JP2012064652A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】トレンチゲートをゲート電極で完全に埋め込むトレンチゲート型MOSFETにおいて、パフォーマンスに優れた半導体回路装置を提供する。
【解決手段】第1の導電型のウェル層4内に形成された第2の導電型のウェル層5が、ゲート電極材料9で埋設された格子状のトレンチ溝7で囲まれたトレンチゲート型MOSFETであって、トレンチ溝7の側面と第2の導電型のウェル層5との間に形成される第1の絶縁膜8は、トレンチ溝7の側面と前記第1の導電型のウェル層4との間に形成される第2の絶縁膜14よりも薄くしてある。
【選択図】図2
【解決手段】第1の導電型のウェル層4内に形成された第2の導電型のウェル層5が、ゲート電極材料9で埋設された格子状のトレンチ溝7で囲まれたトレンチゲート型MOSFETであって、トレンチ溝7の側面と第2の導電型のウェル層5との間に形成される第1の絶縁膜8は、トレンチ溝7の側面と前記第1の導電型のウェル層4との間に形成される第2の絶縁膜14よりも薄くしてある。
【選択図】図2
Description
本発明は、トレンチゲート型MOS電界効果トランジスタを含む半導体装置に関する。
近年、多種多様な携帯機器が流通するようになり、その電源には高エネルギー密度を有し、メモリー効果が発生しないLiイオン電池が多用されている。それに伴い、Liイオン電池の過充電、過放電を検出する保護用ICも必須となっている。例えば、携帯電話向けのLiイオン電池に関しては、3.6V程度の電池電圧となるが、充電する際は20V以上の電圧がかかる事になり、ICとしては高耐圧を有する素子を含むことが要求される。
この際、CMOSトランジスタプロセスで上記ICの仕様を満たそうとした場合、低耐圧に適したMOSトランジスタおよび高耐圧に適したMOSトランジスタを形成する必要がある。なぜなら、高耐圧素子はその仕様を満たす為には素子サイズをある程度大きくする必要があり、ICの全体を高耐圧素子で構成した場合、最終的なチップサイズが増大し、コスト競争力のないICとなり、市場の価格に対する要求を満たすことは困難になってしまうからである。その為、高電圧が印加される回路部分に高耐圧素子を使用し、その他の回路領域は低耐圧素子を使用することでチップサイズを抑制している。さらには、保護ICにパワーMOS電界効果トランジスタ(以下パワーMOSFETと略す)を内蔵することで、さらなるチップサイズ縮小とともに、パワーMOSFETのオン抵抗低減が要求されている。
ここで、パワーMOSFETのオン抵抗は、約50mΩの低抵抗が求められるため、パワーMOSFETがチップ全体に占める割合は非常に大きく、パワーMOSFETの性能向上がチップサイズの縮小に大きく貢献する。
そこで、パワーMOSFETに焦点を当てると、その回路は、図1に示すように2つのN型パワーMOSFETのドレイン同士を短絡させたものを用いることがある。図3の断面図に示すように、ドレイン電極をN型埋め込み層2で形成し、かつドレイン同士をN型埋め込み層2で短絡させ、かつトレンチゲート7a、7bをゲート電極材料9a、9bで完全に埋め込むトレンチゲート型MOSFETを用いて前記回路を構成した場合、N型埋め込み層2の寄生抵抗成分を減らすために、MOSFET間の距離は短いことが望ましい。しかし、MOSFETのP型ウェル5a、5b間のパンチスルー耐圧を確保する必要があるため、MOSFET間の距離を十分に開け、そこにN型緩和層4を設けた構造としている。
小柳光正、「サブミクロンデバイスI」、丸善株式会社、昭和62年7月31日、p170
トレンチゲート型MOSFETのP型ウェル5間のパンチスルー耐圧を確保するために、P型ウェル5a、5b間にN型緩和層4を設ける場合、P型ウェル5a、5bとN型緩和層4間のアバランシェブレークダウンを起こさないようにするため、N型緩和層4の濃度を薄くしなければならず、それにより、P型ウェル5a、5b間の距離を大きく開ける必要がある。P型ウェル5a、5b間の距離を大きく開けると、面積効率が悪化し、チップサイズの増大を招く。また、P型ウェル5a、5b間の距離が離れることで、トレンチゲート型MOSFETのドレイン同士を接続しているN型高濃度埋め込み層2の距離が長くなり、ドレイン抵抗が高くなるため、トレンチゲート型MOSFETの性能を落とすことになる。
本発明は、トレンチゲート7をゲート電極材料9a、9bで完全に埋め込むトレンチゲート型MOSFETにおいて、パフォーマンスに優れた半導体回路装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、本発明は以下の手段を用いた。
(1)第1の導電型のウェル層内に形成された第2の導電型のウェル層が、ゲート電極材料で埋設された格子状のトレンチ溝で囲まれたトレンチゲート型MOSFETであって、トレンチ溝の側面と第2の導電型のウェル層との間に形成される第1の絶縁膜が、トレンチ溝の側面と前記第1の導電型のウェル層との間に形成される第2の絶縁膜よりも薄いことを特徴とする半導体装置とした。
