JP2012174304A - パターンプログラム作成支援装置、パターンプログラム作成支援方法およびコンピュータプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】アドレス動作を含んだパターンプログラムを作成するユーザの負担を軽減させる。
【解決手段】半導体試験におけるアドレス動作を行なうアドレス範囲に対応したセルを表示し、アドレス順番の指定を受け付ける入出力部と、指定されたアドレス順番を、所定のプログラム言語で定義されたアドレス演算命令に変換するプログラム変換部とを備えたパターンプログラム作成支援装置。入出力部は、前記セルの表示に先立ち、アドレス範囲の設定を受け付けるようにしてもよい。また、変換された前記アドレス演算命令を表示して、編集を受け付けるプログラム編集部をさらに備えるようにしてもよい。
【選択図】図１

Description

本発明は、メモリ等の半導体デバイスの試験に使用するテストパターンを発生させるパターンプログラムの作成を支援するパターンプログラム作成支援装置、パターンプログラム作成支援方法およびコンピュータプログラムに関する。

メモリ等の半導体デバイスは、その製造工程において、半導体試験装置を用いた試験が行なわれる。半導体試験装置を用いた試験は、例えば、図４に示すように、テスタコントローラとして機能するＥＷＳ（Engineering Workstation）３０を接続した半導体試験装置１０に、試験対象の半導体デバイスであるＤＵＴ（Device under test）２０をセットして行なわれる。

ＥＷＳ３０には、あらかじめＤＵＴ２０に対応して作成されたパターンプログラムが格納されている。ＥＷＳ３０が、パターンプログラムを実行し、半導体試験装置１０の動作を制御することで、テストパターンがＤＵＴ２０に供給される。そして、半導体試験装置１０が、ＤＵＴ２０のテストパターンに対する応答と期待値とを比較すること等で、ＤＵＴ２０の動作検証や性能検証が行なわれる。

テストパターンには、ＸＹ２次元の設定領域に対して、ステップ毎に順次、アドレスを進めるアドレス動作が含まれる。このアドレス動作したがって、例えば、１／０の値を書き込んだり、値を読み込む試験等を行なうことができる。アドレス動作は、例えば、図５（ａ）〜（ｄ）に示すように種々のパターンのアドレス順番が用いられる。

このようなアドレス動作を実行させるためのパターンプログラムは、あらかじめ定められた専用プログラム言語のアドレス演算命令によって作成される。例えば、図５（ａ）に示すような、設定領域内において、Ｘ方向にアドレスを進み、Ｘ方向が最後までいくと、Ｙ方向に１つアドレスを進め、再度Ｘ方向にアドレスを進めていくアドレス動作の場合には、図６に示すようなアドレス演算命令を含んだパターンプログラムにより実現することができる。

ここで、図６に示したパターンプログラムは、ＸＹそれぞれのアドレスについて、０ｘ０から０ｘ３の範囲で発生するアドレス動作の例を示しており、プログラム中の「．ＸＡＥ＝＄３」「．ＹＡＥ＝＄３」は、最大アドレスが０ｘ３であることを表わしている。また、「．ＬＤ１＝＄Ｅ」と「ＪＪＬ ＬＤ１ ＸＡ＝ＸＡ＋１ ＹＡ＝ＹＡ＋１＋ＣＲ」とで、「ＸＡ＝ＸＡ＋１ ＹＡ＝ＹＡ＋１＋ＣＲ」を１６回実行することを表わしている。なお、「ＣＲ」は、ＸＡが．ＸＡＥを超えてキャリーが発生したときは「ＣＲ＝１」となり、それ以外は「ＣＲ＝０」となる。

特開２００１−１５５４９７号公報

ユーザは、パターンプログラムを作成する場合、専用プログラム言語で用意された「ＸＡ＝ＸＡ」「ＸＡ＝ＸＡ＋１」等のアドレス演算命令リストから、実行させようとするアドレス動作に対応したアドレス演算命令を選択しなければならない。この際に、ユーザは、選択したアドレス演算命令によるアドレス動作が、実行させようとするアドレスの順番になっているかをイメージし、アドレス演算命令の選択が適切であるかどうかを判断しながらパターンプログラムを作成しなければならず、負担が大きかった。

