JP2012086434A

JP2012086434A - ワーク保持具及び印刷装置

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Publication number: JP2012086434A
Application number: JP2010234349A
Authority: JP
Inventors: Nobuhiro Sarutani; 信弘猿谷; Toru Tominami; 徹富波
Original assignee: Konica Minolta Opto Inc
Current assignee: Konica Minolta Opto Inc
Priority date: 2010-10-19
Filing date: 2010-10-19
Publication date: 2012-05-10

Abstract

【課題】ワークの外形や厚さ、外形、面方向の寸法が異なる場合でも容易に作製や交換が可能で、ワークとマスクの正確な位置決めを行うことのできる低コストのワーク保持具及び該ワーク保持具を備えた印刷装置を提供する。
【解決手段】印刷装置の印刷対象物であるワークを保持するワーク保持具であって、前記ワークの平面形状を包含する平面形状を有し、前記ワークを吸引するための孔が形成されたワーク受け板と、前記ワーク受け板の厚みより深い凹部が形成され、該凹部に前記ワーク受け板を着脱自在となしたベース部材と、を有するワーク保持具とする。
【選択図】図３

Description

本発明は、印刷装置の印刷対象物であるワークを保持するワーク保持具及びこれを用いた印刷装置に関するものである。

従来より、スクリーン印刷機等の印刷装置を用い、印刷対象物である半導体ウェハ、透明基板、回路基板等の表面に、フォトレジスト材料、シール材料、ソルダペースト等を所望のパターンで形成することが行われている。

このような用途の印刷装置として、開口部が形成されたマスクと印刷対象物とを重ね合わせ、マスクを介して印刷材料であるソルダペーストを印刷対象物に転写し、マスクから印刷対象物を剥離する際に、マスクの撓みを規制することを目的として、マスクの印刷対象物との接触面と反対側の面を吸着部材で吸着するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００３−２７６１６０号公報

上述のような用途に印刷装置を適用する場合、印刷対象物（以下、ワークと称す）上に単に所望の図柄や文字等が視認性よく再現されればよいというものではなく、パターンの印刷される位置に正確さが要求される。上記特許文献１のような構成では、ワークとマスクを印刷毎に正確に位置合わせする必要があり、迅速な生産が行えない。

このワークとマスクの位置決めの問題に対しては、ワークの外形に合わせて凹部を形成した保持具を用い、保持具とマスクとの相対位置関係が正確に規定されるようにしておき、該保持具の凹部にワークを配置するだけで、マスクとの正確な位置合わせがなされるようにすることが考えられる。

しかしながら、凹部を形成する保持具を一体部品で形成すると、形状が大きいため大きな加工機を要し、また、ワークを吸着保持する平面の加工に高い精度が要求されるため材料費、加工費共に高額となる問題がある。さらに、外形、厚さ、面方向の寸法等が異なる複数種類のワークに印刷を行う場合には、各ワークに合わせて個別対応で新たに保持具を一体部品で作製しなくてはならず、高額の多種の保持具を準備しなくてはならないという問題がある。また、保持具の形状が大きいと重量もかさみ、交換が容易ではないという問題もある。

本発明は上記問題に鑑み、ワークの種類が変更された場合でも容易に作製や交換が可能で、ワークとマスクの正確な位置決めを行うことのできる低コストのワーク保持具及び該ワーク保持具を備えた印刷装置を提供することを目的とするものである。

上記の目的は、下記の構成により達成される。

（１）印刷装置の印刷対象物であるワークを保持するワーク保持具であって、前記ワークの平面形状を包含する平面形状を有し、前記ワークを吸引するための孔が形成されたワーク受け板と、前記ワーク受け板の厚みより深い凹部が形成され、該凹部に前記ワーク受け板を着脱自在となしたベース部材と、を有することを特徴とするワーク保持具。

