JP2012112760A - 膜厚測定方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルムに偏光した光を照射し、フィルムを透過した光からリタデーションを演算し、このリタデーションとフィルムの屈折率差から膜厚を演算する。膜厚が厚く、かつ複屈折性を有するフィルムの膜厚を正確に測定できる。
【選択図】図1
Description
リタデーション=δn×d ・・・・・・・ (1)
複屈折性を有する被測定物の膜厚を測定する膜厚測定方法において、
偏光された光を被測定物に照射し、この被測定物を透過した光を分光して分光スペクトルを生成して、この分光スペクトルからリタデーションを測定する工程と、
前記測定したリタデーション、および被測定物の屈折率差から、この被測定物の膜厚を演算する工程と、
を具備したものである。膜厚が厚い被測定物でも正確な膜厚を測定できる。
前記分光スペクトルからパワースペクトルを演算し、このパワースペクトルの前記被測定物の膜厚に起因するピークから、前記被測定物の屈折率差を算出するようにしたものである。別の装置で被測定物の屈折率を測定する必要がなくなる。
複屈折性を有する被測定物の膜厚を測定する膜厚測定装置において、
偏光された光を被測定物に照射し、この被測定物を透過した光を分光して分光スペクトルを生成して、この分光スペクトルから前記被測定物のリタデーションを測定するリタデーション測定部と、
前記リタデーション測定部が測定したリタデーションが入力され、この入力されたリタデーションおよび前記被測定物の屈折率差から、前記被測定物の膜厚を演算する膜厚演算部と、
を備えたものである。膜厚が厚い被測定物でも膜厚を測定できる。
前記リタデーション測定部は、
被測定物に照射する白色光を出力する光源と、
前記光源の出力光を偏光すると共に、前記被測定物から戻ってきた光が入射される偏光板と、
前記被測定物から戻り、かつ前記偏光板を透過した光が入射され、この光の分光スペクトルを生成する分光部と、
前記分光部が生成した分光スペクトルが入力され、この分光スペクトルからリタデーションを演算して出力するリタデーション演算部と、
を備えたものである。検光板を省略できるので複雑な同期制御が必要なく、装置の構成を簡略化できる。
前記被測定物に対して、前記偏光板と反対側に配置された反射鏡を具備したものである。被測定物を透過した光の大部分を再度被測定物に戻すことができるので、正確な測定が可能になる。
前記リタデーション演算部は、
前記分光スペクトルからパワースペクトルを演算し、このパワースペクトルの前記被測定物の膜厚に起因するピークから、前記被測定物の屈折率差を算出するようにしたものである。別の装置で被測定物の屈折率を測定する必要がなくなる。
請求項1、2、3、4、5、および6の発明によれば、偏光した光を被測定物に照射し、この被測定物から戻った光を分光して分光スペクトルを生成し、この分光スペクトルに基づいてリタデーションを演算して、このリタデーションと被測定物の屈折率差から膜厚を算出するようにした。
フィルム40の膜厚=(リタデーション値)/δn ・・・・・・ (2)
なお、膜厚演算部39に屈折率差δnを入力するようにしてもよい。
δn=(T2−T1)/d ・・・・・・・ (3)
31、36 光ファイバ
32 光プローブ
33 偏光板
34 偏光板回転部
35 反射鏡
37 分光部
38 リタデーション演算部
39 膜厚演算部
40 フィルム
41〜44 パワースペクトルのピーク
Claims (6)
- 複屈折性を有する被測定物の膜厚を測定する膜厚測定方法において、
偏光された光を被測定物に照射し、この被測定物を透過した光を分光して分光スペクトルを生成して、この分光スペクトルからリタデーションを測定する工程と、
前記測定したリタデーション、および被測定物の屈折率差から、この被測定物の膜厚を演算する工程と、
を具備したことを特徴とする膜厚測定方法。 - 前記分光スペクトルからパワースペクトルを演算し、このパワースペクトルの前記被測定物の膜厚に起因するピークから、前記被測定物の屈折率差を算出するようにしたことを特徴とする請求項1記載の膜厚測定方法。
- 複屈折性を有する被測定物の膜厚を測定する膜厚測定装置において、
偏光された光を被測定物に照射し、この被測定物を透過した光を分光して分光スペクトルを生成して、この分光スペクトルから前記被測定物のリタデーションを測定するリタデーション測定部と、
前記リタデーション測定部が測定したリタデーションが入力され、この入力されたリタデーションおよび前記被測定物の屈折率差から、前記被測定物の膜厚を演算する膜厚演算部と、
を備えたことを特徴とする膜厚測定装置。 - 前記リタデーション測定部は、
被測定物に照射する白色光を出力する光源と、
前記光源の出力光を偏光すると共に、前記被測定物から戻ってきた光が入射される偏光板と、
前記被測定物から戻り、かつ前記偏光板を透過した光が入射され、この光の分光スペクトルを生成する分光部と、
前記分光部が生成した分光スペクトルが入力され、この分光スペクトルからリタデーションを演算して出力するリタデーション演算部と、
を備えたことを特徴とする請求項3記載の膜厚測定装置。 - 前記被測定物に対して、前記偏光板と反対側に配置された反射鏡を具備したことを特徴とする請求項4記載の膜厚測定装置。
- 前記リタデーション演算部は、
前記分光スペクトルからパワースペクトルを演算し、このパワースペクトルの前記被測定物の膜厚に起因するピークから、前記被測定物の屈折率差を算出するようにしたことを特徴とする請求項4若しくは請求項5記載の膜厚測定装置。
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KR20210093765A (ko) | 2020-01-20 | 2021-07-28 | 오츠카덴시가부시끼가이샤 | 광학 측정 장치 및 광학 측정 방법 |
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