JP2012069232A - レジスト付き基体の製造方法、レジストパターン付き基体の製造方法、パターン付き基体の製造方法及びレジスト処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布基体に対してベークを行うパターン露光前ベーク工程と、を有し、前記パターン露光前ベーク工程後に形成されることになるパターン未露光のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとすると前記レジスト層の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光前ベーク工程を行う。
【選択図】図3
Description
なお、これ以降、最終的な被転写体(生産物)へのインプリントに用いられるか否かに関わらず、マスターモールド、コピーモールドをまとめて単に「モールド」や「パターン付き基体」ともいう。
なお以降、PABやPEB、そして基体やレジスト付き基体に対して行われる加熱処理のことを単にベークとも言う。
ところが、良好なレジストパターンが得られる条件を獲得するためには、わざわざ試験用基体を別途準備する必要がある。しかも、PABの時間及び温度条件ごとに、その試験用基体を複数準備する必要がある。それに加え、今度は、所定のPABの時間及び温度条件の試験用基体に対し、パターン露光条件更にはPEB条件(時間及び温度)ごとに、更に別途基体を複数準備する必要がある。
そうなると、[知見1]が想到できたとしても、それを実現するためには相当な手間を要することになり、[知見1]を現実化しようとしても経済活動を行うという面から見ると現実味を失ってしまう。
また、パターン未露光(又は、単に未露光)とは、所望のパターン露光が行われていない状態を指す。
本発明の第1の態様は、
基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布基体に対してベークを行うパターン露光前ベーク工程と、
を有し、
前記パターン露光前ベーク工程後に形成されることになるパターン未露光のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとすると前記レジスト層の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光前ベーク工程を行うことを特徴とするレジスト層付き基体の製造方法である。
なお、前記パターン未露光とは、所望のパターン露光が行われていない状態を指す。
本発明の第2の態様は、第1の態様に記載の態様であって、
前記レジスト層付き基体に対して所望のパターン露光を行うパターン露光工程と、
前記パターン露光工程後、レジスト層付き基体に対してベークを行うパターン露光後ベーク工程と、
を更に有し、
前記パターン露光後ベーク工程後のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとすると、前記レジスト層の未露光部の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光後ベーク工程を行うことを特徴とする。
本発明の第3の態様は、
所望のパターン露光及びパターン露光後ベークが行われた後の、第1又は第2の態様に記載のレジスト層付き基体に対して現像処理を行い、前記基体上にレジストパターンを形成する現像工程と、
を更に有することを特徴とするレジストパターン付き基体の製造方法である。
本発明の第4の態様は、
基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布基体に対してベークを行い、前記基体上にレジスト層を形成するパターン露光前ベーク工程と、
前記パターン露光前ベーク工程後、レジスト層付き基体に対して所望のパターンを形成するために露光を行うパターン露光工程と、
前記パターン露光工程後、前記レジスト層付き基体に対して現像処理を行い、前記基体上にレジストパターンを形成する現像工程と、
前記レジストパターンに対応する凹凸パターンをエッチングにより前記基体に形成するエッチング工程と、
を有し、
前記パターン露光前ベーク工程後に形成されることになるレジスト層に対して現像剤による減膜処理を前記パターン露光工程前に行うとすると前記レジスト層の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光前ベーク工程を行うことを特徴とするパターン付き基体の製造方法である。
本発明の第5の態様は、
第1基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布第1基体に対してベークを行う第1の条件獲得用ベーク工程と、
前記第1の条件獲得用ベーク工程後に形成されることになるパターン未露光のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行い、前記レジスト層の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件を得る第1の条件獲得工程と、
