JP2012127838A - 絶対位置測定装置及び絶対位置測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶対位置測定装置は、移動体2に形成された2つの減圧空間部3,23に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて移動体に光を照射して干渉信号を得る2つの干渉計6,25と、2つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、2つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする真空ポンプ4及び真空排気流路5,24と、2つの干渉計より得られる干渉信号の位相を検出する2つの位相検出器17,35と、2つの位相検出器で検出される位相を比較する位相比較器19と、位相比較器19における位相比較結果に応じて原点を設定する原点信号発生器21と、原点信号発生器21で設定される原点を基準として移動体の絶対位置を求める絶対位置算出器22,37とを備えている。
【選択図】図1
Description
図4に基づいて本発明の第2実施形態の絶対位置測定装置201を説明する。本実施形態の絶対位置測定装置201は、設けられる移動装置203が第1実施形態の絶対位置測定装置101が設けられた移動装置103と構造が異なっている。このため、第1実施形態とは、第1の干渉計6と第2の干渉計25と、この2つの干渉計を収容する第1の減圧空間部3と第2の減圧空間部23との配置関係が異なっているが、その他の点に関しては同じである。したがって、第1実施形態と重複する部分に関しては同一符号を付して、説明を省略する。
6:第1の干渉計、8,27:非接触シール(シール部)、17:第1の位相検出器(位相検出部)、19:位相比較器(位相比較部)、21:原点信号発生器(原点設定部)、22:第1の絶対位置算出器(絶対位置算出部)、23:第2の減圧空間部(凹空間部)、24:第2の真空排気流路(減圧手段、真空排気流路)、25:第2の干渉計、35:第2の位相検出器(位相検出部)、37:第2の絶対位置算出器(絶対位置算出部)、51,52:ヨーガイド面(固定部)、63,64:開口部、101:絶対位置測定装置、103:移動装置、201:絶対位置測定装置、202:移動体、203:移動装置、
Claims (4)
- 干渉計により移動体の絶対位置を測定する絶対位置測定装置において、
前記移動体に形成された2つの減圧空間部に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて前記移動体に光を照射して干渉信号を得る2つの干渉計と、
前記2つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、前記2つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする減圧手段と、
前記2つの干渉計より得られる干渉信号の位相を検出する2つの位相検出部と、
前記2つの位相検出部で検出される位相を比較する位相比較部と、
前記位相比較部における位相比較結果に応じて、原点を設定する原点設定部と、
前記原点設定部で設定される原点を基準として前記移動体の絶対位置を求める絶対位置算出部と、を備えた、
ことを特徴とする絶対位置測定装置。 - 前記減圧空間部は、
前記移動体を支持するガイド面を形成する固定部と、
前記移動体に形成されて前記ガイド面の側が開口部によって開口された凹空間部と、
前記凹空間部の外周部に配置されるシール部と、を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の絶対位置測定装置。 - 前記減圧手段は、
前記2つの減圧空間部に接続される真空排気流路と、
前記真空排気流路に接続される真空排気装置と、を有し、
前記真空排気流路のコンダクタンスの差異と前記真空排気装置の排気速度の差異との少なくとも一方の差異によって、前記2つの減圧空間部を異なる圧力に減圧する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の絶対位置測定装置。 - 干渉計により移動体の絶対位置を測定する絶対位置測定方法において、
前記移動体に形成された2つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、前記2つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする減圧工程と、
前記2つの減圧空間部に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて前記移動体に光を照射して干渉信号を得る2つの干渉計によって前記移動体に光を照射し干渉信号を得る工程と、
前記2つの干渉計より得られる干渉信号の位相を2つの位相検出部において検出する位相検出工程と、
前記位相検出工程で検出される2つの位相を比較する位相比較工程と、
前記位相比較工程における位相比較結果に応じて、原点を設定する原点設定工程と、
前記原点設定工程で設定された原点を基準として、前記2つの干渉計によって得られる干渉信号の少なくとも一つを用いて前記移動体の絶対位置を求める工程と、を備えた、
ことを特徴とする絶対位置測定方法。
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