JP2012146835A - 枚葉式ウェーハ洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】チャンバー11内においてウェーハ1を支持する回転テーブル12と、ウェーハ1の表面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル13と、回転テーブル12の外周部に設けられたスピンカップ14と、回転テーブル12の外周部に設けられた排気口15と、スピンカップ14を昇降制御するスピンカップ昇降機構16と、チャンバー11の側面側に設けられた排気口17と、排気口17を開閉するシャッター18とを備え、シャッター18は、スピンカップ14に連動して昇降し、スピンカップ14が上昇して排気口15を開放しているときには排気口17を閉止し、スピンカップ14が降下して排気口15を閉止しているときには排気口17を開放する。これにより、チャンバー11の内圧をほぼ一定に保持することができる。
【選択図】図3
Description
図5に示した構造、すなわち4台の枚葉式ウェーハ洗浄装置を有するウェーハ洗浄システムにおいて、2台の枚葉式ウェーハ洗浄装置A,Bを非同期で動作させた場合における枚葉式ウェーハ洗浄装置A,Bの内圧の変化を測定した。各枚葉式ウェーハ洗浄装置の初期の内圧は−4Paとした。
第2の排気口17及びシャッター18を有しない従来の枚葉式ウェーハ洗浄装置を4台設け、その排気経路を共通化して一定の排気量に制御し、4台のうち2台の枚葉式ウェーハ洗浄装置X,Yを非同期で動作させた場合における枚葉式ウェーハ洗浄装置X,Yの内圧の変化を測定した。各枚葉式ウェーハ洗浄装置の初期の内圧は−4Paとした。
10 枚葉式ウェーハ洗浄装置
11 チャンバー
11s,11t チャンバーの側壁
11w チャンバーの排気窓
12 回転テーブル
12r 回転機構
13,13a,13b,13c 洗浄液供給ノズル
14 スピンカップ
15 第1の排気口
15p 第1の排気経路
16 スピンカップ昇降機構
17 第2の排気口
17p 第2の排気経路
18 シャッター
18w シャッターの排気窓
18m シャッター本体
18r シャッターのレール
19 第3の排気口
20 排液口
21 給気装置
21o 給気口
22 支持ピン
PA,PB 排気経路
10a,10b,10c,10d 枚葉式ウェーハ洗浄装置
100 ウェーハ洗浄システム
101 排気制御部
102 第3の排気経路
Claims (5)
- チャンバーと、前記チャンバー内においてウェーハを支持する回転テーブルと、前記回転テーブル上の前記ウェーハの表面に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、前記回転テーブルの外周部に設けられ、前記ウェーハの遠心力によって外周方向に飛散する前記洗浄液を回収するスピンカップと、前記回転テーブルの外周部に設けられた第1の排気口と、前記スピンカップを昇降制御するスピンカップ昇降機構と、前記チャンバーの側面側に設けられた第2の排気口と、前記第2の排気口を開閉するシャッターとを備え、
前記シャッターは、前記スピンカップに連動して昇降し、前記スピンカップが上昇して前記第1の排気口を開放しているときには前記第2の排気口を閉止し、前記スピンカップが降下して前記第1の排気口を閉止しているときには前記第2の排気口を開放することを特徴とする枚葉式ウェーハ洗浄装置。 - 前記スピンカップは、上方に向かって縮径する略円錐筒状の部材であり、上部開口の直径は前記ウェーハの直径よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の枚葉式ウェーハ洗浄装置。
- 前記第2の排気口及び前記シャッターは、前記チャンバーの対向する2つの側面にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の枚葉式ウェーハ洗浄装置。
- 前記チャンバーの上部に設けられた給気口をさらに備え、前記給気口から取り込まれた気体を前記第1の排気口又は前記第2の排気口から排気することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の枚葉式ウェーハ洗浄装置。
- 前記枚葉式ウェーハ洗浄装置を複数有し、前記複数の枚葉式ウェーハ洗浄装置それぞれは前記第1の排気口からの排気及び第2の排気口からの排気を外部へ排気する第3の排気口をさらに備え、前記第3の排気口は前記複数の枚葉式ウェーハ洗浄装置に対して共通に設けられた排気経路に接続されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の枚葉式ウェーハ洗浄装置。
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