(2)(1)記載の半導体装置において、第1の絶縁膜の膜厚が20nm以下で、第2の絶縁膜の膜厚が20nmより厚いことを特徴とする半導体装置とした。
(3)(1)および(2)記載の半導体装置において、ゲート電極材料がポリシリコンであることを特徴とする半導体装置とした。
(1)第1の導電型のウェル層内に形成された第2の導電型のウェル層が、ゲート電極材料で埋設された格子状のトレンチ溝で囲まれたトレンチゲート型MOSFETであって、トレンチ溝の側面と第2の導電型のウェル層との間に形成される第1の絶縁膜が、トレンチ溝の側面と前記第1の導電型のウェル層との間に形成される第2の絶縁膜よりも薄いことを特徴とする半導体装置とした。
(2)(1)記載の半導体装置において、第1の絶縁膜の膜厚が20nm以下で、第2の絶縁膜の膜厚が20nmより厚いことを特徴とする半導体装置とした。
(3)(1)および(2)記載の半導体装置において、ゲート電極材料がポリシリコンであることを特徴とする半導体装置とした。
請求項1に記載の本発明によれば、トレンチ溝をゲート電極材料で埋設するトレンチゲート型MOSFETにおいて、P型ウェル層をトレンチ溝で囲むことにより、MOSFETのP型ウェル間のパンチスルー耐圧が向上し、MOSFET間の距離を最大でトレンチ溝の最小ピッチまで縮めることができる。これにより、MOSFET間の距離を短くすることができるため、チップサイズが小さく、かつ性能が優れた半導体回路装置を提供することができる。
以下、本発明による半導体装置について、図2の本発明の実施例である半導体回路装置の概略断面図を用いて説明を行なう。なお、以下の説明においては、Nチャネル型のMOSFETを例に説明を行う。
P型半導体基板1上に、高濃度のドレインとなるN型埋め込み層2と、P型エピタキシャル層3が形成されている。P型エピタキシャル層3表面には、低濃度のドレインとなるN型ウェル層4がN型埋め込み層2に届くように形成され、さらに、N型ウェル層4の内部には、ゲート電極材料9a、9bで埋設されたトレンチ溝7a、7bとチャネル領域を構成するP型ウェル層5a、5bが形成されていて、P型ウェル層5a、5bはトレンチ溝7a、7bに囲まれている。第1のゲート酸化膜8a、8bは、トレンチ溝内のP型ウェル層5a、5bと接する側に形成され、第2のゲート酸化膜14a、14bは、トレンチ溝内のN型ウェル層4と接する側に形成されていて、酸化膜厚は第2のゲート酸化膜14a、14bの方が第1のゲート酸化膜8a、8bよりも厚い。P型ウェル層5a、5bの内部には、選択的にN++型ソース層10a、10bとP++型ボディコンタクト層13a、13bが形成されている。図示はしないが、P型エピタキシャル層3の表面に中間絶縁膜が形成され、各MOSFETのN++型高濃度のソース層10a、10b、P++型高濃度のボディコンタクト層13a、13b、ゲート電極材料9a、9b上にコンタクトホールが形成され、さらに、コンタクトホールを介して金属によってゲート電極及びソース電極が形成されている。ここで、N++型ソース層10a、10bとP++型ボディコンタクト層13a、13bはそれぞれソース電極で短絡されている。
実施の形態にかかるトレンチゲート型MOSFETの動作について説明する。当該トレンチゲート型MOSFETは、ゲート電極材料9a、9bに接続されたゲート電極に閾値電圧Vt以上の電圧が印加されると、第一のトレンチ溝7の側壁に接するP型ウェル層5a、5bが反転してチャネルとなり、ドレイン電流が流れる。
図1に示す回路におけるトレンチゲート型MOSFETの動作について詳細に説明する。第1のMOSFETと第2のMOSFETはドレイン同士が短絡しており、オン時の電流経路としては、例えば第1のMOSFETのゲート電極9aと第2のP++型高濃度ボディコンタクト層13bに順バイアスを印加した場合、第1のMOSFETのN++型ソース層10a、チャネル領域、N型ウェル層4、N型埋め込み層2、N型ウェル層4、第2のMOSFETのP型ウェル層5b、P++型高濃度ボディコンタクト層13bが存在する。また、第1のMOSFETのゲート電極9aに電圧を加えず、P++型高濃度ボディコンタクト層13bに順バイアスを印加した場合はオフとなり、P型ウェル層5aと5b間に高電圧をかけることが可能で、この時の耐圧は、N型ウェル層4とP型ウェル層5aからなるPN接合耐圧、あるいはP型ウェル層5b、N型ウェル層4、P型ウェル層5aからなる寄生のバイポーラトランジスタのパンチスルー耐圧によって決まる。
本実施の形態にかかるトレンチゲート型MOSFETは、P型ウェル層5をトレンチ溝7で囲う構造としている。このことから、P型ウェル層5aと5b間のパンチスルー耐圧を十分に高くすることができる。
