明で用いられるクッションシート（ｂ）について説明する。本発明において、クッションシート（ｂ）は、多孔質架橋型ポリウレタンシートであり、好ましくは多孔質架橋型の発泡ポリウレタンシートが用いられる。ここで言う架橋型とは、反応が進行して架橋が形成された状態のことである。

本発明で用いられるポリウレタンとは、末端に複数の活性水素を有するプレポリマと複数のイソシアネート基を有する化合物から重合されたウレタン結合またはウレア結合を有する重合体である。末端に複数の活性水素を有するプレポリマは、主鎖骨格によってポリエステル系、ポリエーテル系、ポリカーボネート系およびポリカプロラクトン系等のプレポリマに分類することができる。

本発明で用いられる多孔質架橋型ポリウレタンシートは、圧縮弾性率が０．０５ＭＰａ以上０．２０ＭＰａ以下であることが必要である。

本発明における圧縮弾性率は、断面積１ｃｍ^２の圧子を用いて０ｇｆ／ｃｍ^２から５０ｇｆ／ｃｍ^２まで加圧したときの、１６ｇｆ／ｃｍ^２と４０ｇｆ／ｃｍ^２の歪率（初期厚みに対する圧縮歪量）から算出した値である。

本発明においては、多孔質架橋型ポリウレタンシートの圧縮弾性率は、上記のとおり０．０５ＭＰａ以上０．２０ＭＰａ以下であることが重要であり、好ましくは０．０８〜０．１５ＭＰａである。

圧縮弾性率が０．０５ＭＰａ未満の場合は、被鏡面研磨面の表面粗さが小さくならない。また、圧縮弾性率が０．２０ＭＰａを超える場合は、スクラッチ・パーティクル等の欠陥が多くなる。ここでスクラッチとは、研磨の際にウエハ表面に生じた細かい傷のことであり、パーティクルとは研磨の際にウエハ表面に付着したパッド屑、ウエハ屑およびスラリー屑等の付着物のことである。

本発明で用いられる多孔質架橋型ポリウレタンシートは、５分後回復率と１分後回復率の比率（５分後回復率を１分後回復率で除した値）が１．０４以上であることが重要である。

本発明における５分後回復率とは、多孔質架橋型ポリウレタンシートを３枚重ねて、初荷重５０ｇ／ｃｍ^２での厚み（Ｔ０）を測定し、荷重を３００ｇ／ｃｍ^２にして１分間放置後の厚み（Ｔ１）を測定し、荷重を除き初荷重５０ｇ／ｃｍ^２にして５分放置後の厚み（Ｔ(５)０′）を測定し、５分後回復率＝（Ｔ(５)０′−Ｔ１）／（Ｔ０−Ｔ１）×１００で求めた数値である。

また、１分後回復率とは、多孔質架橋型ポリウレタンシートを３枚重ねて、初荷重５０ｇ／ｃｍ^２での厚み（Ｔ０）を測定し、荷重を３００ｇ／ｃｍ^２にして１分間放置後の厚み（Ｔ１）を測定し、荷重を除き初荷重５０ｇ／ｃｍ^２にして１分放置後の厚み（Ｔ(１)０′）を測定し、１分後回復率＝（Ｔ(１)０′−Ｔ１）／（Ｔ０−Ｔ１）×１００で求めた数値である。

５分後回復率と１分後回復率の比率が１．０４に満たない場合は、研磨時の被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥は少なくならない。５分後回復率と１分後回復率の比率が１．０４以上になるということは、クッションシートの変形速度が非常に遅いということであるが、研磨メカニズムははっきりしないが、驚くべきことに、５分後回復率と１分後回復率の比率を１．０４以上にすることにより、研磨時の被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥が少なくなるという特性を示す。さらに好ましい５分後回復率と１分語回復率の比率は、１．０７以上である。