前記レジスト塗布工程が行われた別のレジスト塗布第2基体に対し、所望のパターン露光を行うパターン露光工程前に、前記第1の条件獲得工程で得られた時間及び温度条件にてベークを行うパターン露光前ベーク工程と、
を有することを特徴とするレジスト処理方法である。
なお、前記パターン未露光とは、所望のパターン露光が行われていない状態を指す。
まず、<実施の形態1>においては、パターン付き基体を製造する前に、レジスト塗布後のパターン露光前ベーク(PAB)における適切な条件を求めるために、試験用レジスト層に対して減膜処理を行う。
<実施の形態2>においては、PABにより形成されたレジスト層にパターン露光を行った後且つ現像処理前に行うパターン露光後ベーク(PEB)における適切な条件を求めるために、適切な条件でPABが行われた後の試験用レジスト層に対して減膜処理を行う。
以下、上記の各実施の形態における、試験用レジスト層に対する減膜処理について詳述する。
その後、<実施の形態3>及び<実施の形態4>において、所望の凹凸パターンが主表面に形成されたパターン付き基体であって、製品となるパターン付き基体の製造工程を説明する。なお、<実施の形態3>は、基板上にレジスト層が形成された場合についての例であり、<実施の形態4>は、基板上にハードマスクが形成され、その上にレジスト層が形成された場合についての例である。
最後に、<実施の形態5>において種々の変形例について述べる。
まず、「基体」に対してレジストを塗布した直後のものは「レジスト塗布基体」と言う。
その後、PABによりレジストが基体上で膜化して、基体主表面にレジスト層が形成されたものは「レジスト層付き基体」と言う。
その後、レジスト層に対してパターン露光及び現像処理が行われたものは「レジストパターン付き基体」と言う。
(試験用基体の準備)
製品としてのレジスト層付き基体、レジストパターン付き基体、更にはパターン付き基体を製造する前に、レジストの性能を最大限に引き出すことのできるベーク条件を獲得することが必要となる。その獲得に際し、試験用基体(第1基体とも言う。)を使用する。この試験用基体上に試験用レジスト層を形成することになる。なお、試験用基体の種類としては、先にも述べたように、主表面にレジスト層が形成できるものならば良い。ただ、この試験の結果を本実施形態におけるパターン付き基体の製造に用いることから、可能な限りパターン付き基体の形状や材料をパターン付き基体の製造用基板と同一にするのがよい。この試験用基体としては、シリコンウエハ、石英基板などのガラス基板などが挙げられる。
本実施形態においては、円盤形状の石英からなる試験用基体を用いて説明する。以降、このような形状の石英基板を単に「試験用基体」ともいう。
この試験用基体に対して必要に応じ適宜洗浄・ベーク処理を行った後、本実施形態においては、化学増幅レジストを試験用基体の主表面に対して塗布する。塗布方法としては、本実施形態においては所定の回転数にて回転させつつ試験用基体上方からレジストを塗布するスピンコート法を用いる。
上述のように化学増幅レジストを試験用基体(第1基体)に塗布してレジスト塗布試験用基体(レジスト塗布第1基体)を得た後、本実施形態においては、このレジスト塗布試験用基体に対してPABを行う第1の条件獲得用ベーク工程を行う。具体的に言うと、レジスト塗布試験用基体に対してベークを行い、試験用レジスト層を試験用基体上に形成する。
そして、図3に示すように、PAB条件を示す時間軸及び温度軸からなるグラフにおける第1の残膜率良好領域(95%以上の残膜率)を得る工程(即ち第1の条件獲得工程)を行う。
本実施形態においては、そもそも残膜率が判別できれば良い。そのため、試験用レジスト層に対してパターン露光を行うか否かに拘わらず、パターン未露光の部分の残膜率さえ分かれば良い。本実施形態の場合、試験用レジスト層を現像剤により処理した際、少なくとも試験用レジスト層のパターン未露光の部分の厚さがどれだけ小さくなっているかが分かれば良いため、パターン露光は行わない。そのため、「減膜処理」は現像処理のように像形成に至る処理ではなく、いわば本番となる製品用のレジストパターン形成に用いられる現像剤(又はそれと同等の現像剤)によって、試験用レジスト層を処理した際に試験用レジスト層が減膜する処理である。この減膜処理には、現像処理の条件を用いる。
なお、製品用の基体にレジストパターンを形成する場合は、当然のことながら「現像処理」と言う。
本実施形態の効果は、製品となる基体を製造する際のPABに、第1の条件獲得工程で得られた第1の残膜率良好領域に属する時間及び温度条件を採用することにより発揮される。本実施形態ならば、試験用レジスト層に対してパターン露光を行うか否かに拘わらず、最終的な製品用におけるレジストパターンの残膜率が高い場合の条件、つまり、レジスト層を最も緻密化できる条件を知ることができる。
