JP2012101175A - Coater mechanism, coating method, and coating apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、液体材料を塗布対象物に塗布するための塗布機構、塗布方法、および塗布装置に関し、特に先端に液体材料が付着した針を用いて液体材料を塗布する塗布機構、塗布方法、および塗布装置に関する。 The present invention relates to an application mechanism, an application method, and an application device for applying a liquid material to an application object, and in particular, an application mechanism, an application method, and an application method for applying the liquid material using a needle having the liquid material attached to the tip. The present invention relates to a coating apparatus.
近年、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）の大型化、高精細化に伴い画素数も増大している。このため、ＬＣＤ用のカラーフィルタを無欠陥で製造することは困難で、欠陥の発生確率も増加してきている。このような状況下において、歩留まり向上のためにカラーフィルタの欠陥を修正する装置が生産ラインに不可欠となってきている。 In recent years, the number of pixels has increased with the increase in size and resolution of LCDs (Liquid Crystal Displays). For this reason, it is difficult to manufacture a color filter for LCD without defects, and the probability of occurrence of defects has increased. Under such circumstances, an apparatus for correcting a defect of a color filter is indispensable for a production line in order to improve the yield.
具体的に、カラーフィルタの製造工程においては、色が抜けてしまった白欠陥、隣の画素と色が混色してしまった黒欠陥、および異物が付着した異物欠陥などが発生する。白欠陥は、色が抜けた部分に同色のインクを塗布することで修正を行なう。黒欠陥、異物欠陥は、欠陥部分をレーザにて除去し、除去した部分に同色のインクを塗布することで修正を行なう。 Specifically, in a color filter manufacturing process, a white defect in which a color has been lost, a black defect in which a color of an adjacent pixel is mixed, a foreign object defect to which a foreign object has adhered, or the like occurs. The white defect is corrected by applying the same color ink to the part where the color is missing. The black defect and the foreign substance defect are corrected by removing the defective part with a laser and applying the same color ink to the removed part.
最近はＬＣＤでも、最大で６５インチのものが市販されており、１画素のサイズも小型パネルの３５０μｍ×１３０μｍ程度から７４０μｍ×２４０μｍ程度と非常に大きくなってきている。画素サイズが大きくなるに伴い、欠陥サイズも大きくなり、修正サイズも大きくなってきている。 Recently, even LCDs with a maximum size of 65 inches are commercially available, and the size of one pixel has become very large from about 350 μm × 130 μm to about 740 μm × 240 μm of a small panel. As the pixel size increases, the defect size increases and the correction size also increases.
このような状況において、塗布修正に要する作業時間が増大したり、従来小さな修正サイズでは問題とされなかった修正品位でも、大きな修正サイズでは目視で見える領域となるため不良となったりする問題が出てきている。 In such a situation, there is a problem that the work time required for the coating correction increases, or even a correction quality that has not been a problem with a small correction size in the past becomes an area that is visible with a large correction size and becomes defective. It is coming.
特開２００９−２６８９８２号公報（特許文献１）には、上記状況を鑑み、塗布針の先端にスリット溝を施し、先端にインクを付着させた塗布針を基板に接触させた状態で基板に対して相対移動させることにより、ライン状にインクを塗布する方法が開示されている。 In view of the above situation, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-268982 (Patent Document 1) discloses that a slit groove is formed on the tip of an application needle, and an application needle having ink attached to the tip is in contact with the substrate. In other words, a method of applying ink in a line shape is disclosed.
ところで、同じディスプレイの仲間で、最近量産が開始され始めた電子ペーパの生産工程では、図１６、図１７を参照して後述するように、下部基板と上部基板とを貼り合わせるときに、リブと呼ばれる隔壁の上部に接着剤を塗布する必要がある。特に、リブの幅が２０μｍ程度となる高精細タイプの電子ペーパの生産工程においては、リブの上部に接着剤を安定して塗布することが困難であり、技術上の課題となっている。 By the way, in the electronic paper production process that has recently started mass production with the same display companion, as described later with reference to FIGS. 16 and 17, when the lower substrate and the upper substrate are bonded together, It is necessary to apply an adhesive to the upper part of the partition called. In particular, in the production process of high-definition type electronic paper in which the width of the rib is about 20 μm, it is difficult to stably apply the adhesive on the upper portion of the rib, which is a technical problem.
前述の特開２００９−２６８９８２号公報（特許文献１）に記載の塗布方法は、微細領域に液体材料をライン状に塗布することは可能であるが、塗布できる量（ライン長さ）が短く、上述の電子ペーパの生産工程における接着剤の塗布工程のように、長い距離に連続して塗布するような用途には適さない。 Although the coating method described in the above-mentioned JP-A-2009-268982 (Patent Document 1) can apply a liquid material to a fine region in a line shape, the amount that can be applied (line length) is short, Like the above-described adhesive application process in the electronic paper production process, it is not suitable for applications in which application is continuously performed over a long distance.
本発明の主たる目的は、塗布針を用いて液体材料を塗布する場合において、従来よりも長い距離の塗布が可能となる手段を提供することである。 The main object of the present invention is to provide means that enables application over a longer distance than in the past when applying a liquid material using an application needle.
この発明は一局面において塗布機構であって、液体容器と塗布針とを備える。液体容器は、液体材料を収納し、底部に貫通孔が形成される。塗布針は、先端に平坦面が形成され、液体材料が付着した平坦面を塗布対象物に接触させることによって液体材料を塗布対象物に塗布するため用いられる。塗布針の先端部には、先端に向かって細くなるテーパ部が形成される。塗布針には、先端から上方に向かって、テーパ部の少なくとも一部および平坦面の各々を分割するように１または複数のスリット溝が形成される。塗布対象物に液体材料を塗布するときに液体材料を平坦面に導くために、塗布針は、液体容器の貫通孔を貫通するとともに１または複数のスリット溝の上端が液体容器の底部よりも上方に位置するように液体容器に対して配置される。 This invention is an application | coating mechanism in one situation, Comprising: A liquid container and an application needle | hook are provided. The liquid container stores a liquid material, and a through hole is formed at the bottom. The application needle has a flat surface formed at the tip, and is used to apply the liquid material to the application object by bringing the flat surface to which the liquid material has adhered into contact with the application object. A tapered portion that narrows toward the tip is formed at the tip of the application needle. In the application needle, one or a plurality of slit grooves are formed so as to divide at least a part of the tapered portion and each of the flat surfaces upward from the tip. In order to guide the liquid material to a flat surface when applying the liquid material to the application target, the application needle penetrates the through hole of the liquid container and the upper end of one or more slit grooves is higher than the bottom of the liquid container It arrange | positions with respect to a liquid container so that it may be located in.