本発明でクッションシート（ｂ）として用いられる多孔質架橋型ポリウレタンシートは、シート内に存在する気泡が概略互いに連通している発泡ポリウレタンシートであることが好ましい。この様な構造であれば、５分後回復率と１分後回復率の比率は１．０４以上が得られやすい。シート内に存在する気泡が概略互いに連通している発泡ポリウレタンシートの製造方法としては、乾式発泡製膜法が用いられる。乾式発泡製膜法としては、具体的に上記のポリウレタンに発泡剤を添加した後、加熱して発泡させる乾式発泡方法や、ポリウレタンを構成する官能基と反応してガスを発生させる添加剤を混合して発泡させる乾式発泡方法等が挙げられる。ポリウレタンは、乾式発泡により、比較的球状に近い形状の気泡を作りやすいので、密度を小さくすることや、発泡剤や整泡剤の添加量を調整することでシート内に存在する気泡が概略互いに連通した構造を作成しやすい。この連通の程度が小さいと圧縮弾性率は大きくなり、程度が大きいと圧縮弾性率は小さくなりやすい。材料の密度と連通の程度を調整することで、圧縮弾性率を調整することができる。

本発明における概略気泡が連通している状態の気泡連通の程度は、材料全体の密度の影響も受けるが、全気泡の５０％以上が連通していることが好ましく、全気泡の６０％以上が連通していることがより好ましく、全気泡の７０％以上が連通していることがさらに好ましい態様である。

本発明において、クッションシート（ｂ）の見かけ密度は、０．０５〜０．４０（ｇ／ｃｍ^３）であることが好ましく、より好ましくは０．１０〜０．３０（ｇ／ｃｍ^３）である。見かけ密度が０．０５（ｇ／ｃｍ^３）より小さい場合、安定した研磨特性が得られないことがあり、また、見かけ密度が０．４（ｇ／ｃｍ^３）より大きい場合、被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥が多くなる傾向を示す。

本発明において、クッションシート（ｂ）の厚みは、３００μｍ〜１０００μｍが好ましく、より好ましくは４００μｍ〜９００μｍである。厚みが３００μｍより小さい場合、安定した研磨特性が得られないことがあり、また厚みが１０００μｍより大きい場合、被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥が多くなる懸念がある。

本発明で用いられるプラスチックフィルム（ｃ）は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリウレア、ポリアミド、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリテトラフルオロエチレン、エポキシ樹脂、ＡＢＳ樹脂、ＡＳ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂およびポリフェニレンスルフィド等から製膜されるフィルムのことである。このような中で、ポリエステルフィルムが好ましく、特にポリエチレンテレフタレートからなるフィルムが好ましく用いられる。

本発明で用いられるプラスチックフィルム（ｃ）は、平均引張り弾性率が３．５ＧＰａ以上５．５ＧＰａ以下であることが好ましい。平均引張り弾性率とは、プラスチックフィルムは製膜時に異方性があるので、ＭＤ（製膜方向）とＴＤ（製膜方向と垂直方向）の引張り弾性率の平均値を表す。平均引張り弾性率が３．５ＧＰａを下回る場合は、被鏡面研磨面の表面粗さが大きくなる傾向がある。また、平均引張り弾性率が５．５ＧＰａを超える場合は、スクラッチ・パーティクル等の欠陥が多くなる傾向がある。

本発明において、平均引張り弾性率は、短冊形状にして引張り応力を加え、初期の最初の傾きから求めることができる。用いられる測定装置として、オリエンテック社製テンシロン万能試験機ＲＴＦ−１２１０などが挙げられる。測定条件としては、試験速度は２０ｃｍ／分で、試験片形状は幅１０ｍｍで試料長１００ｍｍのダンベル形状である。

本発明の研磨パッドにおいては、プラスチックフィルム（ｃ）は研磨シート（ａ）とクッションシート（ｂ）との間に介在されている。

本発明で用いられる研磨シート（ａ）とプラスチックフィルム（ｃ）は、接着剤で貼り合わせすることができる。接着剤としては、アクリル樹脂系接着剤、α−オレフィン系接着剤、ウレタン樹脂系接着剤およびホットメルト接着剤が挙げられるが、短時間で接着できるという観点から、ウレタン樹脂系接着剤やホットメルト接着剤が好ましく用いられる。ウレタン樹脂系接着剤については、各種有機溶剤に接着剤を溶解させたものをラミネーターで乾式塗工する方法を好適な例として挙げることができる。

