JP2012181669A - 素子解析システム、素子解析方法及び素子解析プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子解析装置20の制御部21は、出力特性の実測値を登録し、実測値を実現する要素形状のモデルパラメータの生成処理を実行する。次に、制御部21は、モデルパラメータの統計処理を実行し、ばらつきが大きいモデルパラメータを特定する。次に、制御部21は、ばらつきが大きいモデルパラメータの原因を特定する。ここでは、モデルパラメータに対応した形状要素を特定する。そして、制御部21は、評価出力処理を実行する。更に、新たな構造情報を取得した場合、制御部21は、構造に対応したモデルパラメータを算出し、統計値を利用して設計処理を実行する。
【選択図】図1
Description
する手段とを備えたことを要旨とする。
請求項1、6、7に記載の発明によれば、制御手段は、実測値記憶手段に記録された素子毎に、モデル生成手段により生成された等価回路モデルのモデルパラメータについて、出力特性を算出するためのパラメータ値を計算する。次に、モデルパラメータ毎にパラメータ値の統計値を算出する。そして、統計値を用いて、モデルパラメータに対応する要素形状の評価結果を出力する。これにより、実際に測定された出力特性から、要素形状のばらつきを評価して、この評価結果を提供することができる。
つきが大きい要素形状を把握することができる。
を入力するためのユーザインターフェイスである。この入力部11は、キーボードやポインティングデバイスなどにより構成される。
モデルパラメータ算出手段212は、実測特性データ記憶部22に記憶された出力特性を、等価回路ジェネレータ27によって生成された等価回路モデルに適用して、等価回路モデルを構成する回路要素(モデルパラメータ)のパラメータ値を算出する処理を実行する。
パラメータセットデータ領域には、この素子の素子構造における等価回路モデルを構成する回路要素(モデルパラメータ)のパラメータ値に関するデータが記録される。例えば、等価回路モデルが複数の回路要素(インダクタ、キャパシタ、レジスタ等)から構成されている場合、誘導値、容量値、抵抗値等が記録される。
統計値データ領域には、このモデルパラメータについての統計値に関するデータが記録される。本実施形態では、統計値として、平均値及び分散値に関するデータが記録される。
パラメータ生成関数データ領域には、このモデルパラメータについての統計値を擬似的に生成するための関数に関するデータが記録される。本実施形態では、統計値で表わされる分散状態を生成するための乱数発生関数(乱数発生手段)に関するデータが記録される。
図4を用いて説明する。ここでは、統計評価処理、評価出力処理及びシミュレーション処理の順番で説明する。
まず、作製した複数の素子の出力特性を測定する。本実施形態では、1枚の基板上に、同一構造の複数の素子を作製し、各素子の機械的特性や電気的特性を測定する。そして、測定した各素子を特定するための素子番号に関連付けて、特定した出力特性の実測値データを所定の記憶媒体に記録する。
次に、評価出力処理について説明する。この評価出力処理は、前述の統計評価処理を終了した場合に実行される。
3は、統計値データ記憶部24から、モデルパラメータ毎の統計値を取得する。そして、統計処理手段213は、パラメータ毎に分散値を規格値で除算した規格化分散値が大きい順番にモデルパラメータを並び替える。規格値としては、パラメータ毎に予め定めた規格値や、品質管理等で用いられる工程能力指数(Cpk)を用いることが可能である。
次に、シミュレーション処理について説明する。このシミュレーション処理は、入力部11において、処理開始指示が入力された場合に実行される。
ータのばらつきに基づく出力予測特性のばらつき幅を算出する。
(1)本実施形態では、素子解析装置20の制御部21は、出力特性の実測値の登録処理を実行する(ステップS11)。素子解析装置20の制御部21は、実測値を実現する要素形状のモデルパラメータの生成処理を実行する(ステップS12)。これにより、実際に作製された素子について、等価回路モデルのモデルパラメータを特定することができる。そして、このモデルパラメータを用いて、各素子を評価することができる。