好ましくは、塗布針には、さらに、１または複数のスリット溝の上端において塗布針を径方向に貫通する孔が形成される。 Preferably, the application needle is further formed with a hole penetrating the application needle in the radial direction at the upper end of the one or more slit grooves.
好ましくは、１または複数のスリット溝の各々の溝幅は、先端から上方に向かって広がっている。 Preferably, the groove width of each of the one or more slit grooves widens upward from the tip.
この発明は他の局面において塗布方法であって、液体材料を収納し、底部に貫通孔が形成された液体容器と、先端に平坦面が形成された塗布針とを準備するステップを備える。塗布針の先端部には、先端に向かって細くなるテーパ部が形成される。塗布針には、先端から上方に向かって、テーパ部の少なくとも一部および平坦面の各々を分割するように１または複数のスリット溝が形成される。この塗布方法は、さらに、液体材料を平坦面に導くために、液体容器の貫通孔を貫通するとともに１または複数のスリット溝の上端が液体容器の底部よりも上方に位置するように、塗布針を液体容器に対して配置するステップと、塗布針の液体容器に対する配置を保った状態で、液体材料が付着した平坦面を塗布対象物に接触させることによって液体材料を塗布対象物に塗布するステップとを備える。 This invention is an application method in another aspect, comprising a step of preparing a liquid container containing a liquid material and having a through hole formed at the bottom, and an application needle having a flat surface formed at the tip. A tapered portion that narrows toward the tip is formed at the tip of the application needle. In the application needle, one or a plurality of slit grooves are formed so as to divide at least a part of the tapered portion and each of the flat surfaces upward from the tip. The application method further includes an application needle that penetrates the through hole of the liquid container and that the upper end of one or more slit grooves is positioned above the bottom of the liquid container in order to guide the liquid material to a flat surface. A step of applying the liquid material to the application target by bringing the flat surface to which the liquid material has adhered into contact with the application target while maintaining the arrangement of the application needle with respect to the liquid container. With.
好ましくは、平坦面は、塗布針の軸線に対して垂直に形成される。この場合、上記の塗布するステップでは、塗布針の軸線は塗布対象物の表面に対して垂直に保たれる。 Preferably, the flat surface is formed perpendicular to the axis of the application needle. In this case, in the application step, the axis of the application needle is kept perpendicular to the surface of the object to be applied.
好ましくは、上記の塗布するステップは、液体材料が付着した平坦面を塗布対象物に接触させた状態で、塗布針を塗布対象物に対して相対移動させることによって液体材料を塗布対象物に線状に塗布するステップを含む。 Preferably, the step of applying is performed by moving the application needle relative to the application object in a state where the flat surface on which the liquid material is adhered is in contact with the application object, thereby linearly applying the liquid material to the application object. A step of applying in a shape.
好ましくは、上記の塗布するステップは、液体材料が付着した平坦面を塗布対象物に接触させた状態で、塗布針を塗布対象物に対して相対移動させることによって液体材料を塗布対象物に線状に塗布する第１ステップと、第１ステップで塗布された液体材料の厚みよりも少ない高さだけ先端を塗布対象物の表面から離間させた状態で、塗布針を塗布対象物に対して第１ステップと逆方向に相対移動させることによって第１ステップで塗布された線状の液体材料に重ねて液体材料を塗布する第２ステップとを含む。 Preferably, the step of applying is performed by moving the application needle relative to the application object in a state where the flat surface on which the liquid material is adhered is in contact with the application object, thereby linearly applying the liquid material to the application object. A first step of applying the coating material in a shape, and the application needle with respect to the application target in a state where the tip is separated from the surface of the application target by a height less than the thickness of the liquid material applied in the first step. And a second step of applying the liquid material so as to overlap the linear liquid material applied in the first step by relatively moving in the opposite direction to the one step.
好ましくは、上記の塗布するステップは、塗布針を塗布対象物に対して塗布対象物の表面に沿った塗布方向に相対移動させながら、液体材料の付着した平坦面が塗布対象物に接触するまで塗布針と塗布対象物とを互いに接近させるステップと、液体材料の付着した平坦面が塗布対象物に接触した後、塗布方向への相対移動を継続することによって液体材料を塗布対象物に線状に塗布するステップと、塗布方向への相対移動を継続させながら塗布針と塗布対象物とを引き離すことによって液体材料の塗布を終了するステップとを含む。 Preferably, the application step includes the step of moving the application needle relative to the application object in the application direction along the surface of the application object until the flat surface to which the liquid material adheres contacts the application object. The step of bringing the application needle and the application object close to each other, and after the flat surface to which the liquid material adheres contact the application object, the liquid material is linearly applied to the application object by continuing relative movement in the application direction. And the step of ending the application of the liquid material by separating the application needle and the application object while continuing the relative movement in the application direction.
好ましくは、上記の塗布するステップは、液体材料が付着した平坦面を塗布対象物に接触させた状態で、塗布針の先端の軌跡が鋸歯状になるとともに既に塗布された液体材料の一部と新たに塗布した液体材料とが重なるように、塗布針を塗布対象物に対して相対移動させるステップを含む。 Preferably, in the application step, the locus of the tip of the application needle is serrated in a state where the flat surface to which the liquid material adheres is in contact with the object to be applied, and a portion of the liquid material that has already been applied. The method includes a step of moving the application needle relative to the application target so that the newly applied liquid material overlaps.
好ましくは、上記の塗布するステップは、液体材料が付着した平坦面を塗布対象物に接触させた状態で、塗布針の先端の軌跡が渦巻状になるとともに既に塗布された液体材料の一部と新たに塗布した液体材料とが重なるように、塗布針を塗布対象物に対して相対移動させるステップを含む。 Preferably, in the application step, the tip of the application needle has a spiral trajectory in a state where the flat surface to which the liquid material adheres is in contact with the application object, and a part of the liquid material that has already been applied. The method includes a step of moving the application needle relative to the application target so that the newly applied liquid material overlaps.
好ましくは、上記の塗布するステップは、液体材料を介して平坦面と塗布対象物とが接触している状態を維持しながら、塗布針と塗布対象物とを徐々に離間させるステップを含む。 Preferably, the step of applying includes a step of gradually separating the application needle and the application object while maintaining a state where the flat surface and the application object are in contact with each other through the liquid material.
