JP2012167874A - Fan filter unit - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a structure which can prevent deflection of a ceiling part even when a chamber part is increased in size, concerning a fan filter unit.SOLUTION: In the fan filter unit: a structure of a chamber 7 includes a top panel 8 having an air suction port, a side panel A 9 in which part of an upper surface is integrated with a side surface, and a side panel B 10 forming a side surface adjacent to the side panel A 9; holes for fixing of the filter 20 are provided on the side panel A 9 and the side panel B 10; and the top panel 8 is fixed to be sandwiched by the upper surface of the side panel A 9. The fan filter unit facilitates upsizing and is extremely useful for serving as a large fan filter unit for preventing deflection of an upper surface of the chamber.

Description

本発明は、主に薄型テレビ等に使用されるフラットパネルディスプレイ等を製造する工場のクリーンルーム内に設置されるパネルの製造装置や搬送装置、パネルを一時保管する保管庫（クリーンストッカー）等に設置される大型のファンフィルターユニットに関する。   The present invention is installed in a panel manufacturing apparatus or transport apparatus installed in a clean room of a factory that mainly manufactures flat panel displays used for flat-screen TVs, etc., and a storage room (clean stocker) for temporarily storing the panels. It relates to a large fan filter unit.

従来この種ファンフィルターユニットは、ファンモータを収納するチャンバー部は１つの薄板より構成され、ファンモータはファンモータの支持具によってチャンバーの吸込口側に設けられた固定部に固定される構造となっていた。（これに類似する先行文献としては、例えば特許文献１）。   Conventionally, this type of fan filter unit has a structure in which a chamber portion that houses a fan motor is composed of a single thin plate, and the fan motor is fixed to a fixing portion provided on the suction port side of the chamber by a fan motor support. It was. (For example, Patent Document 1 is a prior document similar to this.)

特開２０００−２７１４１９号公報JP 2000-271419 A

近年フラットパネルの大型化に伴い、パネルを製造する製造装置、パネルを搬送する搬送装置、パネルを保管する保管庫（クリーンストッカー）は大型化の傾向にあり、従来の構造のファンフィルターユニットでは、一つの薄板でチャンバー壁面を構成していたため大型化が困難であった。すなわち、一つの薄板でチャンバーを大型化すると、チャンバーの上面部にたわみが生じ、この上面部のたわみにより、上面部に固定されたファンモータとチャンバーと隣接して取り付けられたフィルターの上面が接触することにより、製品の性能低下を招く恐れがあった。   In recent years, with the increase in size of flat panels, manufacturing devices that produce panels, transport devices that transport panels, and storage cabinets that store panels (clean stockers) tend to be larger. With fan filter units with a conventional structure, Since the chamber wall surface was composed of one thin plate, it was difficult to increase the size. In other words, when the chamber is enlarged with one thin plate, the upper surface of the chamber is deflected, and the upper surface of the filter contacts the fan motor fixed to the upper surface and the filter mounted adjacent to the chamber. As a result, the performance of the product may be degraded.

そこで、本発明は、ファンモータを収納するチャンバー部を複数の薄板を連結して構成することでチャンバーの大型化を図り、ファンフィルターユニットの大型化を容易に実現し、チャンバーの上面部のたわみを抑える大型のファンフィルターユニットを提供することを目的とするものである。   In view of this, the present invention achieves an increase in the size of the chamber by connecting the plurality of thin plates to the chamber portion that houses the fan motor, thereby easily realizing an increase in size of the fan filter unit, and the deflection of the upper surface portion of the chamber. It aims at providing the large sized fan filter unit which suppresses.

この目的を達成するために、本発明のファンフィルターユニットは、
空気を送風するファンと駆動モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを固定するファンモータ支持部と、前記ファンモータを収納し、上面に空気吸込口を下面には供給口を備えたチャンバーと、前記ファンユニットの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、
前記チャンバーは、空気吸込口を有した上面部を構成するトップパネルと、上面の一部と側面部とを一体にして形成されるサイドパネルＡと、サイドパネルＡに隣接した側面を形成するサイドパネルＢとで構成され、サイドパネルＡとサイドパネルＢには前記フィルターの固定用の穴が設けられ、前記トップパネルは、サイドパネルＡの上面部分ではさむようにして固定されたものであって、これにより初期の目的を達成するものである。 In order to achieve this object, the fan filter unit of the present invention provides:
A fan motor composed of a fan that blows air and a drive motor, a fan motor support that fixes the fan motor, the fan motor is housed, and an air suction port is provided on the upper surface and a supply port is provided on the lower surface. In the fan filter unit configured by connecting the chamber, the filter connected to the supply port of the fan unit and purifying the air, and the chamber and the filter,
The chamber includes a top panel constituting an upper surface portion having an air suction port, a side panel A formed by integrating a part of the upper surface and a side surface portion, and a side surface forming a side surface adjacent to the side panel A. The side panel A and the side panel B are provided with holes for fixing the filter, and the top panel is fixed by being sandwiched by the upper surface portion of the side panel A. To achieve the initial objective.