本実施例では、トレンチ溝7の内面に形成された酸化膜が、N型ウェル層4とトレンチ溝の側面で接しているが、この部分の酸化膜が使用する電圧の範囲で破壊されないような構造にしなければならない。パワーMOSFETは低オン抵抗が求められるため、ゲート酸化膜を薄くすることが一般的である。そのため、N型ウェル層4とトレンチ溝の側面側に、ゲート酸化膜8よりも酸化膜厚の厚い酸化膜14を形成した。酸化膜14の膜厚は、例えばソース・ドレイン間電圧20VのMOSFETの場合、20nm以上あれば酸化膜14は破壊されない。
ゲート酸化膜8a、8bと酸化膜14a、14bの製造方法を簡単に説明する。まず、トレンチ溝7a、7bの全内面を熱酸化して酸化膜を形成した後、ホトリソグラフィにより酸化膜8a、8bを形成する部分を開口し、ウェットエッチングにより酸化膜8a、8bを形成する部分の酸化膜を除去する。そして、レジストを除去した後、再びトレンチ溝7の全内面を熱酸化することにより、ゲート酸化膜8と酸化膜14が形成される。
P型ウェル層5a、5bをトレンチ溝7a、7bに囲まれるように形成すること、およびトレンチ溝7a、7bの側面とN型ウェル層とが接する部分の酸化膜厚を厚くすることにより、P型ウェル層5aと5b間のパンチスルー耐圧を高めつつ、ドレイン・ゲート間の耐圧を高めることができる。それにより、P型ウェル層5aと5b間のパンチスルー耐圧を確保するために開けていたトレンチゲートMOSFET間の距離を、製造方法で決まるトレンチ溝の最小ピッチにまで縮めることができる。
尚、本発明は、Nチャネルのトレンチゲート型MOSFETについての例を示したが、Pチャネルのトレンチゲート型MOSFETにも適用可能である。また、2つのトレンチゲート型MOSFETの素子分離について例を示したが、単体や3つ以上のトレンチゲート型MOSFETにも適用可能である。以上に説明したものは本発明の一実施の形態に過ぎないものであり、本発明の趣旨を逸脱することなく、この他にも種々の変形した実施の形態が考えられることは勿論のことである。
1 P型半導体基板
2 N型埋め込みドレイン層
3 P型エピタキシャル層
4 N型ウェル層
5a、5b P型ウェル層
6 フィールド絶縁膜
7a、7b トレンチ溝
8a、8b 第1のゲート酸化膜
9a、9b ゲート電極
10a、10b N++型ソース層
11 第1の縦型MOSFET
12 第2の縦型MOSFET
13a、13b P++型ボディコンタクト層
14a、14b 第2のゲート酸化膜
2 N型埋め込みドレイン層
3 P型エピタキシャル層
4 N型ウェル層
5a、5b P型ウェル層
6 フィールド絶縁膜
7a、7b トレンチ溝
8a、8b 第1のゲート酸化膜
9a、9b ゲート電極
10a、10b N++型ソース層
11 第1の縦型MOSFET
12 第2の縦型MOSFET
13a、13b P++型ボディコンタクト層
14a、14b 第2のゲート酸化膜
Claims (3)
- 第1導電型の半導体基板と
前記半導体基板の上に設けられた、高濃度ドレインとなる第2導電型の埋め込み層と、
前記埋め込み層の上および周囲に設けられた第1導電型のエピタキシャル層と、
前記エピタキシャル層の表面に、前記埋め込み層に達するように設けられた低濃度ドレインとなる第2導電型の第1のウェル層と、
前記第1のウェル層の表面に電気的に分離して配置されたチャネル領域を構成する第1導電型の複数の第2のウェル層と、
前記複数の第2のウェル層の周囲をそれぞれ取り囲むトレンチ溝と、
前記トレンチ溝が前記第1のウェル層に接する側の前記トレンチ溝の内部表面に形成された第1のゲート酸化膜と、
前記トレンチ溝が取り囲む前記複数の第2のウェル層のうちのひとつに接する側の前記トレンチ溝の内部表面に形成された、前記第1のゲート酸化膜よりも膜厚が薄い第2のゲート酸化膜と、
前記トレンチ溝に埋設されたゲート電極材料と
前記複数の第2のウェル層の各々の表面に配置されたソース層およびボディコンタクト層と、
を有する半導体装置 - 前記第1のゲート酸化膜の膜厚が20nm以下で、かつ前記第2のゲート酸化膜の膜厚が20nmよりも厚いことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極材料がポリシリコンであることを特徴とする請求項1あるいは2記載の半導体装置。
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JP2012064651A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Seiko Instruments Inc | 半導体装置 |
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2010
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