この発明は、さらに他の局面において塗布装置であって、上記の塗布機構と、観察光学機構、硬化機構、駆動機構、制御装置、および入力装置とを備える。観察光学機構は、液体材料の塗布位置を観察するために設けられる。硬化機構は、塗布した液体材料を硬化させる。駆動機構は、上記の塗布機構、観察光学機構、および硬化機構を、塗布対象物に対して垂直方向および水平方向に相対的に移動可能とする。制御装置は、駆動機構の動きを制御する。入力装置は、制御装置に駆動指令を入力する。 In still another aspect, the present invention is a coating apparatus including the above-described coating mechanism, an observation optical mechanism, a curing mechanism, a driving mechanism, a control device, and an input device. The observation optical mechanism is provided for observing the application position of the liquid material. The curing mechanism cures the applied liquid material. The drive mechanism enables the application mechanism, the observation optical mechanism, and the curing mechanism to move relative to the application target in the vertical direction and the horizontal direction. The control device controls the movement of the drive mechanism. The input device inputs a drive command to the control device.
この発明は、さらに他の局面において塗布機構であって、液体容器と塗布針とを備える。液体容器は、液体材料を収納し、底部に貫通孔が形成される。塗布針は、先端に平坦面が形成され、液体材料が付着した平坦面を塗布対象物に接触させることによって液体材料を塗布対象物に塗布するために用いられる。塗布針の先端部には、先端に向かって細くなるテーパ部が形成される。塗布針には、先端から上方に向かって、テーパ部の少なくとも一部および平坦面の各々を分割するように１または複数のスリット溝が形成される。塗布針の表面には、１または複数のスリット溝のいずれかと接続して、塗布針の上方に向かって１または複数の表面溝が形成される。塗布対象物に液体材料を塗布するときに液体材料を平坦面に導くために、塗布針は、液体容器の貫通孔を貫通するとともに１または複数の表面溝の上端が液体容器の底部よりも上方に位置するように液体容器に対して配置される。 In still another aspect, the present invention is an application mechanism, which includes a liquid container and an application needle. The liquid container stores a liquid material, and a through hole is formed at the bottom. The application needle has a flat surface formed at the tip, and is used to apply the liquid material to the application object by bringing the flat surface to which the liquid material has adhered into contact with the application object. A tapered portion that narrows toward the tip is formed at the tip of the application needle. In the application needle, one or a plurality of slit grooves are formed so as to divide at least a part of the tapered portion and each of the flat surfaces upward from the tip. One or a plurality of surface grooves are formed on the surface of the application needle so as to be connected to one of the one or a plurality of slit grooves. In order to guide the liquid material to a flat surface when applying the liquid material to the application object, the application needle penetrates the through hole of the liquid container and the upper end of one or more surface grooves is above the bottom of the liquid container It arrange | positions with respect to a liquid container so that it may be located in.
この発明によれば、塗布針を基板に接触させて塗布を行なうとき、塗布針に形成されたスリット溝の毛細管現象により、液体容器内の液体材料を塗布針先端に供給しながら塗布することができるため、塗布針方式の特長である微細幅でのライン状の塗布を従来よりも長い距離にわたって行なうことができる。 According to the present invention, when coating is performed by bringing the coating needle into contact with the substrate, the liquid material in the liquid container can be applied while being supplied to the tip of the coating needle due to the capillary phenomenon of the slit groove formed in the coating needle. Therefore, line-shaped coating with a fine width, which is a feature of the coating needle method, can be performed over a longer distance than before.
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、同一または相当する部分には同一の参照符号を付して、その説明を繰返さない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated.
［塗布針の構成］
図１は、この発明の実施の一形態による塗布針１の構成を示す図である。図１（Ａ）には塗布針１の側面図が示され、図１（Ｂ）には塗布針１の底面図（塗布針１の先端側から見た図）が示され、図１（Ｃ）には図１（Ａ）のＩＣ−ＩＣ線に沿った断面図が示される。
[Composition of application needle]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an
図１（Ａ）〜（Ｃ）を参照して、塗布針１の先端には平坦面３が形成され、平坦面３を含む塗布針１の先端部には、先端に向かって細くなる（すなわち、先端に近接するにつれて軸線に垂直な断面の面積が小さくなる）テーパ部２が形成される。平坦面３は、塗布針１の軸線に対して垂直に形成されていることが望ましい。
Referring to FIGS. 1A to 1C, a
さらに、塗布針１には、平坦面３およびテーパ部２をそれぞれ２分割するように、塗布針１の先端から塗布針１の上方に向かってすり割り加工が施され、これによりスリット溝５が形成される。図１の場合、スリット溝５は、平坦面３から始まってテーパ部２上方の棒状部４の途中まで、塗布針１の軸線に沿って形成される。なお、スリット溝がテーパ部２の下部のみに形成されていてもよく、この場合、テーパ部２の一部および平坦面３がスリット溝によって分割される。
Further, the
さらに、図１に示すように、塗布針１には、スリット溝５の上端において、塗布針１を径方向に貫通する孔６がさらに形成されることが望ましい。
Furthermore, as shown in FIG. 1, it is desirable that the
［塗布機構の構成］
図２は、図１の塗布針１を備えた塗布機構２５の構成を示す図である。図２において基板２６はＸＹ平面に沿って設けられているとし、基板２６に垂直な方向（図面の上下方向）をＺ軸方向とする。
[Configuration of coating mechanism]
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the
図２に示すように、塗布機構２５は、液体材料１０が収納された液体容器１１と、図１で説明した塗布針１とを含む。液体容器１１の底部１３には貫通孔１４が形成されている。液体材料１０を塗布対象物（図２の場合、基板２６）の表面に塗布するときには、塗布針１は貫通孔１４を貫通するとともに、スリット溝５の上端が液体容器１１の底部１３よりも上方に位置するように配置される。このような配置によって、液体容器１１に収納された液体材料１０がスリット溝５の毛細管現象によって塗布針１の先端の平坦面３まで導かれる。このとき、平坦面３には表面張力によって液体材料が盛り上がって付着する。この液体材料が付着した平坦面３を基板２６の表面に接触させることによって、基板２６に接触した液体材料１０が呼び水となってスリット溝５から液体材料が引き出されて基板２６に塗布される。
