JP2012074748A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る半導体発光素子は、第1導電型の第1半導体層と、第2導電型の第2半導体層と、第1半導体層と第2半導体層との間に設けられた発光部と、を有する積層構造体と、積層構造体の第1半導体層の第1主面において、第2半導体層及び発光部が選択的に除去され、第1主面の側において第1半導体層が露出した面に設けられた第1電極と、第1主面の側において、第2半導体層の一部に設けられた第2電極と、を備える。第1電極は、パッド部と、パッド部から延出する延出部と、を有し、延出部の延出方向に対して直交する方向に沿った幅は、延出部における延出方向に沿った中央の位置よりパッド部側の位置から先端にかけて漸減する。第2電極におけるパッド部に最も近い端部の位置は、延出部における前記中央の位置よりもパッドから遠い。
【選択図】図8
Description
しかしながら、このような従来技術を用いても、発光分布を十分に均一化にするには改良の余地がある。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1の実施の形態に係る半導体発光素子の構成を例示する模式的平面図である。
図2は、図1のA−A’線矢視の模式的断面図である。
図3は、図1のB−B’線矢視の模式的断面図である。
本具体例では、半導体発光素子110は、第1パッド部41の上に設けられたパッド電極45をさらに備える。すなわち、第1パッド部41は、例えばボンディングワイヤによる外部配線が接続されるパッド電極45と、第1半導体層10と、の間に配置されている。第1パッド部41は、例えば第1半導体層10の第1コンタクト面10aに接している。第1パッド部41の大きさは、例えばパッド電極45の平面視の大きさ以上の大きさである。
図2及び図3に表したように、半導体発光素子110においては、例えばサファイヤからなる基板5の主面(例えばC面)に、例えばバッファ層6が設けられ、その上に、例えばアンドープのGaN層7と、n形GaNコンタクト層11と、が設けられる。n形GaNコンタクト層11は、第1半導体層10に含まれる。なお、GaN層7は、便宜的に第1半導体層10に含まれるものとしても良い。
なお、第1電極40(第1パッド部41及び第1延出部42)、パッド電極45及び第2電極50(第2パッド部51及び第2延出部52)として用いられる上記材料は一例であり、本実施の形態はこれに限定されない。
本実施の形態に係る半導体発光素子110では、第1電極40に漸増部分421が設けられていることで、第1電極40と第2電極50との間の電流密度分布が分散化され、発光分布の均質化が達成される。
図1に例示したように、第1電極40は、第1パッド部41及び第1延出部42を含む。第1パッド部41は、例えば円形、矩形及び馬蹄形といった各種の形状を有することができる。なお、第1パッド部41が矩形の場合は、角が曲線状の形状とすることが望ましい。
図4は、比較例に係る半導体発光素子を例示する模式的平面図である。
同図では、半導体発光素子における第1電極及び第2電極の平面形状を模式的に示している。同図(a)は、第1比較例に係る半導体発光素子191a、同図(b)は、第2比較例に係る半導体発光素子191b、同図(c)は、第3比較例に係る半導体発光素子191cをそれぞれ示している。
この半導体発光素子191aにおいて、第1電極40の第1延出部82は、延出方向42aと直交する方向に沿った幅が一定である。
この半導体発光素子191bにおいて、第1電極40の第1延出部82は、第1パッド部81との付け根部分及び先端部分を除く中央部分において、延出方向42aと直交する方向に沿った幅が一定である。
また、第2電極50では、第2電極50における第1電極40の第1パッド部81に最も近い端部50aの位置が、第1電極40の第1延出部82における延出方向42aに沿った中央の位置42cよりも、第1電極40の第1パッド部81に近くなっている。
ここで、第1電極40の第1延出部82における、第1パッド部81との付け根部分及び先端部分には、R形状が設けられている。このR形状が設けられることで、この付け根部分及び先端部分は、第1電極40の第1延出部82における幅が変化する。しかし、この幅は、第1パッド部81から離れるほど狭くなっている。
この半導体発光素子191cにおいて、第1電極40の第1延出部82は、第1パッド部81から延出し、途中で枝分かれしている。したがって、第1電極40の第1延出部82は、延出方向42aが途中から3方向に分けられている。枝分かれした各第1延出部82においては、それぞれの延出方向42aと直交する方向に沿った幅が一定である。
同図において(a)〜(d)は、半導体発光素子の平面視における発光分布のシミュレーション結果を例示している。同図(a)〜(d)において、ハッチングが濃いほど発光強度が大きいことを示している。
