JP5856332B1 - 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ - Google Patents
微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5856332B1 JP5856332B1 JP2015084350A JP2015084350A JP5856332B1 JP 5856332 B1 JP5856332 B1 JP 5856332B1 JP 2015084350 A JP2015084350 A JP 2015084350A JP 2015084350 A JP2015084350 A JP 2015084350A JP 5856332 B1 JP5856332 B1 JP 5856332B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- liquid
- nozzle
- flow rate
- branch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 146
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 28
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 322
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 10
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Description
から吐出あるいは流出し、その後はノズル内の液体圧力が一時的に下がるので、液体の吐出あるいは流出が不安定になる。これが繰り返されてしまい、連続して一定の微細幅で線画等を描くことができない。また、ノズルに対する塗れ上がりにより塗布量が不安定になってしまう。
ノズルの流体流出口から、所定のギャップを開けて下方に位置する媒体表面に対して、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量流体を流出させる微量流体流出方法であって、
容積形ポンプを用いて、流体を一定の第1流量で連続して送り出し、送り出された流体を、流体供給路を介して、前記ノズルに向けて流し、
前記容積形ポンプから、前記流体供給路を経由して、前記ノズルの前記流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出し、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体通路から外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整して、一定の第2流量で連続して排出される前記流体分岐流を形成し、
前記ノズルの前記流体流出口から、前記媒体表面に対して、前記流体を一定の第3流量で連続して流出させ、
前記ノズルは、前記流体流出口の内径が500μm以下のノズルであり、
前記ノズルの前記流体流出口から前記微量流体を流出させる動作においては前記流体分岐流を常に形成することを特徴としている。
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに流体を供給する流体供給管と、
所定の加圧状態の流体を、前記流体供給管を介して前記ノズルに向けて供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプから、前記流体供給管を経由して、前記ノズルの流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出する流体分岐路と、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体分岐路を介して外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整する調整機構と、
を有していることを特徴としている。
。
図1は、本発明を適用した実施の形態1に係る液体ディスペンサの全体構成図である。液体ディスペンサ1は、液体ディスペンサ用微小径ノズル2(以下、単に「ノズル2」と呼ぶ場合もある。)と、このノズル2を3軸方向に移動させる移動機構3と、ノズル2に対向配置されたワークステージ4とを備えている。液体送出機構5から、液体供給管6を介して、ノズル2に液体が供給される。
ル口21からの液体の流出を止めた後に、当該ノズル口21からの液だれを防止してもよいことは勿論である。例えば、ノズル口21から微量液体を断続的に吐出する場合に、液体分岐管9に、ダイヤフラム等からなる液溜まりを接続し、液体吐出動作に同期して間欠的に液体をサックバックして、ノズル内通路23に戻すように構成することができる。
図5は、本発明を適用した実施の形態2に係る液体ディスペンサの液体通路の部分を示す説明図である。実施の形態2の液体ディスペンサ100の全体構成は、図1の液体ディスペンサ1と同様であるので、それらの説明を省略する。液体ディスペンサ100は、液体ディスペンサ1とは、液体分岐路が、液体送出機構から送出された液体をノズルに供給する液体供給路の途中に形成されている点で相違している。
図6(a)は、本発明を適用した実施の形態3に係る液体ディスペンサの液体通路の部分を示す説明図である。実施の形態3の液体ディスペンサ200の全体構成は、図1の液体ディスペンサ1と同様であるので、それらの説明は省略する。液体ディスペンサ200は、液体ディスペンサ1とは、液体分岐路が、液体送出機構の容積形ポンプ内に組み込まれている点で相違している。
11に回収される。
上記の実施の形態は、液体を塗布する場合の例である。液体として、半田ペースト、フィラー入り樹脂、スラリー等の液体を用いることができる。特に、本発明は、粘性の高い液体を流出させるために適している。
3 ノズル移動機構、4 ワークステージ、5 液体送出機構、6 液体供給管、
7 液体貯留タンク、8 容積形ポンプ、9 液体分岐管、10 調整機構、
10a 流量調整弁、11 液体回収部、12 コントローラー、13 液体、
13a 液体軸流、13b 液体分岐流、20 ノズル本体、21 ノズル口、
22 液体排出口、23 ノズル内通路、23a 先端通路部分、23b 後端、
23c テーパー状通路部分、23d 後端、23e 後側通路部分、