As shown in FIG. 2, the
呼び水となる液体材料の量が少ないと、スリット溝５から液体材料を引き出す効果が小さくなってしまい、液体材料を引き出すこと自体できなくなってしまう。したがって、平坦面３と基板２６の表面とが平行になるようにして塗布針１を基板２６に接触させることが重要である。平坦面３が塗布針１の軸線に垂直に形成されている場合、液体材料１０を塗布する際に、塗布針１の軸線を基板２６の表面に垂直な方向（Ｚ軸方向）に保つ必要がある。
If the amount of liquid material serving as priming water is small, the effect of pulling out the liquid material from the
スリット溝５の上端において塗布針１に形成された孔６は、スリット溝５に液体材料１０を均一に供給するために設けられている。
A
図３は、（Ａ）待機状態と（Ｂ）塗布状態とにおける塗布針１と液体容器１１との位置関係を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing the positional relationship between the
図３を参照して、塗布機構２５は、塗布針１を保持する保持部７と、保持部７を液体容器１１に対して上下方向（Ｚ軸方向）に駆動する塗布針駆動機構（図示省略）とをさらに含む。塗布機構２５は、液体材料１０を塗布しないとき（待機状態）には、図３（Ａ）に示したように、塗布針駆動機構によって塗布針１を液体容器１１内に収納し、これにより塗布針１に付着した液体材料１０の乾燥を防ぐ構成となっている。液体材料１０を塗布するとき（塗布状態）には、図３（Ｂ）に示したように、塗布機構２５は、塗布針駆動機構によって塗布針１を液体容器１１の底部１３の貫通孔１４から突出させる。この状態で、塗布針１の先端の平坦面３と基板２６の表面とが接触することによって液体材料１０が基板２６に塗布される。
Referring to FIG. 3, the
［塗布針の変形例］
図４は、塗布針の変形例を示す図である。図４（Ａ）には塗布針１Ａの側面図が示され、図４（Ｂ）には塗布針１Ａの底面図（針の先端側から見た図）が示される。図４に示すように、塗布針１Ａには、先端から見て十字になるように互いに直交する２つのスリット溝５Ａ，５Ｂが形成される。平坦面３およびテーパ部２の各々は、スリット溝５Ａ，５Ｂによって４つに分割される。図４の変形例として、先端から見てＹ字になるように互いに１２０度間隔で３つのスリット溝を形成してもよい。この場合、平坦面３およびテーパ部２の各々はスリット溝によって３つに分割される。
[Modification of application needle]
FIG. 4 is a view showing a modification of the application needle. 4A shows a side view of the
図５は、塗布針の他の変形例を示す図である。図５（Ａ）には塗布針１Ｂの側面図が示され、図５（Ｂ）には塗布針１Ｂの底面図（針の先端側から見た図）が示される。図５に示すように、塗布針１Ｂに形成されたスリット溝５Ｃは、先端から離れるほど溝幅が徐々に広くなる。この結果、図１の塗布針１に比べて塗布針の先端への液体材料１０の供給速度を速くすることができる。
FIG. 5 is a view showing another modification of the application needle. FIG. 5A shows a side view of the
図６は、塗布針のさらに他の変形例を示す図である。図６（Ａ）には塗布針１Ｃの側面図が示され、図６（Ｂ）には塗布針１Ｃの底面図（針の先端側から見た図）が示される。図６に示すように、塗布針１Ｃに形成されたスリット溝５Ｄは、先端に近い部分の溝幅が相対的に狭く（図１の場合と同じ溝幅）、先端から離れた部分の溝幅が相対的に広い。この結果、図１の塗布針１に比べて塗布針の先端への液体材料１０の供給速度を速くすることができる。
FIG. 6 is a view showing still another modified example of the application needle. FIG. 6A shows a side view of the
図７は、塗布針のさらに他の変形例を示す図である。図７（Ａ）には塗布針１Ｄの側面図が示され、図７（Ｂ）には塗布針１Ｄの底面図（針の先端側から見た図）が示され、図７（Ｃ）には図７（Ａ）のＶＩＩＣ−ＶＩＩＣ線に沿った断面図が示される。
FIG. 7 is a view showing still another modified example of the application needle. FIG. 7A shows a side view of the
図７に示す塗布針１Ｄには、下端がスリット溝５Ｅの上端と接続して塗布針１Ｄの上方に向かう表面溝８Ａ，８Ｂがさらに形成される。表面溝８Ａ，８Ｂは塗布針１Ｄの表面部のみに形成され、溝の深さは塗布針１Ｄの中心軸までは達しない。図７の場合、スリット溝５Ｅは平坦面３からテーパ部２の上部にわたって形成され、表面溝８Ａはテーパ部２の上部から棒状部４の下部にわたって形成される。なお、表面溝は図７に示した２本に限らず、スリット溝５Ｅに接続するように何本形成してよい。
The
図７の塗布針１Ｄを用いて液体材料１０を塗布対象物の表面に塗布するときには、塗布針１Ｄは図２の液体容器１１の底部１３に設けられた貫通孔１４を貫通するとともに、表面溝８Ａ，８Ｂの上端が液体容器１１の底部１３よりも上方に位置するように配置される。このように配置されることによって、図２の液体容器１１に収納された液体材料１０が表面溝８Ａ，８Ｂおよびスリット溝５Ｅの毛細管現象によって塗布針１Ｄの先端の平坦面３まで導かれる。
When applying the
［液体材料塗布装置の構成］
図８は、図２に示した塗布機構２５を搭載した液体材料塗布装置の全体構成を示す斜視図である。図８に示す液体材料塗布装置は、大きく分類すると、観察光学系３０、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ３１、レーザ３２、塗布機構２５、および硬化用照明３３から構成されるヘッド部と、このヘッド部を基板２６（塗布対象物）に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸駆動機構２７と、Ｚ軸駆動機構２７を搭載してＸ軸方向に移動させるためのＸ軸駆動機構２８と、基板２６（塗布対象物）を載置するためのテーブル３４と、テーブル３４をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸駆動機構２９と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ３５と、制御用コンピュータ３５に作業者からの指令を入力するための操作パネル３６とを含む。
[Configuration of liquid material applicator]
FIG. 8 is a perspective view showing the overall configuration of the liquid material coating apparatus equipped with the
観察光学系３０は、塗布対象物である基板２６の表面状態や、塗布機構２５によって塗布された液体材料１０の状態を観察するためのものである。観察光学系３０によって観察される画像は、ＣＣＤカメラ３１により電気信号に変換され、制御用コンピュータ３５のモニタ画面に表示される。硬化用照明３３は、塗布機構２５で塗布された液体材料１０を硬化させるための光を照射する。液体材料１０が紫外線硬化タイプの場合は、紫外線照明が硬化用照明３３として選択されて装置に搭載される。液体材料１０が熱硬化タイプの場合は、ハロゲン照明が硬化用照明３３として選択されて装置に搭載される。レーザ３２は、液体材料塗布装置をＬＣＤ用カラーフィルタの欠陥修整に用いる場合に、黒欠陥や異物欠陥を除去するために用いられる。
The observation optical system 30 is for observing the surface state of the
図８の装置は、Ｘ軸駆動機構２８およびＺ軸駆動機構２７によってヘッド部をＸ軸方向およびＺ軸方向にそれぞれ沿って移動させ、Ｙ軸駆動機構２９によってテーブル３４をＹ軸方向に移動させる構成であったが、駆動機構の構成は図８に示したものに限られない。図２の塗布針１を塗布対象物（基板２６）に対して相対的に移動可能とすればよいので、たとえば、駆動機構はヘッド部およびテーブル３４のうちいずれか一方を任意の方向に移動可能とするように構成されていてもよい。 In the apparatus of FIG. 8, the head portion is moved along the X-axis direction and the Z-axis direction by the X-axis drive mechanism 28 and the Z-axis drive mechanism 27, respectively, and the table 34 is moved in the Y-axis direction by the Y-axis drive mechanism 29. The configuration of the drive mechanism is not limited to that shown in FIG. 2 only needs to be movable relative to the application target (substrate 26). For example, the drive mechanism can move either the head unit or the table 34 in any direction. It may be configured as follows.