以上のように本発明は、複数の薄板を連結してチャンバー部を構成することで、ファンフィルターユニットの大型化を図り、チャンバーの上面部のたわみを抑えるファンフィルターユニット提供することを目的とするものである。   As described above, an object of the present invention is to provide a fan filter unit that connects a plurality of thin plates to constitute a chamber portion, thereby increasing the size of the fan filter unit and suppressing the deflection of the upper surface portion of the chamber. Is.

本発明の一実施の形態を示すファンモータユニットの斜視図The perspective view of the fan motor unit which shows one embodiment of this invention 同ファンモータユニットのＡ−Ａ側断面図AA side sectional view of the fan motor unit 本発明の一実施の形態を示すチャンバーとファンモータユニットの斜視分解図The perspective exploded view of the chamber and fan motor unit which shows one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態を示すトップパネル、サイドパネルＡ、ファンモータユニットの組付図Assembly drawing of top panel, side panel A and fan motor unit showing one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態を示すトップパネル、サイドパネルＡ、サイドパネルＢの組付図Assembly drawing of top panel, side panel A, and side panel B showing one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態を示すチャンバーの斜視図The perspective view of the chamber which shows one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態を示すコの字形状部を表す斜視図The perspective view showing the U-shaped part which shows one embodiment of this invention 同コの字形状部のＢ−Ｂ側断面図BB side sectional view of the U-shaped part

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（実施の形態１）
図１、図２に示すのは、ファン１とモータ２とを有しているファンモータユニット６である。ファン１はモータ２の回転軸に取り付けられてファンモータ３を構成している。そして、ファンモータ３は支持具４に支えられてオリフィス５に取り付けられている。 (Embodiment 1)
FIG. 1 and FIG. 2 show a fan motor unit 6 having a fan 1 and a motor 2. The fan 1 is attached to the rotating shaft of the motor 2 to constitute a fan motor 3. The fan motor 3 is supported by the support 4 and attached to the orifice 5.

次に、チャンバー７の構成について説明する。図３に示すようにチャンバー７は吸込口１１を有したトップパネル８と、チャンバー７の上面の一部と側面とを一体にした２つのサイドパネルＡ９と、サイドパネルＡ９に隣接した側面を形成する２つのサイドパネルＢ１０とで構成される。トップパネル８とサイドパネルＡ９とサイドパネルＢ１０は、リベットで締結され、上面には吸込口を、下面にはクリーンルームへの清浄空気の供給口を備えた箱型形状のチャンバー７を形成する。   Next, the configuration of the chamber 7 will be described. As shown in FIG. 3, the chamber 7 forms a top panel 8 having a suction port 11, two side panels A9 in which a part of the upper surface of the chamber 7 and side surfaces are integrated, and a side surface adjacent to the side panel A9. And two side panels B10. The top panel 8, the side panel A9, and the side panel B10 are fastened by rivets, and form a box-shaped chamber 7 having a suction port on the upper surface and a supply port for clean air to the clean room on the lower surface.

図４に示すように、トップパネル８は、２つのサイドパネルＡ９の上面部分ではさむようにして固定される。さらに詳細に説明する。トップパネル８の長辺側の端部には、断面をほぼＣの字型の形状に折り返したトップパネル折曲部１２が設けられている。そして、トップパネル８に対向するサイドパネルＡ９の上面部分の端部には、Ｌ字型の形状に折り曲げたサイドパネル折曲部１３が設けられている。言い換えれば、このサイドパネル折曲部１３は、サイドパネルＡ９の天面部分から階段状に二度折り曲げられていることになる。そして、その下の段（天面と平行な面）でトップパネル８のトップパネル折曲部１２を受けるように固定される。   As shown in FIG. 4, the top panel 8 is fixed so as to be sandwiched between the upper surface portions of the two side panels A9. Further details will be described. At the end of the long side of the top panel 8, a top panel bent portion 12 whose cross section is folded back into a substantially C shape is provided. A side panel bent portion 13 that is bent into an L-shape is provided at the end of the upper surface portion of the side panel A9 that faces the top panel 8. In other words, the side panel bent portion 13 is bent twice stepwise from the top surface portion of the side panel A9. And it fixes so that the top panel bending part 12 of the top panel 8 may be received in the step (surface parallel to a top | upper surface) under it.

