JP2012086432A - スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板およびマスクの位置合わせのために認識マークの位置検出を目的として実行されるマーク撮像工程に先立って、撮像光軸間の水平方向相対位置を検出する光軸キャリブレーション処理工程と、撮像部の移動に起因して生じる撮像光軸の局地的な位置ずれを検出する面補正データ作成処理工程とを実行し、生産開始前に検証用基板、マスクを用いて基板位置合わせ精度を評価するために生産開始前精度評価工程を、生産開始後に実生産用の基板、マスクを用いて、生産開始後の基板位置合わせ精度を評価する生産開始後精度評価工程を実行する。
【選択図】図7
Description
7 基板下受け部
8 基板搬送機構
9a クランプ部材
9e 認識孔
10 基板
10B ガラス基板
10r 参照点
10m 認識マーク
11 スクリーン印刷部
12 マスクプレート
12A、12B 治具マスク
12b パターン孔
12e 認識孔
12r 参照点
12m 認識マーク
13 スキージヘッド
16 スキージ
17 撮像部
17a 基板認識カメラ
17b マスク認識カメラ
21 撮像部移動機構
a1,a2 撮像光軸
D* 相対距離
Claims (4)
- パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させてペーストを印刷するスクリーン印刷装置であって、
上流側から搬入された基板を保持して相対的に水平方向および上下方向に移動させることにより所定位置に位置決めする基板位置決め部と、
ペーストが供給された前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、
撮像方向がそれぞれ上方向および下方向の2つの撮像光軸を有し、前記基板およびマスクプレートにそれぞれ形成された基板認識マークおよびマスク認識マークを撮像するマーク撮像動作を行う撮像部と、
前記撮像部を前記基板およびマスクプレートに対して水平方向に移動させる撮像部移動機構と、
前記マーク撮像動作における撮像結果を認識処理することにより、前記基板認識マークおよびマスク認識マークの位置を検出するマーク認識処理を行う認識処理部と、
前記2つの撮像光軸のそれぞれの撮像面である前記マスク下面および基板上面における各撮像光軸の相対位置を、相対位置が関連づけられた2つの参照マークを前記撮像部によって個別に撮像することにより検出して、光軸間相対位置データとして出力する光軸キャリブレーション処理部と、
前記撮像部移動機構による撮像部の移動に起因して前記撮像面において生じる前記撮像光軸の水平方向の位置誤差を、前記基板が保持される基板エリアおよびマスクプレートが装着されるマスクエリアにそれぞれ規則配列で設定された参照点毎に固有の水平方向の位置ずれ量として求め、前記基板エリアおよびマスクエリアのそれぞれの面内における局地的な位置ずれ状態を示す面補正データとして出力する面補正データ作成処理部と、
前記撮像部、撮像部移動機構および認識処理部を制御することにより前記マーク撮像動作およびマーク認識処理を実行させ、さらに前記光軸間相対位置データ、面補正データおよび前記マーク認識処理の結果に基づき前記基板位置決め部を制御して、前記基板と前記マスクプレートとを位置合わせする基板位置合わせ動作を実行させる基板位置合わせ制御部と、
前記基板位置合わせ動作における位置合わせ精度を評価する精度評価部とを備え、
前記精度評価部は、当該スクリーン印刷装置による生産開始に先立って、前記基板とマスクプレートとの位置合わせ精度を検証するために予め製作され、それぞれ参照点が規則配列で設定された検証用の基板および検証用のマスクを対象として、前記光軸間相対位置データおよび面補正データに基づいて前記撮像部移動機構による撮像部の移動動作を補正して前記マーク撮像動作、マーク認識処理および前記基板位置合わせ動作を実行させ、
次いで前記基板位置合わせ動作後に、前記光軸間相対位置データおよび面補正データに基づいて前記撮像部移動機構による撮像部の移動動作を補正して再度前記マーク撮像動作およびマーク認識処理を実行し、このマーク認識処理における認識結果に基づいて、生産開始前の状態における前記位置合わせ精度を評価し、
さらに当該スクリーン印刷装置による生産開始後に、実生産用の基板およびマスクプレートを対象として、前記光軸間相対位置データおよび面補正データに基づいて前記撮像部移動機構による撮像部の移動動作を補正して前記マーク撮像動作、マーク認識処理および前記基板位置合わせ動作を実行させ、