［液体材料塗布装置を用いた液体材料の塗布手順］
図９は、図８に示す液体材料塗布装置を用いて液体材料を塗布する手順を示すフローチャートである。
[Procedure for applying liquid material using liquid material applicator]
FIG. 9 is a flowchart showing a procedure for applying a liquid material using the liquid material applying apparatus shown in FIG.
図２、図８、図９を参照して、まず、ステップＳ１で、図３で説明したように図２に示す塗布機構２５は、塗布針１を液体容器１１の底部１３の貫通孔１４から突出させることによって、待機状態から塗布状態に移行する。
2, 8, and 9, first, in step S <b> 1, as described in FIG. 3, the
次のステップＳ２で、図８のＺ軸駆動機構２７は、塗布針１の先端と基板２６の表面とが接触するまで、ヘッド部をテーブル３４に接近させる。液体材料の付着した塗布針先端の平坦面３と基板２６の表面とが接触することによって塗布が開始される。
In the next step S <b> 2, the Z-axis drive mechanism 27 in FIG. 8 moves the head portion closer to the table 34 until the tip of the
次のステップＳ３で、図８のＸ軸駆動機構２８、Ｙ軸駆動機構２９、およびＺ軸駆動機構２７は、ヘッド部およびテーブル３４の少なくとも一方を移動させることによって、液体材料の付着した塗布針１の先端と基板２６の表面との接触を保った状態で、塗布針１を基板２６に対して相対移動させる。このとき、塗布針１を基板２６に対してどのように相対移動させるかによって、基板２６に塗布される塗布膜の形状や厚みを変化させることができる。
In the next step S3, the X-axis drive mechanism 28, the Y-axis drive mechanism 29, and the Z-axis drive mechanism 27 in FIG. 8 move the at least one of the head portion and the table 34 to thereby apply the application needle to which the liquid material is adhered. The
次のステップＳ４で、図８のＺ軸駆動機構２７は、ヘッド部をテーブル３４に対して上方に移動させることによって、塗布針１の先端と基板２６の表面とを引き離す。この結果、塗布が終了する。１つの基板２６の複数箇所に塗布を行なう場合や、複数の基板２６への塗布を連続して行なう場合にはステップＳ２〜Ｓ４が繰返される。
In the
次のステップＳ５で、図２の塗布機構２５は、図３で説明したように塗布針１を液体容器１１内に収納することによって、待機状態に戻る。
In the next step S5, the
次に、図１０を参照して、最も基本的な例として液体材料をライン状（線状）に塗布する方法について説明する。 Next, with reference to FIG. 10, a method of applying a liquid material in a line shape (line shape) will be described as the most basic example.
図１０は、液体材料をライン状に塗布する方法について説明するための図である。図１０（Ａ）の平面図には、基板２６上に塗布された塗布膜１２の平面形状が示され、図１０（Ｂ）の断面図には、塗布機構２５による塗布動作が示される。
FIG. 10 is a diagram for explaining a method of applying a liquid material in a line shape. 10A shows the planar shape of the
図８、図９で説明したように、塗布針１が液体容器１１の底部１３に設けられた貫通孔１４から突出した状態で（図９のステップＳ１）、図８のＺ軸駆動機構２７は、塗布針１の先端を基板２６に接触させる（図９のステップＳ２）。その後、図８のＸ軸駆動機構２８が塗布針１を基板２６に対して相対的にスライド移動させることによって、ライン状の塗布が行なわれる（図９のステップＳ３）。ここで、スライド移動とは、塗布針１の先端と塗布対象物である基板２６の表面との距離を一定に保った状態で塗布針１または基板２６を移動させることをいい、図１０の場合には、図８のＸ軸駆動機構２８によって塗布針１を含むヘッド部全体が基板面と平行なＸ軸方向に移動する。塗布針１のスライド移動中には、塗布針１の先端と液体容器１１の内部とがスリット溝５を介して連通していることにより、スリット溝５による毛細管現象で、液体材料１０が塗布針１の先端に供給され続ける。この結果、塗布針方式の特徴である微細幅でライン状の塗布を従来よりも長い距離に渡って行なうことが可能となる。
As described with reference to FIGS. 8 and 9, the Z-axis drive mechanism 27 in FIG. 8 is in a state where the
図５および図６で説明したスリット溝５Ｃ，５Ｄを有する塗布針１Ｂ，１Ｃを用いた場合には、図１に示した塗布針１に比べて塗布針の先端への液体材料１０の供給速度を速くすることができる。この結果、塗布針のスライド移動の速度を速くすることができるので、塗布時間を短縮することができる。
When the application needles 1B and 1C having the
図１１は、図１０で示したライン状の塗布において、膜厚をより厚く塗布する方法を説明するための図である。図１１（Ａ）〜（Ｃ）の断面図には、塗布機構２５による塗布動作が時間順に示される。
FIG. 11 is a diagram for explaining a method of applying a thicker film in the linear application shown in FIG. In the cross-sectional views of FIGS. 11A to 11C, the coating operation by the
図１１（Ａ）に示した塗布動作は、前述の図１０の場合と同じである。このとき、基板２６上に塗布された塗布膜１２Ａの厚みをｔ１とする。次に図１１（Ｂ）に示すように、図８のＺ軸駆動機構２７は、図１１（Ａ）の状態から、塗布膜１２Ａの厚みｔ１の１／２程度まで（このときの基板表面からの高さをｔ０とする）塗布針１を上昇させる。この高さｔ０を保った状態で、図８のＸ軸駆動機構２８は、図１１（Ｃ）に示したように、図１１（Ａ）でのスライド移動の方向と逆方向に塗布針１を基板２６に対してスライド移動させる。この結果、最初に塗布した液体材料の上に重ねて塗布を行なうことができるので、塗布針１を上昇させずに塗布した場合よりも、最終的な塗布膜１２Ａの膜厚ｔ２を厚くすることができる。
The application | coating operation | movement shown to FIG. 11 (A) is the same as the case of above-mentioned FIG. At this time, the thickness of the
図１２は、図１０に示した塗布方法の変形例を説明するための図である。図１２（Ａ）の平面図には、基板２６上に塗布された塗布膜１２Ｂの平面形状が示され、図１２（Ｂ）の断面図には、塗布機構２５による塗布動作が示される。
