JP2012087384A - 工業炉における金属材料/金属ワークピースの熱処理用のプロセスガスを調整する方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理チャンバ1.1での熱処理後に、前記熱処理で消費された使用済みプロセスガスを調製チャンバ2.2へ供給するステップと、前記調製チャンバ2.2において、前記処理チャンバ1.1の温度とは独立した最大で約1250°Cまでの温度で、前記使用済みプロセスガスを再利用してプロセスガス3を調製するステップと、前記調製チャンバ2.2で調製された調製済みプロセスガスを、前記処理チャンバ1.1へ供給するステップと、前記処理チャンバ1.1で熱処理を行う前に、随意的に前記調製チャンバ2.2で反応ガスを生成するステップとを含む。
【選択図】図1
Description
2CH4+O2→2CO+4H2
CH4+CO2→2CO+2H2
CH4+H2O→CO+3H2
2CO →C+O2
CO+H2→C+H2O
CO →C+1/2O2
・ガス成分分析器。具体的には、COおよびCH4、またはCO2およびH2、あるいはH2Oおよび/またはO2を分析する。
・処理チャンバ1.1から調製チャンバ2.2に供給される使用済みプロセスガス、および、調製チャンバ2.2から処理チャンバへ供給される調製済みプロセスガスの量および温度を測定するためのセンサ。
・調製チャンバ2.2へ供給される未燃ガスの流量を制御および測定するための制御可能な流量調節バルブおよび流量計。
・ガス成分分析器、センサおよび流量計で測定された各データの処理、目標変数の計算、およびアクチュエータ(流量調節バルブなど)へ制御信号を送信するためのプログラム可能な制御システム。
(a)反応ガスの必要生成量に応じた所定量の炭化水素および酸化ガスを外部供給源から調製チャンバ2.2へ供給するステップと、
(b)調製チャンバ2.2において炭化水素と酸化ガスとを反応させて吸熱性反応ガスを生成し、かつ生成された吸熱性反応ガスの質を分析すると共に必要に応じて調節するステップと、
(c)調製チャンバで生成された吸熱性反応ガスを処理チャンバ1.1へ高温または低温状態で供給するステップと、
(d)前記熱処理のための準備を整えるべく、前記吸熱性反応ガスで前記処理チャンバを洗浄するステップとを含む。
(a)工業炉1の処理チャンバ1.1で使用されるプロセスガス3を調製するための閉鎖可能な調製チャンバ2.2であって、触媒2.2.1および温度調節装置2.2.2を有し、かつ、調製済みのプロセスガス3またはその成分(処理媒体3.1,3.2)を処理チャンバ1.1へ供給するための取外し可能および密閉可能な供給ライン1.5、および工業炉1の処理チャンバ1.1または他の領域からプロセスガス3または処理媒体3.1,3.2の少なくとも一方を排出するための排出ライン1.6が接続された調製チャンバ2.2と、
(b)調製チャンバ2.2に機能的に統合された、駆動部を有するファン型のプロセスガス圧縮機2.3と、
(c)工業炉の処理チャンバ1.1、調製チャンバ2.2およびプロセスガス圧縮機2.3に機能的に接続された、プロセスガス3の処理媒体3.1,3.2の供給量、処理チャンバ1.1内の圧力、プロセスガス圧縮機2.3の回転速度、および触媒2.2.1の温度を測定するための測定制御装置2.4と、
(d)処理媒体3.1,3.2の供給量、調製されたプロセスガス3の工業炉1の処理チャンバ1.1への供給量およびC量、並びに、処理媒体3.1,3.2の少なくとも一方の処理チャンバ1.1からの排出量を調節および制御することを目的として、調製チャンバ2.2で調製されるプロセスガスの圧力、温度および体積流量などのパラメータを制御および調節するためのスイッチユニット2.5とを含む外部モジュール2を備えている。
(a)処理チャンバ1.1内の温度、CO含有量および圧力の測定、並びに、処理チャンバ1.1内の雰囲気の酸素分圧、CO2含有量および露点のパラメータのうちの少なくとも1つの測定を行うためのプローブ、アナライザおよび/またはセンサ。
(b)調製チャンバ2.2におけるプロセスガス3の調製と、プロセスガスの再コンディショニング時間に従って、調製されたプロセスガスの処理チャンバへの供給および処理チャンバにおいて消費されたプロセスガスの処理チャンバからの排出の制御とを行うための、制御および調節装置としてのスイッチユニット2.5。