先にも述べたように、実施の形態2においては、PABにより形成されたレジスト層にパターン露光を行った後且つ現像処理前のPEBにおける適切な条件を獲得する(第2の条件獲得工程)。この第2の条件獲得工程を行うために、試験用レジスト層に対する第2の条件獲得用ベーク工程を行う。その後、この試験用レジスト層に対して減膜処理を行う。そして、第2の残膜率良好領域を獲得するという第2の条件獲得工程を行う。なお、特記が無い部分は、実施の形態1と同様である。
まず、実施の形態1の通り、試験用基体を用い、第1の条件獲得用ベーク工程にて第1の残膜率良好領域を得る。そして、別の試験用基体(第2基体とも言う。)に対し、第1の残膜率良好領域に属する時間及び温度にてPABを行う。この別の試験用基体に対し、更に、第2の条件獲得用ベーク工程を行う。
以下、記載のない部分(具体的なベーク手法や現像剤等)は、実施の形態1で記載した第1の条件獲得用ベーク工程の内容と同じである。
その一方、実施の形態2のように第2の条件獲得工程が行われる場合、「第2基体」は「製品用のレジスト層付き基体に対するPEBの適切条件を調べるために用いられる試験用基体であって、第1の残膜率良好領域に属する時間及び温度でPABが既に行われている基体」である。そして、「第3基体」は「製品用の基体」を指す。
本実施形態の効果は、製品となる基体を製造する際のPABに対して第1の条件獲得工程で得られた第1の残膜率良好領域に属する時間及び温度条件を採用し、その上で更に、製品となる基体を製造する際のPEBに対して第2の条件獲得工程で得られた第2の残膜率良好領域に属する時間及び温度条件を採用することにより発揮される。PABに加えてPEBにおいても予め調べておいた適切な条件で行われているので、化学増幅レジストの性能を最大限に引き出すことができる。
実施の形態1においては、製品作製の際のPABの適切条件を獲得するための手法について述べた。更に、実施の形態2においては、製品作製の際のPEBの適切条件を獲得するための手法について述べた。以下、こうして獲得された条件にてPAB及びPEBを行い、製品となるレジスト層付き基体、レジストパターン付き基体、そしてパターン付き基体を製造する方法について、図1を用いて説明する。
なお、基体の種類やベークの具体的な手法等、実施の形態1〜2と重複する部分については、特記しない限り実施の形態1〜2と同様である。
まず、本実施形態においてはインプリントモールドとなるパターン付き基体であるところのマスターモールド20製造のための基板1(本実施形態においては「第3基体」とも言う。)を用意する(図1(a))。
この基板1は、マスターモールド20として用いることができるのならば構わない。そして、先に述べた試験用レジスト層が設けられる基体に用いられるものでよい。
本実施形態においては、円盤形状の石英基板1を用いて説明する。以降、この石英基板1を単に基板1ともいう。
この基板1に対して必要に応じ適宜洗浄・ベーク処理を行った後、本実施形態においては、化学増幅レジストを基板1に対して塗布する。
なお、化学増幅レジストの種類については、試験用基体に対する化学増幅レジストと、マスターモールド製造用の化学増幅レジスト(いわゆる本番処理用の化学増幅レジスト)とを同組成とするのが極めて好ましい。同組成でなくとも、性能がほぼ同等であれば採用することは可能である。
また、この化学増幅レジストの塗布方法については、試験用基体に対する化学増幅レジストの塗布と同様で良い。
化学増幅レジストを基板1上に塗布してレジスト塗布基板を形成した後、第1の残膜率良好領域に属する温度及び時間条件にてレジスト塗布基板に対しPABを行い、図1(b)に示すように、レジスト層4付き基板1を形成する。別の言い方をすると、パターン露光前ベーク工程後に形成されることになるパターン未露光(所望のパターン露光が行われていない状態)のレジスト層4に対して現像剤による減膜処理を行うとすると、レジスト層4の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、PABを行う。
本実施形態におけるパターン露光は、公知のパターン露光であればよい。また、パターンの形状についても限定はなく、線状・点状(ドットパターン)・それらの混合等形状等であっても良い。一例を挙げるとすれば、電子線描画機を用いて、レジスト層4に対して、ビットパターンドメディア(BPM)製造用の所望の微細パターンを描画することが挙げられる。この微細パターンはミクロンオーダーであっても良いが、近年の電子機器の性能という観点からはナノオーダーであっても良いし、パターン付き基体などにより作製される最終製品の性能を考えると、その方が好ましい。
レジスト層4付き基板1に対してパターン露光を行った後、本実施形態においては、第2の残膜率良好領域に属する温度条件にてレジスト塗布基板に対しPABを行う。別の言い方をすると、PEB後のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとすると、レジスト層における未露光部の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、PEBを行う。
