JP2012106170A - 液体塗布装置及び液体塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル3の内部には、液体分配室であるマニホールド3bと、マニホールド3bから吐出口3aに通じる液体流路3cとが形成されている。ノズル3は、互いに対向して配置され、液体流路3c及び吐出口3aを形成する一対の駒部31,32を有している。また、ノズル3は、一対の駒部31,32を互いに接近又は離間させる方向に相対的に移動させ、吐出口3aの開口幅を調整する移動機構を有している。ノズル3には、マニホールド3bに接続され、マニホールド3bに塗布液を供給する液体供給流路3dが形成されている。また、ノズル3には、マニホールド3bに接続され、移動機構により吐出口3aを閉塞させた際に、液体供給流路3dを通じてマニホールド3bに供給された塗布液によりマニホールド3bから余剰分の塗布液と共にエアーを排出する排出流路3eが形成されている。
【選択図】図1
Description
ワーク径:φ230
ワーク長:300mm(必要塗布領域:上端部から10mm〜280mmの270mm間)
塗布液粘度:2mPa・s
必要塗布膜厚:2.5μm
T=0.1mm
Qb1=1.0cc
u1=0.01mm/s
S1=0.22×10−3(mm3/s)
となる。
w1=0.22cc/s
Qp=3.2cc
v1=40mm/s
w2=0.4cc/s
w3=0.4cc/s
である。式3より、マニホールド3b及び液体流路3c内の体積変化速度は、
S2=0.4cc×10−3(mm3/s)
である必要がある。また、マニホールド3b及び液体流路3c体積変化は0.01mmあたり0.22×10−3(mm3)であることから、吐出口3aの閉塞速度u2は、
u2=0.018mm/s
となる。
Claims (3)
- リング状に形成されたノズルを備え、前記ノズルの内周面には、周方向に沿うスリット状の吐出口が形成され、前記ノズルの内部には、塗布液が供給される液体分配室と、前記液体分配室から前記吐出口に通じる液体流路とが形成され、前記ノズルの内側に配置された軸芯体の軸方向に前記ノズルを相対的に移動させ、前記液体分配室に供給された塗布液を前記吐出口から吐出させて、前記軸芯体の外周面の塗布領域に塗布膜を形成する液体塗布装置において、
前記ノズルは、
互いに対向して配置され、前記液体流路及び前記吐出口を形成するリング状の一対の駒部と、
前記一対の駒部を互いに接近又は離間させる方向に相対的に移動させ、前記吐出口の開口幅を調整する移動機構と、を有し、
前記ノズルには、前記液体分配室に接続され、前記液体分配室に塗布液を供給する液体供給流路と、前記液体分配室に接続され、前記移動機構により前記吐出口を閉塞させた際に、前記液体供給流路を通じて前記液体分配室に供給された塗布液により前記液体分配室から余剰分の塗布液と共にエアーを排出する排出流路とが形成されていることを特徴とする液体塗布装置。 - 請求項1に記載の液体塗布装置を用いて、軸芯体の外周面の塗布領域に塗布膜を形成する液体塗布方法において、
前記ノズルを前記軸芯体に対して軸方向に相対的に移動させて前記ノズルの吐出口から前記軸芯体の外周面の塗布領域に塗布液を吐出する塗布工程と、
前記塗布工程終了後、前記吐出口と前記軸芯体との間の液溜りを、前記吐出口から前記液体分配室に吸引するサックバック工程と、
前記サックバック工程終了後、前記吐出口を閉塞する閉塞工程と、
前記吐出口を閉塞後、前記液体供給流路を通じて前記液体分配室に塗布液を供給することで、前記液体分配室から前記排出流路を通じて余剰分の塗布液と共にエアーを排出する排出工程と、を備えたことを特徴とする液体塗布方法。 - 前記塗布工程では、前記軸芯体の外周面の塗布領域のうち、塗布開始位置から指定位置までの領域には、前記吐出口の開口幅を一定に保ち、前記液体供給流路を通じて前記液体分配室に塗布液の供給を継続しながら、前記吐出口から塗布液を吐出し、残りの領域には、前記液体分配室への塗布液の供給を停止し、前記吐出口及び前記液体流路を漸次狭めて塗布液を吐出することを特徴とする請求項2に記載の液体塗布方法。
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