ホットメルト接着剤の市販品として、日立化成ポリマー（株）製の“ハイボン”（登録商標）シリーズ、三井武田ケミカル（株）の“タケメルト”（登録商標）ＭＡシリーズ、東亜合成（株）の“アロンメルト”（登録商標）Ｒシリーズ、新田ゼラチン（株）の“ニッタイト”（登録商標）ＡＲＸシリーズ、およびコニシ（株）の“ボンド”（登録商標）ＫＵＭシリーズを挙げることができる。

接着剤（層）の厚みは、接着力が高く維持できているという点で、３０〜１５０μｍが好ましく、４０〜１００μｍがより好ましい態様である。

本発明で用いられるクッションシート（ｂ）とプラスチックフィルム（ｃ）との接合には、接着剤で貼り合わせる方法と、クッションシート（ｂ）とプラスチックフィルム（ｃ）を熱融着する方法が挙げられる。接着剤としては、アクリル樹脂系接着剤、α−オレフィン系接着剤、ウレタン樹脂系接着剤およびホットメルト接着剤が挙げられるが、短時間で接着することができるという観点から、ウレタン樹脂系接着剤やホットメルト接着剤が好ましく用いられる。

プラスチックフィルム（ｃ）の厚みは、１００μｍ〜２５０μｍが好ましく、より好ましくは１２０μｍ〜１９０μｍである。厚みが１００μｍより小さい場合、被研磨基板のフチダレが大きくなることがあり、また、厚みが２５０μｍより厚くなると被鏡面研磨面のスクラッチ・パーティクル等の欠陥が多くなる傾向がある。

本発明の研磨パッドにおいて、研磨シート（ａ）とプラスチックフィルム（ｃ）とクッションシート（ｂ）を積層形成する手順としては、例えば、各層を一層ずつラミネートしていく手順が挙げられる。

具体的な積層手順の例としては、まず、プラスチックフィルム（ｃ）にクッションシート（ｂ）をラミネートし、次いでプラスチックフィルム（ｃ）の反対面に研磨シート（ａ）をラミネートし、さらにクッションシート（ｂ）の反対面に裏面テープ（ｄ）をラミネートする。ラミネートには、ウレタン系接着剤を用いることが好ましい。

本発明の研磨パッドの研磨層表面には、安定した研磨特性を得るために、上層の研磨シート(a)の上面に、格子状溝が形成されていることが好ましい。さらに、安定した研磨特性を得るために、溝幅０．８ｍｍ以上１．２ｍｍ以下で、かつ、溝ピッチ７．５ｍｍ以上１５ｍｍ以下で、かつ、溝深さは上層の研磨シート（ａ）の厚みより小さい正方格子状溝を設けることが好ましい。溝深さが上層の研磨シート(a)の厚みより深いと、下層のクッションシートにスラリーが侵入して、研磨特性が不安定となり好ましくない。

本発明の研磨パッドは、シリコンベアウエハ、ガラス、化合物半導体基板およびハードディスク基板等に良好な鏡面研磨面を形成するために好適に使用される。

次に、実施例によって、さらに本発明の研磨パットについて詳細に説明する。しかしながら、本実施例により本発明が限定して解釈される訳ではない。研磨評価および各測定は、次のとおりに行った。

〔研磨評価〕
岡本工作機械製作所製研磨装置（型式：ＳＰＰ６００）を使用し、二次研磨（ＳＵＢＡ４００パッド使用）上がりの６インチシリコンベアウエハを用いて、次の条件で研磨評価を行い、研磨後ウエハを得た。（４回測定の平均値）。
・プラテン回転：４６ｒｐｍ
・ウエハヘッド回転：４９ｒｐｍ
・ヘッド荷重：１００ｇ／ｃｍ^２
・スラリー量：７００ｍｌ／ｍｉｎ（スラリー：コロイダルシリカスラリー砥粒濃度１％）
・ 研磨時間：１５分。

