JP2012106331A5 - - Google Patents
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Description
この目的を達成するため、より具体的には、本発明の非接触吸着装置は、ワーク表面と一定の間隙を介して対向する底面を有するとともに、その中央部に該底面に向けて拡開する開口部が形成された本体と、前記開口部の内部に配設された中間部材とを有し、該中間部材の端部底面の外周縁が、前記開口部の底面側外周縁より上方に位置して、前記開口部の内周面との間で全周にわたりスリットを形成し、前記中間部材の外周面を、該中間部材の底面外縁が、前記開口部の内周面に徐々に近接するようにして、前記スリットに向けて空気通路を絞り、前記開口部の上方から空気圧縮ポンプを介して供給された空気を、前記スリットを介して、前記開口部の内周面に沿い、その底面側外周縁全周に向けて噴出させ、該底面側外周縁全周から前記本体の底面に沿って、外周に向かう高速空気流を形成して、前記中間部材の端部底面と前記ワークの表面との間で形成される空間をその全周にわたり包囲することにより、該空間を負圧に維持し、前記中間部材の端部底面と前記ワークとの間に吸着空間を形成した。
Claims (2)
- ワーク表面と一定の間隙を介して対向する底面を有するとともに、その中央部に該底面に向けて拡開する開口部が形成された本体と、
前記開口部の内部に配設された中間部材とを有し、
該中間部材の端部底面の外周縁が、前記開口部の底面側外周縁より上方に位置して、前記開口部の内周面との間で全周にわたりスリットを形成し、
前記中間部材の外周面を、該中間部材の底面外縁が、前記開口部の内周面に徐々に近接するようにして、前記スリットに向けて空気通路を絞り、前記開口部の上方から空気圧縮ポンプを介して供給された空気を、前記スリットを介して、前記開口部の内周面に沿い、その底面側外周縁全周に向けて噴出させ、該底面側外周縁全周から前記本体の底面に沿って、外周に向かう高速空気流を形成して、前記中間部材の端部底面と前記ワークの表面との間で形成される空間をその全周にわたり包囲することにより、該空間を負圧に維持し、前記中間部材の端部底面と前記ワークとの間に吸着空間を形成したことを特徴とする非接触吸着装置。 - 前記本体に、前記開口部の底面側外周縁から底面に沿って外周に向かう高速空気流の噴出方向を変化させ、前記吸着空間の負圧を低減させて、前記ワークの吸着を解除する吸着解除装置を配設したことを特徴とする請求項１記載の非接触吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011224069A JP5995198B2 (ja) | 2010-10-29 | 2011-10-11 | 非接触吸着装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010243754 | 2010-10-29 | ||
| JP2010243754 | 2010-10-29 | ||
| JP2011224069A JP5995198B2 (ja) | 2010-10-29 | 2011-10-11 | 非接触吸着装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012106331A JP2012106331A (ja) | 2012-06-07 |
| JP2012106331A5 true JP2012106331A5 (ja) | 2014-09-04 |
| JP5995198B2 JP5995198B2 (ja) | 2016-09-21 |
Family
ID=46492533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011224069A Expired - Fee Related JP5995198B2 (ja) | 2010-10-29 | 2011-10-11 | 非接触吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5995198B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR101600382B1 (ko) * | 2014-05-12 | 2016-03-08 | 제트에스-핸들링 게엠베하 | 비접촉식 기판 그립핑 장치 |
| CN109677499B (zh) * | 2019-02-14 | 2024-01-16 | 河北工业大学 | 一种间隙式负压吸附爬壁机器人 |
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Family Cites Families (5)
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| JPH09181026A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造装置 |
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| KR100928674B1 (ko) * | 2009-04-07 | 2009-11-27 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 비접촉 석션 그립핑 장치 및 이를 갖는 비접촉 석션 그립핑 프레임 |
-
2011
- 2011-10-11 JP JP2011224069A patent/JP5995198B2/ja not_active Expired - Fee Related
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