また、本実施形態における現像処理についても、公知のやり方であればよい。一例を挙げるとすれば、微細パターン描画後、図1(c)に示すように、レジスト層4を現像し、レジスト層4における電子線描画した部分を除去し、所定のパターンに対応する凹凸からなるレジストパターン4’を形成する。
レジストパターン4’を有する基板1に対し、必要に応じてリンス処理を行った後、乾燥処理を行う。
続いて、ドライエッチング装置を用い、フッ素系ガスを用いた第2のエッチングを、石英基板1に対して行う。この際、上記レジストパターン4’をマスクとして基板1をエッチング加工し、図1(d)に示すように、微細パターンに対応した溝を基板1に施す。
以上のような本実施形態においては、以下の効果を得ることができる。
即ち、PAB及びPEBにおいて、適切な時間及び温度条件を、比較的簡素な方法で得ることができる。その結果、製品用のレジスト層付き基体を作製する際に、レジスト層4におけるパターン未露光部については高残膜率を維持でき、かつ、露光部については現像処理後に充分取り除くことができる。その結果、パターン未露光部とパターン露光部との間で、高いパターンコントラストを有するレジストパターンが得られる。
先に述べた実施の形態3においては、基板1の上に直接レジスト層4を設けた場合について述べたが、本実施形態においては、基板1上にハードマスクを設け、その上にレジスト層4を設けた場合について説明する。なお、以下の説明において特筆しない部分については、実施の形態3と同様である。
まず、図2(a)の石英基板1をスパッタリング装置に導入する。そして本実施形態においては、タンタル(Ta)とハフニウム(Hf)の合金からなるターゲットをアルゴンガスでスパッタリングし、タンタル−ハフニウム合金からなる導電層2を成膜し、基板1上に形成される溝に対応する微細パターンを有するハードマスクの内の下層(導電層2)とする(図2(b))。
このように、基板上にハードマスクを設けたものを、本実施形態においてはマスクブランクスという。
次に、上記マスクブランクスにおけるハードマスクに対して電子線描画用のレジストを塗布する。そして、実施の形態3と同様の手法で、レジスト塗布後かつパターン露光前に、第1の残膜率良好領域に属する時間及び温度でPABを行う。そして、図2(c)に示すように、基板1上にレジスト層4を形成する。
その後、電子線にて微細パターンをレジスト層4に描画する。レジスト層4への微細パターン描画後、実施の形態3と同様の手法でPEBを行う。その後、レジスト層4を現像し、レジストにおける電子線描画した部分を除去し、図2(d)に示すような所望の微細パターンに対応するレジストパターン4’を形成する。
その後、基板1上にレジストパターン4’が形成された基板1を、ドライエッチング装置に導入する。そして、実質的に酸素を含まない塩素ガスによる第1のエッチングを行い、レジスト層4のパターン露光部が除去された部分の下部に位置する、導電層2および酸化防止層3を除去する(図2(e))。この際、導電層2の酸化防止という観点から、還元性ガスを導入しながら第1のエッチングを行っても良い。なお、この時のエッチング終点は、反射光学式の終点検出器を用いることで判別する。
続いて、第1のエッチングで用いられたガスを真空排気した後、実施の形態1と同様の手法で、フッ素系ガスを用いた第2のエッチングを石英基板1に対して行う。その後、アルカリ溶液や酸溶液にてレジストを除去する。
このように作製された残存ハードマスク除去前モールド10に対し、第1のエッチングと同様の手法で、引き続いて残存ハードマスク除去前モールド10上に残存するハードマスクをドライエッチングにて除去する工程が行われ、それによりマスターモールド20が作製される(図2(g))。
以下、その他の変形例について以下に記載する。
化学増幅レジストがネガ型レジストであるならば、電子線描画した箇所の溶解度が低下し、ひいてはその箇所が基体上の凸の位置に対応する。ネガ型の化学増幅レジストを用いる場合、パターン露光を行った部分がレジストパターンとして基体上に残存することになり、その逆にレジスト層における未露光部は現像剤により除去されることになる。よって、ネガ型レジストを用いた場合であって、全くの未露光の場合だと、本実施形態を適用することができない。そのため、ネガ型レジストを用いる場合、試験用レジスト層に対する減膜処理から残膜率を求める際に、試験用レジスト層に対して予め、残膜率獲得用の露光を行っていても良い。なお、繰り返しになるが、本実施形態において「パターン未露光」とは、所望の形状(最終的に必要となるレジストパターン形状に対応する形状)のパターン露光が行われていない状態を指す。つまり、上記のようにネガ型レジストの試験用レジスト層から残膜率を得るための露光を行っていてもパターン露光を行っていなければ「パターン未露光」とする。