〔多孔質架橋型ポリウレタンシートの５分後回復率〕
多孔質架橋型ポリウレタンシートを３枚重ねて、初荷重５０ｇ／ｃｍ^２での厚み（Ｔ０）を測定し、荷重を３００ｇ／ｃｍ^２にして１分間放置後の厚み（Ｔ１）を測定し、荷重を除き初荷重５０ｇ／ｃｍ^２にして５分放置後の厚み（Ｔ(５)０′）を測定し、５分後回復率＝（Ｔ(５)０′−Ｔ１）／（Ｔ０−Ｔ１）×１００で求めた値を数値とした。（３回測定の平均値）。

〔多孔質架橋型ポリウレタンシートの１分後回復率〕
多孔質架橋型ポリウレタンシートを３枚重ねて、初荷重５０ｇ／ｃｍ^２での厚み（Ｔ０）を測定し、荷重を３００ｇ／ｃｍ^２にして１分間放置後の厚み（Ｔ１）を測定し、荷重を除き初荷重５０ｇ／ｃｍ^２にして１分放置後の厚み（Ｔ(１)０′）を測定し、１分後回復率＝（Ｔ(１)０′−Ｔ１）／（Ｔ０−Ｔ１）×１００で求めた値を数値とした。（３回測定の平均値）。

〔クッションシートの圧縮弾性率の測定〕
カトーテック社製自動化圧縮試験機（ＫＥＳＦＢ３−ＡＵＴＯ−Ａ）を使用して、次の条件で測定した。本機を用いて０ｇｆ／ｃｍ^２から５０ｇｆ／ｃｍ^２まで加圧したときの、１６ｇｆ／ｃｍ^２（０．００１５７ＭＰａ）と４０ｇｆ／ｃｍ^２（０．００３９２ＭＰａ）のひずみ率から算出した。（５回測定の平均値）。
・ひずみ率：（初期厚み−所定圧力時の厚み）／初期厚み
・ 圧縮弾性率：（０．００３９２−０．００１５７）／（ひずみ率_40gf/cm2−ひずみ率_16gf/cm2）
〔ＭＰａ〕
・圧子面積：１．０ｃｍ^２
圧子速度：０．０２ｍｍ／ｓｅｃ
上限荷重：５０ｇｆ／ｃｍ。

〔見かけ密度の測定〕
３０ｍｍ×３０ｍｍに打ち抜かれたサンプルの厚みと重量から算出した。

〔気泡連通の程度〕
シートの厚み方向断面を×５０でＳＥＭ観察し、ＳＥＭ画像中の全気泡数に対し、他の気泡と連通している気泡の数の割合を連通の程度とした。（３回測定の平均値）。

〔表面粗さの測定〕
ＺＹＧＯ社製走査型白色干渉計（ＮＥＷ ＶＩＥＷ ６３００）を使用して、研磨後のウエハ表面のＲaを測定した。（５回測定の平均値）。

〔フチダレ〕
ＺＹＧＯ社製走査型白色干渉計（ＮＥＷ ＶＩＥＷ ６３００）を使用して、研磨後ウエハのエッジ０ｍｍから内側５ｍｍまでの形状を測定した。フチ部の垂れ込み量をフチダレとした。（３回測定の平均値）。

〔スクラッチ・パーティクル等の欠陥数の測定〕
トップコン社製ゴミ検査装置商品名“ＷＭ−３”を使用して、０．５μｍ以上の欠陥数を測定した。（ウエハ２枚でのｎ＝２測定の平均値）。

