JP2012142464A - フィルタ、露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1波長を有する第1の光を反射し、前記第1波長より短い第2波長を有する第2の光を透過させるフィルタであって、第1方向に沿って間隙をおいて平行に配置された複数の板状部材を含み、前記複数の板状部材のそれぞれの端面によって形成される包絡面は平面をなし、前記平面は前記第1方向と非平行である。
【選択図】 図1
Description
図1に基づいて第1実施形態のフィルタ10について説明する。フィルタ10は、複数の板状部材11を赤外光の波長より小さくEUV光の波長より大きな一定の間隙をおいて平行に並べて配置した構造を有し、正面から見るとスリット状の開口が並んでいる。フィルタ10は、入射光12に対して板状部材11の内壁11aが平行となり、入射光12の入射側の端面11bによって形成される包絡面11cが、入射光の進行方向(第2方向)と非平行な平面をなすように配置されている。つまり、包絡面11cが入射光の進行方向に垂直な面に対して傾くようにフィルタ10が設置されている。複数の板状部材11はホルダ14により支持されている。
h*tanθ/(d−t)・・・(1)
h*tanθ/(d−t)≦0.2・・・(2)
θ≦tan-1{0.2*(d−t)/h}・・・(3)
x=a/tan(2φ)・・・(4)
図4に基づいて第2実施形態のフィルタ40について説明する。ここでは第1実施形態との差異についてのみ記述する。図4は第2実施形態におけるフィルタ40の正面図及び断面図である。第2実施形態におけるフィルタ40は、複数の開口を有し入射光の進行方向(第2方向)に沿って延びる部材41の入射光の入射側における端面41cが平面をなすように複数の板状部材が2次元に配置した構造を有している。開口の形状は正四角形とされている。フィルタ40の開口が2次元に配置されているので赤外光の両偏光を同時に除去することができる。開口の形状は、円形、六角形でも同様の効果が得られる。入射光の入射側における部材41の端面41cにおける法線42と各開口の軸44とは斜めに交わっている。フィルタ40は例えばSiの異方性エッチングで製作する。Siの異方性エッチングでフィルタを製作し、赤外光を反射するための金属膜を部材41の表面全体に成膜する。複数の板状部材はホルダ43により支持されている。
図5に基づいて第3実施形態のフィルタ50について説明する。図5は第3実施形態におけるフィルタ50の正面図及び断面図である。フィルタ50は、板状部材51を階段状に並べて配置した構造を有している。各板状部材51は棒状の支持部材52で固定されている。板状部材51の壁面51aと、板状部材51の端面が形成する包絡面51cにおける法線53とが斜めに交わるような形状となっている。第3実施形態のフィルタ50は板状部材の壁面51aが入射光と平行になるように設置される。
図6に基づいて第4実施形態のフィルタ60について説明する。第4実施形態におけるフィルタ60は、複数の開口を持つ部材61を、その第1端面61cが平面をなし、かつ、光路に沿って収束するように配置した形状を有している。図6に示すように、フィルタ60の各開口の軸64と複数の部材61の第1端面61cにおける法線62とはいずれも斜めに交わっている。第1端面61cにおける隣接する板状部材の間隙は、第1端面61cの反対側の第2端面における隣接する板状部材の間隙より大きい。
第5実施形態のフィルタについて説明する。第5実施形態において図6で示される部材61は複数の板状部材から構成されており、フィルタ60は、板状部材61を階段状に並べて配置した構造を有している。フィルタ60の板状部材の壁面61aと、板状部材61の端面の包絡面61cにおける法線62とはいずれも斜めに交わっており、壁面61aと法線62とのなす角度は場所により異なっている。
図9に基づいて第6実施形態のフィルタ90について説明する。図9に示すように、フィルタ90の板状部材91の端面91cは曲面であり、その曲率中心の第1方向における位置は、複数の開口の全てを含む1つの領域の第1方向における範囲の外側にある。すなわち、端面の法線92とフィルタの内壁91aとはいずれの場所においても斜めに交わっている。このフィルタ90を図10に示すように入射光103が平行化されている照明系の光路中に挿入する。反射された赤外光101はフィルタ90により集光され、吸収部材102で吸収される。反射された赤外光101は集光されているため、吸収部材102のサイズを小さくすることができる。吸収部材102のサイズを小さくすることにより照明系内の設置自由度が上がるため、照明系の設計が容易となる。なお、第6実施形態における複数の板状部材91の替わりに複数の棒状部材を配置し、複数の開口が一方の端面にのみ存在するようにしてもよい。
図11に基づいて第7実施形態のフィルタ110について説明する。図11に示すように、複数の開口が2次元に沿って配列された部材111の端面111cは曲率を持ち、端面111cにおける法線112とフィルタの内壁111aとはいずれの場所においても斜めに交わっている。
