JP2012182366A - ウエーハの面取り部除去方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に複数のストリートが格子状に形成され複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハの外周面取り部除去方法であって、ウエーハ2の表面に保護部材Tを貼着する保護部材貼着工程と、ウエーハ表面の保護部材側を保持したチャックテーブル31を回転させながら回転スピンドルに装着された切削ブレード323を回転しつつ外周余剰領域における面取り部の境界部に位置付けて面取り部を切断する面取り部切断工程と、チャックテーブルを回転させながら回転スピンドルに装着された研削砥石333を回転しつつ外周余剰領域の切断面に接触させないで切断された面取り部に位置付けて切断された面取り部を研削して除去する面取り部研削工程とを含む。
【選択図】図7
Description
なお、ウエーハの表面に保護テープを貼着して該保護テープ側を切削装置のチャックテーブルに保持した状態でウエーハの裏面側から面取り部を切削ブレードによって完全切断すると環状の面取り部が保護テープに貼着した状態で残存し、その状態でウエーハの裏面を研削すると環状の切断溝に研削屑が入り込みウエーハの外周を汚染するという問題がある。
また、特許文献2に記載されたようにウエーハの外周部に形成された面取り部を研削砥石によって研削して除去する方法は、研削によって面取り部が除去されたウエーハの外周に欠けを発生させないために、粒径が小さい(例えば2μm程度)砥粒からなる仕上げ用の研削砥石を用いる必要がある。このため、ウエーハの外周部に形成された面取り部を研削砥石によって研削して除去する方法は、上述した切削ブレードによる切断に比して相当の時間を要し、生産性が極めて悪いという問題がある。
ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
回転可能なチャックテーブルの保持面にウエーハの表面に貼着された保護部材側を保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルの回転中心を通る直線上に配設された回転スピンドルに装着された切削ブレードを回転しつつ外周余剰領域における面取り部の境界部に位置付けて該保護部材に達する切削深さで面取り部を切断する面取り部切断工程と、
該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルの回転中心を通る直線上に配設された回転スピンドルに装着された研削砥石を回転しつつ面取り部が切断された外周余剰領域の切断面に接触させないで切断された面取り部に位置付けて該保護部材から切断された面取り部を研削して除去する面取り部研削工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの面取り部除去方法が提供される。
ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
回転可能なチャックテーブルの保持面にウエーハの表面に貼着された保護部材側を保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルの回転中心を通る直線上に配設された回転スピンドルに装着された切削ブレードを回転しつつ外周余剰領域における面取り部の境界部に位置付けて該保護部材に達する切削深さで面取り部を切断する面取り部切断工程と、
該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルの回転中心を通る直線上に配設された回転スピンドルに装着された研削砥石を回転しつつ外周余剰領域における面取り部の境界部に位置付けて面取り部を研削して除去する面取り部研削工程と、を含み、
該面取り部切断工程と該面取り部研削工程は、同時に実施する、
ことを特徴とするウエーハの面取り部除去方法が提供される。
本発明によるウエーハの面取り部除去方法においては、先ず半導体ウエーハ2の表面2aに形成されたデバイス22を保護するために、図3の(a)および(b)に示すように半導体ウエーハ2の表面2aに保護テープ等の保護部材Tを貼着する(保護部材貼着工程)。
図8に示す実施形態においても、上述したウエーハの面取り部除去方法における図3に示す保護部材貼着工程および図5に示すウエーハ保持工程を実施する。図3に示す保護部材貼着工程および図5に示すウエーハ保持工程を実施したならば、図8の(a)に示すように切削手段32の回転スピンドル322に装着された切削ブレード323を矢印323aで示す方向(正面から見て時計回り)に例えば20000rpmの回転速度で回転しつつチャックテーブル31上に吸引保持された半導体ウエーハ2の外周余剰領域230における円弧状の面取り部2cの境界部に位置付ける。そして、切削ブレード323を図8の(a)において下方に切削送りして切削ブレード323の外周縁が保護部材Tに達する所定の切削送り位置に位置付ける。また、図8の(a)に示すように研削手段33の回転スピンドル332に装着された円盤状の研削砥石333を矢印333aで示す方向(正面から見て反時計回り)に例えば20000rpmの回転速度で回転しつつチャックテーブル31上に吸引保持された半導体ウエーハ2の外周余剰領域230における円弧状の面取り部2cの境界部に位置付ける。そして、研削砥石333を図8の(a)において下方に研削送りして研削砥石333の外周縁が保護部材Tに達する所定の研削送り位置に位置付ける。このとき、研削砥石333は、チャックテーブル31の中心側の側面が上記切削ブレード323による切断溝内に対応する位置となるように位置付ける。
22:デバイス
220:デバイス領域
230:外周余剰領域
2c:円弧状の面取り部
3:加工装置
31:チャックテーブル
32:切削手段
323:切削ブレード
33:研削手段
333:研削砥石
T:保護部材
Claims (4)
- 表面に複数のストリートが格子状に形成され該複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞し外周に面取り部を備えた外周余剰領域とを有するウエーハの面取り部除去方法であって、
ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
回転可能なチャックテーブルの保持面にウエーハの表面に貼着された保護部材側を保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルの回転中心を通る直線上に配設された回転スピンドルに装着された切削ブレードを回転しつつ外周余剰領域における面取り部の境界部に位置付けて該保護部材に達する切削深さで面取り部を切断する面取り部切断工程と、
該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルの回転中心を通る直線上に配設された回転スピンドルに装着された研削砥石を回転しつつ面取り部が切断された外周余剰領域の切断面に接触させないで切断された面取り部に位置付けて該保護部材から切断された面取り部を研削して除去する面取り部研削工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの面取り部除去方法。 - 該面取り部切断工程を実施して面取り部の切断開始位置が該研削砥石に達した時点で該面取り部研削工程を開始する、請求項1記載のウエーハの面取り部除去方法。
- 表面に複数のストリートが格子状に形成され該複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞し外周に面取り部を備えた外周余剰領域とを有するウエーハの面取り部除去方法であって、
ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
回転可能なチャックテーブルの保持面にウエーハの表面に貼着された保護部材側を保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルの回転中心を通る直線上に配設された回転スピンドルに装着された切削ブレードを回転しつつ外周余剰領域における面取り部の境界部に位置付けて該保護部材に達する切削深さで面取り部を切断する面取り部切断工程と、
該チャックテーブルを回転させながら該チャックテーブルの回転中心を通る直線上に配設された回転スピンドルに装着された研削砥石を回転しつつ外周余剰領域における面取り部の境界部に位置付けて面取り部を研削して除去する面取り部研削工程と、を含み、
該面取り部切断工程と該面取り部研削工程は、同時に実施する、
ことを特徴とするウエーハの面取り部除去方法。 - 該面取り部研削工程の実施により面取り部の研削開始位置が該切削ブレードに達した時点で該チャックテーブルの回転速度を速める、請求項3記載のウエーハの面取り部除去方法。
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