〔プラスチックフィルムの平均引張り弾性率の測定〕
オリエンテック社製テンシロン万能試験機ＲＴＭ−１００い、次の条件で測定した。（５回測定の平均値）。
・試験片形状：幅１０ｍｍ、試料長１００ｍｍのダンベル形状
・試験速度：２０ｃｍ／分。

次に、各シートの製造方法について説明する。

〔研磨シート（多孔質ポリウレタンシート１）の製造方法〕
ポリエステルＭＤＩ（ジフェニルメタンジイソシアネート）ポリウレタン樹脂２５質量部を、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）１００質量部に溶解した。さらに、これにカーボンブラックを２質量部と疎水性活性剤を２質量部添加し、ポリウレタン溶液を調整した。

次いで、ポリエステルフィルム基材の上に上記ポリウレタン溶液をナイフコーターで塗布し、水浴に浸漬してポリウレタンを凝固し、水による洗浄でポリウレタン中のＤＭＦを除去した後、水分を乾燥し、最後にポリエステルフィルム基材を剥離することにより、連通型の多孔質ポリウレタンシートを作製した。

得られた多孔質ポリウレタンシートの微多孔形成面を、＃２００のサンドペーパーでバフ掛けすることにより、開口径の調整された厚み４００μｍ、見かけ密度０．２５ｇ／ｃｍ^３、圧縮回復率０．５％の多孔質ポリウレタンシート１を得た。

〔研磨シート（ポリウレタン含浸不織布１）の製造方法〕
単繊維繊度３．０デニール、繊維長５０ｍｍのポリエステル繊維で構成された厚さ４．０ｍｍ、嵩密度０．１２ｇ／ｃｍ^３、目付質量２６０ｇ／ｃｍ^２のニードルパンチ不織布を基材として用いた。分子量２０００００、１００％モジュラス１２０ｋｇ／ｃｍ^２のポリエステル系ポリウレタン：“クリスボン”（登録商標）８８６７（大日本インキ化学工業（株）製）１００質量部、ジメチルホルムアミド２００質量部の溶液中に、上記の基材を十分浸漬含浸した後、ジメチルホルムアミド対純水の比率が１０対９０（質量比）で且つ温度３０℃の凝固液に２０分間浸漬後、６０分間純水中で水洗いし、湿式凝固させ、ポーラス状にフェルト基材を形成した後、ジメチルホルムアミドを完全に純水と置換し、さらに１２０℃の温度の熱風で乾燥し、厚さ３．６ｍｍ、嵩密度０．２４ｇ／ｃｍ^３、目付質量５２０ｇ／ｃｍ^２の複合基材を得、表裏面を６０メッシュのバフロールで研削し、厚さ３ｍｍのポリウレタン含浸不織布１を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート１）の製造方法〕
分子量２８００のポリエチレングリコール１００質量部、１，４−ブタンジオール５質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)５．０質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．４質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）４．０質量部、発泡剤としての水０．３質量部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの３８質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み８００μｍ、見かけ密度０．２０ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．３１（５分後回復率７２％、１分後回復率５５％）、圧縮弾性率０．０５ＭＰａ、気泡が概略互いに連通構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート１を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート２）の製造方法〕
分子量２４００のポリエチレングリコール１００質量部、１，４−ブタンジオール６質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)５．３質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．５質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）３．８質量部、発泡剤としての水０．２質量部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの３６質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み７００μｍ、見かけ密度０．２７ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．１０（５分後回復率６９％、１分後回復率６３％）、圧縮弾性率０．１１ＭＰａ、気泡が概略互いに連通構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート２を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート３）の製造方法〕
分子量３２００のポリエチレングリコール１００質量部、１，４−ブタンジオール７質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)５．５質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．５質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）３．７質量部、発泡剤としての水０．２質量部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの３４質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み６５０μｍ、見かけ密度０．３２ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．０５（５分後回復率６７％、１分後回復率６４％）、圧縮弾性率０．０７ＭＰａ、気泡が概略互いに連通構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート３を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート４）の製造方法〕
分子量２４００のポリエチレングリコール１００質量部、１，４−ブタンジオール９質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)７．０質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．３質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）３．０質量部、発泡剤としての水０．２質量部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの３６質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み５００μｍ、見かけ密度０．５１ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．２８（５分後回復率７７％、１分後回復率６０％）、圧縮弾性率０．１９ＭＰａ、気泡が概略互いに連通構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート４を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート５）の製造方法〕
分子量３７００のポリエチレングリコール１００質量部、１，４−ブタンジオール４質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)４．０質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．３質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）３．０質量部、発泡剤としての水０．２質量部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの３５質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み５００μｍ、見かけ密度０．４９ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．０５（５分後回復率８７％、１分後回復率８３％）、圧縮弾性率０．１８ＭＰａ、気泡が概略互いに連通構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート５を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート６）の製造方法〕
分子量３３００のポリプロピレングリコール１００質量部、エチレングリコール７質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)２．０質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．４質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）３．２質量部、発泡剤としての水０．１質量部、マイクロバルー０．２部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの４０質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み６００μｍ、見かけ密度０．３９ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．０６（５分後回復率７４％、１分後回復率７０％）、圧縮弾性率０．０８ＭＰａ、気泡が概略独立気泡構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート６を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート７）の製造方法〕
分子量３５００のポリエチレングリコール１００質量部、１，４−ブタンジオール６質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)１．０質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．２質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）２．０質量部、発泡剤としての水０．２質量部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの３４質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み５５０μｍ、見かけ密度０．４７ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．０３（５分後回復率８９％、１分後回復率８６．５％）、圧縮弾性率０．１２ＭＰａ、気泡は概略独立構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート７を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート８）の製造方法〕
分子量２０００のポリエチレングリコール１００質量部、１，４−ブタンジオール９質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)５質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．５質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）２．０質量部、発泡剤としての水０．２質量部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの４６質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み３００μｍ、見かけ密度０．５７ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．０９（５分後回復率７０％、１分後回復率６４％）、圧縮弾性率０．２２ＭＰａ、気泡が概略互いに連通構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート８を得た。