FIG. 12 is a view for explaining a modification of the coating method shown in FIG. 12A shows the planar shape of the coating film 12B applied on the
図１０に示した塗布方法では、塗布針１が最初に接触する塗布開始点と塗布針１が上昇する塗布終了点とで塗布針１のスライド移動が停止する。このため、塗布針１が同じ位置に滞留することにより、塗布開始点と塗布終了点とで液体材料１０の塗布量が多くなってしまう場合がある。この課題を解決する塗布方法を示したのが図１２である。
In the application method shown in FIG. 10, the sliding movement of the
塗布開始点で塗布針１が最初に基板２６の表面に接触するときに（図９のステップＳ２）、塗布針１が停止する時間を無くすため、塗布針１を基板２６に対して平行な方向に相対移動させながら塗布開始点に接触させるようにしている。具体的に図１２の場合には、図８のＺ軸駆動機構２７が塗布機構２５（ヘッド部）をＺ軸方向の下方に移動させるともに、Ｘ軸駆動機構２８が塗布機構２５（ヘッド部）をＸ軸方向に移動させる。この結果、図１２に示すように、塗布針１の先端は円弧状の軌跡ＬＣ１を描いて基板２６に到達する。
When the
塗布針１と基板２６とが接触した後も、Ｘ軸駆動機構２８は、基板２６に平行な方向に塗布針１を継続してスライド移動させる。この結果、基板２６上にライン状の塗布膜１２Ｂが塗布される。
Even after the
塗布終了点でも、塗布針１を基板２６に平行な方向に相対移動させながら塗布針１を上昇させることで、塗布終了点で塗布針１が停止しないようにしている。この場合、図１２に示すように、塗布針１の先端は円弧状の軌跡ＬＣ２を描いて基板２６から離れる。
Even at the application end point, the
このように液体材料を塗布することによって、図１０に示す塗布方法では塗布開始点と終了点とで塗布量が多くなってしまうような性質の液体材料１０を塗布する場合でも、均一なライン幅で液体材料１０を塗布することが可能になる。
Even when the
図１３は、図１０の場合よりも幅広でかつ均一の塗布を効率的に行なう方法について説明するための図である。図１３（Ａ）の平面図には、基板２６上に塗布された塗布膜１２Ｃの平面形状および塗布針１の先端の軌跡ＬＣ３が示され、図１３（Ｂ）の断面図には、塗布機構２５による塗布動作が示される。
FIG. 13 is a diagram for explaining a method for efficiently performing a uniform and wider application than in the case of FIG. The plan view of FIG. 13A shows the planar shape of the coating film 12C applied on the
図１３に示すように、液体材料が付着した塗布針１の先端と基板２６の表面とを接触させた状態で、図８のＸ軸駆動機構２８およびＹ軸駆動機構２９は、塗布針１を基板２６に対して鋸歯状にスライド移動させる。このとき、既に塗布された液体材料の一部と新たに塗布する液体材料とが基板上で重なるように、塗布針１を基板２６に対して相対移動させる。この結果、塗布針１の先端によって既に塗布された液体材料が均されるので、広い塗布幅Ｗ１で均一な厚みの塗布膜１２Ｃを生成することが可能になる。
As shown in FIG. 13, the X-axis drive mechanism 28 and the Y-axis drive mechanism 29 in FIG. 8 hold the
液体材料を幅広に塗布する場合、ライン状の塗布を平行に少しずつずらして行なう方法もあるが、この場合、ライン状の塗布痕が残り易く、均一な膜厚で塗布するのは難しい。図１３に示したように、塗布針１を鋸歯状に移動させながら塗布することで、攪拌効果により均一な塗布が可能になる。
When the liquid material is applied broadly, there is a method in which the line-like application is shifted little by little in parallel, but in this case, the line-like application marks are likely to remain and it is difficult to apply with a uniform film thickness. As shown in FIG. 13, by applying the
図１４は、円形の塗布を均一に行なう方法について説明するための図である。図１４（Ａ）の平面図には、基板２６上に塗布された塗布膜１２Ｄの平面形状および塗布針１の先端の軌跡ＬＣ４が示され、図１４（Ｂ）の断面図には、塗布機構２５による塗布動作が示される。
FIG. 14 is a diagram for explaining a method of uniformly applying a circular application. The plan view of FIG. 14A shows the planar shape of the
図１４の場合には、液体材料が付着した塗布針１の先端と基板２６の表面とを接触させた状態で、図８のＸ軸駆動機構２８およびＹ軸駆動機構２９は、塗布針１を基板２６に対して渦巻状に（すなわち、少しずつ半径を拡大または縮小させながら円弧状に）スライド移動させる。このとき、図１３の場合と同様に、既に塗布された液体材料の一部と新たに塗布する液体材料とが基板上で重なるように、塗布針１を基板２６に対して相対移動させることによって、攪拌効果により均一な膜厚での塗布が可能になる。
In the case of FIG. 14, the X-axis drive mechanism 28 and the Y-axis drive mechanism 29 in FIG. 8 hold the
図１５は、同一箇所に液体材料を盛り上げて塗布する方法について説明するための図である。図１５（Ａ）の平面図には、基板２６上に塗布された塗布膜１２Ｅの平面形状が示され、図１５（Ｂ）の断面図には、塗布機構２５による塗布動作が示される。
FIG. 15 is a diagram for explaining a method for enlarging and applying a liquid material to the same location. The plan view of FIG. 15A shows the planar shape of the
図１５に示すように、図８のＺ軸駆動機構２７は、塗布針１を基板２６に対して少しずつ上昇させることによって、液体材料を介して塗布針１の先端と基板２６の表面とが接触している状態を維持しながら液体材料を基板２６に塗布する。これによって、基板上の同一箇所に液体材料を盛り上げて塗布することができる。液体材料の盛り上がり方は液体材料の粘度や乾燥性によって異なるため、塗布針１を上昇させる速度は、予め塗布テストを行なって決定する必要がある。
As shown in FIG. 15, the Z-axis drive mechanism 27 in FIG. 8 raises the
［電子ペーパの生産工程への適用例］
上記で説明した塗布機構および塗布方法を電子ペーパの生産工程へ適用した例について説明する。
[Example of application to the production process of electronic paper]
An example in which the coating mechanism and the coating method described above are applied to an electronic paper production process will be described.