（２）前記ワークと前記ワーク受け板の平面形状が同一形状であることを特徴とする前記（１）に記載のワーク保持具。

（３）前記ベース部材が、平板と該平板上に載置される枠部材とで構成されていることを特徴とする前記（１）又は（２）に記載のワーク保持具。

（４）前記ワーク受け板は、前記ワーク受け板を前記凹部に着脱する工具と係合させるための係合部が形成されていることを特徴とする前記（１）から（３）までのいずれかに記載のワーク保持具。

（５）印刷装置の印刷対象物であるワークを保持するワーク保持具であって、前記ワークの平面形状を包含する平面形状を有する凹部を有し、該凹部内に前記ワークを吸引するための孔が形成され、前記凹部の深さが前記ワークの厚み以下であるワーク受け部材と、前記ワーク受け部材を着脱自在に装着するための凹部を有するベース部材と、を有することを特徴とするワーク保持具。

（６）前記（１）から（５）までのいずれかに記載のワーク保持具と、複数の開口部が形成されたマスクと、前記マスクを介して印刷材料を前記ワークに押し出すスキージと、を有することを特徴とする印刷装置。

（７）前記印刷材料は液状の硬化性樹脂であり、前記マスクの複数の開口部に対応したパターンの前記硬化性樹脂を前記ワークに印刷することを特徴とする前記（６）に記載の印刷装置。

本発明によれば、ワークの種類が変更された場合でも容易に作製や交換が可能で、ワークとマスクの正確な位置決めを行うことのできる低コストのワーク保持具及び該ワーク保持具を備えた印刷装置を提供することが可能となる。

本実施の形態に係るワーク保持具を備えた印刷装置の全体構成を示す模式図である。本実施の形態に係るワーク保持具の部分断面図である。本実施の形態に係るワーク保持具の分解斜視図である。図３で説明した要部の拡大断面図である。本実施の形態に係るワーク保持具の変形例を示す分解斜視図である。本実施の形態に係るワーク保持具の他の変形例を示す分解斜視図である。ウェハレンズをワークとしてワーク保持具に載置した状態を示す拡大断面図である。ウェハレンズの複数のレンズ部が形成された樹脂層に転写されるパターン例を示す図である。

以下、実施の形態により本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。

図１は、本実施の形態に係るワーク保持具２０を備えた印刷装置１の全体構成を示す模式図である。

同図に示す印刷装置１は、印刷対象物であるワークに印刷を行う印刷機構部１０と、ワーク保持具２０と、ワーク保持具２０を支持して移動可能となされた移動テーブル３０と、を有している。

印刷機構部１０は、駆動制御部１４によって駆動制御されるモータ１１により回転させられるリードスクリュー１２と、このリードスクリュー１２に螺合部を有する移動部材１３と、移動部材１３に取り付けられたスキージ１６と、複数の開口部が形成されたマスク１５とを有している。なお、移動部材１３は不図示の係止部材によりリードスクリュー１２回りの回転が阻止されている。

本例の印刷機構部１０は、モータ１１を駆動してリードスクリュー１２を回転させ、移動部材１３に取り付けられたスキージ１６を図示矢印Ａ方向に往復動させることができるようになっている。４０はマスク１５上に配された印刷材料である。モータ１１を正回転させることで、スキージ１６を図示の位置からマスク１５の右端の所定位置まで往動させるようになっている。これにより、印刷材料４０を、マスク１５の開口部に対応したパターンでマスクの反対側の面に配置された印刷対象物であるワークに印刷することができる。印刷終了後は、モータ１１を逆回転させることで、スキージ１６をマスク１５の右端の所定位置から図示の位置まで復動させる。

マスク１５の印刷機構部１０と反対側の面側には、印刷対象物であるワーク２５を保持するワーク保持具２０及び、ワーク保持具２０を保持し移動可能となされた移動テーブル３０が配置されている。ワーク２５は、ワーク保持具２０上にマスク１５と対向するように載置される。