〔多孔質架橋ポリウレタンシート（発泡ポリウレタンシート９）の製造方法〕
分子量５０００のポリエチレングリコール１００質量部、１，４−ブタンジオール６質量部、４,４′−メチレンビス(ｏ−クロロアニリン)９質量部、触媒としてのアミン触媒（ＤＡＢＣＯ）０．４質量部、整泡剤としてのシリコーン整泡剤（ＫＦ６００２；信越化学工業社製）４．５質量部、発泡剤としての水０．３質量部、およびイソシアネートとしてのＭＤＩの３０質量部を混合撹拌し、剥離ライナー上にコーティングして発泡させつつ、１００℃の温度で２０分間加熱を行い、剥離ライナーを剥離して、厚み９００μｍ、見かけ密度０．２３ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．１９（５分後回復率６８％、１分後回復率５７％）、圧縮弾性率０．０２ＭＰａ、気泡が概略互いに連通構造のポリエーテル型発泡ポリウレタンシート９を得た。

〔発泡プラスチックシート１０の製造方法〕
オレフィン系熱可塑性ＥＰＲエラストマー１００質量部に、アゾジカルボンアミド２２質量部を溶融混練したものをシート状に成型した。次いで、放射線（１５秒間）により架橋を形成した後、ヒーターで加熱（２１０℃、３分）することにより、厚み１１００μｍ、見かけ密度０．１８ｇ／ｃｍ^３、５分後回復率と１分後回復率の比率１．０５（５分後回復率５９％、１分後回復率５６％）、圧縮弾性率０．１９ＭＰａ、気泡が概略独立気泡構造の発泡プラスチックシート１０を得た。

［実施例１］
厚みが１９０μｍで平均引張り弾性率が４．５ＧＰａのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムに、クッションシートとして上記で作製した発泡ポリウレタンシート１を接着した。次いで、ＰＥＴフィルムの反対面に研磨シートとして上記で作製した多孔質ポリウレタンシート１を接着し、さらに発泡ポリウレタンシート１の反対面に裏面テープを貼り付け積層体とした。それぞれのシートの接着には、ウレタン系の接着剤を使用した。