そこで本発明は、アドレス動作を含んだパターンプログラムを作成するユーザの負担を軽減させることを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の第１の態様であるパターンプログラム作成支援装置は、半導体試験におけるアドレス動作を行なうアドレス範囲に対応したセルを表示し、アドレス順番の指定を受け付ける入出力部と、前記指定されたアドレス順番を、所定のプログラム言語で定義されたアドレス演算命令に変換するプログラム変換部と、を備えたことを特徴とする。

ここで、前記入出力部は、前記セルの表示に先立ち、アドレス範囲の設定を受け付けることができる。

また、変換された前記アドレス演算命令を表示して、編集を受け付けるプログラム編集部をさらに備えるようにしてもよい。

また、前記指定されたアドレス順番を、数式演算、論理演算、シフト演算を用いて表現するデータ解析部をさらに備え、前記プログラム変換部は、前記データ解析部の表現に基づいて、前記アドレス演算命令に変換するようにしてもよい。

上記課題を解決するため、本発明の第２の態様であるパターンプログラム作成支援方法は、半導体試験におけるアドレス動作を行なうアドレス範囲に対応したセルを表示し、アドレス順番の指定を受け付ける入出力ステップと、前記指定されたアドレス順番を、所定のプログラム言語で定義されたアドレス演算命令に変換するプログラム変換ステップと、を含むことを特徴とする。

上記課題を解決するため、本発明の第３の態様であるコンピュータプログラムは、半導体試験におけるアドレス動作を行なうアドレス範囲に対応したセルを表示し、アドレス順番の指定を受け付ける入出力部と、前記指定されたアドレス順番を、所定のプログラム言語で定義されたアドレス演算命令に変換するプログラム変換部として、情報処理装置を機能させることを特徴とする。

本発明によれば、アドレス動作を含んだパターンプログラムを作成するユーザの負担を軽減させることができる。

本実施形態に係るパターンプログラム作成支援装置の構成を示すブロック図である。 パターンプログラム作成支援装置の動作を説明するフローチャートである。 アドレス順序指定画面の例を示す図である。 半導体試験装置を用いた半導体試験を説明するブロック図である。 種々のアドレスパターンを例示する図である。 パターンプログラムの例を示す図である。

本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態に係るパターンプログラム作成支援装置の構成を示すブロック図である。本図に示すように、パターンプログラム作成支援装置１００は、入出力部１１０、データ解析部１２０、プログラム変換部１３０、プログラム編集部１４０、プログラム出力部１５０、命令リスト格納部１６０を備えて構成される。

パターンプログラム作成支援装置１００は、パターンプログラム２００の作成を支援する装置であり、特に、アドレス動作、すなわち、アドレス順序のパターンを指定するプログラムの作成を支援する。パターンプログラム作成支援装置１００は、ＣＰＵがメモリに格納されたプログラムにしたがって動作することで種々の処理を行なうＥＷＳ、ＰＣ等の情報処理装置を用いて構成することができる。すなわち、上述の各ブロックは、情報処理装置がコンピュータプログラムを実行することにより、ソフトウェア的に実現することができる。もちろん、上述の各ブロックの一部あるいは全部をハードウェア的に実現するようにしてもよい。

入出力部１１０は、キーボード、マウス等の入力装置を介してユーザの操作を受け付けるとともに、モニタ等の表示装置にメニュー、編集画面等を表示する。本実施形態では、ユーザから、アドレス動作を行なわせるアドレス範囲の指定を受け付け、発生させたいパターンのアドレスの順番の指定を受け付けるための画面を表示する。

データ解析部１２０は、ユーザが入力したアドレスの順番を解析して、アドレスの順番を数式演算、論理演算、シフト演算等で表現する。

プログラム変換部１３０は、データ解析部１２０の解析結果である数式演算、論理演算、シフト演算等を、命令リスト格納部１６０に格納されているアドレス演算命令に変換する。

命令リスト格納部１６０は、記憶装置を用いて構成され、パターンプログラムで使用可能なアドレス演算命令をリスト形式で格納している。

プログラム編集部１４０は、プログラム変換部１３０による変換結果を表示装置に表示して、ユーザからの修正を受け付ける。

プログラム出力部１５０は、変換されたアドレス演算命令、必要に応じて修正・追加された命令等をパターンプログラム２００として出力する。

次に、本実施形態におけるパターンプログラム作成支援装置１００の動作について図２のフローチャートを参照して説明する。

まず、パターンプログラム作成支援動作においては、入出力部１１０が初期設定の受け付けを行なう（Ｓ１０１）。初期設定には、アドレス順序を発生させるアドレス範囲の設定が含まれる。アドレス範囲の設定は、ＸＹ方向それぞれについて行なうものとする。例えば、ＸＹ方向ともアドレス範囲が０ｘ３と設定された場合には、４×４のアドレス範囲についてアドレス順序が定められることになる。