図５に示すように、トップパネル８とサイドパネルＡ９が固定された状態のものにサイドパネルＢ１０が固定される。詳細に説明すると、サイドパネルＢ１０には、トップパネル８、サイドパネルＡ９側に折り曲げ、トップパネル８とサイドパネルＡ９の接合部分に対応する部分を切り欠いてくし型にした接合部１４が設けられている。この接合部１４は、その切欠き部分にトップパネル８とサイドパネルＡ９の接合部分を挿入する。そして、トップパネル８・サイドパネルＡ９と、サイドパネルＢ１０の上面部分とをネジなどで結合する。このくし型の接合部１４によれば、トップパネル８とサイドパネルＡ９との接合部分（トップパネル折曲部１２とサイドパネル折曲部１３）との干渉を無くすことが可能な構成となる。   As shown in FIG. 5, the side panel B10 is fixed to a state in which the top panel 8 and the side panel A9 are fixed. More specifically, the side panel B10 is provided with a joint portion 14 that is bent toward the top panel 8 and the side panel A9, and has a comb shape by cutting out a portion corresponding to the joint portion between the top panel 8 and the side panel A9. ing. This joint portion 14 inserts the joint portion of the top panel 8 and the side panel A9 into the notch portion. Then, the top panel 8 / side panel A9 and the upper surface portion of the side panel B10 are coupled with screws or the like. According to this comb-shaped joint portion 14, it is possible to eliminate the interference between the joint portion (top panel bent portion 12 and side panel bent portion 13) between the top panel 8 and the side panel A 9.

このようにして、図６に示すように、上面には吸込口を、下面には供給口を備えた箱型形状のチャンバー７を形成する。   In this way, as shown in FIG. 6, a box-shaped chamber 7 having a suction port on the upper surface and a supply port on the lower surface is formed.

図７には、サイドパネルＡ９とサイドパネルＢ１０の下面側に設けられたフィルター２０の固定用のフィルター固定穴２１と、フィルター固定穴２１が設けられたコの字型形状のフィルター取付フランジ部となるフィルター固定部１５を示す。このフィルター固定部１５は、コの字型にしてチャンバー７の内周側に突出した内フランジ形状になっているので、フィルター２０とチャンバー７との接合面を確保することができる。さらに、図８に示すようなチャンバー７の外寸よりフィルター２０の外寸が小さい構造を実現することが可能となる。また、図示しないが、フィルター固定穴２１には、ナットが取り付けられ、フィルター２０とチャンバー７は、シール材を介してチャンバー７とねじで締結される。   FIG. 7 shows a filter fixing hole 21 for fixing the filter 20 provided on the lower surface side of the side panel A9 and the side panel B10, and a U-shaped filter mounting flange portion provided with the filter fixing hole 21. The filter fixing | fixed part 15 which becomes is shown. Since the filter fixing portion 15 is formed in a U shape and has an inner flange shape protruding toward the inner peripheral side of the chamber 7, a joint surface between the filter 20 and the chamber 7 can be secured. Furthermore, it is possible to realize a structure in which the outer dimension of the filter 20 is smaller than the outer dimension of the chamber 7 as shown in FIG. Although not shown, a nut is attached to the filter fixing hole 21, and the filter 20 and the chamber 7 are fastened to the chamber 7 with screws through a sealing material.

次にファンモータユニット６の取り付けについて説明する。   Next, attachment of the fan motor unit 6 will be described.

図４に示すように、ファンモータユニット６はトップパネル折曲部１２に固定される。トップパネル８は、トップパネル折曲部１２がサイドパネルＡ９の端部のサイドパネル折曲部１３で支えられて固定される。そのため、ファンモータユニット６は、トップパネル８のトップパネル折曲部１２とサイドパネルＡ９のサイドパネル折曲部１３によって支えられることになる。従って、チャンバー７の上面のたわみを抑えることができ、チャンバー７が大型化しても、ファンモータユニット６がフィルター２０の上面が接触することにより、製品の性能低下を招く恐れを無くすことができる。   As shown in FIG. 4, the fan motor unit 6 is fixed to the top panel bent portion 12. The top panel 8 is fixed with the top panel bent portion 12 supported by the side panel bent portion 13 at the end of the side panel A9. Therefore, the fan motor unit 6 is supported by the top panel bent portion 12 of the top panel 8 and the side panel bent portion 13 of the side panel A9. Therefore, the deflection of the upper surface of the chamber 7 can be suppressed, and even if the chamber 7 is enlarged, the possibility that the fan motor unit 6 may be brought into contact with the upper surface of the filter 20 to reduce the performance of the product can be eliminated.