(c)調製チャンバ2.2または処理チャンバ1.1におけるプロセスガス3の滞留時間、循環または部分質量流を制御するための手段。
1.1 処理チャンバ
1.2 マルチポイント供給システム
1.3 焼入領域
1.4 処理チャンバ循環装置
1.5 供給ライン
1.6 排出ライン
1.7 冷却装置
2 モジュール
2.1 ハウジング
2.2 調製チャンバ
2.21 触媒
2.22 温度調節装置
2.3 プロセスガス圧縮機
2.4 測定制御装置
2.5 制御および調整用のスイッチユニット
3 プロセスガス
3.1 第1の処理媒体
3.2 第2の処理媒体
3.3 空気
Claims (12)
- 工業炉の処理チャンバにおける金属材料または金属ワークピースの熱処理または熱化学処理に使用されるプロセスガスの調製方法であって、
前記処理チャンバでの熱処理後に、前記熱処理で消費された使用済みプロセスガスを前記処理チャンバとは別個に設けられた調製チャンバへ供給するステップと、
前記調製チャンバにおいて、前記処理チャンバの温度とは独立した最大で約1250°Cまでの温度で、前記使用済みプロセスガスを再利用してプロセスガスを調製するステップと、
前記調製チャンバで調製された調製済みプロセスガスを、前記処理チャンバへ供給するステップと、
随意的に、前記処理チャンバで熱処理を行う前に、前記調製チャンバで反応ガスを生成するステップとを含み、
前記反応ガスを生成するステップが、
(a)前記反応ガスの必要生成量に応じた所定量の炭化水素および酸化ガスを外部供給源から前記調製チャンバへ供給するステップと、
(b)前記調製チャンバにおいて前記炭化水素と前記酸化ガスとを反応させて吸熱性反応ガスを生成し、かつ生成された吸熱性反応ガスの質を分析すると共に必要に応じて調節するステップと、
(c)前記調製チャンバで生成された吸熱性反応ガスを前記処理チャンバへ高温または低温状態で供給するステップと、
(d)前記熱処理のための準備を整えるべく、前記吸熱性反応ガスで前記処理チャンバを洗浄するステップとを含むことを特徴とする方法。 - 前記使用済みプロセスガスおよび/または前記調製済みプロセスガスの反応性分解を防止すべく、前記処理チャンバから前記調製チャンバへ供給される使用済みプロセスガスおよび/または前記調製チャンバから前記処理チャンバへ供給される前記調製済みプロセスガスを冷却して温度調節するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記使用済みプロセスガスおよび/または前記調製済みプロセスガスの反応性分解を防止すべく、前記処理チャンバから前記調製チャンバへ供給される使用済みプロセスガスおよび/または前記調製チャンバから前記処理チャンバへ供給される前記調製済みプロセスガスを断熱または加熱して温度調節するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記調製ステップでの前記プロセスガスの調製に使用すべく炭化水素および酸化ガスと共に前記調製チャンバへ供給される天然ガスまたは空気などの未燃ガスの各成分供給量および総供給量を、調製するプロセスガスの量、成分および所望の調製目標に基づいて調節する供給量調節ステップをさらに含み、
前記供給量調節ステップが、
(a)前記処理チャンバから前記調製チャンバへ供給される前記使用済みプロセスガスの組成、流量および温度および/または前記調製チャンバから前記処理チャンバへ供給される前記調製済みプロセスガスの組成、流量および温度を測定および分析するステップと、
(b)最適な調製結果が得られるように前記使用済みプロセスガスおよび/または調製済みプロセスガスのCO、CH4、H2、CO2および/またはH2O含有量を含む前記プロセスガスの測定および分析結果に基づいて調製するガスの目標変数を設定し、前記目標変数に従って前記調製チャンバへ供給する前記未燃ガスの各成分の相対量および前記未燃ガスの総量を継続的に変更し、かつ前記目標変数への変更が達成されたことを確認すべく調製されたガスを測定および分析すると共に必要に応じて再調節するステップとを含むことを特徴とする請求項1〜3に記載の方法。 - 前記処理チャンバから前記調製チャンバへの前記使用済みプロセスガスの供給及び前記調製チャンバから前記処理チャンバへの前記調整済みプロセスガスの供給が、外管と該外管よりも若干長い内管からなる共軸二重管構造に構成されたマルチポイント供給システムを使用して行われ、