次に、入出力部１１０が、ユーザからアドレス順番の指定を受け付ける（Ｓ１０２）。アドレス順序の指定は、図３（ａ）に示すようなアドレス順序指定画面を介して受け付けることができる。アドレス順序指定画面は、初期設定で受け付けたアドレス範囲に対応した空欄のセルが表示されており、ユーザは、空欄のセルに数値を入力したり、順番にクリックすること等で、パターンプログラムで実行させたいアドレス順序を指定することができる。図３（ｂ）は、ユーザによって指定されたアドレス順序の例を示している。

このように、ユーザは実行させたいアドレス順序を、アドレス範囲に対応したセルに直接指定することができるため、アドレス演算命令を意識することなくアドレス順序の指定を行なうことができる。これにより、パターンプログラムを作成するユーザの負担が軽減される。

ユーザからアドレス順番の指定の受け付けると、データ解析部１２０が、入力された順番を解析して、数式演算、論理演算、シフト演算等で表現する（Ｓ１０３）。そして、プログラム変換部１３０が、解析結果を命令リスト格納部１６０に格納されているアドレス演算命令に変換する（Ｓ１０４）。

この変換結果を、プログラム編集部１４０が、編集画面形式等で表示装置に表示し（Ｓ１０５）、ユーザからの編集を受け付ける（Ｓ１０６）。ユーザは、変換結果に対して修正を行なったり、必要な命令を追加したり、不要な命令を削除することができる。

ユーザの編集が終了すると、プログラム出力部１５０が、編集結果をパターンプログラム２００として出力する（Ｓ１０７）。

以上説明したように、本実施形態のパターンプログラム作成支援装置１００は、アドレス範囲に対応したセルを表示し、ユーザからアドレス順番の指定を直接的に受け付けるようにしている。そして、ユーザから受け付けたアドレス順番を解析してアドレス演算命令に変換するようにしている。このため、ユーザは、選択したアドレス演算命令によるアドレス動作が、実行させようとするアドレスの順番になっているかをイメージし、アドレス演算命令の選択が適切であるかどうかを判断する必要がなくなり、パターンプログラムを作成する際の負担が軽減される。

１０…半導体試験装置
２０…ＤＵＴ
３０…ＥＷＳ
１００…パターンプログラム作成支援装置
１１０…入出力部
１２０…データ解析部
１３０…プログラム変換部
１４０…プログラム編集部
１５０…プログラム出力部
１６０…命令リスト格納部
２００…パターンプログラム

Claims (6)

1. 半導体試験におけるアドレス動作を行なうアドレス範囲に対応したセルを表示し、アドレス順番の指定を受け付ける入出力部と、
   前記指定されたアドレス順番を、所定のプログラム言語で定義されたアドレス演算命令に変換するプログラム変換部と、
   を備えたことを特徴とするパターンプログラム作成支援装置。
2. 前記入出力部は、前記セルの表示に先立ち、アドレス範囲の設定を受け付けることを特徴とする請求項１に記載のパターンプログラム作成支援装置。
3. 変換された前記アドレス演算命令を表示して、編集を受け付けるプログラム編集部をさらに備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のパターンプログラム作成支援装置。
4. 前記指定されたアドレス順番を、数式演算、論理演算、シフト演算を用いて表現するデータ解析部をさらに備え、
   前記プログラム変換部は、前記データ解析部の表現に基づいて、前記アドレス演算命令に変換することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のパターンプログラム作成支援装置。
5. 半導体試験におけるアドレス動作を行なうアドレス範囲に対応したセルを表示し、アドレス順番の指定を受け付ける入出力ステップと、
   前記指定されたアドレス順番を、所定のプログラム言語で定義されたアドレス演算命令に変換するプログラム変換ステップと、
   を含むことを特徴とするパターンプログラム作成支援方法。
6. 半導体試験におけるアドレス動作を行なうアドレス範囲に対応したセルを表示し、アドレス順番の指定を受け付ける入出力部と、
   前記指定されたアドレス順番を、所定のプログラム言語で定義されたアドレス演算命令に変換するプログラム変換部として、情報処理装置を機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。