移動テーブル３０は、図示のように実線で示す位置と破線で示す位置に、不図示の移動機構により移動可能となされている。破線で示す位置は、印刷前のワーク２５のワーク保持具２０への装着、印刷後のワーク２５のワーク保持具２０からの取り外し、及び、ワーク２５を取り外した後のワーク保持具２０への別の印刷前のワーク２５の装着を行う位置である。破線で示す位置で印刷前のワーク２５をワーク保持具２０に装着した後、移動テーブル３０を実線の位置に移動させ、印刷前のワーク２５をマスク１５に当接させて上述の印刷が行われる。ここで、ワーク保持具２０と印刷機構部１０とは互いに正確に位置合わせされるように構成されている。

なお、ワーク保持具２０には、不図示であるがエアーを吸引する吸引装置が接続される。

また、上記の説明では、印刷機構部１０側を固定し、ワーク保持具２０側を移動させる構成としたが、これに限るものでなく、ワーク保持具２０側を固定し、印刷機構部１０側を移動させるものであってもよい。

図２は、本実施の形態に係るワーク保持具２０の部分断面図である。図３は、本実施の形態に係るワーク保持具２０の分解斜視図である。本例では、印刷対象物であるワーク２５が略円形状のもので説明する。

図２、図３に示すように、ワーク保持具２０は、ベース部材２１とワーク受け板２２で構成されており、ワーク受け板２２上にワーク２５が装着される。

ワーク受け板２２の平面形状はワーク２５と略同一形状（本例では略円形）に形成されている。

ベース部材２１には、図２、図３に示すように、ワーク受け板２２が取り付けられる凹部２１ａが、ワーク受け板２２の厚みより深く形成されている。このため、ワーク受け板２２と、ワーク２５の厚み方向の少なくとも一部とが、凹部２１ａに挿入されるようになっている。

ベース部材２１の内部には、エアーの流通経路２１ｋが形成されており、外側面には、エアーを吸引する吸引装置に接続される接続部２１ｓが形成されている。接続部２１ｓは流通経路２１ｋと連通している。ワーク受け板２２には、ベース部材２１のエアーの流通経路２１ｋに連接して、エアーの流通経路である孔２２ｋが形成されている。これにより、ベース部材２１の接続部２１ｓからエアーを吸引することで、ワーク受け板２２上に配置されたワーク２５を吸着するようになっている。

図３に示すように、ベース部材２１の凹部２１ａには、２箇所にピン２１ｐが植設されており、不図示のワーク受け板２２の裏面側に形成された穴と嵌合してワーク受け板２２の位置決めが行われる。これにより、ベース部材２１のエア流通経路２１ｋと、ワーク受け板２２の穴２２ｋとが重なり合う。また、ワーク受け板２２にはピン２２ｐが植設されており、ワーク２５に形成されたＵ字状或いは三角形状の切り欠き部２５ｑと係合させることで、ワーク２５の位置決めが行われる。なお、ワーク２５の位置決めは、これに限らず、外周円弧の一部を直線状に切り欠き、該直線の両端付近をそれぞれピンに当接させて位置決めしてもよい。円盤状で表面が平滑なワーク２５に印刷を行う場合など、ワーク２５をベース部材２１に装着した際のワーク２５の水平面内におけるワーク受け板に対する向きに特に制限がない場合は、切り欠きのないワーク２５を用い、位置決め用のピンを省略することもできる。

また、ベース部材２１の凹部２１ａにはネジ穴２１ｎが２箇所に形成されており、ワーク受け板２２に形成された穴２２ｎを用いてネジによりワーク受け板２２とベース部材２１は締結される。本例では、このネジ穴２１ｎを用いてワーク受け板２２の取り付けを行うようになっている。なお、ネジ穴２１ｎの数はこれに限らず、３箇所以上形成してもよい。

一方、ワーク受け板２２の交換のための取り外しは以下のようにして行われる。ワーク受け板２２にはネジ穴２２ｍが形成されている。ワーク受け板２２とベース部材２１の締結を解除し、このネジ穴２２ｍに長ネジを螺合させ、該長ネジを抓持してベース部材２１の凹部２１ａよりワーク受け板２２を持ち上げることで取り出せるようになっている。なお、ワーク受け板２２の取り外し方法は、これに限るものでなく、断面がＬ字状や逆Ｔ字状の穴を形成し、この穴にＬ字状の工具を差し込んで取り出す構成でもよいし、平坦部をエアーで吸引して取り出すような構成でもよい。