前記内管を介して前記処理チャンバから前記使用済みプロセスガスを吸引排出して前記調製チャンバへ供給すると共に、前記調製チャンバで調製された調製済みプロセスガスを前記外管を介して前記処理チャンバへ供給するようにしたことを特徴とする請求項1〜4に記載の方法。 - 工業炉の処理チャンバにおける金属材料または金属ワークピースの熱処理または熱化学処理に使用されるプロセスガスの調製方法を実施するための装置であって、
(a)前記処理チャンバとプロセスガスの供給ライン及び排出ラインを介して接続され、触媒および温度調節装置を有し、かつ閉鎖可能なプロセスガスを調製するための調製チャンバと、
(b)前記処理チャンバおよび前記調製チャンバと機能的に統合されたプロセスガス圧縮機と、
(c)前記処理チャンバ、前記調製チャンバおよび前記プロセスガス圧縮機と機能的に接続された、前記プロセスガスの各成分の供給量を測定するための測定制御装置と、
(d)前記調製チャンバへの前記プロセスガスの1以上の成分の供給量、前記調製済みプロセスガスの前記処理チャンバへの供給量およびC量、並びに、前記処理チャンバからの前記プロセスガスの1以上の成分の排出量を制御および調節すべく、前記調製チャンバにおいて調製されるプロセスガスの圧力、温度および体積流量等のパラメータのうちの少なくとも1つを制御および調節するスイッチユニットとを含むことを特徴とする装置。 - 前記測定制御装置が、
COおよびCH4、またはCO2およびH2、あるいはH2Oおよび/またはO2を成分分析するためのガス成分分析器と、
前記処理チャンバから前記調製チャンバへ供給される前記使用済みプロセスガスおよび前記調製チャンバから前記処理チャンバへ供給される前記調製済みプロセスガスの量および温度を測定するためのセンサと、
前記調製チャンバへ供給される未燃ガスの流量を測定および制御するための制御可能な流量調節バルブおよび流量計と、
前記ガス成分分析器、前記センサおよび前記流量計で測定された各データの処理、目標変数の算出、および前記バルブ等のアクチュエータへ制御信号を送信するためのプログラム可能な制御システムとを有することを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記供給ラインおよび/または前記排出ライン冷却手段を設置したことを特徴とする請求項6または7に記載の装置。
- 前記供給ラインおよび/または前記排出ラインに断熱手段または加熱手段を設置したことを特徴とする請求項6または7に記載の装置。
- 前記調製チャンバが耐熱性および気密性を有し、かつヒータおよび温度制御手段を備えることを特徴とする請求項6〜9に記載の装置。
- ガス反応を加速させるための前記触媒の材料としてニッケルなどの金属が用いたことを特徴とする請求項6〜10に記載の装置。
- 前記触媒として、乗用車のエンジンの排気ガス洗浄装置に使用されるタイプの触媒を用いたことを特徴とする請求項11に記載の装置。
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---|---|---|---|---|
JP2016056803A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 推測燃料組成を用いたガスタービンの燃料配合システム及び方法 |
JP2018505301A (ja) * | 2014-12-11 | 2018-02-22 | イーシーエム テクノロジーズ | 低圧浸炭窒化法及び低圧浸炭窒化炉 |
CN110819786A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-02-21 | 宿州市祁南工贸有限责任公司 | 一种适用于大型减速机太阳轮轴承的加工工艺 |
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JP2002357388A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Daido Steel Co Ltd | 熱処理炉 |
JP2010001567A (ja) * | 2008-06-20 | 2010-01-07 | Ipsen Internatl Gmbh | 金属材料を熱処理するための方法及び装置 |
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