そして、この目的を達成するために本発明は、空気を送風するファンと駆動モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを固定するファンモータ支持部と、前記ファンモータを駆動させる制御基板と、前記制御基板を収納する制御ボックスと、前記ファンモータおよび前記制御ボックスを収納し、上面に空気吸込口を下面には供給口を備えたチャンバーと、前記ファンユニットの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターユニットを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、前記チャンバーは、空気吸込口を有したトップパネルと、天面の一部と側面とを一体にしたサイドパネルＡと、サイドパネルＡに隣接した側面を形成するサイドパネルＢとで構成され、サイドパネルＡとサイドパネルＢには前記フィルターの固定用の穴が設けられ、前記トップパネルは、サイドパネルＡの天面部分ではさむようにして固定されたファンフィルターユニットとしてきわめて有用なものとなる。   In order to achieve this object, the present invention provides a fan motor including a fan that blows air and a drive motor, a fan motor support that fixes the fan motor, and a control board that drives the fan motor. A control box for storing the control board; a fan motor and the control box; a chamber having an air suction port on the upper surface and a supply port on the lower surface; and a supply port for the fan unit. In the fan filter unit configured by connecting the chamber and the filter unit, the chamber has a top panel having an air suction port, a part of the top surface and a side surface integrated with each other. Side panel A and side panel B forming a side surface adjacent to side panel A. The side panel B is provided with holes for fixing of the filter, the top panel is a extremely useful as a fan filter unit which is fixed so as to sandwich at the top surface portion of the side panel A.

１ ファン
２ モータ
３ ファンモータ
４ 支持具
５ オリフィス
６ ファンモータユニット
７ チャンバー
８ トップパネル
９ サイドパネルＡ
１０ サイドパネルＢ
１１ 吸込口
１２ トップパネル折曲部
１３ サイドパネル折曲部
１４ 接合部
１５ フィルター固定部
２０ フィルター
２１ フィルター固定穴 1 Fan 2 Motor 3 Fan Motor 4 Support 5 Orifice 6 Fan Motor Unit 7 Chamber 8 Top Panel 9 Side Panel A
10 Side panel B
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Suction inlet 12 Top panel bending part 13 Side panel bending part 14 Joining part 15 Filter fixing | fixed part 20 Filter 21 Filter fixing hole

Claims (4)

空気を送風するファンと駆動モータとで構成されるファンモータと、前記ファンモータを固定するファンモータ支持部と、前記ファンモータを収納し、上面に空気吸込口を下面には供給口を備えたチャンバーと、前記ファンユニットの供給口と接続し空気を清浄化するフィルターと、前記チャンバーと前記フィルターを連結して構成されるファンフィルターユニットにおいて、
前記チャンバーは、空気吸込口を有した上面部を構成するトップパネルと、
上面の一部と側面部とを一体にして形成されるサイドパネルＡと、
サイドパネルＡに隣接した側面を形成するサイドパネルＢとで構成され、
前記トップパネルは、サイドパネルＡの上面部分ではさむようにして固定されたファンフィルターユニット。 A fan motor composed of a fan that blows air and a drive motor, a fan motor support that fixes the fan motor, the fan motor is housed, and an air suction port is provided on the upper surface and a supply port is provided on the lower surface. In the fan filter unit configured by connecting the chamber, the filter connected to the supply port of the fan unit and purifying the air, and the chamber and the filter,
The chamber comprises a top panel constituting an upper surface part having an air suction port,
A side panel A formed integrally with a part of the upper surface and the side surface;
It is composed of a side panel B that forms a side surface adjacent to the side panel A,
The top panel is a fan filter unit fixed so as to be sandwiched by the upper surface portion of the side panel A. 前記トップパネルは、対向する二辺を断面ほぼＣの字型の形状に折り曲げ、
前記サイドパネルＡは、前記トップパネルを挟むときに前記トップパネルに対向する辺をＬ字型の形状に折り曲げ、
この端部のＬ字型形状の部分で受けるようにトップパネルを固定した請求項１記載のファンフィルターユニット。 The top panel is formed by bending two opposite sides into a substantially C-shaped cross section,
The side panel A bends a side facing the top panel when sandwiching the top panel into an L-shape,
The fan filter unit according to claim 1, wherein the top panel is fixed so as to be received by the L-shaped portion at the end. 前記サイドパネルＢは上面側にくし型に折り曲げ部を形成して、前記トップパネルの上面部分と結合される請求項１または２記載のファンフィルターユニット。 3. The fan filter unit according to claim 1, wherein the side panel B has a comb-shaped bent portion on an upper surface side and is coupled to an upper surface portion of the top panel. 前記サイドパネルＡ及び前記サイドパネルＢ下面側に、内周側に突出する断面コの字形状のフィルタ取付フランジを形成し、
このフィルタ取付フランジにフィルター固定用の穴を設けた請求項１〜３いずれか一つに記載のファンフィルターユニット。 A filter mounting flange having a U-shaped cross section projecting to the inner peripheral side is formed on the lower surface side of the side panel A and the side panel B,
The fan filter unit according to claim 1, wherein a filter fixing hole is provided in the filter mounting flange.
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