・ 上記実施形態においては、素子解析装置20の制御部21は、評価出力処理を実行する(ステップS23)。ここでは、評価結果として、基準値よりも大きいモデルパラメータについて、平均値、分散値、原因(形状要素)を出力する。評価出力処理における評価結果はこれらに限定されるものではない。例えば、基板上に作製された複数の素子については、ばらつきの基板の面内分布を出力するようにしてもよい。この場合には、制御部
21は、素子番号に基づいて、各素子の基板上位置を特定し、各位置に対応させて評価結果を出力する。また、各基板のモデルパラメータの面内分布をパラメータ値記憶部23に保存しておき、同一製造ロットにおける基板間の分布違いや、異なる製造ロットにおける基板間の分布違いを表示したりするようにしてもよい。これにより、製造工程におけるばらつきの評価を行なうことができる。例えば、この評価(ばらつきの変化傾向)に基づいて、製造装置のメンテナンス時期を決定することができる。
Claims (7)
- 要素形状から構成された素子構造を有する素子の出力特性を素子毎に記録する実測値記憶手段と、
前記素子構造の要素形状を等価回路に変換したモデルパラメータで表わした等価回路モデルを生成するモデル生成手段と、
入出力手段に接続された制御手段とを備えた素子解析システムであって、
前記制御手段が、
前記実測値記憶手段に記録された素子毎に、前記モデル生成手段により生成された等価回路モデルのモデルパラメータについて、前記出力特性を算出するためのパラメータ値を計算する手段と、
前記モデルパラメータ毎にパラメータ値の統計値を算出する手段と、
前記統計値を用いて、モデルパラメータに対応する要素形状の評価結果を出力する手段とを備えたことを特徴とする素子解析システム。 - 前記制御手段は、モデルパラメータに対応する要素形状の評価結果として、ばらつきが基準値より大きい要素形状を特定して出力することを特徴とする請求項1に記載の素子解析システム。
- 前記実測値記憶手段には、一基板上に形成された複数の素子の出力特性が記録されており、
前記制御手段は、前記実測値記憶手段に記録された出力特性から、要素形状毎に基板上の面内ばらつきを算出し、この面内ばらつきが大きい要素形状を出力することを特徴とする請求項1又は2に記載の素子解析システム。 - 前記制御手段は、新たな素子構造を取得した場合、前記素子構造を構成する要素形状の統計値を用いて、新たな素子構造の素子の出力特性を予測することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の素子解析システム。
- 前記制御手段は、前記パラメータ値の統計値のばらつき分布により出力値を算出するパラメータ生成関数を作成し、
前記制御手段は、このパラメータ生成関数により生成された出力値を用いて、新たな要素形状を含めた素子の出力特性の統計値を予測することを特徴とする請求項4に記載の素子解析システム。 - 要素形状から構成された素子構造を有する素子の出力特性を素子毎に記録する実測値記憶手段と、
前記素子構造の要素形状を等価回路に変換したモデルパラメータで表わした等価回路モデルを生成するモデル生成手段と、
入出力手段に接続された制御手段とを備えた素子解析システムを用いて、素子を解析するための方法であって、
前記制御手段が、
前記実測値記憶手段に記録された素子毎に、前記モデル生成手段により生成された等価回路モデルのモデルパラメータについて、前記出力特性を算出するためのパラメータ値を計算する段階と、
前記モデルパラメータ毎にパラメータ値の統計値を算出する段階と、
前記統計値を用いて、モデルパラメータに対応する要素形状の評価結果を出力する段階とを実行することを特徴とする素子解析方法。 - 要素形状から構成された素子構造を有する素子の出力特性を素子毎に記録する実測値記
憶手段と、
前記素子構造の要素形状を等価回路に変換したモデルパラメータで表わした等価回路モデルを生成するモデル生成手段と、
入出力手段に接続された制御手段とを備えた素子解析システムを用いて、素子を解析するためのプログラムであって、
前記制御手段を、
前記実測値記憶手段に記録された素子毎に、前記モデル生成手段により生成された等価回路モデルのモデルパラメータについて、前記出力特性を算出するためのパラメータ値を計算する手段、
前記モデルパラメータ毎にパラメータ値の統計値を算出する手段、
前記統計値を用いて、モデルパラメータに対応する要素形状の評価結果を出力する手段として機能させることを特徴とする素子解析プログラム。
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