実施の形態3〜4においては、適切なPAB条件を求めるための第1の条件獲得工程に加え、適切なPEB条件を求めるための第2の条件獲得工程を行い、そして第1の残膜率良好領域に属する時間及び温度でPABを行い、第2の残膜率良好領域に属する時間及び温度でPEBを行った場合について述べた。一方、第2の条件獲得工程を行わずに、所定の時間及び温度条件(例えばレジストメーカー推奨条件)にて、製品用のレジスト付き基体に対してPEBを行っても良い。
もちろん、上記の第2の条件獲得工程で第2の残膜率良好領域を得ていれば、適切な条件でPABに加えPEBを行うことができ、レジスト性能を最大限に発揮することができる。
なお、いずれかのエッチングのみをウェットエッチングとし、他のエッチングにおいてはドライエッチングを行っても良いし、全てのエッチングにおいてウェットエッチングまたはドライエッチングを行っても良い。また、パターンサイズがミクロンオーダーである場合など、ミクロンオーダー段階ではウェットエッチングを行い、ナノオーダー段階ではドライエッチングを行うというように、パターンサイズに応じてウェットエッチングを導入しても良い。
なお、実施の形態1における化学増幅レジストの処理方法及びレジスト付き基板、並びに本実施形態におけるレジスト付きマスクブランクスは、インプリントモールド作製用以外にも以下の用途に好適に適用でき、例えば、半導体装置用フォトマスク、半導体製造、マイクロ電気機械システム(MEMS)、センサ素子、光ディスク、回折格子や偏光素子等の光学部品、ナノデバイス、有機トランジスタ、カラーフィルター、マイクロレンズアレイ、免疫分析チップ、DNA分離チップ、マイクロリアクター、ナノバイオデバイス、光導波路、光学フィルター、フォトニック結晶等の作製にも幅広く適用できる。
本実施例においては、まず、第1の残膜率良好領域を求めるために、基板1として円盤状シリコンウエハ(外径150mm、厚み0.7mm)を用いた(図1(a))。この基板1に対して、ホットプレートにて200℃で10分間ベークを行い、基板1上の脱水処理を行った。その後、基板1を冷却プレート上に載置して、基板1を冷却した。
なお、レジスト感度曲線の求め方としては、各PAB条件で作製したレジスト層4付き基板1ごとに、ある露光量のパターン露光を行った上で、上記の条件にてPEBを行った。その後、2.38%TMAH水溶液を用いて現像を行った。そして、この処理を露光量ごとに行い、パターン未露光部の残膜率を調べた。そして、各PAB条件で作製したレジスト層4付き基板1に対し、同様に残膜率を調べた。そしてその結果をまとめ、縦軸を残膜率および横軸を露光量とした図4のレジスト感度曲線を得た。
図3が、試験用レジスト層における残膜率を示す図である。そして、図4が、製品用のレジストパターン4’付き基板1におけるレジスト感度曲線を示す図である。
最初に述べたように、ポジ型レジストの場合、レジスト層4のパターン露光部が現像剤により溶解している間に、パターン未露光部は現像剤によって溶解しないことにより、レジストパターン4’における凹凸が形成される。つまり、ある露光量を閾値として、閾値未満だと残膜率が高く、ある閾値以上になると一気に残膜率が低下し、レジスト層4からレジストパターン4’が形成される。残膜率が低下する際、露光量に対する残膜率のプロットが大きな傾きを有しているほど凹凸のコントラストが鮮明になる。その結果、レジスト層4において、現像剤により溶解する部分と残存する部分とが、明確に分かれ、ひいては低いLERや低いLWR、最終的には高い解像性能や良好なパターン品質を実現することができる。
以下、本実施の好ましい態様についての態様を付記する。
[付記1](「レジスト処理方法」を「レジスト層付き基体」に応用した場合)
第1基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布第1基体に対してベークを行う第1の条件獲得用ベーク工程と、
前記第1の条件獲得用ベーク工程後に形成されることになる未露光のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行い、前記レジスト層の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件を得る第1の条件獲得工程と、
前記レジスト塗布工程が行われた別のレジスト塗布第2基体に対し、所望のパターン露光を行うパターン露光工程前に、前記第1の条件獲得工程で得られた時間及び温度条件にてベークを行うパターン露光前ベーク工程と、
を有することを特徴とするレジスト層付き基体の製造方法。
なお、前記未露光とは、所望のパターン露光が行われていない状態を指す。
[付記2](パターン付き基体の製造方法のPEB)
前記パターン露光工程後且つ前記現像工程前、前記レジスト層付き基体に対してベークを行うパターン露光後ベーク工程と、
を更に有し、
前記パターン露光後ベーク工程後の前記レジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとするとレジスト層の未露光部の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光後ベーク工程を行うことを特徴とするパターン付き基体の製造方法。