次いで前記基板位置合わせ動作後に、前記光軸間相対位置データおよび面補正データに基づいて前記撮像部移動機構による撮像部の移動動作を補正して前記マーク撮像動作およびマーク認識処理を実行し、このマーク認識処理における認識結果に基づいて、生産開始後の状態における前記位置合わせ精度を評価することを特徴とするスクリーン印刷装置。 - 前記撮像部は、撮像面を上下逆方向に向けた姿勢の2つの撮像カメラを平面視して並列に配置して構成されていることを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷装置。
- パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させてペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
上流側から搬入された基板を基板位置決め部によって保持する基板保持工程と、
前記基板に形成された基板認識マークおよびスクリーン印刷部に装着された前記マスクプレートに形成されたマスク認識マークを、撮像方向がそれぞれ上方向および下方向の2つの撮像光軸を有し、撮像部移動機構によって前記基板およびマスクプレートに対して水平方向に移動する撮像部によって撮像するマーク撮像工程と、
前記マーク撮像工程における撮像結果を認識処理部によって認識処理することにより前記基板認識マークおよびマスク認識マークの位置を検出するマーク認識処理工程と、
前記基板認識マークおよびマスク認識マークの位置検出結果に基づいて前記基板位置決め部を制御することにより、前記基板を前記マスクプレートに位置合わせする基板位置合わせ工程と、
パターン孔が設けられペーストが供給された前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して前記基板にペーストを印刷するスクリーン印刷工程とを含み、
前記マーク撮像工程に先立って、前記2つの撮像光軸のそれぞれの撮像面である前記マスク下面および基板上面における前記撮像光軸の水平方向相対位置を、相対位置が関連づけられた2つの参照マークを前記撮像部によって個別に撮像することにより検出して、光軸間相対位置データとして出力する光軸キャリブレーション処理工程と、
前記撮像部移動機構による前記撮像部の移動に起因して、前記撮像面において生じる前記撮像光軸の水平方向の位置誤差を、前記基板が保持される基板エリアおよびマスクプレートが装着されるマスクエリアにそれぞれ規則配列で設定された参照点毎に水平方向の位置ずれ量として求め、前記基板エリア、マスクエリアのそれぞれの面内における局地的な位置ずれ状態を示す面補正データとして出力する面補正データ作成処理工程とを実行しておき、
さらに生産開始前に前記基板位置合わせ動作における位置合わせ精度を評価するために実行される生産開始前精度評価工程において、前記基板とマスクプレートとの位置合わせ精度を検証するために予め製作され、それぞれ参照点が規則配列で設定された検証用の基板および検証用のマスクを対象として、前記光軸間相対位置データおよび面補正データに基づいて前記撮像部移動機構による撮像部の移動動作を補正して前記マーク撮像動作、マーク認識処理および前記基板位置合わせ動作を実行させ、
次いで前記基板位置合わせ動作後に、前記光軸間相対位置データおよび面補正データに基づいて前記撮像部移動機構による撮像部の移動動作を補正して前記マーク撮像動作、マーク認識処理を実行し、このマーク認識処理における認識結果に基づいて、生産開始前の状態における前記基板位置合わせ精度を評価し、
さらに生産開始後に前記位置合わせ精度を評価するために実行される生産開始後精度評価工程において、実生産用の基板およびマスクプレートを対象として、前記光軸間相対位置データおよび面補正データに基づいて前記撮像部移動機構による撮像部の移動動作を補正して前記マーク撮像動作、マーク認識処理および前記基板位置合わせ動作を実行し、
次いで前記基板位置合わせ動作後に、前記光軸間相対位置データおよび面補正データに基づいて前記撮像部移動機構による撮像部の移動動作を補正して前記マーク撮像動作およびマーク認識処理を実行し、このマーク認識処理における認識結果に基づいて、生産開始後の状態における前記基板位置合わせ精度を評価することを特徴とするスクリーン印刷方法。 - 前記生産開始後精度評価工程において、一の基板を対象とする前記スクリーン印刷工程の前および後に、前記マーク撮像動作およびマーク認識処理を実行することを特徴とする請求項3に記載のスクリーン印刷方法。
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