100 液体ディスペンサ、106 液体供給路、106a 上流側液体供給路、
106b 下流側液体供給路、109 液体分岐路、110 調整機構、
110a ニードル弁、113 液体、113a 液体、113b 液体分岐流、
120 ノズル、121 ノズル口、122 液体排出口、123 ノズル内通路、
200 液体ディスペンサ、202 ノズル、205 液体送出機構、
206 液体供給管、207 液体貯留タンク、208 容積形ポンプ、
209 液体分岐路、210 調整機構、211 液体回収部、
215 ポンプハウジング、216 偏心ねじ、217 雌ねじ部、
218 キャビティ、219 吸入口、220 モータ、221 吐出口、
222 液体排出口、223 ノズル内通路、224 ノズル口、
300 プランジャポンプ、301 シリンダ、302 プランジャ、
303 液体分岐路
Claims (4)
- ノズルの流体流出口から、所定のギャップを開けて下方に位置する媒体表面に対して、ナノリットルオーダーからピコリットルオーダーまでの範囲の微量流体を流出させる微量流体流出方法であって、
容積形ポンプを用いて、流体を一定の第1流量で連続して送り出し、送り出された流体を、流体供給路を介して、前記ノズルに向けて流し、
前記容積形ポンプから、前記流体供給路を経由して、前記ノズルの前記流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出し、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体通路から外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整して、一定の第2流量で連続して排出される前記流体分岐流を形成し、
前記ノズルの前記流体流出口から、前記媒体表面に対して、前記流体を一定の第3流量で連続して流出させ、
前記ノズルは、前記流体流出口の内径が500μm以下のノズルであり、
前記ノズルの前記流体流出口から前記微量流体を流出させる動作においては前記流体分岐流を常に形成することを特徴とする微量流体流出方法。 - 前記流体供給路の途中に流体分岐路を接続して前記流体分岐流を形成し、
前記流体分岐路に配置した流量調整弁によって、前記流体分岐流の流量を調整する請求項1に記載の微量流体流出方法。 - 請求項1に記載の微量流体流出方法により、微量流体を流出する微量流体ディスペンサであって、
内径が500μm以下のノズルと、
前記ノズルに流体を供給する流体供給管と、
所定の加圧状態の流体を、前記流体供給管を介して前記ノズルに向けて供給する容積形ポンプと、
前記容積形ポンプから、前記流体供給管を経由して、前記ノズルの流体流出口の手前まで延びる流体通路において、前記流体流出口に向かう前記流体の一部を、前記流体流出口に向かう方向とは異なる方向に分岐させて、当該流体通路から外部に排出する流体分岐路
と、
前記ノズルの前記流体流出口に向かう流体流量と、前記流体分岐路を介して外部に排出される流体分岐流の分岐流量との割合を調整する調整機構と、
を有していることを特徴とする微量流体ディスペンサ。 - 前記流体分岐路は、前記流体供給管の途中に接続した流体分岐管であり、
前記調整機構は、前記流体分岐管に配置した流量調整弁である請求項3に記載の微量流体ディスペンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015084350A JP5856332B1 (ja) | 2014-03-11 | 2015-04-16 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014047886 | 2014-03-11 | ||
JP2014047886 | 2014-03-11 | ||
JP2014156397 | 2014-07-31 | ||
JP2014156397 | 2014-07-31 | ||
JP2015084350A JP5856332B1 (ja) | 2014-03-11 | 2015-04-16 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014260709A Division JP5759058B1 (ja) | 2014-03-11 | 2014-12-24 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5856332B1 true JP5856332B1 (ja) | 2016-02-09 |
JP2016032805A JP2016032805A (ja) | 2016-03-10 |
Family
ID=53887582
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014260709A Active JP5759058B1 (ja) | 2014-03-11 | 2014-12-24 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
JP2015084350A Active JP5856332B1 (ja) | 2014-03-11 | 2015-04-16 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014260709A Active JP5759058B1 (ja) | 2014-03-11 | 2014-12-24 | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5759058B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016034638A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-17 | エンジニアリングシステム株式会社 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
CN106896046A (zh) * | 2017-01-25 | 2017-06-27 | 杭州电子科技大学 | 跨尺度运动狭缝的液滴渗流特性监测方法及装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6127239B1 (ja) * | 2016-07-28 | 2017-05-17 | クラスターテクノロジー株式会社 | ディスペンサノズルおよびそれを用いた流体分注装置 |