[付記3](レジスト処理方法のPEB)
前記パターン露光前ベーク工程後のレジスト層付き第2基体に対してベークを行う第2の条件獲得用ベーク工程と、
前記第2の条件獲得用ベーク工程後、レジスト層付き第2基体のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行い、前記レジスト層の未露光部の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件を得る第2の条件獲得工程と、
前記レジスト塗布工程及び前記パターン露光前ベーク工程が行われた別のレジスト層付き第3基体に対し、前記パターン露光工程後に、前記第2の条件獲得工程で得られた時間及び温度条件にてベークを行うパターン露光後ベーク工程と、
を更に有することを特徴とするレジスト処理方法。
[付記4](レジスト処理方法のPEB後の現像)
前記パターン露光後ベーク工程後、前記レジスト層付き第3基体に対して現像処理を行い、前記第3基体上にレジストパターンを形成する現像工程と、
を更に有することを特徴とするレジスト処理方法。
2 導電層
3 酸化防止層
4 レジスト層
4’ レジストパターン
10 残存ハードマスク除去前モールド
20 マスターモールド(パターン付き基体)
Claims (5)
- 基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布基体に対してベークを行うパターン露光前ベーク工程と、
を有し、
前記パターン露光前ベーク工程後に形成されることになるパターン未露光のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとすると前記レジスト層の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光前ベーク工程を行うことを特徴とするレジスト層付き基体の製造方法。
なお、前記パターン未露光とは、所望のパターン露光が行われていない状態を指す。 - 前記レジスト層付き基体に対して所望のパターン露光を行うパターン露光工程と、
前記パターン露光工程後、レジスト層付き基体に対してベークを行うパターン露光後ベーク工程と、
を更に有し、
前記パターン露光後ベーク工程後のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとすると、前記レジスト層の未露光部の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光後ベーク工程を行うことを特徴とする請求項1に記載のレジスト層付き基体の製造方法。 - 所望のパターン露光及びパターン露光後ベークが行われた後の、請求項1又は2に記載のレジスト層付き基体に対して現像処理を行い、前記基体上にレジストパターンを形成する現像工程と、
を更に有することを特徴とするレジストパターン付き基体の製造方法。 - 基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布基体に対してベークを行い、前記基体上にレジスト層を形成するパターン露光前ベーク工程と、
前記パターン露光前ベーク工程後、レジスト層付き基体に対して所望のパターンを形成するために露光を行うパターン露光工程と、
前記パターン露光工程後、前記レジスト層付き基体に対して現像処理を行い、前記基体上にレジストパターンを形成する現像工程と、
前記レジストパターンに対応する凹凸パターンをエッチングにより前記基体に形成するエッチング工程と、
を有し、
前記パターン露光前ベーク工程後に形成されることになるレジスト層に対して現像剤による減膜処理を前記パターン露光工程前に行うとすると前記レジスト層の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光前ベーク工程を行うことを特徴とするパターン付き基体の製造方法。 - 第1基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、
前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布第1基体に対してベークを行う第1の条件獲得用ベーク工程と、
前記第1の条件獲得用ベーク工程後に形成されることになるパターン未露光のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行い、前記レジスト層の残膜率が95%以上となる時間及び温度条件を得る第1の条件獲得工程と、
前記レジスト塗布工程が行われた別のレジスト塗布第2基体に対し、所望のパターン露光を行うパターン露光工程前に、前記第1の条件獲得工程で得られた時間及び温度条件にてベークを行うパターン露光前ベーク工程と、
を有することを特徴とするレジスト処理方法。
なお、前記パターン未露光とは、所望のパターン露光が行われていない状態を指す。
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