図４は、図３で説明した要部の拡大断面図である。

上述のように、ベース部材２１に植設されたピン２１ｐにより、ベース部材２１とワーク受け板２２の位置決めがなされ、ベース部材２１のネジ穴２１ｎを用いてネジ２７により、ベース部材２１とワーク受け板２２が締結される。このとき、ネジ２７の頭部は、ワーク受け板２２の穴２２ｎ内に収まるよう構成されていることが好ましい。また、ネジ穴２２ｍは、ベース部材２１に形成された凹部２１ａからの上述のワーク受け板２２の取り出しに使用されるものである。

図４に示すワーク受け板２２の外周領域２２ｂ及び、図３に示すワーク受け板２２の中央領域２２ｃは平坦面に形成されており、ワーク２５に当接している。ベース部材２１の接続部２１ｓ（図２、図３参照）からエアーを吸引することで、連通するベース部材２１のエアーの流通経路２１ｋとワーク受け板２２の孔２２ｋを介し、ワーク受け板２２上に配置されたワーク２５は吸着され固定される。

このとき、ワーク２５のマスク１５側の面とベース部材２１の外周面の高さの差（図示ｄ）は、０〜０．２ｍｍ、より好ましくは０〜０．１ｍｍとするとよい。特に、ベース部材２１の外周面の高さよりワーク２５のマスク１５側の面が僅かに突出するように、ベース部材２１の凹部２１ａの深さ及びワーク受け板２２の厚さが形成されていることが好ましい。

以上のように構成されたワーク保持具２０は移動テーブル３０により移動させられ、ワーク２５のマスク１５側の面とマスク１５が触接、又は極めて微少な隙間を介して位置した状態で、スキージ１６を移動させて印刷が行われる（図１参照）。

本例のように、ワーク２５とワーク受け板２２の平面形状を同一形状にすると、マスク１５に近接して相対するのが、ワーク２５の被印刷側の面とベース部材２１の周辺部の面のみとなり、ベース部材２１の周辺部とワーク２５の被印刷面との間に大きな隙間が形成されないので、印刷時のワークに対するマスク１５の位置がほぼ一定に保たれ、精度よく印刷を行うことができる。

なお、本願でいう同一形状とは、上記のワークの位置決めのための切り欠き部周辺を除く外周平面形が嵌合公差内で同様の形状に形成されているものをいう。

このように、ワーク受け板２２を、ワーク２５を包含する平面形状とし、ベース部材２１の凹部２１ａにワーク受け板２２を着脱自在としたことにより、ワーク受け板２２のみを交換することが可能となる。従って、厚さの異なる複数種類のワークが存在しており、それまでの印刷対象のワークとは異なる厚さのワークに変更された場合でも、予め厚さの異なる複数種類のワーク受け板を準備しておき、ワークの厚さに応じて最適な厚さを持つワーク受け板を選択してベース部材２１の凹部２１ａに装着することで、各ワークに対して適切な条件で印刷を行うことができる。

図５は、本実施の形態に係るワーク保持具２０の変形例を示す分解斜視図である。図５に示すワーク保持具２０は、図３に示すワーク保持具２０と同機能部には同符号を付与して説明を省略し、図３と異なる部分についてのみ説明する。

図５に示すワーク保持具２０は、ベース部材２１を、平板２１ｂと枠部材２１ｈに分割して構成したものである。

平板２１ｂの枠部材２１ｈに対向する面は平面に形成され、この平面上に上述のピン２１ｐが植設され、エアーの流通経路２１ｋ及び接続部２１ｓ、ネジ穴２１ｎが形成されている。更に、平板２１ｂの角部の４箇所には、ネジ穴２１ｃが形成され、枠部材２１ｈの位置決めのためのピン２１ｒが３箇所に植設されている。なお、平板２１ｂの移動テーブル３０側の面は、平面でなくてもよい。

枠部材２１ｈは、図３に示す凹部２１ａの深さと同厚に形成され、図３に示す凹部２１ａに対応するワーク受け板２２及びワーク２５が挿入される貫通穴２１ｅが形成されている。また、枠部材２１ｈの平板２１ｂに対向する面には、不図示であるがピン２１ｒに嵌合する穴が形成されている。また、ネジ穴２１ｃに対応する位置には、座グリされた貫通穴２１ｄが形成されている。

平板２１ｂと枠部材２１ｈは、ピン２１ｒで位置決めされ、貫通穴２１ｄを通るネジによりネジ穴２１ｃを用いて締結固定され、図３に示すベース部材２１と同様の形態となる。なお、座グリにより、ネジの頭部は枠部材２１ｈから突出しないようになっている。

従って、本変形例の外観形状は上述した実施形態と同等のものとなり、上述したのと同様に、厚みの異なる複数種類のワークに対してもワーク受け板を交換することで容易に対応することができる。加えて、ベース部材２１を平板２１ｂと枠部材２１ｈの２部材から構成しているので、外形が異なる複数のワークや面方向の寸法が異なる複数のワークが存在していても、それに合った枠部材２１ｈとワーク受け板２２とに交換することで、ベース部材とワークとの間に隙間をなくす、又は、少なくすることができる。

また、ワーク保持具２０全体を作製したり交換したりするのに比べて容易に各種ワークに対応することができる。なお、外形や面方向の寸法が異なる複数種類のワークに対応させる場合は、枠部材２１ｈとワーク受け板２２の形状やサイズを変更することに加えて、ワーク受け板２２のエアー流通経路２２ｋの位置や形状を適切なものとすることが好ましい。例えば、大径のワークに変更する場合は、ワーク受け板２２のエアー流通経路２２ｋを内部で延長したり分岐させたりして、ワーク２５に面する側の吸引口をワーク２５の端部に面する位置にも配置してワーク２５を十分に吸引できるようにすることが好ましい。

また、このように、ベース部材２１を、平板２１ｂと枠部材２１ｈに分割することで、ワーク受け板２２が取り付けられる平板２１ｂの枠部材２１ｈに対向する面の研削加工を行うことができ、ミーリング加工よりも高精度な平面を形成することができる。これにより、ワーク受け板２２を取り付ける面の平面性を向上させることができ、ワーク受け板２２及びこれに取り付けられるワーク２５の印刷面とマスク１５との平行度を向上させることができる。

図６は、本実施の形態に係るワーク保持具２０の他の変形例を示す分解斜視図である。図６に示すワーク保持具２０も、図３に示すワーク保持具２０と同機能部には同符号を付与して説明を省略し、図３と異なる部分についてのみ説明する。

図６に示すワーク保持具２０は、ワーク２５（本例では円形）を包含する矩形状の平面形状（本例ではワーク２５の平面形状である円形の直径よりも各辺が大きい矩形状の平面形状）を有するワーク受け部材２３と、この矩形状のワーク受け部材２３の形状にあわせて、図示の如く矩形状の凹部２１ｆが形成されたベース部材２１とによって構成されている。

ワーク受け部材２３は、ワーク２５の平面形状に対応した円形の凹部２３ｅを有しており、凹部２３ｅ内に、図３で説明した、エアー流通経路２２ｋ、穴２２ｎ、ネジ穴２２ｍ、ピン２２ｐにそれぞれ対応する、エアー流通経路２３ｋ、穴２３ｎ、ネジ穴２３ｍ、ピン２３ｐを備えている。

本例においては、ワーク受け部材２３を、ベース部材２１の凹部２１ｆに対して着脱自在に装着できるようにしたことにより、印刷対象物であるワーク２５の外形、面方向の寸法、厚さが異なるものに変更された場合でも、ワーク受け部材２３のみをワークに対応したものに交換することで、各種のワークに対し印刷対応が可能となる。ワーク保持具２０全体をワークの種類に合わせて作製・交換するのに比べて、低コストであり、交換作業も容易である。

なお、図６に示す構成においても、図５と同様にベース部材２１を平板と枠部材に分割してもよい。また、ワーク受け部材２３を、ワークを装着するための凹部の壁部を形成する開口を持つ枠部材と、この枠部材を載置するベース部材とに分割した構成としてもよい。

以上説明したように、上記各実施形態においては、ワーク保持具２０のベース部材２１とワーク２５の間に、ワーク２５の平面形状を包含する平面形状を有するワーク受け板２２を挟むよう構成し、ベース部材２１にワーク受け板２２の厚みより深い凹部２１ａを形成し、この凹部にワーク受け板２２を着脱自在とすることにより、あるいは、ワーク２５を包含するワークとは異なる平面形状を有するワーク受け部材２３と、このワーク受け部材２３の形状にあわせて形成された凹部２１ｆを有するベース部材２１とによってワーク保持具を構成し、ワーク受け部材２３をベース部材２１の凹部２１ｆに対して着脱自在としたことにより、複数種類のワークに印刷を行う場合でも、大きなベース部材２１には互換性をもたせ、ワーク受け板２２のみを新たに作製するだけで印刷対応可能とでき、低コストで、容易に交換可能な、ワークとマスクの正確な位置決めを行うことのできるワーク保持具及び該ワーク保持具を備えた印刷装置を提供することが可能となる。

以下、上記のワーク保持具２０を備えた印刷装置は、種々の材料を種々の部材に印刷するのに適用可能であるが、一例として、多数のレンズ部が形成されたウェハレンズに液状の硬化性樹脂を転写する実施態様について説明する。

図７は、ウェハレンズをワーク２５としてワーク保持具２０に載置した状態を示す拡大断面図である。

図７に示すように、ワーク２５として、透光性の円形の平板１０１の一方の面に複数のレンズ部１００ａが形成された樹脂層１００と、他方の面に複数のレンズ部１０２ａが形成された樹脂層１０２とを有する、いわゆるウェハレンズがワーク受け板２２上に載置される。

ウェハレンズは、中央領域（図３に示すベース部材２１の中央領域２２ｃに対向する領域）と、ドーナツ状の外周領域（図３に示すベース部材２１の外周領域２２ｂに対向する領域）とにはレンズ部が形成されておらず、樹脂層により平坦な面に形成されている。ワーク受け板２２は、ウェハレンズのドーナツ状の外周領域と中央領域の平坦な面に当接して受けるよう形成されている。この当接面に形成されたエアーの流通経路である孔２２ｋ及びベース部材２１の流通経路２１ｋを介し、ベース部材２１の接続部２１ｓからエアーを吸引し、ワーク２５であるウェハレンズを吸着する。

マスク１５には、樹脂層１０２の面に形成された複数のレンズ部１０２ａの周囲に略同心円状の開口部１５ｋが、各レンズ部１０２ａに対応して形成されている。

ウェハレンズが載置されたワーク保持具２０は移動テーブル３０により移動させられ、樹脂層１０２のマスク１５側の面と開口部１５ｋの形成されたマスク１５が触接、又は極めて微少な隙間を介して位置した状態で、スキージ１６を移動させて液状の硬化性樹脂の転写（印刷）が行われる（図１参照）。

図８は、ウェハレンズの複数のレンズ部１０２ａが形成された樹脂層１０２に転写されるパターン例を示す図である。

図８において、樹脂層１０２に転写されたハッチングで示した硬化性樹脂のパターンは、レンズ部１０２ａを中心にした同心円状のものである。

この後、移動テーブル３０を印刷機構部１０のマスク１５から離間させ図１の破線で示す位置に移動させ、ウェハレンズをワーク保持具２０から取り外し、治具等を用いて位置決めし、硬化性樹脂が転写された位置に他のウェハレンズの当接部を当接させ、硬化エネルギーを与えて硬化させることで、複数枚のウェハレンズが積層されたユニットが形成される。

すなわち、本例では、印刷材料が液状の硬化性樹脂であり、該硬化性樹脂を、ウェハレンズどうしを接着するための接着剤として用いたものである。硬化性の樹脂としては、熱硬化型、活性エネルギー線硬化型等が用いられる。熱硬化型のシリコーン系樹脂やエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂が挙げられ、また活性エネルギー線硬化型樹脂として紫外線硬化型、電子線硬化型を用いることが出来るが、取扱性や照射装置のコスト、安全性の面から活性エネルギー線硬化型樹脂としては紫外線硬化型が好ましい。

上述のように、ベース部材２１とワーク２５の間にワーク受け板２２を挟むよう構成し、ベース部材２１にワーク受け板２２の厚みより深い凹部を形成し、該凹部にワーク受け板２２を着脱自在としたワーク保持具２０を用いた印刷装置とすることで、あるいは、ワーク２５を包含するワークとは異なる平面形状を有するワーク受け部材２３と、このワーク受け部材２３の形状にあわせて形成された凹部２１ｆを有するベース部材２１とによってワーク保持具を構成し、ワーク受け部材２３をベース部材２１の凹部２１ｆに対して着脱自在としたワーク保持具を用いた印刷装置とすることにより、厚さ、外形、面方向の寸法が異なる他種のウェハレンズに印刷を行う場合でも、ベース部材２１に互換性をもたせてワーク受け板２２のみを新たに作製するのみで印刷対応可能とでき、低コストで、容易に交換可能な、ワークとマスクの正確な位置決めを行うことのできる印刷装置を提供することが可能となる。

また、本実施の形態のように印刷材料として硬化性樹脂をウェハレンズに転写（印刷）する印刷装置とすることで、１回の転写（印刷）工程で、多数のレンズ部の周囲に硬化性樹脂を形成することができ、低コストのレンズユニットを形成することが可能となる。

なお、上記各実施形態においては、ワーク受け板の中央領域と外周領域とがワークに当接し、それ以外のワーク受け板の表面はワークに当接しない構成とすることにより、図７に示すような表面に凹凸の形成されたワークであっても水平に支持できるようにしているが、これに限るものではない。例えば、ワークの裏面に凹凸が無いのであれば、ワーク受け板の形状を、ワークに対して全面的に当接するようにしてもよい。

１印刷装置
１０印刷機構部
１１モータ
１２リードスクリュー
１３移動部材
１４駆動制御部
１５マスク
１６スキージ
２０ワーク保持具
２１ベース部材
２２ワーク受け板
２３ワーク受け部材
２５ワーク
３０移動テーブル
４０印刷材料

Claims

印刷装置の印刷対象物であるワークを保持するワーク保持具であって、
前記ワークの平面形状を包含する平面形状を有し、前記ワークを吸引するための孔が形成されたワーク受け板と、
前記ワーク受け板の厚みより深い凹部が形成され、該凹部に前記ワーク受け板を着脱自在となしたベース部材と、を有することを特徴とするワーク保持具。
前記ワークと前記ワーク受け板の平面形状が同一形状であることを特徴とする請求項１に記載のワーク保持具。
前記ベース部材が、平板と該平板上に載置される枠部材とで構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のワーク保持具。
前記ワーク受け板は、前記ワーク受け板を前記凹部に着脱する工具と係合させるための係合部が形成されていることを特徴とする請求項１から３までのいずれか一項に記載のワーク保持具。
印刷装置の印刷対象物であるワークを保持するワーク保持具であって、
前記ワークの平面形状を包含する平面形状を有する凹部を有し、該凹部内に前記ワークを吸引するための孔が形成され、前記凹部の深さが前記ワークの厚み以下であるワーク受け部材と、
前記ワーク受け部材を着脱自在に装着するための凹部を有するベース部材と、を有することを特徴とするワーク保持具。
請求項１から５までのいずれか一項に記載のワーク保持具と、
複数の開口部が形成されたマスクと、
前記マスクを介して印刷材料を前記ワークに押し出すスキージと、を有することを特徴とする印刷装置。
前記印刷材料は液状の硬化性樹脂であり、
前記マスクの複数の開口部に対応したパターンの前記硬化性樹脂を前記ワークに印刷することを特徴とする請求項６に記載の印刷装置。