図１６は、電子ペーパの構造の一例を示す図である。図１６（Ａ）には電子ペーパの平面図が示され、図１６（Ｂ）には図１６（Ａ）の一部４９の拡大図が示され、図１６（Ｃ）には図１６（Ｂ）のＸＶＩＣ−ＸＶＩＣ線に沿った断面図が示される。
FIG. 16 is a diagram illustrating an example of the structure of electronic paper. 16A shows a plan view of the electronic paper, FIG. 16B shows an enlarged view of a
図１６に示す構造の電子ペーパでは、２枚のガラス基板（上部基板４０Ａ、下部基板４０Ｂ）の間にリブ４１で仕切った小部屋４３が設けられる。各小部屋４３が１つの画素に対応する。各小部屋４３にはプラスに帯電した電子粉流体とマイナスに帯電した電子粉流体とが閉じ込められる。リブ４１の高さＨｒｂは２０〜１００μｍ程度であり、リブ４１の幅Ｗｒｂは２０μｍ程度である。
In the electronic paper having the structure shown in FIG. 16, a small chamber 43 partitioned by
図１７は、図１６の電子ペーパにおいて下部基板と上部基板とを貼り合わせる工程について説明するための図である。図１７を参照して、下部基板４０Ｂと上部基板４０Ａとを貼り合わせるときに、リブ４１と呼ばれる隔壁の上部に接着剤４２が塗布される。このとき、リブ４１の幅が２０μｍ程度となる高精細タイプの電子ペーパの生産工程においては、従来の方法では、リブ４１の上部に接着剤４２を安定して塗布することが困難であった。この発明による塗布機構および塗布方法を適用することによって、リブ４１の上部のように幅が狭くて細長い領域に安定して接着剤４２を塗布することができる。
FIG. 17 is a diagram for explaining a process of bonding the lower substrate and the upper substrate in the electronic paper of FIG. Referring to FIG. 17, when the
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものでないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiment disclosed this time must be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
１，１Ａ〜１Ｄ 塗布針、２ テーパ部、３ 平坦面、５，５Ａ〜５Ｅ スリット溝、６ 孔、８Ａ，８Ｂ 表面溝、１０ 液体材料、１１ 液体容器、１３ 底部、１４ 貫通孔、２５ 塗布機構、２６ 基板、２７ Ｚ軸駆動機構、２８ Ｘ軸駆動機構、２９ Ｙ軸駆動機構、３０ 観察光学系、３１ ＣＣＤカメラ、３２ レーザ、３３ 硬化用照明、３４ テーブル、３５ 制御用コンピュータ、３６ 操作パネル。 1, 1A-1D coating needle, 2 taper part, 3 flat surface, 5, 5A-5E slit groove, 6 holes, 8A, 8B surface groove, 10 liquid material, 11 liquid container, 13 bottom part, 14 through-hole, 25 application Mechanism, 26 substrate, 27 Z-axis drive mechanism, 28 X-axis drive mechanism, 29 Y-axis drive mechanism, 30 observation optical system, 31 CCD camera, 32 laser, 33 curing illumination, 34 table, 35 control computer, 36 operation panel.
Claims (13)
先端に平坦面が形成され、前記液体材料が付着した前記平坦面を塗布対象物に接触させることによって前記液体材料を前記塗布対象物に塗布するための塗布針とを備え、
前記塗布針の先端部には、前記先端に向かって細くなるテーパ部が形成され、
前記塗布針には、前記先端から上方に向かって、前記テーパ部の少なくとも一部および前記平坦面の各々を分割するように１または複数のスリット溝が形成され、
前記塗布対象物に前記液体材料を塗布するときに前記液体材料を前記平坦面に導くために、前記塗布針は、前記液体容器の前記貫通孔を貫通するとともに前記１または複数のスリット溝の上端が前記液体容器の前記底部よりも上方に位置するように前記液体容器に対して配置される、塗布機構。 A liquid container containing a liquid material and having a through-hole formed in the bottom;
A flat surface is formed at the tip, and an application needle for applying the liquid material to the application object by bringing the flat surface to which the liquid material has adhered into contact with the application object,
The tip of the application needle is formed with a tapered portion that narrows toward the tip.
The application needle is formed with one or a plurality of slit grooves so as to divide at least a part of the tapered portion and each of the flat surfaces upward from the tip.
In order to guide the liquid material to the flat surface when the liquid material is applied to the application object, the application needle penetrates the through-hole of the liquid container and has upper ends of the one or more slit grooves. The coating mechanism is arranged with respect to the liquid container so as to be positioned above the bottom of the liquid container.
前記塗布針の先端部には、前記先端に向かって細くなるテーパ部が形成され、
前記塗布針には、前記先端から上方に向かって、前記テーパ部の少なくとも一部および前記平坦面の各々を分割するように１または複数のスリット溝が形成され、
さらに、前記液体材料を前記平坦面に導くために、前記液体容器の前記貫通孔を貫通するとともに前記１または複数のスリット溝の上端が前記液体容器の前記底部よりも上方に位置するように、前記塗布針を前記液体容器に対して配置するステップと、
前記塗布針の前記液体容器に対する配置を保った状態で、前記液体材料が付着した前記平坦面を塗布対象物に接触させることによって前記液体材料を前記塗布対象物に塗布するステップとを備える、塗布方法。 A step of storing a liquid material and preparing a liquid container having a through-hole formed at the bottom and an application needle having a flat surface formed at the tip;
The tip of the application needle is formed with a tapered portion that narrows toward the tip.
The application needle is formed with one or a plurality of slit grooves so as to divide at least a part of the tapered portion and each of the flat surfaces upward from the tip.
Further, in order to guide the liquid material to the flat surface, the upper end of the one or more slit grooves is positioned above the bottom of the liquid container while penetrating the through hole of the liquid container. Disposing the application needle relative to the liquid container;
Applying the liquid material to the application object by bringing the flat surface to which the liquid material has adhered into contact with the application object while maintaining the arrangement of the application needle with respect to the liquid container. Method.
前記塗布するステップでは、前記塗布針の軸線は前記塗布対象物の表面に対して垂直に保たれる、請求項４に記載の塗布方法。 The flat surface is formed perpendicular to the axis of the application needle,
The coating method according to claim 4, wherein in the coating step, an axis of the coating needle is kept perpendicular to a surface of the coating target.
前記液体材料が付着した前記平坦面を前記塗布対象物に接触させた状態で、前記塗布針を前記塗布対象物に対して相対移動させることによって前記液体材料を前記塗布対象物に線状に塗布する第１ステップと、
前記第１ステップで塗布された前記液体材料の厚みよりも少ない高さだけ前記先端を前記塗布対象物の表面から離間させた状態で、前記塗布針を前記塗布対象物に対して前記第１ステップと逆方向に相対移動させることによって前記第１ステップで塗布された線状の前記液体材料に重ねて前記液体材料を塗布する第２ステップとを含む、請求項４または５に記載の塗布方法。 The applying step includes
The liquid material is linearly applied to the application object by moving the application needle relative to the application object in a state where the flat surface to which the liquid material is attached is in contact with the application object. A first step to:
In the state where the tip is separated from the surface of the application object by a height smaller than the thickness of the liquid material applied in the first step, the application needle is moved with respect to the application object. And a second step of applying the liquid material on the linear liquid material applied in the first step by relative movement in the opposite direction.
前記塗布針を前記塗布対象物に対して前記塗布対象物の表面に沿った塗布方向に相対移動させながら、前記液体材料の付着した前記平坦面が前記塗布対象物に接触するまで前記塗布針と前記塗布対象物とを互いに接近させるステップと、
前記液体材料の付着した前記平坦面が前記塗布対象物に接触した後、前記塗布方向への相対移動を継続することによって前記液体材料を前記塗布対象物に線状に塗布するステップと、
前記塗布方向への相対移動を継続させながら前記塗布針と前記塗布対象物とを引き離すことによって前記液体材料の塗布を終了するステップとを含む、請求項４または５に記載の塗布方法。 The applying step includes
While moving the application needle relative to the application object in the application direction along the surface of the application object, the application needle and the application needle until the flat surface to which the liquid material adheres contacts the application object. Bringing the application objects close to each other;
Applying the liquid material to the application object linearly by continuing relative movement in the application direction after the flat surface to which the liquid material is adhered contacts the application object;
The coating method according to claim 4, further comprising a step of ending the application of the liquid material by pulling the application needle away from the application target while continuing the relative movement in the application direction.
前記液体材料の塗布位置を観察するための観察光学機構と、
塗布した前記液体材料を硬化させるための硬化機構と、
前記塗布機構、前記観察光学機構、および前記硬化機構を、前記塗布対象物に対して垂直方向および水平方向に相対的に移動可能とする駆動機構と、
前記駆動機構の動きを制御する制御装置と、
前記制御装置に駆動指令を入力する入力装置とを備えた塗布装置。 The application mechanism according to any one of claims 1 to 3,
An observation optical mechanism for observing the application position of the liquid material;
A curing mechanism for curing the applied liquid material;
A drive mechanism that allows the application mechanism, the observation optical mechanism, and the curing mechanism to move in a vertical direction and a horizontal direction with respect to the application target;
A control device for controlling the movement of the drive mechanism;
A coating apparatus comprising: an input device that inputs a drive command to the control device.
先端に平坦面が形成され、前記液体材料が付着した前記平坦面を塗布対象物に接触させることによって前記液体材料を前記塗布対象物に塗布するための塗布針とを備え、
前記塗布針の先端部には、前記先端に向かって細くなるテーパ部が形成され、
前記塗布針には、前記先端から上方に向かって、前記テーパ部の少なくとも一部および前記平坦面の各々を分割するように１または複数のスリット溝が形成され、
前記塗布針の表面には、１または複数のスリット溝のいずれかと接続して、前記塗布針の上方に向かって１または複数の表面溝が形成され、
前記塗布対象物に前記液体材料を塗布するときに前記液体材料を前記平坦面に導くために、前記塗布針は、前記液体容器の前記貫通孔を貫通するとともに前記１または複数の表面溝の上端が前記液体容器の前記底部よりも上方に位置するように前記液体容器に対して配置される、塗布機構。 A liquid container containing a liquid material and having a through-hole formed in the bottom;
A flat surface is formed at the tip, and an application needle for applying the liquid material to the application object by bringing the flat surface to which the liquid material has adhered into contact with the application object,
The tip of the application needle is formed with a tapered portion that narrows toward the tip.
The application needle is formed with one or a plurality of slit grooves so as to divide at least a part of the tapered portion and each of the flat surfaces upward from the tip.
One or more surface grooves are formed on the surface of the application needle, connected to one or more slit grooves toward the upper side of the application needle,
In order to guide the liquid material to the flat surface when applying the liquid material to the application object, the application needle penetrates the through-hole of the liquid container and has upper ends of the one or more surface grooves. The coating mechanism is arranged with respect to the liquid container so as to be positioned above the bottom of the liquid container.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010251857A JP2012101175A (en) | 2010-11-10 | 2010-11-10 | Coater mechanism, coating method, and coating apparatus |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012101175A true JP2012101175A (en) | 2012-05-31 |
Family
ID=46392245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010251857A Withdrawn JP2012101175A (en) | 2010-11-10 | 2010-11-10 | Coater mechanism, coating method, and coating apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2012101175A (en) |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20140204 |