得られた積層体を、直径６１０ｍｍに円抜きして研磨パッドとした。図１に、実施例１で得られた積層体（研磨パッド）の模式断面図を示す。図1において、研磨パットは、上部から順に、多孔質ポリウレタンシート（ａ）、プラスチックフィルム（ｃ）およびクッションシート（ｂ）が積層され、その下部に裏面テープ（ｄ）が貼り付けられている。得られた研磨パッドを用いて、岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［実施例２］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート２を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［実施例３］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート３を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［実施例４］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート４を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［実施例５］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート５を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［実施例６］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート６を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［比較例１］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート７を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように、欠陥数および表面粗さとも不良であった。

［比較例２］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート８を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように、欠陥数および表面粗さとも不良であった。

［比較例３］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート９を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように、欠陥数および表面粗さとも不良であった。

［比較例４］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡プラスチックシート１０を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように、欠陥数および表面粗さとも不良であった。

［実施例７］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート２を使用し、さらにポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの代わりに、厚みが９０μｍで平均引張り弾性率が３．６ＧＰａのナイロン６フィルムを使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［実施例８］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート２を使用し、さらにポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの代わりに、厚みが１９０μｍで平均引張り弾性率が５．４ＧＰａのポリフェニレンスルフィドフィルムを使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［実施例９］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート２を使用し、さらにポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの代わりに、厚みが１０μｍで平均引張り弾性率が４．５ＧＰａのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

［実施例１０］
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート２を使用し、さらにポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの代わりに、厚みが２４０μｍで平均引張り弾性率が４．５ＧＰａのポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

〔実施例１１〕
実施例１の発泡ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製した発泡ポリウレタンシート２を使用し、さらに多孔質ポリウレタンシート１の代わりに、上記で作製したポリウレタン含浸不織布１を使用したこと以外は、実施例１と同じ条件で研磨パッドを製作した。得られた研磨パッドを用いて岡本研磨機でシリコンウエハを研磨し、欠陥数および表面粗さを測定した。結果は、表１に示すように良好であった。

ａ．研磨シート
ｂ．クッションシート
ｃ．プラスチックフィルム
ｄ．裏面テープ

Claims (5)

1. 研磨シート（ａ）とクッションシート（ｂ）を有する研磨パッドであって、前記研磨シート（ａ）は湿式凝固法で得られるポリウレタンを主成分とする多孔質ポリウレタンシートまたは不織布内部にポリウレタンを主成分とした溶液を含浸させ後に湿式凝固法でポリウレタンを凝固させた状態で不織布内部に含有させたポリウレタン含浸不織布であり、前記クッションシート（ｂ）は乾式発泡製膜法で得られた多孔質架橋型ポリウレタンシートであり、該多孔質架橋ポリウレタンシートの圧縮弾性率が０．０５ＭＰa以上０．２０ＭＰａ以下で、かつ５分後回復率と１分後回復率の比率が１．０４以上であり、前記研磨シート（ａ）と前記クッションシート（ｂ）との間にプラスチックフィルム（ｃ）が介在されてなることを特徴する研磨パッド。
2. クッションシートが、シート内に存在する気泡が概略互いに連通している多孔質架橋ポリウレタンシートであることを特徴とする請求項１記載の研磨パッド。
3. 多孔質架橋型ポリウレタンシートの５分後回復率と１分後回復率の比率が、１．０７以上であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の研磨パッド。
4. プラスチックフィルム（ｃ）の平均引張り弾性率が、３．５〜５．５ＧＰａであることを特徴とする請求項１または請求項２記載の研磨パッド。
5. プラスチックシート（ｃ）の厚みが、１００μｍ以上２５０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の研磨パッド。