JP2012099756A - 加熱装置および気相成長装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理対象物の保持面RPを有し、サセプタガイド21に回転可能に保持されるサセプタ3が、該サセプタ3を取り囲む、チャンバ5の穴部HLに設けられる。内周面を有する第1のリング部31が、穴部HLを取り囲むようにチャンバ5に取り付けられ、外周面を有する第2のリング部32が、サセプタガイド21に取り付けられる。第1のリング部31の前記内周面と第2のリング部32の前記外周面とが互いに対向することによって、幅を有する隙間が形成され、該隙間は、幅よりも大きい長さに渡って、サセプタ3の保持面RPと交差する方向に延びている。
【選択図】図1
Description
(実施の形態1)
図1および図2を参照して、本実施の形態の気相成長装置100(加熱装置)は、サセプタ3と、成長室5(チャンバ)と、ヒータ7と、ガス導入部9と、ガス排出部11と、回転軸17と、ジョイント19と、モータ20と、サセプタガイド21と、架台22と、リング部31(第1のリング部)と、リング部32(第2のリング部)と、予備室35と、駆動部40とを有する。
図1および図2を参照して、矢印ALに示すように駆動部40が駆動される。
主に図5を参照して、本実施の形態の気相成長装置は、リング部31および32(図2)のそれぞれの代わりに、突出部PTを有するリング部31V(第1のリング部)と、リング部32V(第2のリング部)とを有する。突出部PTの、リング部32Vが載置される面は、内側(図5の左側)ほど高さが低くなるように傾斜するテーパを有する。またこのテーパに組み合わさるようなテーパが、リング部32Vの、リング部31Vに載置される面に設けられている。
Claims (9)
- 処理対象物を保持する保持面を有するサセプタと、
間隔を空けて前記サセプタを取り囲む穴部が設けられたチャンバと、
前記サセプタを加熱するヒータと、
前記チャンバの外部に配置され、前記サセプタを回転可能に保持するサセプタガイドと、
前記穴部を取り囲むように前記チャンバに取り付けられ、内周面を有する第1のリング部と、
前記サセプタガイドに取り付けられ、外周面を有する第2のリング部とを備え、
前記第1のリング部の前記内周面と前記第2のリング部の前記外周面とが互いに対向することによって、幅を有する隙間が形成されており、前記隙間は、前記幅よりも大きい長さに渡って、前記サセプタの前記保持面と交差する方向に延びている、加熱装置。 - 前記サセプタの前記保持面と交差する前記方向は前記保持面に対して垂直である、請求項1に記載の加熱装置。
- 前記第1のリング部の熱伝導率は前記第2のリング部の熱伝導率よりも大きく、前記第2のリング部の熱膨張係数は前記第1のリング部の熱膨張係数よりも小さい、請求項1または2に記載の加熱装置。
- 前記サセプタガイドを変位させる駆動部をさらに備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の加熱装置。
- 前記第2のリング部は、前記サセプタガイドに着脱自在に取り付けられており、かつ前記サセプタガイドが変位された際に前記サセプタガイドから外れて前記第1のリング部に支持されるように構成されている、請求項4に記載の加熱装置。
- 前記第2のリング部は、前記第1のリング部に支持されることによって前記第1のリング部に対して位置合わせされるように構成されている、請求項5に記載の加熱装置。
- 前記隙間の前記幅は0.1mm以上0.5mm以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の加熱装置。
- 前記隙間の前記長さは20mm以上である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の加熱装置。
- 請求項1〜8に記載の加熱装置と、
原料ガスを前記チャンバ内に導入するガス導入部とを備える、気相成長装置。
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