また、同図において(e)〜(h)は、半導体発光素子の平面視における電流分布のシミュレーション結果を例示している。同図(e)〜(h)において、電流の方向及び大きさを、それぞれ矢印の方向及び長さとして示している。
図6及び図7では、第1電極40及び第2電極50の平面形状を例示している。
図6(a)〜(e)に例示した半導体発光素子111a〜111eにおいては、第1電極40の第1パッド部41から1本の第1延出部42が延出している。図7(a)〜(d)に例示した半導体発光素子112a〜112dにおいては、第1電極40の第1パッド部41から2本の第1延出部42が延出している。
図8は、第2の実施の形態に係る半導体発光素子の構成を例示する模式的平面図である。
図8に表したように、第2の実施の形態に係る半導体発光素子130において、第2電極50では、第2電極50における第1電極40の第1パッド部41に最も近い端部50aの位置が、第1延出部42における延出方向42aに沿った中央の位置42cよりも、第1パッド部41から遠くなっている。
すなわち、第2の実施の形態に係る半導体発光素子130では、第1の実施の形態に係る半導体発光素子110に対して、第2延出部52の端部50aの位置が相違する。
つまり、第1の実施の形態に係る半導体発光素子110では、第2電極50の端部50aの位置が、位置42cよりも、第1パッド部41に近くなっているのに対し、第2の実施の形態に係る半導体発光素子130では、第2電極50の端部50aの位置が、位置42cよりも、第1パッド部41から遠くなっている。
同図において(a)〜(c)は、半導体発光素子の平面視における発光分布のシミュレーション結果を例示している。同図(a)〜(c)において、ハッチングが濃いほど発光強度が大きいことを示している。
また、同図において(d)〜(f)は、半導体発光素子の平面視における電流分布のシミュレーション結果を例示している。同図(d)〜(f)において、電流の方向及び大きさを、それぞれ矢印の方向及び長さとして示している。
図10では、第1電極40及び第2電極50の平面形状を例示している。
図10に表したように、半導体発光素子140において、第2電極50は、第2パッド部51を有している。すなわち、半導体発光素子140では、図8に表した半導体発光素子130に対して、第2電極50が第2延出部52を有していない点で相違する。
図11及び図12は、第3の実施の形態に係る半導体発光素子を例示する模式的平面図である。
図11及び図12は、第1電極40及び第2電極50の平面形状を例示している。
図11及び図12では、第1電極40の第1パッド部41及び第2電極50の第2パッド部51が、平面視における対角線上で対向するように配置された半導体発光素子を例示している。
図11に例示する半導体発光素子150a〜150cでは、第1パッド部41及び51から1本の第1延出部42及び52が、互いに反対方向に向けて延出している。
また、図12に例示する半導体発光素子151a及び151bでは、第1パッド部41及び51から2本の第1延出部42及び52が、それぞれ直角方向に延出している。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
Claims (3)
- 第1導電型の第1半導体層と、
第2導電型の第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に設けられた発光部と、
を有する積層構造体と、
前記積層構造体の前記第1半導体層の側の第1主面において、前記第2半導体層及び前記発光部が選択的に除去され、前記第1主面の側において前記第1半導体層が露出した面に設けられた第1電極と、
前記第1主面の側において、前記第2半導体層の一部に設けられた第2電極と、
を備え、
前記第1電極は、
パッド部と、
前記パッド部から延出する延出部と、
を有し、
前記延出部の延出方向に対して直交する方向に沿った幅は、前記延出部における前記延出方向に沿った中央の位置より前記パッド部側の位置から先端にかけて漸減し、
前記第2電極における前記パッド部に最も近い端部の位置は、前記延出部における前記中央の位置よりも、前記パッドから遠いことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記延出部における前記幅は連続的に変化することを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 前記延出部における前記幅は段階的に変化することを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012074748A true JP2012074748A (ja) | 2012-04-12 |
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