図12に基づいて第8実施形態のフィルタ120について説明する。第6実施形態において複数の板状部材はホルダに固定されていたが、第8実施形態においては、複数の板状部材は棒状の支持部材で固定されている。図12に示すように、フィルタ120の各板状部材の端面の包絡面121cは曲率を持ち、包絡面121cにおける法線とフィルタの内壁とはいずれの場所においても斜めに交わっている。
本発明の一実施形態のデバイス(半導体デバイス、液晶表示デバイス等)の製造方法について説明する。半導体デバイスは、ウエハ(基板)に集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、前記工程で露光されたウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)と、パッケージング工程(封入)を含む。液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。
Claims (10)
- 第1波長を有する第1の光を反射し、前記第1波長より短い第2波長を有する第2の光を透過させるフィルタであって、
第1方向に沿って間隙をおいて平行に配置された複数の板状部材を含み、
前記複数の板状部材のそれぞれの端面によって形成される包絡面は平面をなし、前記平面は前記第1方向と非平行である、
ことを特徴とするフィルタ。 - 第1波長を有する第1の光を反射し、前記第1波長より短い第2波長を有する第2の光を透過させるフィルタであって、
少なくとも第1方向に沿って配列された複数の開口を有し、前記第1方向と直交する第2方向に沿って延びる部材を含み、
前記部材の端面は平面をなし、前記平面は前記第1方向と非平行である、
ことを特徴とするフィルタ。 - 第1波長を有する第1の光を反射し、前記第1波長より短い第2波長を有する第2の光を透過させるフィルタであって、
第1方向に沿って間隙をおいて配置された複数の板状部材を含み、
前記複数の板状部材のそれぞれの第1端面によって形成される包絡面は平面をなし、前記平面は前記第1方向と非平行であり、
前記複数の板状部材のうち少なくとも一組の隣接する板状部材の前記第1端面における間隙は、前記少なくとも一組の隣接する板状部材の前記第1端面の反対側の第2端面における間隙より大きい、
ことを特徴とするフィルタ。 - 第1波長を有する第1の光を反射し、前記第1波長より短い第2波長を有する第2の光を透過させるフィルタであって、
少なくとも第1方向に沿って配列された複数の開口を有し、前記第1方向と直交する第2方向に沿って延びる部材を含み、
前記部材の第1端面は平面をなし、前記平面は前記第1方向と非平行であり、
前記複数の開口のうち少なくとも1つの開口は、前記第1端面の反対側の第2端面よりも前記第1端面において大きい、
ことを特徴とするフィルタ。 - 第1波長を有する第1の光を反射し、前記第1波長より短い第2波長を有する第2の光を透過させるフィルタであって、
少なくとも第1方向に沿って配列された複数の開口を有する端面を含み、
前記端面は曲面をなし、前記曲面の曲率中心の前記第1方向における位置は、前記複数の開口の全てを含む1つの領域の前記第1方向における範囲の外側にある、
ことを特徴とするフィルタ。 - 前記複数の開口は、少なくとも前記第1方向に沿って間隙をおいて平行に配置された複数の板状部材によって形成されている、ことを特徴とする請求項5に記載のフィルタ。
- 前記複数の開口は、前記第1方向と直交する第2方向に沿って延びる部材が有する開口である、ことを特徴とする請求項5に記載のフィルタ。
- 第1波長を有する第1の光と前記第1波長より短い第2波長を有する第2の光とを含む光を出射する光源と、
前記光の光路外に配置され、前記第1の光を吸収する吸収部材と、
前記光源から出射された光のうち前記第1の光を前記吸収部材に向けて反射し、前記光源から出射された光のうち前記第2の光を透過させる請求項1乃至請求項7のいずれか1項に記載のフィルタと、
を備え、
前記フィルタを透過した前記第2の光で基板を露光する、
ことを特徴とする露光装置。 - 第1波長を有する第1の光と前記第1波長より短い第2波長を有する第2の光とを含む光を出射する光源と、
前記光の光路外に配置され、前記第1の光を吸収する吸収部材と、
複数の開口が少なくとも第1方向に沿って配列された端面を備え、前記端面は平面をなし、前記平面は前記第1方向と非平行であり、前記光源から出射された光のうち前記第1の光を前記吸収部材に向けて反射し、前記光源から出射された光のうち前記第2の光を透過させるフィルタと、
を備え、
前記フィルタを透過した前記第2の光で基板を露光する、
ことを特徴とする露光装置。 - 請求項8又は請求項9に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を含むデバイス製造方法。
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