CN106111469B (zh) * | 2016-08-20 | 2019-01-18 | 华南理工大学 | pL级超微量补液装置及方法 |
WO2023162178A1 (ja) * | 2022-02-25 | 2023-08-31 | 三菱電機株式会社 | 溶融金属吐出装置及び溶融金属吐出方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006205164A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Nordson Corp | 容積型搬送ポンプを備える塗布装置 |
JP2006231165A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布方法 |
JP2012024704A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 液体塗布装置及び液体塗布方法 |
JP2012061444A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Nec Corp | 塗工装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2520720B2 (ja) * | 1989-03-16 | 1996-07-31 | 富士写真フイルム株式会社 | 塗布方法 |
JP5278190B2 (ja) * | 2009-06-19 | 2013-09-04 | 株式会社リコー | 画像形成装置 |
JP2011161315A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Panasonic Corp | 塗布装置 |
JP2012152972A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Seiko Epson Corp | 流路ユニット、および、流路ユニットを備える画像形成装置 |
-
2014
- 2014-12-24 JP JP2014260709A patent/JP5759058B1/ja active Active
-
2015
- 2015-04-16 JP JP2015084350A patent/JP5856332B1/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006205164A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Nordson Corp | 容積型搬送ポンプを備える塗布装置 |
JP2006231165A (ja) * | 2005-02-23 | 2006-09-07 | Fuji Photo Film Co Ltd | 塗布方法 |
JP2012024704A (ja) * | 2010-07-23 | 2012-02-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 液体塗布装置及び液体塗布方法 |
JP2012061444A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Nec Corp | 塗工装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016034638A (ja) * | 2014-07-31 | 2016-03-17 | エンジニアリングシステム株式会社 | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ |
CN106896046A (zh) * | 2017-01-25 | 2017-06-27 | 杭州电子科技大学 | 跨尺度运动狭缝的液滴渗流特性监测方法及装置 |
CN106896046B (zh) * | 2017-01-25 | 2019-07-09 | 杭州电子科技大学 | 跨尺度运动狭缝的液滴渗流特性监测方法及装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016032803A (ja) | 2016-03-10 |
JP2016032805A (ja) | 2016-03-10 |
JP5759058B1 (ja) | 2015-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5856332B1 (ja) | 微量流体流出方法および微量流体ディスペンサ | |
TWI537057B (zh) | Droplet discharge device and method | |
US9260234B2 (en) | Liquid material discharge apparatus and method | |
JP5592113B2 (ja) | 液体をパルス吐出するための装置及び方法 | |
JP2016055284A (ja) | 粘性材料の小ビードを吐出する装置及び方法 | |
TW201544186A (zh) | 塗佈裝置及塗佈方法 | |
US20240208204A1 (en) | Fluid ejector | |
WO2019181812A1 (ja) | 液体材料吐出装置 | |
US10272463B2 (en) | Non-impact jetting dispensing module and method | |
JP5922289B2 (ja) | 微量液体流出方法および微量液体ディスペンサ | |
JP6177291B2 (ja) | 液滴吐出装置および方法 | |
JP6285510B2 (ja) | 液体材料の吐出装置および方法 | |
KR20190071589A (ko) | 미량액체 도포방법 및 미량액체 디스펜서 | |
JP2018187590A (ja) | 噴霧装置と噴霧方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151210 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5856332 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |