JP2012058683A - Film optical waveguide and manufacturing method of the same - Google Patents

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健一 三森
Yoshihiro Someno
義博 染野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film optical waveguide in which optical devices can be mounted on both sides without reducing strength of the film optical waveguide, and to provide a manufacturing method of the same.SOLUTION: A first clad film 1A and a second clad film 1B are arranged so as to be opposed to each other so that an optical waveguide core 4 is sandwiched therebetween. A film optical waveguide includes a light entering part 12 which penetrates the first clad film 1A and is connected to one end of the optical waveguide core 4, a light exiting part 15 which penetrates the second clad film 1B and is connected to the other end of the optical waveguide core 4, a first mirror surface 3A for guiding light from the light entering part 12 to the optical waveguide core 4 on the one end side, and a second mirror surface 3B for guiding light which propagates through the optical waveguide core 4 to the light exiting part 15 on the other end side.

Description

本発明は、フレキシブルなクラッドフィルムに高分子材料からなるコアが一体に形成されたフィルム光導波路の構造とその製造方法とに関する。   The present invention relates to a structure of a film optical waveguide in which a core made of a polymer material is integrally formed on a flexible clad film, and a manufacturing method thereof.

従来から、光情報・通信装置の光機能回路等を小型・高機能化するために、基板上に光導波路配線を形成し、VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser），LD(Laser Diode)，PD(Photo Diode)のような光電変換素子や光電子集積回路（ＯＥＩＣ）等を搭載した光モジュールが知られている。近年、高速大容量の光通信システムやコンピュータ等の情報機器の高ビット化等に伴い、各種光デバイスの高密度実装化が求められ、光導波路の両面に光デバイスを実装できるような構造が提案されている。   Conventionally, in order to make optical functional circuits of optical information / communication devices small and highly functional, optical waveguide wiring is formed on the substrate, VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser), LD (Laser Diode), PD ( An optical module including a photoelectric conversion element such as a Photo Diode) or an optoelectronic integrated circuit (OEIC) is known. In recent years, high-speed and large-capacity optical communication systems and information equipment such as computers have increased in bit rate, etc., and high-density mounting of various optical devices is required, and a structure that can mount optical devices on both sides of an optical waveguide is proposed. Has been.

特許文献１では、図９に示すように、光信号が伝搬する光導波路コア９１１が光導波路９１０のクラッド層内に複数形成されているフィルム光配線９２０を用い、複数の光デバイス９１５をフィルム光配線９２０の両面に実装している。フィルム光配線９２０の両面所定位置には、例えば刃先が４５°のダイシングソーを用いてダイシングすることにより、４５°の角度を持つ反射面９１２が形成されている。光デバイス９１５は、反射面９１２で反射した光導波路コア９１１の伝搬光を受光するそれぞれの位置もしくは光デバイス９１５から出射した光信号を反射面９１２で反射して光導波路コア９１１に伝搬させる位置に配置されている。この事により、フィルム光配線９２０の両面に光デバイス９１５を実装できるので、従来の実装構造に比べてデバイス実装密度を倍増でき、更に、基板が不要なため、薄型実装が可能になるといったメリットがあるとされている。   In Patent Document 1, as shown in FIG. 9, a plurality of optical devices 915 are used as film light by using a film optical wiring 920 in which a plurality of optical waveguide cores 911 through which an optical signal propagates are formed in a cladding layer of the optical waveguide 910. The wiring 920 is mounted on both surfaces. A reflective surface 912 having an angle of 45 ° is formed at a predetermined position on both sides of the film optical wiring 920 by, for example, dicing using a dicing saw having a blade edge of 45 °. The optical device 915 receives the propagation light of the optical waveguide core 911 reflected by the reflection surface 912 or the position where the optical signal emitted from the optical device 915 is reflected by the reflection surface 912 and propagates to the optical waveguide core 911. Has been placed. As a result, the optical devices 915 can be mounted on both sides of the film optical wiring 920, so that the device mounting density can be doubled compared to the conventional mounting structure, and further, there is an advantage that a thin mounting is possible because a substrate is unnecessary. It is said that there is.

特開２０００−９８１５３号公報JP 2000-98153 A

しかしながら、特許文献１の従来技術では、光導波路９１１と光デバイス９１５の光接続のために、フィルム光配線９２０の両面を削って、反射面９１２を形成しているので、フィルム光配線９２０の強度が弱くなり、場合によっては、その切削部で折れ曲がってしまうと言う課題があった。また、光導波路９１１の光路にとって重要な反射面９１２を機械加工で作製しているので、その反射面９１２を所望の形状にするのが難しく、しかも、切削痕が残るので、光導波路９１１の光路に悪影響を与え、光損失の要因になると言う課題もあった。更に、光導波路９１１の数が多くなればなるほど、反射面９１２を切削する機械加工が増えてしまうと言う課題もあった。   However, in the prior art of Patent Document 1, since both surfaces of the film optical wiring 920 are scraped to form the reflection surface 912 for optical connection between the optical waveguide 911 and the optical device 915, the strength of the film optical wiring 920 is increased. However, there was a problem that it was bent at the cutting part in some cases. Further, since the reflecting surface 912 important for the optical path of the optical waveguide 911 is manufactured by machining, it is difficult to make the reflecting surface 912 in a desired shape, and further, a cutting trace remains, so that the optical path of the optical waveguide 911 remains. There is also a problem that it has an adverse effect on light and causes light loss. Furthermore, there is a problem that the machining for cutting the reflective surface 912 increases as the number of the optical waveguides 911 increases.

本発明は、上述した課題を解決するもので、フィルム光導波路の両面に光デバイスを実装することができ、しかも、フィルム光導波路の強度を下げることがないフィルム光導波路及びその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention solves the above-described problems, and provides a film optical waveguide in which an optical device can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide, and does not reduce the strength of the film optical waveguide, and a method for manufacturing the same. For the purpose.

この課題を解決するために、本発明のフィルム光導波路は、光信号が伝搬する光導波路コアが、クラッド内に少なくとも一つ形成されているフィルム光導波路において、前記クラッドが、第一の屈折率を有する材料からなる第一のクラッドフィルムと第二の屈折率を有する材料からなる第二のクラッドフィルムとを有しており、前記第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとが対向配置されることにより、前記第一の屈折率及び前記第二の屈折率よりも大きい第三の屈折率を有する材料からなる前記光導波路コアが狭持されているとともに、前記第一のクラッドフィルムを貫通し前記光導波路コアの一端部に接続する前記第三の屈折率を有する材料からなる入光部と、前記第二のクラッドフィルムを貫通し前記光導波路コアの他端部に接続する前記第三の屈折率を有する材料からなる出光部とを有し、前記光導波路コアの前記一端部側に、前記入光部から入射された光を前記光導波路コアに導く第一のミラー面を有し、前記光導波路コアの前記他端部側に、前記光導波路コアを伝播した光を前記出光部に導く第二のミラー面を有することを特徴としている。   In order to solve this problem, in the film optical waveguide of the present invention, in the film optical waveguide in which at least one optical waveguide core through which an optical signal propagates is formed in the cladding, the cladding has a first refractive index. A first clad film made of a material having a second refractive film and a second clad film made of a material having a second refractive index, and the first clad film and the second clad film are arranged to face each other. As a result, the optical waveguide core made of a material having a third refractive index larger than the first refractive index and the second refractive index is sandwiched, and the first cladding film is A light incident portion made of a material having the third refractive index that penetrates and is connected to one end of the optical waveguide core; and the second cladding film penetrates the optical waveguide core. A light output portion made of a material having the third refractive index connected to the end portion, and guides light incident from the light incident portion to the one end portion side of the optical waveguide core to the optical waveguide core. It has a 1st mirror surface, It has the 2nd mirror surface which guides the light which propagated the said optical waveguide core to the said light emission part in the said other end part side of the said optical waveguide core.

これによれば、本発明のフィルム光導波路は、フィルム光導波路の片面側から入光部を通して入力した光信号がフィルム光導波路の反対面側の出光部から取り出せる構造になっているので、フィルム光導波路の両面に光デバイスを実装することができる。更に、第一のクラッドフィルムと第二のクラッドフィルムとで光導波路コアを狭持した構造をしているので、従来例のフィルム光配線の両面を削った構造と比較して、フィルム光導波路の強度を低下させることがない。   According to this, the film optical waveguide of the present invention has a structure in which an optical signal inputted from one side of the film optical waveguide through the light incident part can be taken out from the light outgoing part on the opposite side of the film optical waveguide. Optical devices can be mounted on both sides of the waveguide. Furthermore, since the optical waveguide core is sandwiched between the first clad film and the second clad film, the film optical waveguide is compared with the conventional structure in which both sides of the film optical wiring are cut. Does not reduce strength.

本発明のフィルム光導波路は、前記第一のミラー面が前記第二のクラッドフィルムに形成されているとともに、前記第二のミラー面が前記第一のクラッドフィルムに形成されていることを特徴としている。   The film optical waveguide of the present invention is characterized in that the first mirror surface is formed on the second clad film and the second mirror surface is formed on the first clad film. Yes.

これによれば、光導波路コアの所要の部分にミラー面を形成すると、入光部から入射された光を効率良く出光部に導くことができるので、フィルム光導波路における光の伝播効率を高めることができる。また、フィルム光導波路の光路を曲げるためのミラー面を、入光部及び出光部に対応する反対のクラッドフィルム側に設けたことにより、それぞれのミラー面を容易に作製することができる。また、ミラー面を最小の２箇所にしたことにより、ミラー面の反射による光損失が極力抑えられ、フィルム光導波路を伝搬する光の損失を抑えることができる。   According to this, if a mirror surface is formed in a required part of the optical waveguide core, light incident from the light incident part can be efficiently guided to the light output part, so that the light propagation efficiency in the film optical waveguide is increased. Can do. Further, by providing the mirror surface for bending the optical path of the film light guide on the opposite clad film side corresponding to the light incident portion and the light exit portion, each mirror surface can be easily produced. Further, since the mirror surface is set to two minimum positions, the light loss due to the reflection of the mirror surface can be suppressed as much as possible, and the loss of light propagating through the film optical waveguide can be suppressed.

本発明のフィルム光導波路は、前記光導波路コアが、前記第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとが接した面を延在した仮想面にある回転対称軸を有し、前記回転対称軸は、前記光導波路コアの前記一端部と前記他端部とを結ぶ方向と直交していることを特徴としている。   In the film optical waveguide of the present invention, the optical waveguide core has a rotational symmetry axis on a virtual plane extending from a surface in contact with the first clad film and the second clad film, and the rotational symmetry The axis is perpendicular to the direction connecting the one end and the other end of the optical waveguide core.

これによれば、光導波路コアが回転対称になるように作製されているので、入光部が出光部に、出光部が入光部に、と置き換えることができるので、フィルム光導波路の両面に実装される光デバイスのタイプに関係なく、光デバイスを配置することができる。この事により、光配線を設計することが容易になる。また、フィルム光導波路を作製する際の第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとを同じ型で製造することができる。   According to this, since the optical waveguide core is fabricated so as to be rotationally symmetric, the light incident part can be replaced with the light output part, and the light output part can be replaced with the light incident part. Regardless of the type of optical device being mounted, the optical device can be placed. This makes it easy to design the optical wiring. In addition, the first clad film and the second clad film for producing the film optical waveguide can be produced in the same mold.

本発明のフィルム光導波路は、前記第一のクラッドフィルムは前記第二のクラッドフィルム側の面に第一の凹溝を有し、前記第二のクラッドフィルムは前記第一のクラッドフィルム側の面に第二の凹溝を有し、前記第一の凹溝と前記第二の凹溝とが協働して、光導波路コア用キャビティを形成しており、前記光導波路コア用キャビティに前記第三の屈折率を有する材料が充填されて前記光導波路コアを形成しており、前記第一の凹溝の深さは、前記第二のミラー面が形成されている側の深さが前記入光部が形成されている側の深さ以上であるとともに、前記第二の凹溝の深さは、前記第一のミラー面が形成されている側の深さが前記出光部が形成されている側の深さ以上であることを特徴としている。   In the film optical waveguide of the present invention, the first clad film has a first groove on the second clad film side surface, and the second clad film is the first clad film side surface. And the first concave groove and the second concave groove cooperate to form an optical waveguide core cavity, and the optical waveguide core cavity includes the first concave groove. The optical waveguide core is formed by filling a material having a refractive index of three, and the depth of the first groove is the depth on the side where the second mirror surface is formed. The depth of the second groove is equal to or greater than the depth on the side where the light portion is formed, and the depth on the side where the first mirror surface is formed is the depth where the light emitting portion is formed. It is characterized by being more than the depth of the existing side.

これによれば、入光部から入射した光が、第一のミラー面で反射され、光導波路コアの光路の途中で反射されながら伝搬するので、第一のミラー面で反射された光が第二のミラー面に至るように光導波路コアの一部を傾斜させている。この事によって、光導波路コアを伝搬する光が確実に第二のミラー面に伝搬され、フィルム光導波路を伝搬する光の損失を抑えることができる。   According to this, the light incident from the light incident part is reflected by the first mirror surface and propagates while being reflected in the middle of the optical path of the optical waveguide core, so that the light reflected by the first mirror surface is the first. A part of the optical waveguide core is inclined so as to reach the second mirror surface. As a result, light propagating through the optical waveguide core is reliably propagated to the second mirror surface, and loss of light propagating through the film optical waveguide can be suppressed.

本発明のフィルム光導波路は、前記第一の凹溝が、前記第二のミラー面が形成されている側から前記入光部が形成されている側に向かって徐々に浅くなる凹溝であるとともに、
前記第二の凹溝は、前記第一のミラー面が形成されている側から前記出光部が形成されている側に向かって徐々に浅くなる凹溝であることを特徴としている。 In the film optical waveguide of the present invention, the first groove is a groove that gradually becomes shallower from the side on which the second mirror surface is formed toward the side on which the light incident portion is formed. With
The second concave groove is a concave groove that gradually becomes shallower from the side on which the first mirror surface is formed toward the side on which the light output part is formed.

これによれば、入光部から入射した光が、第一のミラー面で反射され、光導波路コアの光路の途中で反射されながら伝搬するので、第一のミラー面で反射された光が第二のミラー面に至るように光導波路コアを徐々に傾斜させている。この事によって、光導波路コアを伝搬する光がより確実に第二のミラー面に伝搬され、フィルム光導波路を伝搬する光の損失をより抑えることができる。   According to this, the light incident from the light incident part is reflected by the first mirror surface and propagates while being reflected in the middle of the optical path of the optical waveguide core, so that the light reflected by the first mirror surface is the first. The optical waveguide core is gradually inclined so as to reach the second mirror surface. As a result, the light propagating through the optical waveguide core is more reliably propagated to the second mirror surface, and the loss of light propagating through the film optical waveguide can be further suppressed.

本発明のフィルム光導波路は、前記第二の凹溝が、前記第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとが接した面を延在した仮想面に接する前記出光部の一端に繋がる凹溝であるとともに、前記第二のミラー面は、前記仮想面に接する前記出光部の一端に繋がっていることを特徴としている。   In the film optical waveguide of the present invention, the second concave groove is a concave connected to one end of the light exiting portion that is in contact with a virtual surface extending from a surface where the first clad film and the second clad film are in contact with each other. In addition to being a groove, the second mirror surface is connected to one end of the light output portion in contact with the virtual surface.

これによれば、光導波路コアの一端が出光部の一端部とつながり、第二のミラー面に対向する様に光導波路コアが配置されているので、導波路コアを伝搬してきた光が、出光部を横切って第二のミラーに到達せずに系外に抜けることを防止している。この事によって、フィルム光導波路を伝搬する光がより一層確実に第二のミラー面に伝搬され、フィルム光導波路を伝搬する光の損失をより一層抑えることができる。   According to this, since the optical waveguide core is disposed so that one end of the optical waveguide core is connected to one end of the light output portion and faces the second mirror surface, the light propagating through the waveguide core is emitted. This prevents it from crossing out of the system without reaching the second mirror. By this, the light propagating through the film optical waveguide is more reliably propagated to the second mirror surface, and the loss of the light propagating through the film optical waveguide can be further suppressed.

本発明のフィルム光導波路は、前記光導波路コアが、第一の光導波路コアと第二の光導波路コアとからなり、前記第一のミラー面は、前記入光部から入射された光を前記第一の光導波路コアに伝搬するよう反射し、前記第二のクラッドフィルムには、前記第一の光導波路コアを伝搬した光を前記第一のクラッドフィルム側に反射する第三のミラー面が形成されており、前記第一のクラッドフィルムには、前記第三のミラー面からの光を前記第二の光導波路コアに伝搬するよう反射する第四のミラー面が形成されており、前記第二のミラー面は、前記第二の光導波路コアを伝搬した光を前記出光部に導くよう反射することを特徴としている。   In the film optical waveguide of the present invention, the optical waveguide core includes a first optical waveguide core and a second optical waveguide core, and the first mirror surface transmits the light incident from the light incident portion. Reflected to propagate to the first optical waveguide core, the second clad film has a third mirror surface that reflects the light propagated through the first optical waveguide core to the first clad film side. The first clad film is formed with a fourth mirror surface that reflects the light from the third mirror surface so as to propagate to the second optical waveguide core; The second mirror surface is characterized in that the light propagated through the second optical waveguide core is reflected so as to be guided to the light output portion.

これによれば、フィルム光導波路の光路の途中に、光路を曲げるための第三のミラー面及び第四のミラー面を設けたことにより、フィルム光導波路の光路長を長くできる。この事により、光配線を設計することが容易になる。   According to this, the optical path length of the film optical waveguide can be increased by providing the third mirror surface and the fourth mirror surface for bending the optical path in the middle of the optical path of the film optical waveguide. This makes it easy to design the optical wiring.

本発明のフィルム光導波路は、前記光導波路コアが、第三の光導波路コアと第四の光導波路コアとからなり、前記第一のミラー面は、前記入光部から入射された光を前記第三の光導波路コアに伝搬するよう反射し、前記第一のクラッドフィルムには、前記第三の光導波路コアを伝搬した光を前記第二のクラッドフィルム側に反射する第五のミラー面が形成されており、前記第二のクラッドフィルムには、前記第五のミラー面からの光を前記第四の光導波路コアに伝搬するよう反射する第六のミラー面が形成されており、前記第二のミラー面は、前記第四の光導波路コアを伝搬した光を前記出光部に導くよう反射することを特徴としている。   In the film optical waveguide of the present invention, the optical waveguide core includes a third optical waveguide core and a fourth optical waveguide core, and the first mirror surface transmits the light incident from the light incident portion. Reflected to propagate to the third optical waveguide core, the first clad film has a fifth mirror surface that reflects the light propagated through the third optical waveguide core to the second clad film side. And the second clad film is formed with a sixth mirror surface that reflects light from the fifth mirror surface so as to propagate to the fourth optical waveguide core, and The second mirror surface is characterized in that the light propagated through the fourth optical waveguide core is reflected so as to be guided to the light output portion.

これによれば、フィルム光導波路の光路の途中に、光路を曲げるための第五のミラー面及び第六のミラー面を設けたことにより、フィルム光導波路の光路長を長くできる。この事により、光配線を設計することが容易になる。   According to this, the optical path length of the film optical waveguide can be increased by providing the fifth mirror surface and the sixth mirror surface for bending the optical path in the middle of the optical path of the film optical waveguide. This makes it easy to design the optical wiring.

本発明のフィルム光導波路は、前記クラッド内に、前記光導波路コアが同一方向に複数並列に配置されており、隣接する前記光導波路コアに接続された前記入光部の位置がそれぞれ前記光導波路コアの延伸方向にずれて形成されているとともに、隣接する前記光導波路コアに接続された前記出光部の位置がそれぞれ前記光導波路コアの延伸方向にずれて形成されていることを特徴としている。   In the film optical waveguide of the present invention, a plurality of the optical waveguide cores are arranged in parallel in the same direction in the clad, and the positions of the light incident portions connected to the adjacent optical waveguide cores are respectively the optical waveguides It is characterized in that it is formed so as to be shifted in the extending direction of the core, and the position of the light output portion connected to the adjacent optical waveguide core is shifted in the extending direction of the optical waveguide core.

これによれば、入光部または出光部の外径が光導波路コアの幅より大きい場合、隣接する入光部または出光部と重ならないように配線できるので、光配線の光導波路コアを曲げてパターンニングすることなく、高密度で多数の光配線を設けることができる。この事により、高密度で光デバイスを実装できるフィルム光導波路を提供できる。   According to this, when the outer diameter of the light incident part or the light outgoing part is larger than the width of the optical waveguide core, wiring can be performed so as not to overlap with the adjacent light incident part or light outgoing part. A large number of optical wirings can be provided at a high density without patterning. By this, the film optical waveguide which can mount an optical device with high density can be provided.

この課題を解決するために、本発明のフィルム光導波路の製造方法は、第一のクラッドフィルムに第一の凹溝及び第二のミラー面を形成する第一の形成工程と、第二のクラッドフィルムに第二の凹溝及び第一のミラー面を形成する第二の形成工程と、前記第一の形成工程及び前記第二の形成工程後、前記第二のミラー面及び前記第一のミラー面に反射膜を形成する成膜工程と、前記第一のクラッドフィルムに入光部または出光部を形成するための第一の貫通孔を開設する第一の孔形成工程と、前記第二のクラッドフィルムに出光部または入光部を形成するための第二の貫通孔を開設する第二の孔形成工程と、前記第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとを、前記第一の凹溝と前記第二の凹溝とが、前記第一の貫通孔と前記第一のミラー面とが、前記第二の貫通孔と前記第二のミラー面とが、それぞれ対向するよう貼り合わせる貼合せ工程と、前記第一の貫通孔内、前記第二の凹溝内、前記第一の凹溝内、及び前記第二の貫通孔内に光導波路の形成用高分子材料を充填する光導波路形成工程と、を有することを特徴としている。   In order to solve this problem, a film optical waveguide manufacturing method of the present invention includes a first forming step of forming a first groove and a second mirror surface in a first cladding film, and a second cladding. A second forming step of forming a second concave groove and a first mirror surface on the film; and after the first forming step and the second forming step, the second mirror surface and the first mirror. A film forming step of forming a reflective film on the surface, a first hole forming step of opening a first through hole for forming a light incident portion or a light outgoing portion in the first cladding film, and the second A second hole forming step for forming a second through hole for forming a light exit part or a light incident part in the clad film, the first clad film and the second clad film, A concave groove and the second concave groove are formed between the first through hole and the first groove. A bonding step of bonding the second through hole and the second mirror surface to face each other, the first through hole, the second concave groove, And an optical waveguide forming step of filling the first concave groove and the second through-hole with a polymer material for forming an optical waveguide.

これによれば、本発明のフィルム光導波路の製造方法は、第一のクラッドフィルムと第二のクラッドフィルムを貼り合わせて、両クラッドフィルムで形成されたキャビティに高分子材料を充填するだけで、第一のクラッドフィルムの第二のミラー面、第二のクラッドフィルムの第一のミラー面を利用することによって、光導波路の片面の入光部から入光させ、光導波路の反対面側の出光部から出光させる構造を簡易に作製できる。この事により、フィルム光導波路の両面に光デバイスを実装することができる。また、光導波路の光路の変更のために、フィルム光配線の両面を削ってミラー面を形成している場合と比較して、フィルム光導波路の強度を低下させることがなくフィルム光導波路を作製することができる。   According to this, the manufacturing method of the film optical waveguide of the present invention is simply by laminating the first clad film and the second clad film and filling the polymer material into the cavity formed by both clad films, By using the second mirror surface of the first clad film and the first mirror surface of the second clad film, light is incident from the light incident portion on one side of the optical waveguide, and the light exits on the opposite side of the optical waveguide. A structure for emitting light from the portion can be easily produced. By this, an optical device can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide. In addition, the film optical waveguide is produced without reducing the strength of the film optical waveguide as compared with the case where the mirror surface is formed by cutting both surfaces of the film optical wiring due to the change of the optical path of the optical waveguide. be able to.

本発明のフィルム光導波路の製造方法は、前記第一の形成工程及び前記第二の形成工程が、前記第一の凹溝及び前記第二の凹溝と前記第二のミラー面及び前記第一のミラー面とをそれぞれ同一形状となるよう加工することを特徴としている。   In the method of manufacturing a film optical waveguide according to the present invention, the first forming step and the second forming step include the first groove, the second groove, the second mirror surface, and the first mirror. Each of the mirror surfaces is processed to have the same shape.

これによれば、第一のクラッドフィルムと第二のクラッドフィルムの加工品が同一形状になるので、第一のクラッドフィルムと第二のクラッドフィルムとを同一の型で作製でき、同一の形状になった一種類のクラッドフィルムを用いて接合することで、フィルム光導波路を作製するこができる。この事により、異なる型で作製したクラッドフィルムを用いた時よりも、凹溝の寸法バラツキによる合わせ位置ズレ等が大幅に少なくなるので、フィルム光導波路を伝搬する光の損失を抑えることができる。   According to this, since the processed product of the first clad film and the second clad film has the same shape, the first clad film and the second clad film can be produced in the same mold, and the same shape is obtained. A film optical waveguide can be produced by bonding using one type of clad film. This makes it possible to suppress the loss of light propagating through the film optical waveguide because the alignment misalignment and the like due to the dimensional variation of the groove is significantly less than when using a clad film made of a different mold.

本発明のフィルム光導波路の製造方法は、前記光導波路形成工程が、前記第二の貫通孔から、前記第二の貫通孔内、前記第一の凹溝内、前記第二の凹溝内及び前記第一の貫通孔内の気体を吸引しつつ、前記第一の貫通孔から、前記第一の貫通孔内、前記第二の凹溝内、前記第一の凹溝内及び前記第二の貫通孔内に前記光導波路の形成用の高分子材料を加圧充填することを特徴としている。   In the method for producing a film optical waveguide according to the present invention, the optical waveguide forming step may be performed from the second through hole, into the second through hole, into the first concave groove, into the second concave groove, and While sucking the gas in the first through hole, from the first through hole, in the first through hole, in the second concave groove, in the first concave groove, and in the second The through hole is filled with a polymer material for forming the optical waveguide under pressure.

これによれば、第一のクラッドフィルムと第二のクラッドフィルムを用いて、両クラッドフィルムで形成されたキャビティに光導波路形成用の高分子材料を充填することで、両端部に入光部及び出光部を備えたフィルム光導波路を簡易に形成することができる。また、両クラッドフィルムで形成されたキャビティ内の気体を吸引しつつ、光導波路形成用の高分子材料の充填をしているので、高能率に充填が行えると共に、光導波路内への気泡の混入を防止することができる。また、高分子材料の充填を連続処理にて行うことが可能で、第一のクラッドフィルムと第二のクラッドフィルムにて光導波路が完全に被覆保護されたフィルム光導波路を高能率に製造することができる。   According to this, the first clad film and the second clad film are used to fill the cavity formed by both clad films with the polymer material for forming the optical waveguide, so that the light incident portions and A film optical waveguide provided with a light exit portion can be formed easily. In addition, since the polymer material for forming the optical waveguide is filled while sucking the gas in the cavity formed by both clad films, it can be filled with high efficiency and air bubbles are mixed into the optical waveguide. Can be prevented. In addition, high-efficiency production of a film optical waveguide in which the filling of the polymer material can be performed by continuous processing, and the optical waveguide is completely covered and protected by the first clad film and the second clad film. Can do.

本発明のフィルム光導波路の製造方法は、前記光導波路形成工程が、前記高分子材料を加圧充填する際に、前記第二の貫通孔内、前記第一の凹溝内、前記第二の凹溝内及び前記第一の貫通孔内の気体がぬけ易いよう、前記第二の貫通孔が前記第一の貫通孔より上方に配置されることを特徴としている。   In the method for producing a film optical waveguide according to the present invention, when the optical waveguide forming step pressurizes and fills the polymer material, the second through hole, the first concave groove, the second concave groove, The second through hole is arranged above the first through hole so that the gas in the concave groove and the first through hole can be easily removed.

これによれば、光導波路形成用の高分子材料の充填の際に、気体が抜け易い様に、気体の吸引側である第一の貫通孔が高分子材料の注入側である第二の貫通孔より上方（重力方向を下方とする）に配置されているので、より高能率に高分子材料の充填が行えると共に、光導波路内への気泡の混入をより防止できる。   According to this, the first through hole which is the gas suction side is the second penetration which is the injection side of the polymer material so that the gas can be easily released when the polymer material for forming the optical waveguide is filled. Since it is arranged above the hole (the gravity direction is below), the polymer material can be filled with higher efficiency, and air bubbles can be prevented from being mixed into the optical waveguide.

本発明のフィルム光導波路は、フィルム光導波路の片面から入光部を通して入力した光信号がフィルム光導波路の反対面側の出光部から取り出せる構造になっているので、フィルム光導波路の両面に光デバイスを実装することができる。更に、第一のクラッドフィルムと第二のクラッドフィルムとで光導波路コアを狭持した構造をしているので、フィルム光配線の両面を削った構造と比較して、フィルム光導波路の強度を低下させることがない。また、本発明のフィルム光導波路の製造方法は、第一のクラッドフィルムと第二のクラッドフィルムを貼り合わせて、両クラッドフィルムで形成されたキャビティに高分子材料を充填するだけで、第一のクラッドフィルムの第二のミラー面、第二のクラッドフィルムの第一のミラー面を利用することによって、光導波路の片面の入光部から入光させ、光導波路の反対面側の出光部から出光させる構造を簡易に作製できる。この事により、フィルム光導波路の両面に光デバイスを実装することができる。また、光導波路の光路の変更のために、フィルム光配線の両面を削ってミラー面を形成している場合と比較して、フィルム光導波路の強度を低下させることがなくフィルム光導波路を作製することができる。   The film optical waveguide of the present invention has a structure in which an optical signal input from one surface of the film optical waveguide through the light incident portion can be taken out from the light exiting portion on the opposite side of the film optical waveguide. Can be implemented. Furthermore, since the optical waveguide core is sandwiched between the first clad film and the second clad film, the strength of the film optical waveguide is reduced compared to the structure in which both sides of the film optical wiring are cut. I will not let you. Further, the film optical waveguide manufacturing method of the present invention can be obtained by simply bonding the first clad film and the second clad film and filling the cavity formed by both clad films with a polymer material. By using the second mirror surface of the clad film and the first mirror surface of the second clad film, light is incident from the light incident portion on one side of the optical waveguide, and light is emitted from the light exit portion on the opposite side of the optical waveguide. The structure to be made can be easily produced. By this, an optical device can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide. In addition, the film optical waveguide is produced without reducing the strength of the film optical waveguide as compared with the case where the mirror surface is formed by cutting both surfaces of the film optical wiring due to the change of the optical path of the optical waveguide. be able to.

したがって、本発明のフィルム光導波路及びその製造方法は、フィルム光導波路の両面に光デバイスを実装することができ、しかも、フィルム光導波路の強度を下げることがないフィルム光導波路を提供できる。   Therefore, the film optical waveguide and the manufacturing method thereof according to the present invention can provide an optical device on both surfaces of the film optical waveguide, and can provide a film optical waveguide that does not lower the strength of the film optical waveguide.

本発明の第１実施形態のフィルム光導波路を説明する図であり、厚み方向から見た側面構成図である。It is a figure explaining the film optical waveguide of 1st Embodiment of this invention, and is the side block diagram seen from the thickness direction. 本発明の第１実施形態のフィルム光導波路を説明する図であり、図２（ａ）は、フィルム光導波路を第二のクラッドフィルム側から見た平面構成図で、図２（ｂ）は、厚み方向から見た側面構成図で、回転対称軸で回転させた状態を説明する図である。It is a figure explaining the film optical waveguide of 1st Embodiment of this invention, FIG.2 (a) is the plane block diagram which looked at the film optical waveguide from the 2nd clad film side, FIG.2 (b) It is a side block diagram seen from the thickness direction, and is a figure explaining the state rotated by the rotational symmetry axis. 本発明の第１実施形態のフィルム光導波路の両面に光デバイスを実装した一例を示す側面構成図である。It is a side block diagram which shows an example which mounted the optical device on both surfaces of the film optical waveguide of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態のフィルム光導波路の製造方法の工程を説明する構成図である。It is a block diagram explaining the process of the manufacturing method of the film optical waveguide of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態のフィルム光導波路の製造方法の工程の内、光導波路形成工程を説明する構成図である。It is a block diagram explaining an optical waveguide formation process among the processes of the manufacturing method of the film optical waveguide of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２実施形態のフィルム光導波路を説明する図であり、厚み方向から見た側面構成図である。It is a figure explaining the film optical waveguide of 2nd Embodiment of this invention, and is the side block diagram seen from the thickness direction. 本発明の第３実施形態のフィルム光導波路を説明する図であり、厚み方向から見た側面構成図である。It is a figure explaining the film optical waveguide of 3rd Embodiment of this invention, and is the side block diagram seen from the thickness direction. 本発明の第４実施形態のフィルム光導波路を説明する図であり、第二のクラッドフィルム側から見た平面構成図である。It is a figure explaining the film optical waveguide of 4th Embodiment of this invention, and is the plane block diagram seen from the 2nd clad film side. 従来例１の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the prior art example 1. FIG.

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態のフィルム光導波路１０１を説明する図であり、厚み方向から見た側面構成図である。図１に示すように、フィルム光導波路１０１は、第一の屈折率Ｒ１を有する材料からなる第一のクラッドフィルム１Ａと、第二の屈折率Ｒ２を有する材料からなる第二のクラッドフィルム１Ｂと、第三の屈折率Ｒ３を有する材料からなる光導波路コア４と、第一のクラッドフィルム１Ａを貫通し光導波路コア４の一端部に接続する入光部１２と、第二のクラッドフィルム１Ｂを貫通し光導波路コア４の他端部に接続する出光部１５と、光導波路コア４の一端部側に形成され入光部１２から入射された光を光導波路コア４に導く第一のミラー面３Ａと、光導波路コア４の他端部側に形成され光導波路コア４を伝播した光を出光部１５に導く第二のミラー面３Ｂと、から構成されている。図面においては構造をわかりやすくするために長さ方向をデフォルメしているが、光導波路１０１は必要に十分な長さを取ってよく、たとえば１０ｍｍ〜５ｍ程度の長さとしてもよい。 [First Embodiment]
FIG. 1 is a view for explaining the film optical waveguide 101 according to the first embodiment of the present invention, and is a side configuration diagram viewed from the thickness direction. As shown in FIG. 1, a film optical waveguide 101 includes a first clad film 1A made of a material having a first refractive index R1, and a second clad film 1B made of a material having a second refractive index R2. The optical waveguide core 4 made of a material having the third refractive index R3, the light incident portion 12 that penetrates the first cladding film 1A and is connected to one end of the optical waveguide core 4, and the second cladding film 1B A light exit portion 15 that penetrates and connects to the other end portion of the optical waveguide core 4, and a first mirror surface that is formed on one end portion side of the optical waveguide core 4 and guides light incident from the light incident portion 12 to the optical waveguide core 4. 3A and a second mirror surface 3B that is formed on the other end side of the optical waveguide core 4 and guides the light propagated through the optical waveguide core 4 to the light output portion 15. In the drawing, the length direction is deformed in order to make the structure easy to understand, but the optical waveguide 101 may have a necessary and sufficient length, for example, a length of about 10 mm to 5 m.

また、フィルム光導波路１０１は、光導波路コア４が第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとで狭持されて形成されおり、入光部１２と光導波路コア４と出光部１５とで光導波路６６を形成している。なお、光導波路コア４のいずれの一端部を入光部とし、他端部を出光部するかは、必要に応じて適宜設定することができる。このように、フィルム光導波路１０１は、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとで光導波路コア４を狭持した構造をしているので、従来例のフィルム光配線の両面を削った構造と比較して、フィルム光導波路１０１の強度を低下させることがない。また、光導波路６６は、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂにて覆ったので、光導波路６６からの光漏れをより確実に抑制することができて光の伝播効率が高められると共に、物理的及び化学的な耐性を高めることができる。   The film optical waveguide 101 is formed by sandwiching the optical waveguide core 4 between the first clad film 1A and the second clad film 1B, and the light incident portion 12, the optical waveguide core 4, the light exit portion 15, and the like. Thus, an optical waveguide 66 is formed. In addition, it can be set suitably as needed which one end part of the optical waveguide core 4 is made into a light-incidence part, and an other end part is made into a light emission part. Thus, since the film optical waveguide 101 has a structure in which the optical waveguide core 4 is sandwiched between the first clad film 1A and the second clad film 1B, both surfaces of the film optical wiring of the conventional example are shaved. Compared with the above structure, the strength of the film optical waveguide 101 is not lowered. In addition, since the optical waveguide 66 is covered with the first clad film 1A and the second clad film 1B, light leakage from the optical waveguide 66 can be more reliably suppressed, and light propagation efficiency is increased. At the same time, physical and chemical resistance can be increased.

また、図１の破線ＯＰの光路順の一例（光の光路の全てを表したものではない）に示すように、フィルム光導波路１０１の片面側の入光部１２の端面１２ａから入射した光は、入光部１２を伝搬し、第一のミラー面３Ａによって全反射し、光導波路コア４に導かれる。そして、光導波路コア４を伝搬した光は、第二のミラー面３Ｂによって全反射し、出光部１５を伝搬し、フィルム光導波路１０１の反対面側の出光部１５の端面１５ａから出射する。このように、フィルム光導波路１０１の片面側から入光部１２を通して入力した光信号がフィルム光導波路１０１の反対面側の出光部１５から取り出せる構造になっているので、フィルム光導波路１０１の両面に光デバイスを実装することができる。   Further, as shown in an example of the optical path order of the broken line OP in FIG. 1 (not showing all of the optical paths of light), the light incident from the end face 12a of the light incident portion 12 on one side of the film optical waveguide 101 is , Propagates through the light incident portion 12, is totally reflected by the first mirror surface 3 A, and is guided to the optical waveguide core 4. The light propagated through the optical waveguide core 4 is totally reflected by the second mirror surface 3 </ b> B, propagates through the light output part 15, and is emitted from the end face 15 a of the light output part 15 on the opposite surface side of the film optical waveguide 101. As described above, the optical signal input from the one side of the film optical waveguide 101 through the light incident part 12 can be extracted from the light output part 15 on the opposite side of the film optical waveguide 101. An optical device can be implemented.

第一のクラッドフィルム１Ａ及び第二のクラッドフィルム１Ｂは、フィルム光導波路１０１を備えた光学装置の用途に応じ、屈折率などの光学的特性、機械的強度、耐熱性、光導波路コア４及び後に説明する金型との密着性、フレキシビリティ及び吸水性等を考慮して、その材料が選択される。例えば、光導波路コア４との屈折率差を確保するため、光導波路コア４の屈折率よりも小さい屈折率（屈折率が約１.５１）で、厚みが５０μｍ〜１００μｍ程度の脂環式アクリル樹脂フィルムや脂環式オレフィン樹脂フィルムなどを用いることができる。第一のクラッドフィルム１Ａ及び第二のクラッドフィルム１Ｂは、同じ厚みのフィルムを用いても良いが、違う厚みのフィルムを用いても良い。また、第一のクラッドフィルム１Ａ及び第二のクラッドフィルム１Ｂは、光導波路コア４の第三の屈折率Ｒ３よりも小さい屈折率を持つ材料であれば良く、第一の屈折率Ｒ１と第二の屈折率Ｒ２が同じ屈折率の材料を用いても良い。また、同じ材質の材料を用いた場合、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとの密着性が良く、熱膨張差による硬化後の反り等も防止されるので、第一のクラッドフィルム１Ａ及び第二のクラッドフィルム１Ｂは、同じ材質の材料を用いるのがより好ましい。   The first clad film 1 </ b> A and the second clad film 1 </ b> B are optical properties such as refractive index, mechanical strength, heat resistance, optical waveguide core 4, and the like, depending on the use of the optical device including the film optical waveguide 101. The material is selected in consideration of adhesion to the mold to be described, flexibility, water absorption, and the like. For example, in order to secure a difference in refractive index from the optical waveguide core 4, an alicyclic acrylic having a refractive index smaller than that of the optical waveguide core 4 (refractive index is about 1.51) and a thickness of about 50 μm to 100 μm. A resin film, an alicyclic olefin resin film, or the like can be used. As the first clad film 1A and the second clad film 1B, films having the same thickness may be used, but films having different thicknesses may be used. The first clad film 1A and the second clad film 1B may be any material having a refractive index smaller than the third refractive index R3 of the optical waveguide core 4, and the first refractive index R1 and the second clad film 1B may be used. A material having the same refractive index R2 may be used. In addition, when the same material is used, the first clad film 1A and the second clad film 1B have good adhesion and prevent warping after curing due to thermal expansion difference. More preferably, the film 1A and the second clad film 1B are made of the same material.

光導波路コア４は、図１に示すように、第一のクラッドフィルム１Ａの第一の凹溝６Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂの第二の凹溝６Ｂとが協働して形成した光導波路コア用キャビティに第三の屈折率Ｒ３を有する材料が充填されてことによって形成されている。また、第一の凹溝６Ａは、第二のミラー面３Ｂが形成されている側から入光部１２が形成されている側に向かって徐々に浅くなる凹溝になっている。同様にして、第二の凹溝６Ｂも、第一のミラー面３Ａが形成されている側から出光部１５が形成されている側に向かって徐々に浅くなる凹溝になっている。このように、入光部１２から入射した光が、第一のミラー面３Ａで反射され、光導波路コア４の光路の途中で反射されながら伝搬するので、第一のミラー面３Ａで反射された光が第二のミラー面３Ｂに至るように光導波路コア４を徐々に傾斜させている。この事によって、光導波路コア４を伝搬する光がより確実に第二のミラー面３Ｂに伝搬されるようになる。なお、第一の凹溝６Ａ及び第二の凹溝６Ｂの傾斜は、曲線であっても良いが、より効率良く光導波路コア４の光路の途中で反射させながら伝搬させるため、図１に示すように、直線の方がより好ましい。   As shown in FIG. 1, the optical waveguide core 4 is an optical waveguide formed by cooperation of the first concave groove 6A of the first clad film 1A and the second concave groove 6B of the second clad film 1B. The core cavity is filled with a material having a third refractive index R3. The first groove 6A is a groove that gradually becomes shallower from the side on which the second mirror surface 3B is formed toward the side on which the light incident part 12 is formed. Similarly, the second groove 6B is also a groove that gradually becomes shallower from the side on which the first mirror surface 3A is formed toward the side on which the light output part 15 is formed. Thus, since the light incident from the light incident part 12 is reflected by the first mirror surface 3A and propagates while being reflected in the middle of the optical path of the optical waveguide core 4, it is reflected by the first mirror surface 3A. The optical waveguide core 4 is gradually inclined so that the light reaches the second mirror surface 3B. As a result, the light propagating through the optical waveguide core 4 is more reliably propagated to the second mirror surface 3B. The slopes of the first and second concave grooves 6A and 6B may be curved, but are shown in FIG. 1 in order to propagate while reflecting in the middle of the optical path of the optical waveguide core 4 more efficiently. Thus, a straight line is more preferable.

また、第二の凹溝６Ｂは、図１に示すように、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとが接した面を延在した仮想面ＩＰに接する出光部１５の一端１５ｂに繋がる凹溝であるとともに、第二のミラー面３Ｂは、仮想面ＩＰに接する出光部１５の一端１５ｃに繋がっている。このように、光導波路コア４の一端部が出光部１５の一端１５ｂとつながり、第二のミラー面３Ｂに対向する様に光導波路コア４が配置されているので、導波路コア４を伝搬してきた光が、出光部１５を横切って第二のミラー面３Ｂに到達せずに系外に抜けることを防止している。この事によって、フィルム光導波路１０１を伝搬する光がより一層確実に第二のミラー面３Ｂに伝搬されるようになる。   In addition, as shown in FIG. 1, the second groove 6 </ b> B has one end 15 b of the light exit portion 15 that is in contact with the virtual surface IP extending from the surface where the first cladding film 1 </ b> A and the second cladding film 1 </ b> B are in contact. And the second mirror surface 3B is connected to one end 15c of the light output portion 15 in contact with the virtual surface IP. Thus, since the optical waveguide core 4 is disposed so that one end portion of the optical waveguide core 4 is connected to the one end 15b of the light output portion 15 and faces the second mirror surface 3B, the optical waveguide core 4 propagates through the waveguide core 4. Is prevented from passing out of the system without crossing the light exit portion 15 and reaching the second mirror surface 3B. As a result, the light propagating through the film optical waveguide 101 is more reliably propagated to the second mirror surface 3B.

また、光導波路コア４は、所要の屈折率と光透過性とを有するものであれば、公知に属する任意の高分子材料をもって形成することもできるが、樹脂硬化光の照射範囲を規制することにより、所要の部分のみを選択的に硬化させることができ、光導波路コア４ひいてはフィルム光導波路１０１の製造を容易化できるので、紫外線硬化性樹脂が特に好適である。例えば、屈折率が約１.５１のクラッドフィルムに対して、硬化後の屈折率が約１.５５の紫外線硬化性樹脂を用いるのが好適である。また、光導波路コア４の断面形状は矩形であり、その幅及び高さは、フィルム光導波路１０１を備えた光学装置の用途に応じて、１５μｍ〜１００μｍ程度に形成される。光導波路コア４と入光部１２と出光部１５とは、光導波路６６の内部における光のロスを回避又は抑制するため、断面形状及び断面積が略同等に形成される。なお、ひと組みのクラッドフィルムに複数本の光導波路６６を形成することも可能であり、実用的には、ひと組みのクラッドフィルムに複数本の光導波路６６が形成されたものの方が、むしろ一般的である。   The optical waveguide core 4 can be formed of any known polymer material as long as it has a required refractive index and light transmittance, but it limits the irradiation range of the resin curing light. Thus, only a required portion can be selectively cured, and the manufacture of the optical waveguide core 4 and hence the film optical waveguide 101 can be facilitated. Therefore, an ultraviolet curable resin is particularly suitable. For example, for a clad film having a refractive index of about 1.51, it is preferable to use an ultraviolet curable resin having a refractive index after curing of about 1.55. Moreover, the cross-sectional shape of the optical waveguide core 4 is rectangular, and the width and height thereof are formed to be about 15 μm to 100 μm depending on the use of the optical device provided with the film optical waveguide 101. The optical waveguide core 4, the light entrance portion 12, and the light exit portion 15 are formed to have substantially the same cross-sectional shape and cross-sectional area in order to avoid or suppress light loss inside the optical waveguide 66. It is also possible to form a plurality of optical waveguides 66 in a set of clad films. In practice, a structure in which a plurality of optical waveguides 66 are formed in a set of clad films is more general. Is.

第一のミラー面３Ａは、第二のクラッドフィルム１Ｂに形成されて、入光部１２から入射された光を全反射して、光導波路コア４に導くためのものであり、光導波路コア４及び入光部１２に対して、４５°以下の角度で傾斜する傾斜面をもって形成される。一方、第二のミラー面３Ｂは、第一のクラッドフィルム１Ａに形成されて、光導波路コア４を伝播した光を全反射して出光部１５に導くためのものであり、光導波路コア４及び出光部１５に対して４５°以下の角度で傾斜する傾斜面をもって形成される。このように、光導波路コア４の所要の部分に第一のミラー面３Ａ及び第二のミラー面３Ｂを形成すると、入光部１２から入射された光を効率良く出光部１５に導くことができるので、光導波路６６における光の伝播効率を高めることができる。また、フィルム光導波路１０１の光路を曲げるためのミラー面を、入光部１２及び出光部１５に対応する反対のクラッドフィルム側に設けたことにより、第一のミラー面３Ａ及び第二のミラー面３Ｂを容易に作製することができる。また、ミラー面を最小の２箇所にしたことにより、ミラー面の反射による光損失が極力抑えられる。   The first mirror surface 3A is formed on the second clad film 1B to totally reflect the light incident from the light incident portion 12 and guide it to the optical waveguide core 4. The optical waveguide core 4 And with respect to the light incident part 12, it forms with the inclined surface which inclines at an angle of 45 degrees or less. On the other hand, the second mirror surface 3B is formed on the first clad film 1A and is used for totally reflecting the light propagating through the optical waveguide core 4 and guiding it to the light output portion 15. It forms with the inclined surface which inclines with respect to the light emission part 15 at an angle of 45 degrees or less. As described above, when the first mirror surface 3A and the second mirror surface 3B are formed in a required portion of the optical waveguide core 4, the light incident from the light incident portion 12 can be efficiently guided to the light exit portion 15. Therefore, the light propagation efficiency in the optical waveguide 66 can be increased. Further, by providing a mirror surface for bending the optical path of the film light guide 101 on the opposite clad film side corresponding to the light incident portion 12 and the light exit portion 15, the first mirror surface 3A and the second mirror surface are provided. 3B can be easily manufactured. In addition, since the mirror surface is set to the minimum two locations, light loss due to reflection on the mirror surface can be suppressed as much as possible.

入光部１２及び出光部１５は、光導波路コア４と同じ第三の屈折率Ｒ３を有する材料からなり、入光部１２は、第一のクラッドフィルム１Ａを貫通し光導波路コア４の一端部に接続し、出光部１５は、第二のクラッドフィルム１Ｂを貫通し光導波路コア４の他端部に接続している。このように、フィルム光導波路１０１の入光部１２の端面１２ａ及び出光部１５の端面１５ａが第一のクラッドフィルム１Ａ及び第二のクラッドフィルム１Ｂに開設されているので、入光部１２の端面１２ａ側からの光を直接光導波路コア４内に導くことができると共に、光導波路コア４を伝播した光を直接出光部１５の端面１５ａに導くことができる。   The light incident part 12 and the light outgoing part 15 are made of a material having the same third refractive index R3 as that of the optical waveguide core 4, and the light incident part 12 penetrates the first clad film 1A and is one end of the optical waveguide core 4. The light output portion 15 penetrates through the second clad film 1B and is connected to the other end portion of the optical waveguide core 4. Thus, since the end surface 12a of the light incident part 12 of the film optical waveguide 101 and the end surface 15a of the light output part 15 are established in the 1st clad film 1A and the 2nd clad film 1B, the end surface of the light incident part 12 The light from the 12a side can be guided directly into the optical waveguide core 4, and the light propagated through the optical waveguide core 4 can be guided directly to the end face 15a of the light output portion 15.

図２は、本発明の第１実施形態のフィルム光導波路１０１を説明する図であり、図２（ａ）は、フィルム光導波路１０１を第二のクラッドフィルム１Ｂ側から見た平面構成図で、図２（ｂ）は、厚み方向から見た側面構成図で、回転対称軸ＲＡで回転させた状態を説明する図である。図２（ｂ）に示す２点鎖線の図は、図１に示した本発明のフィルム光導波路１０１を、回転対称軸ＲＡを回転軸として、１２０°回転させた場合に想定される状態を示している。図２に示すように、回転対称軸ＲＡは、光導波路コア４内にあって、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとが接した面を延在した仮想面ＩＰ上に存在し、光導波路コア４の一端部と他端部とを結ぶ方向ＤＲと直交している。   FIG. 2 is a diagram illustrating the film optical waveguide 101 according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2A is a plan configuration diagram of the film optical waveguide 101 viewed from the second clad film 1B side. FIG. 2B is a side configuration diagram viewed from the thickness direction, and is a diagram for explaining a state of being rotated about the rotational symmetry axis RA. 2B shows a state assumed when the film optical waveguide 101 of the present invention shown in FIG. 1 is rotated by 120 ° about the rotational symmetry axis RA as a rotation axis. ing. As shown in FIG. 2, the rotational symmetry axis RA exists in the optical waveguide core 4 and exists on the virtual plane IP extending from the surface where the first clad film 1A and the second clad film 1B are in contact with each other. In addition, the optical waveguide core 4 is orthogonal to the direction DR connecting the one end and the other end.

図２（ｂ）に示す回転対称軸ＲＡを回転軸として、１８０°回転させた場合、光導波路コア４が回転対称になるように作製されているので、入光部１２が出光部に、出光部１５が入光部に、と置き換えることができる。この事により、フィルム光導波路１０１の両面に実装される光デバイスのタイプに関係なく、光デバイスを配置することができる。また、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂのフィルム厚みを同じにした場合、回転対称軸ＲＡを回転軸として１８０°回転させても、回転前後の光導波路６６は重なり、同じ光導波路６６を作製することができる。   Since the optical waveguide core 4 is made to be rotationally symmetric when rotated by 180 ° with the rotational symmetry axis RA shown in FIG. 2B as the rotational axis, the light incident part 12 becomes the light outgoing part. The part 15 can be replaced with a light incident part. As a result, the optical device can be arranged regardless of the type of optical device mounted on both surfaces of the film optical waveguide 101. Further, when the film thicknesses of the first clad film 1A and the second clad film 1B are the same, the optical waveguides 66 before and after the rotation overlap each other even if the film is rotated 180 ° about the rotational symmetry axis RA as the rotation axis. The waveguide 66 can be manufactured.

図３は、本発明の第１実施形態のフィルム光導波路１０１の両面に光デバイスを実装した一例を示す側面構成図である。図３に示すように、フィルム光導波路１０１は、入光部１２の入光部１２の端面１２ａを第一のクラッドフィルム１Ａの表面に、出光部１５の出光部１５の端面１５ａを第二のクラッドフィルム１Ｂの表面に向けて配置しているので、第一のクラッドフィルム１Ａの表面に発光側装置ＬＥを、第二のクラッドフィルム１Ｂの表面に受光側装置ＰＤを直接取り付けることができる。発光側装置ＬＥ及び受光側装置ＰＤの取り付けは、熱硬化または紫外線硬化の接着剤ＡＤ等を用いる。また、入光部１２の端面１２ａの部分に発光側装置ＬＥからの光を集光またはコリメートする光学素子ＯＤ１を、出光部１５の端面１５ａの部分に出光部１５からの光を集光またはコリメートする光学素子ＯＤ２を配置することもできる。   FIG. 3 is a side configuration diagram showing an example in which optical devices are mounted on both surfaces of the film optical waveguide 101 according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, the film optical waveguide 101 has the end surface 12 a of the light incident portion 12 of the light incident portion 12 on the surface of the first clad film 1 </ b> A and the end surface 15 a of the light exit portion 15 of the light exit portion 15 on the second surface. Since it arrange | positions toward the surface of the clad film 1B, the light emission side apparatus LE can be directly attached to the surface of the 1st clad film 1A, and the light reception side apparatus PD can be directly attached to the surface of the 2nd clad film 1B. The light emitting side device LE and the light receiving side device PD are attached using a thermosetting or ultraviolet curing adhesive AD or the like. Further, the optical element OD1 that condenses or collimates the light from the light emitting side device LE on the end surface 12a portion of the light incident portion 12, and the light from the light exit portion 15 condenses or collimates on the end surface 15a portion of the light exit portion 15. An optical element OD2 can be arranged.

したがって、フィルム光導波路１０１と発光側装置ＬＥ及び受光側装置ＰＤとの間に固定のための何らかの部品を備える場合に比べて、フィルム光導波路１０１を備えた光学装置の小型化及び低コスト化を図ることができる。また、第一のクラッドフィルム１Ａ及び第二のクラッドフィルム１Ｂの表面に直接発光側装置ＬＥ及び受光側装置ＰＤを取り付け可能であることから、フィルム光導波路１０１の入光部１２の端面１２ａ及び出光部１５の端面１５ａに対する発光側装置ＬＥ及び受光側装置ＰＤのアライメントを容易化することができ、フィルム光導波路１０１を備えた光学装置の組立を簡便なものにすることができる。   Therefore, compared with the case where some parts for fixing are provided between the film optical waveguide 101 and the light emitting side device LE and the light receiving side device PD, the optical device including the film optical waveguide 101 can be reduced in size and cost. Can be planned. Further, since the light emitting side device LE and the light receiving side device PD can be directly attached to the surfaces of the first clad film 1A and the second clad film 1B, the end face 12a and the light exit of the light incident part 12 of the film optical waveguide 101 are obtained. The alignment of the light emitting side device LE and the light receiving side device PD with respect to the end surface 15a of the section 15 can be facilitated, and the assembly of the optical device including the film light guide 101 can be simplified.

以上により、本発明のフィルム光導波路１０１は、フィルム光導波路１０１の片面側から入光部１２を通して入力した光信号がフィルム光導波路１０１の反対面側の出光部１５から取り出せる構造になっているので、フィルム光導波路１０１の両面に光デバイスを実装することができる。また、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとで光導波路コア４を狭持した構造をしているので、従来例のフィルム光配線の両面を削った構造と比較して、フィルム光導波路１０１の強度を低下させることがない。この事により、フィルム光導波路１０１の両面に光デバイスを実装することができ、しかも、フィルム光導波路１０１の強度を下げることがないフィルム光導波路を提供できる。   As described above, the film optical waveguide 101 of the present invention has a structure in which an optical signal input from one side of the film optical waveguide 101 through the light incident part 12 can be extracted from the light output part 15 on the opposite side of the film optical waveguide 101. An optical device can be mounted on both sides of the film optical waveguide 101. Further, since the first clad film 1A and the second clad film 1B have a structure in which the optical waveguide core 4 is sandwiched, the film is compared with the structure in which both surfaces of the film optical wiring of the conventional example are cut. The strength of the optical waveguide 101 is not reduced. As a result, an optical device can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide 101, and a film optical waveguide that does not lower the strength of the film optical waveguide 101 can be provided.

また、光導波路コア４の所要の部分に第一のミラー面３Ａ及び第二のミラー面３Ｂを形成すると、入光部１２から入射された光を効率良く出光部１５に導くことができるので、光導波路６６における光の伝播効率を高めることができる。また、フィルム光導波路１０１の光路を曲げるためのミラー面を、入光部１２及び出光部１５に対応する反対のクラッドフィルム側に設けたことにより、第一のミラー面３Ａ及び第二のミラー面３Ｂを容易に作製することができる。また、ミラー面を最小の２箇所にしたことにより、ミラー面の反射による光損失が極力抑えられる。この事により、フィルム光導波路１０１を容易に作製でき、しかも、光導波路６６における光の損失が抑えられたフィルム光導波路を提供できる。   In addition, when the first mirror surface 3A and the second mirror surface 3B are formed in a required portion of the optical waveguide core 4, the light incident from the light incident portion 12 can be efficiently guided to the light exit portion 15. The light propagation efficiency in the optical waveguide 66 can be increased. Further, by providing a mirror surface for bending the optical path of the film light guide 101 on the opposite clad film side corresponding to the light incident portion 12 and the light exit portion 15, the first mirror surface 3A and the second mirror surface are provided. 3B can be easily manufactured. In addition, since the mirror surface is set to the minimum two locations, light loss due to reflection on the mirror surface can be suppressed as much as possible. As a result, the film optical waveguide 101 can be easily manufactured, and a film optical waveguide in which light loss in the optical waveguide 66 is suppressed can be provided.

また、回転対称軸ＲＡが、光導波路コア４内にあって、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとが接した面を延在した仮想面ＩＰ上に存在し、光導波路コア４の一端部と他端部とを結ぶ方向ＤＲと直交しているので、光導波路コア４が回転対称になるように作製することができる。しかも、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂのフィルム厚みを同じにすると、回転対称軸ＲＡを回転軸として１８０°回転させても、回転前後の光導波路６６は重なり、同じ光導波路６６を作製することもできる。この事により、入光部１２が出光部に、出光部１５が入光部にと置き換えられ、フィルム光導波路１０１の両面に実装される光デバイスのタイプに関係なく、光デバイスを配置することができ、光配線を設計することが容易になる。   Further, the rotational symmetry axis RA exists in the optical waveguide core 4 and exists on the virtual plane IP extending from the surface where the first clad film 1A and the second clad film 1B are in contact with each other. 4 is orthogonal to the direction DR connecting the one end and the other end of the optical waveguide 4, so that the optical waveguide core 4 can be manufactured to be rotationally symmetric. Moreover, if the film thicknesses of the first clad film 1A and the second clad film 1B are the same, the optical waveguides 66 before and after the rotation overlap even if the film is rotated 180 ° about the rotational symmetry axis RA as the rotation axis. 66 can also be made. As a result, the light incident portion 12 is replaced with the light exit portion and the light exit portion 15 is replaced with the light entrance portion, so that the optical device can be arranged regardless of the type of optical device mounted on both surfaces of the film optical waveguide 101. This makes it easy to design the optical wiring.

また、第一のクラッドフィルム１Ａの第一の凹溝６Ａは、入光部１２が形成されている側に向かって徐々に浅くなる凹溝になっているとともに、第二のクラッドフィルム１Ｂの第二の凹溝６Ｂも、出光部１５が形成されている側に向かって徐々に浅くなる凹溝になっているので、光導波路コア４が徐々に傾斜された形状になる。これにより、入光部１２から入射した光が、第一のミラー面３Ａで反射され、光導波路コア４の光路の途中で反射されながら伝搬するので、第一のミラー面３Ａで反射された光がより確実に第二のミラー面３Ｂに伝搬されるようになる。この事により、フィルム光導波路１０１を伝搬する光の損失をより抑えることができる。   Further, the first groove 6A of the first cladding film 1A is a groove gradually becoming shallower toward the side where the light incident portion 12 is formed, and the first groove 6A of the second cladding film 1B. Since the second concave groove 6B is also a concave groove that gradually becomes shallower toward the side where the light exit portion 15 is formed, the optical waveguide core 4 has a gradually inclined shape. Thereby, the light incident from the light incident part 12 is reflected by the first mirror surface 3A and propagates while being reflected in the middle of the optical path of the optical waveguide core 4, so that the light reflected by the first mirror surface 3A Is more reliably propagated to the second mirror surface 3B. As a result, the loss of light propagating through the film optical waveguide 101 can be further suppressed.

また、第二の凹溝６Ｂは、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとが接した面を延在した仮想面ＩＰに接する出光部１５の一端１５ｂに繋がる凹溝であるとともに、第二のミラー面３Ｂは、仮想面ＩＰに接する出光部１５の一端１５ｃに繋がっているので、光導波路コア４の一端部が出光部１５の一端１５ｂとつながり、第二のミラー面３Ｂに対向する様に光導波路コア４が配置されているようになる。これにより、導波路コア４を伝搬してきた光が、出光部１５を横切って第二のミラーに到達せずに系外に抜けることを防止している。この事によって、フィルム光導波路１０１を伝搬する光がより一層確実に第二のミラー面３Ｂに伝搬されるようになり、フィルム光導波路１０１を伝搬する光の損失をより一層抑えることができる。   In addition, the second groove 6B is a groove that is connected to one end 15b of the light output portion 15 that is in contact with the virtual surface IP that extends from the surface where the first cladding film 1A and the second cladding film 1B are in contact. Since the second mirror surface 3B is connected to one end 15c of the light output portion 15 in contact with the virtual surface IP, one end portion of the optical waveguide core 4 is connected to one end 15b of the light output portion 15 and is connected to the second mirror surface 3B. The optical waveguide core 4 is arranged so as to face each other. Thereby, the light propagating through the waveguide core 4 is prevented from passing out of the system without crossing the light output portion 15 and reaching the second mirror. As a result, light propagating through the film optical waveguide 101 is more reliably propagated to the second mirror surface 3B, and loss of light propagating through the film optical waveguide 101 can be further suppressed.

次に、第１実施形態に係るフィルム光導波路１０１の製造方法について、図４及び図５を用いて説明する。   Next, the manufacturing method of the film optical waveguide 101 which concerns on 1st Embodiment is demonstrated using FIG.4 and FIG.5.

第１実施形態に係るフィルム光導波路１０１の製造方法は、第一の凹溝６Ａ及び第二のミラー面３Ｂを形成する第一の形成工程Ｐ１１と、第二の凹溝６Ｂ及び第一のミラー面３Ａを形成する第二の形成工程Ｐ１２と、第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａに反射膜を形成する成膜工程Ｐ２１と、第一の貫通孔７Ａを開設する第一の孔形成工程Ｐ３１と、第二の貫通孔７Ｂを開設する第二の孔形成工程Ｐ３２と、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとを貼り合わせる貼合せ工程Ｐ４１と、光導波路６６の形成用高分子材料を充填する光導波路形成工程Ｐ５１と、を有している。   The manufacturing method of the film optical waveguide 101 according to the first embodiment includes a first forming step P11 for forming the first groove 6A and the second mirror surface 3B, the second groove 6B and the first mirror. A second forming step P12 for forming the surface 3A, a film forming step P21 for forming a reflective film on the second mirror surface 3B and the first mirror surface 3A, and a first for opening the first through hole 7A. Hole forming step P31, second hole forming step P32 for opening the second through hole 7B, bonding step P41 for bonding the first clad film 1A and the second clad film 1B, and an optical waveguide 66 And an optical waveguide forming step P51 for filling the forming polymer material.

図４は、第１実施形態に係るフィルム光導波路１０１の製造方法の一例を説明する構成図である。図４（ａ）〜（ｄ）は、第一の形成工程Ｐ１１及び第二の形成工程Ｐ１２を説明する図であり、図４（ｅ）〜（ｆ）は、成膜工程Ｐ２１を説明する図であり、図４（ｇ）〜（ｈ）は、第一の孔形成工程Ｐ３１及び第二の孔形成工程Ｐ３２を説明する図であり、図４（ｉ）は、貼合せ工程Ｐ４１を説明する図であり、図４（ｊ）は、光導波路形成工程Ｐ５１を説明する図である。   FIG. 4 is a configuration diagram illustrating an example of a method for manufacturing the film optical waveguide 101 according to the first embodiment. 4A to 4D are views for explaining the first formation step P11 and the second formation step P12, and FIGS. 4E to 4F are views for explaining the film formation step P21. 4 (g) to 4 (h) are diagrams illustrating the first hole forming step P31 and the second hole forming step P32, and FIG. 4 (i) illustrates the bonding step P41. FIG. 4J is a diagram for explaining the optical waveguide forming step P51.

第一の形成工程Ｐ１１は、第一のクラッドフィルム１Ａに第一の凹溝６Ａ及び第二のミラー面３Ｂを形成する工程であって、まず、図４（ａ）に示すように、光導波路コア４の一部を形成する第一の凹溝６Ａに相当する凸条１８ａと第二のミラー面３Ｂに相当する傾斜部１８ｂとを有する金型１８を準備する。同様にして、第二の形成工程Ｐ１２は、第二のクラッドフィルム１Ｂに第二の凹溝６Ｂ及び第一のミラー面３Ａを形成する工程であって、図４（ｂ）に示すように、光導波路コア４の一部を形成する第二の凹溝６Ｂに相当する凸条２８ａと第一のミラー面３Ａに相当する傾斜部２８ｂとを有する金型２８を準備する。金型１８及び金型２８は、樹脂の剥離性が良好で、所要の光導波路コア４を高精度に形成できることから、例えば、ニッケル又はニッケル合金などをもって形成される。この金型１８及び金型２８は、レーザ加工や機械加工等により素材となるニッケル板又はニッケル合金板に直接凸条をカッティングすることもできるし、フォトリソグラフィ技術を用いて、ガラス基板上に光導波路６６に相当するフォトレジスト製の凹部が形成された原盤を作製した後、電鋳を利用した転写技術を用いて、原盤に形成された凹部をニッケル金型又はニッケル合金金型に転写するという方法で行うこともできる。   The first forming step P11 is a step of forming the first groove 6A and the second mirror surface 3B in the first clad film 1A. First, as shown in FIG. A mold 18 having a ridge 18a corresponding to the first groove 6A that forms a part of the core 4 and an inclined portion 18b corresponding to the second mirror surface 3B is prepared. Similarly, the second formation step P12 is a step of forming the second concave groove 6B and the first mirror surface 3A in the second clad film 1B, as shown in FIG. A mold 28 having a ridge 28a corresponding to the second concave groove 6B forming a part of the optical waveguide core 4 and an inclined portion 28b corresponding to the first mirror surface 3A is prepared. The mold 18 and the mold 28 are formed of, for example, nickel or a nickel alloy because the resin can be easily peeled and the required optical waveguide core 4 can be formed with high accuracy. The metal mold 18 and the metal mold 28 can cut a protrusion directly on a nickel plate or a nickel alloy plate as a material by laser processing, machining, or the like. After producing a master in which a photoresist recess corresponding to the waveguide 66 is formed, the recess formed in the master is transferred to a nickel mold or a nickel alloy mold using a transfer technique using electroforming. It can also be done by the method.

次に、第一の形成工程Ｐ１１は、第一のクラッドフィルム１Ａの元になるフィルム基材を準備し、金型１８の凸条形成面にフィルム基材を過熱化で押し付けて、凸条の反転パターンをフィルム基材に転写する。図４（ｃ）は、転写終了後、第一のクラッドフィルム１Ａに第一の凹溝６Ａ及び第二のミラー面３Ｂが形成され、金型１８から離型した状態を示している。この場合、金型１８からの第一のクラッドフィルム１Ａの離型性を良くするため、金型１８の表面に離型材を塗布することもできる。第二の形成工程Ｐ１２も同様な方法を用いて行われ、図４（ｄ）に示すように、第二の凹溝６Ｂ及び第一のミラー面３Ａが形成された第二のクラッドフィルム１Ｂが得られる。このように、第１実施形態に係るフィルム光導波路１０１の製造方法は、所謂ファインプリント技術を応用して光導波路コア４に相当する第一の凹溝６Ａ及び第二の凹溝６Ｂを形成するので、微細な凹溝を有するクラッドフィルムを高能率かつ高精度に製造することができ、高性能のフィルム光導波路１０１を安価に製造することができる。   Next, in the first forming step P11, a film base material that is the basis of the first clad film 1A is prepared, and the film base material is pressed against the convex forming surface of the mold 18 by overheating. The reverse pattern is transferred to the film substrate. FIG. 4C shows a state in which the first concave groove 6A and the second mirror surface 3B are formed on the first clad film 1A and released from the mold 18 after the transfer is completed. In this case, in order to improve the releasability of the first clad film 1 </ b> A from the mold 18, a release material can be applied to the surface of the mold 18. The second forming step P12 is also performed using the same method, and as shown in FIG. 4D, the second clad film 1B on which the second concave groove 6B and the first mirror surface 3A are formed is formed. can get. Thus, the manufacturing method of the film optical waveguide 101 according to the first embodiment applies the so-called fine print technology to form the first concave groove 6A and the second concave groove 6B corresponding to the optical waveguide core 4. Therefore, a clad film having fine concave grooves can be manufactured with high efficiency and high accuracy, and a high-performance film optical waveguide 101 can be manufactured at low cost.

また、第一の形成工程Ｐ１１及び第二の形成工程Ｐ１２が、第一の凹溝６Ａ及び第二の凹溝６Ｂと第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａとをそれぞれ同一形状となるように加工した工程の場合、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂの加工品が同一形状になるので、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとを同一の型で作製することができる。この事により、同一の形状になった一種類のクラッドフィルムを用いて接合することで、フィルム光導波路１０１を作製するこができる。   Moreover, the 1st formation process P11 and the 2nd formation process P12 make the 1st ditch | groove 6A and the 2nd ditch | groove 6B, the 2nd mirror surface 3B, and the 1st mirror surface 3A the same shape, respectively. In the case of the process processed so that the processed products of the first clad film 1A and the second clad film 1B have the same shape, the first clad film 1A and the second clad film 1B are formed in the same mold. Can be produced. By this, the film optical waveguide 101 can be produced by bonding using one type of clad film having the same shape.

次に、第一の形成工程Ｐ１１及び第二の形成工程Ｐ１２の終了後、第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａに反射膜を形成する成膜工程Ｐ２１を行う。成膜工程Ｐ２１は、先ず、図４（ｅ）に示すように、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のミラー面３Ｂに対応する開口部８ａを有するマスク材８Ａとを重ね合わせる。そして、反射膜は、アルミニウムや銀などの反射率の高い金属材料又はこれらの金属材料を主成分とする合金材料を、第二のミラー面３Ｂに真空蒸着することによって形成される。同様にして、図４（ｆ）に示すように、第二のクラッドフィルム１Ｂと第一のミラー面３Ａに対応する開口部８ｂを有するマスク材８Ｂとを重ね合わせ、第一のミラー面３Ａに反射膜を形成する。このように、第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａに反射膜を形成すると、第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａにおける光の反射効率を高めることができるので、光導波路６６とクラッドフィルムとの屈折率差を十分に大きくできない場合にも、光の伝播効率が高い光導波路６６とすることができる。   Next, after completion of the first formation process P11 and the second formation process P12, a film formation process P21 for forming a reflective film on the second mirror surface 3B and the first mirror surface 3A is performed. In the film forming process P21, first, as shown in FIG. 4E, the first cladding film 1A and the mask material 8A having the opening 8a corresponding to the second mirror surface 3B are overlapped. The reflective film is formed by vacuum-depositing a highly reflective metal material such as aluminum or silver or an alloy material mainly composed of these metal materials on the second mirror surface 3B. Similarly, as shown in FIG. 4 (f), the second cladding film 1B and a mask material 8B having an opening 8b corresponding to the first mirror surface 3A are overlaid on the first mirror surface 3A. A reflective film is formed. As described above, when the reflection film is formed on the second mirror surface 3B and the first mirror surface 3A, the light reflection efficiency on the second mirror surface 3B and the first mirror surface 3A can be increased. Even when the difference in refractive index between the waveguide 66 and the clad film cannot be made sufficiently large, the optical waveguide 66 having high light propagation efficiency can be obtained.

また、反射膜は、第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａのみに形成するだけで足りるが、フィルム光導波路１０１の製造コストを抑制するため、必ずしも第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａのみに限定されるものではなく、第一の凹溝６Ａと第二の凹溝６Ｂとに対応する光導波路６６に形成することも許容される。フィルム光導波路１０１の製造コストの抑制は、マスク材８Ａ及びマスク材８Ｂが不用になったり、不要部分に付着した反射膜を除去するための後処理が不用になったりすることで達成される。また、金型１８及び金型２８の傾斜部１８ｂ及び傾斜部２８ｂに反射膜を真空蒸着し、金型１８及び金型２８から第一のクラッドフィルム１Ａ及び第二のクラッドフィルム１Ｂを離型する工程で、その反射膜を第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａに転写するという方法をとることもできる。   Further, it is sufficient to form the reflection film only on the second mirror surface 3B and the first mirror surface 3A. It is not limited to only the mirror surface 3A, and it is allowed to form the optical waveguide 66 corresponding to the first concave groove 6A and the second concave groove 6B. Suppression of the manufacturing cost of the film optical waveguide 101 is achieved by eliminating the need for the mask material 8A and the mask material 8B, and unnecessary post-processing for removing the reflective film attached to unnecessary portions. Further, a reflective film is vacuum-deposited on the inclined portions 18b and 28b of the mold 18 and the mold 28, and the first clad film 1A and the second clad film 1B are released from the mold 18 and the mold 28. In the step, the reflective film can be transferred to the second mirror surface 3B and the first mirror surface 3A.

次に、第一のクラッドフィルム１Ａに入光部１２を形成するための第一の貫通孔７Ａを開設する第一の孔形成工程Ｐ３１と、第二のクラッドフィルム１Ｂに出光部１５を形成するための第二の貫通孔７Ｂを開設する第二の孔形成工程Ｐ３２を行う。なお、第一の貫通孔７Ａを入光部とするか出光部するかは、必要に応じて適宜設定することができる。第二の貫通孔７Ｂも同様にして、必要に応じて適宜設定することができる。図４（ｇ）は、第一の貫通孔７Ａが開設された状態を示していて、図４（ｈ）は、第二の貫通孔７Ｂが開設された状態を示している。第一のクラッドフィルム１Ａの第一の貫通孔７Ａ及び第二のクラッドフィルム１Ｂの第二の貫通孔７Ｂの開設は、レーザ加工や機械加工等により行うことができる。   Next, the 1st hole formation process P31 which opens the 1st through-hole 7A for forming the light entrance part 12 in the 1st clad film 1A, and the light emission part 15 are formed in the 2nd clad film 1B. The 2nd hole formation process P32 which opens the 2nd through-hole 7B for this is performed. Whether the first through-hole 7A is used as the light entrance portion or the light exit portion can be appropriately set as necessary. Similarly, the second through hole 7B can be set as needed. FIG. 4 (g) shows a state where the first through hole 7A is opened, and FIG. 4 (h) shows a state where the second through hole 7B is opened. The opening of the first through hole 7A of the first clad film 1A and the second through hole 7B of the second clad film 1B can be performed by laser processing, machining, or the like.

また、第一の孔形成工程Ｐ３１は、第一の形成工程Ｐ１１の金型１８に、第一の貫通孔７Ａに相当する凸条を更に設けることで、第一の形成工程Ｐ１１と同時に行うこともできる。同様にして、第二の孔形成工程Ｐ３２も第二の形成工程Ｐ１２と同時に行うことができる。このように、凹溝加工と貫通孔加工を同じ金型で行うため、凹溝と貫通孔との位置精度が向上するので、後述する貼合せ工程Ｐ４１において、位置合わせが容易になるばかりでなく、貼り合わせ精度も向上させることができる。   In addition, the first hole forming step P31 is performed simultaneously with the first forming step P11 by further providing a protrusion corresponding to the first through hole 7A on the mold 18 of the first forming step P11. You can also. Similarly, the second hole forming step P32 can be performed simultaneously with the second forming step P12. As described above, since the concave groove processing and the through hole processing are performed with the same mold, the positional accuracy of the concave groove and the through hole is improved. Therefore, in the bonding process P41 described later, not only the alignment is facilitated. The bonding accuracy can also be improved.

次に、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとを貼り合わせる貼合せ工程Ｐ４１を行う。貼合せ工程Ｐ４１は、第一の凹溝６Ａと第二の凹溝６Ｂとが、第一の貫通孔７Ａと第一のミラー面３Ａとが、第二の貫通孔７Ｂと第二のミラー面３Ｂとが、それぞれ対向するように貼り合わせる。図４（ｉ）は、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとを貼り合わせた状態を示していて、第一の凹溝６Ａと第二の凹溝６Ｂとが協働して光導波路コア用キャビティＣＡが形成されている。第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとの貼り合わせは、接着を使用した接着又は熱圧着により行われる。   Next, the bonding process P41 for bonding the first clad film 1A and the second clad film 1B is performed. In the bonding step P41, the first concave groove 6A and the second concave groove 6B are composed of the first through hole 7A and the first mirror surface 3A, and the second through hole 7B and the second mirror surface. 3B is bonded together so as to face each other. FIG. 4 (i) shows a state in which the first clad film 1A and the second clad film 1B are bonded together, and the first concave groove 6A and the second concave groove 6B cooperate with each other. An optical waveguide core cavity CA is formed. Bonding of the first clad film 1A and the second clad film 1B is performed by bonding using bonding or thermocompression bonding.

次に、第一の貫通孔７Ａ内、第二の凹溝６Ｂ内、第一の凹溝６Ａ内、及び第二の貫通孔７Ｂ内に光導波路６６の形成用高分子材料を充填する光導波路形成工程Ｐ５１を行う。光導波路形成工程Ｐ５１は、図４（ｊ）に示すように、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂの貼り合わせ体を押さえ治具１９及び押さえ治具２９で狭持し、これら押さえ治具１９と押さえ治具２９とで、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂの貼り合わせ体を適度な圧力で押圧する。押さえ治具１９及び押さえ治具２９には、第一の貫通孔７Ａに対応する樹脂注入口５９及び第二の貫通孔７Ｂに対応する排気口６９が開設されており、押圧時には、これら第一の貫通孔７Ａと樹脂注入口５９及び第二の貫通孔７Ｂと排気口６９が一致するように、位置決めが行われる。   Next, the optical waveguide in which the polymer material for forming the optical waveguide 66 is filled in the first through-hole 7A, the second concave groove 6B, the first concave groove 6A, and the second through-hole 7B. Formation process P51 is performed. In the optical waveguide forming step P51, as shown in FIG. 4 (j), the bonded body of the first clad film 1A and the second clad film 1B is sandwiched between the press jig 19 and the press jig 29. With the pressing jig 19 and the pressing jig 29, the bonded body of the first clad film 1A and the second clad film 1B is pressed with an appropriate pressure. The holding jig 19 and the holding jig 29 are provided with a resin injection port 59 corresponding to the first through hole 7A and an exhaust port 69 corresponding to the second through hole 7B. The positioning is performed so that the through hole 7A and the resin injection port 59 and the second through hole 7B and the exhaust port 69 coincide with each other.

次に、光導波路形成工程Ｐ５１は、押さえ治具１９側の樹脂注入口５９に樹脂供給装置のヘッドを連結し（図示しない）、押さえ治具２９側の排気口６９に吸引装置のヘッドも連結し（図示しない）、吸引装置により、排気口６９につながった第二の貫通孔７Ｂから、第二の貫通孔７Ｂ内、第一の凹溝６Ａ内、第二の凹溝６Ｂ内及び第一の貫通孔７Ａ内の気体を吸引して、光導波路６６が形成されるキャビティ内を減圧する。そして、キャビティ内の圧力が所定値以下に減圧された段階で、樹脂供給装置から、樹脂注入口５９につながった第一の貫通孔７Ａから、第一の貫通孔７Ａ内、第二の凹溝６Ｂ内、第一の凹溝６Ａ内及び第二の貫通孔７Ｂ内に光導波路６６の形成用の高分子材料を加圧充填する。光導波路６６の形成用の高分子材料は、紫外線硬化性樹脂を好適に用いる。このように、両クラッドフィルムで形成されたキャビティ内の気体を吸引しつつ、光導波路形成用の高分子材料の充填をしているので、キャビティ内への高分子材料の充填が高能率に行われるとともに、光導波路６６内への気泡の混入が防止され、良品の製造を高能率に行うことが可能になる。   Next, in the optical waveguide forming step P51, the head of the resin supply device is connected to the resin injection port 59 on the holding jig 19 side (not shown), and the head of the suction device is also connected to the exhaust port 69 on the holding jig 29 side. (Not shown), and from the second through hole 7B connected to the exhaust port 69 by the suction device, the second through hole 7B, the first concave groove 6A, the second concave groove 6B and the first The gas in the through hole 7A is sucked, and the inside of the cavity in which the optical waveguide 66 is formed is decompressed. Then, when the pressure in the cavity is reduced to a predetermined value or less, the first through hole 7A connected from the resin supply device to the resin injection port 59, the first through hole 7A, the second concave groove The polymer material for forming the optical waveguide 66 is pressure-filled in 6B, the first concave groove 6A, and the second through hole 7B. As the polymer material for forming the optical waveguide 66, an ultraviolet curable resin is preferably used. Thus, the polymer material for forming the optical waveguide is filled while sucking the gas in the cavity formed by both clad films, so that the polymer material can be filled into the cavity with high efficiency. In addition, air bubbles are prevented from being mixed into the optical waveguide 66, and it becomes possible to manufacture non-defective products with high efficiency.

また、図５に示すように、導波路形成用の高分子材料の充填の際に、光導波路形成工程Ｐ５１において、第二の貫通孔７Ｂ内、第一の凹溝６Ａ内、第二の凹溝６Ｂ内及び第一の貫通孔７Ａ内の気体がぬけ易いように、気体の吸引側である第二の貫通孔７Ｂが高分子材料の注入側である第一の貫通孔７Ａより上方（重力方向を下方とする）に配置されるようにする。この事により、より高能率に高分子材料の充填が行えると共に、光導波路６６内への気泡の混入をより一層防止できる。   Further, as shown in FIG. 5, when the waveguide-forming polymer material is filled, in the optical waveguide forming process P51, the second through-hole 7B, the first concave groove 6A, the second concave The second through hole 7B on the gas suction side is located above the first through hole 7A on the polymer material injection side (gravity) so that the gas in the groove 6B and the first through hole 7A can be easily removed. (The direction is the lower side). As a result, the high-efficiency filling of the polymer material can be performed, and the mixing of bubbles into the optical waveguide 66 can be further prevented.

最後に、第一の貫通孔７Ａ内、第二の凹溝６Ｂ内、第一の凹溝６Ａ内及び第二の貫通孔７Ｂ内に光導波路６６の形成用の高分子材料が充填された段階で、樹脂供給装置からの樹脂の供給を停止し、樹脂注入口５９及び排気口６９からそれぞれのヘッドを取り外す。また、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂの貼り合わせ体の表面から、押さえ治具１９及び押さえ治具２９を取り外す。そして、この状態で、高分子材料を硬化させると、図１に示すフィルム光導波路１０１が形成される。高分子材料が紫外線硬化性樹脂の場合、第一のクラッドフィルム１Ａまたは第二のクラッドフィルム１Ｂの外面から、紫外線硬化性樹脂の樹脂硬化光を照射するだけで、容易に硬化を行うことができる。この事により、紫外線硬化性樹脂を用いるのがより好ましい。   Finally, a stage in which the polymer material for forming the optical waveguide 66 is filled in the first through hole 7A, the second concave groove 6B, the first concave groove 6A, and the second through hole 7B. Then, the supply of the resin from the resin supply device is stopped, and the respective heads are detached from the resin injection port 59 and the exhaust port 69. Further, the holding jig 19 and the holding jig 29 are removed from the surface of the bonded body of the first clad film 1A and the second clad film 1B. In this state, when the polymer material is cured, the film optical waveguide 101 shown in FIG. 1 is formed. When the polymer material is an ultraviolet curable resin, it can be easily cured by simply irradiating the resin curable light of the ultraviolet curable resin from the outer surface of the first clad film 1A or the second clad film 1B. . For this reason, it is more preferable to use an ultraviolet curable resin.

また、紫外線の樹脂硬化光を透過する押さえ治具１９及び押さえ治具２９を用いることによって、押さえ治具を装着したまま押さえ治具の外側から樹脂硬化光を全面照射することができる。この事により、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂの貼り合わせ体を押さえながら、光導波路６６の形成用の紫外線硬化性樹脂を硬化させることができるので、光導波路６６の正常な形状を保ちつつ、確実に光導波路６６を作製することができる。   Further, by using the pressing jig 19 and the pressing jig 29 that transmit ultraviolet resin curing light, the entire surface of the resin curing light can be irradiated from the outside of the pressing jig while the pressing jig is mounted. Accordingly, the ultraviolet curable resin for forming the optical waveguide 66 can be cured while pressing the bonded body of the first clad film 1A and the second clad film 1B. The optical waveguide 66 can be reliably manufactured while maintaining the shape.

なお、前記実施形態では、第二の貫通孔７Ｂを通してキャビティ内の気体を排出し、第一の貫通孔７Ａを通して高分子材料の充填を行ったが、これとは逆に、第一の貫通孔７Ａを通してキャビティ内の気体を排出し、第二の貫通孔７Ｂを通して樹脂の充填を行うことも勿論可能である。   In the above embodiment, the gas in the cavity is discharged through the second through-hole 7B and the polymer material is filled through the first through-hole 7A. Conversely, the first through-hole is used. It is of course possible to discharge the gas in the cavity through 7A and fill the resin through the second through hole 7B.

以上により、本発明のフィルム光導波路１０１の製造方法は、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂを貼り合わせて、両クラッドフィルムで形成されたキャビティに高分子材料を充填するだけで、第一のクラッドフィルム１Ａの第二のミラー面３Ｂ、第二のクラッドフィルム１Ｂの第一のミラー面３Ａを利用することによって、光導波路６６の片面の入光部１２から入光させ、光導波路６６の反対面側の出光部１５から出光させる構造を簡易に作製できる。この事により、フィルム光導波路１０１の両面に光デバイスを実装することができる。また、光導波路６６の光路の変更のために、フィルム光配線の両面を削ってミラー面を形成している場合と比較して、フィルム光導波路の強度を低下させることがなくフィルム光導波路１０１を作製することができる。   As described above, the manufacturing method of the film optical waveguide 101 of the present invention is merely by bonding the first clad film 1A and the second clad film 1B and filling the cavity formed by both clad films with the polymer material. By using the second mirror surface 3B of the first clad film 1A and the first mirror surface 3A of the second clad film 1B, light is incident from the light incident portion 12 on one side of the optical waveguide 66, and light is transmitted. A structure for emitting light from the light exiting portion 15 on the opposite surface side of the waveguide 66 can be easily produced. As a result, optical devices can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide 101. Further, the film optical waveguide 101 can be formed without reducing the strength of the film optical waveguide as compared with the case where the mirror surface is formed by cutting both surfaces of the film optical wiring due to the change of the optical path of the optical waveguide 66. Can be produced.

また、第一の形成工程Ｐ１１及び第二の形成工程Ｐ１２が、第一の凹溝６Ａ及び第二の凹溝６Ｂと第二のミラー面３Ｂ及び第一のミラー面３Ａとをそれぞれ同一形状となるように加工した工程の場合、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂの加工品が同一形状になるので、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとを同一の型で作製できる。これにより、同一の形状になった一種類のクラッドフィルムを用いて接合することで、フィルム光導波路１０１を作製するこができる。この事により、異なる型で作製したクラッドフィルムを用いた時よりも、凹溝の寸法バラツキによる合わせ位置ズレ等が大幅に少なくなるので、フィルム光導波路１０１を伝搬する光の損失を抑えることができる。   Moreover, the 1st formation process P11 and the 2nd formation process P12 make the 1st ditch | groove 6A and the 2nd ditch | groove 6B, the 2nd mirror surface 3B, and the 1st mirror surface 3A the same shape, respectively. In the case of the process processed so that the processed products of the first clad film 1A and the second clad film 1B have the same shape, the first clad film 1A and the second clad film 1B are formed in the same mold. Can be produced. Thereby, the film optical waveguide 101 can be produced by bonding using one type of clad film having the same shape. As a result, since the misalignment due to the dimensional variation of the groove is significantly less than when using a clad film made of a different type, loss of light propagating through the film optical waveguide 101 can be suppressed. .

また、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂを用いて、両クラッドフィルムで形成されたキャビティ内の気体を吸引しつつ、光導波路６６形成用の高分子材料の充填をしているので、キャビティ内への高分子材料の充填が高能率に行われるとともに、光導波路６６内への気泡の混入が防止され、良品の製造を高能率に行うことが可能になる。また、高分子材料の充填を連続処理にて行うことが可能で、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂにて光導波路６６が完全に被覆保護されたフィルム光導波路１０１を高能率に製造することができる。   Further, the first clad film 1A and the second clad film 1B are used to fill the polymer material for forming the optical waveguide 66 while sucking the gas in the cavity formed by both clad films. As a result, the high-efficiency filling of the polymer material into the cavity is prevented, and the mixing of bubbles into the optical waveguide 66 is prevented, so that the non-defective product can be manufactured with high efficiency. Further, the high-efficiency film optical waveguide 101, in which the optical waveguide 66 is completely covered and protected by the first clad film 1A and the second clad film 1B, can be filled with the polymer material in a continuous process. Can be manufactured.

また、導波路形成用の高分子材料の充填の際に、光導波路形成工程Ｐ５１において、高分子材料を加圧充填する際に、第二の貫通孔７Ｂ内、第一の凹溝６Ａ内、第二の凹溝６Ｂ内及び第一の貫通孔７Ａ内の気体がぬけ易いように、気体の吸引側である第二の貫通孔７Ｂが高分子材料の注入側である第一の貫通孔７Ａより上方（重力方向を下方とする）に配置されているので、より高能率に高分子材料の充填が行えると共に、光導波路６６内への気泡の混入をより防止できる。   Further, when filling the polymer material for forming the waveguide, in the optical waveguide forming process P51, when the polymer material is pressure-filled, the second through hole 7B, the first groove 6A, The first through hole 7A in which the second through hole 7B on the gas suction side is the injection side of the polymer material so that the gas in the second concave groove 6B and the first through hole 7A can be easily removed. Since it is arranged above (with the direction of gravity as the lower side), the polymer material can be filled with higher efficiency and air bubbles can be prevented from being mixed into the optical waveguide 66.

［第２実施形態］
図６は、本発明の第２実施形態のフィルム光導波路１０２を説明する図であり、厚み方向から見た側面構成図である。本発明の第２実施形態のフィルム光導波路１０２は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１に対し、光導波路コア４とそれに伴うミラー面の構成が異なっている。なお、第１実施形態と同じ部材は同じ符号を付しており、説明を省略する。 [Second Embodiment]
FIG. 6 is a view for explaining the film optical waveguide 102 according to the second embodiment of the present invention, and is a side configuration diagram viewed from the thickness direction. The film optical waveguide 102 of the second embodiment of the present invention differs from the film optical waveguide 101 of the first embodiment in the configuration of the optical waveguide core 4 and the mirror surface associated therewith. In addition, the same member as 1st Embodiment has attached | subjected the same code | symbol, and abbreviate | omits description.

図６に示すように、フィルム光導波路１０２は、光導波路コア４が、第一の光導波路コア４Ａと第二の光導波路コア４Ｂとからなり、第一のミラー面３Ａは、入光部１２から入射された光を第一の光導波路コア４Ａに伝搬するよう反射し、第二のクラッドフィルム１Ｂには、第一の光導波路コア４Ａを伝搬した光を第一のクラッドフィルム１Ａ側に反射する第三のミラー面３Ｃが形成されており、第一のクラッドフィルム１Ａには、第三のミラー面３Ｃからの光を第二の光導波路コア４Ｂに伝搬するよう反射する第四のミラー面３Ｄが形成されており、第二のミラー面３Ｂは、第二の光導波路コア４Ｂを伝搬した光を出光部１５に導くよう反射するように構成されている。なお、図６の破線ＯＰは、光路順の一例（光の光路の全てを表したものではない）を示している。このように、フィルム光導波路１０２の光路の途中に、光路を曲げるための第三のミラー面３Ｃ及び第四のミラー面３Ｄを設けたことにより、フィルム光導波路１０１の光路長を長くでき、光配線を設計することが容易になる。   As shown in FIG. 6, in the film optical waveguide 102, the optical waveguide core 4 includes a first optical waveguide core 4 </ b> A and a second optical waveguide core 4 </ b> B, and the first mirror surface 3 </ b> A includes the light incident portion 12. Is reflected so as to propagate to the first optical waveguide core 4A, and the second clad film 1B reflects the light propagated through the first optical waveguide core 4A toward the first clad film 1A. A third mirror surface 3C is formed, and the first clad film 1A reflects the light from the third mirror surface 3C so as to propagate to the second optical waveguide core 4B. 3D is formed, and the second mirror surface 3 </ b> B is configured to reflect the light propagating through the second optical waveguide core 4 </ b> B so as to guide it to the light output unit 15. The broken line OP in FIG. 6 shows an example of the order of the optical paths (not all of the optical paths of light). Thus, by providing the third mirror surface 3C and the fourth mirror surface 3D for bending the optical path in the middle of the optical path of the film optical waveguide 102, the optical path length of the film optical waveguide 101 can be increased. It becomes easy to design the wiring.

また、フィルム光導波路１０２は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１と同様に、フィルム光導波路１０２の片面側から入光部１２を通して入力した光信号がフィルム光導波路１０２の反対面側の出光部１５から取り出せる構造になっているので、フィルム光導波路１０２の両面に光デバイスを実装することができる。また、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとで光導波路コア４を狭持した構造をしているので、従来例のフィルム光配線の両面を削った構造と比較して、フィルム光導波路１０２の強度を低下させることがない。この事により、フィルム光導波路１０２の両面に光デバイスを実装することができ、しかも、フィルム光導波路１０２の強度を下げることがないフィルム光導波路を提供できる。   Further, the film optical waveguide 102 is similar to the film optical waveguide 101 of the first embodiment in that an optical signal input from one side of the film optical waveguide 102 through the light incident part 12 is a light exiting part on the opposite side of the film optical waveguide 102. 15 so that the optical device can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide 102. Further, since the first clad film 1A and the second clad film 1B have a structure in which the optical waveguide core 4 is sandwiched, the film is compared with the structure in which both surfaces of the film optical wiring of the conventional example are cut. The strength of the optical waveguide 102 is not reduced. Thus, an optical device can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide 102, and a film optical waveguide that does not lower the strength of the film optical waveguide 102 can be provided.

また、フィルム光導波路１０２は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１と同様に、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとが接した面を延在した仮想面ＩＰ上に回転対称軸ＲＡを有しているので、光導波路コア４が回転対称になるように作製することができる。しかも、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂのフィルム厚みを同じにすると、回転対称軸ＲＡを回転軸として１８０°回転させても、回転前後の光導波路６６は重なり、同じ光導波路６６を作製することもできる。この事により、入光部１２が出光部に、出光部１５が入光部にと置き換えられ、フィルム光導波路１０２の両面に実装される光デバイスのタイプに関係なく、光デバイスを配置することができ、光配線を設計することが容易になる。   Further, the film optical waveguide 102 is rotationally symmetric on the virtual plane IP extending from the surface where the first clad film 1A and the second clad film 1B are in contact with each other, like the film optical waveguide 101 of the first embodiment. Since it has the axis RA, the optical waveguide core 4 can be made to be rotationally symmetric. Moreover, if the film thicknesses of the first clad film 1A and the second clad film 1B are the same, the optical waveguides 66 before and after the rotation overlap even if the film is rotated 180 ° about the rotational symmetry axis RA as the rotation axis. 66 can also be made. As a result, the light incident portion 12 is replaced with the light exit portion, and the light exit portion 15 is replaced with the light entrance portion, so that the optical device can be arranged regardless of the type of optical device mounted on both surfaces of the film optical waveguide 102. This makes it easy to design the optical wiring.

フィルム光導波路１０２は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１の製造方法と同様な方法を用い、第二の光導波路コア４Ｂを形成する第一の凹溝２６Ａに相当する凸条と第二のミラー面３Ｂ及び第四のミラー面３Ｄに相当する傾斜部とを有する金型を変えていることにより、作製されている。同様にして、第一の光導波路コア４Ａを形成する第二の凹溝２６Ｂに相当する凸条と第一のミラー面３Ａ及び第三のミラー面３Ｃに相当する傾斜部とを有する金型も変えて作製されている。そして、第一の光導波路コア４Ａは、第二のクラッドフィルム１Ｂに形成されおり、第二の光導波路コア４Ｂは、第一のクラッドフィルム１Ａに形成されている。この事により、所謂ファインプリント技術を応用して、単純な形状の第一の凹溝２６Ａ及び第二の凹溝２６Ｂを形成するので、微細な凹溝を有するクラッドフィルムを高能率かつ高精度に製造することができ、高性能のフィルム光導波路１０２を安価に製造することができる。   The film optical waveguide 102 uses a method similar to the manufacturing method of the film optical waveguide 101 of the first embodiment, and the projections corresponding to the first concave groove 26A forming the second optical waveguide core 4B and the second It is produced by changing the mold having inclined portions corresponding to the mirror surface 3B and the fourth mirror surface 3D. Similarly, a mold having a ridge corresponding to the second concave groove 26B forming the first optical waveguide core 4A and inclined portions corresponding to the first mirror surface 3A and the third mirror surface 3C is also provided. It is made by changing. The first optical waveguide core 4A is formed on the second cladding film 1B, and the second optical waveguide core 4B is formed on the first cladding film 1A. As a result, the so-called fine print technology is applied to form the first concave groove 26A and the second concave groove 26B having simple shapes, so that the clad film having fine concave grooves can be efficiently and highly accurately formed. The high performance film optical waveguide 102 can be manufactured at low cost.

［第３実施形態］
図７は、本発明の第３実施形態のフィルム光導波路１０３を説明する図であり、厚み方向から見た側面構成図である。本発明の第３実施形態のフィルム光導波路１０３は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１に対し、光導波路コア４とそれに伴うミラー面の構成が異なっている。なお、第１実施形態と同じ部材は同じ符号を付しており、説明を省略する。 [Third Embodiment]
FIG. 7 is a diagram for explaining a film optical waveguide 103 according to a third embodiment of the present invention, and is a side configuration diagram viewed from the thickness direction. The film optical waveguide 103 according to the third embodiment of the present invention differs from the film optical waveguide 101 according to the first embodiment in the configuration of the optical waveguide core 4 and the mirror surface associated therewith. In addition, the same member as 1st Embodiment has attached | subjected the same code | symbol, and abbreviate | omits description.

図７に示すように、フィルム光導波路１０３は、光導波路コア４が、第三の光導波路コア４Ｃと第四の光導波路コア４Ｄとからなり、第一のミラー面３Ａは、入光部１２から入射された光を第三の光導波路コア４Ｃに伝搬するよう反射し、第一のクラッドフィルム１Ａには、第三の光導波路コア４Ｃを伝搬した光を第二のクラッドフィルム１Ｂ側に反射する第五のミラー面３Ｅが形成されており、第二のクラッドフィルム１Ｂには、第五のミラー面３Ｅからの光を第四の光導波路コア４Ｄに伝搬するよう反射する第六のミラー面３Ｆが形成されており、第二のミラー面３Ｂは、第四の光導波路コア４Ｄを伝搬した光を出光部１５に導くよう反射するように構成されている。このように、フィルム光導波路１０３の光路の途中に、光路を曲げるための第五のミラー面３Ｅ及び第六のミラー面３Ｆを設けたことにより、フィルム光導波路の光路長を長くできる。この事により、光配線を設計することが容易になる。   As shown in FIG. 7, in the film optical waveguide 103, the optical waveguide core 4 includes a third optical waveguide core 4C and a fourth optical waveguide core 4D, and the first mirror surface 3A includes the light incident portion 12. Is reflected so as to propagate to the third optical waveguide core 4C, and the first clad film 1A reflects the light propagated through the third optical waveguide core 4C to the second clad film 1B side. The fifth mirror surface 3E is formed, and the second clad film 1B reflects the light from the fifth mirror surface 3E so as to propagate to the fourth optical waveguide core 4D. 3F is formed, and the second mirror surface 3B is configured to reflect the light propagating through the fourth optical waveguide core 4D so as to guide it to the light output portion 15. Thus, by providing the fifth mirror surface 3E and the sixth mirror surface 3F for bending the optical path in the middle of the optical path of the film optical waveguide 103, the optical path length of the film optical waveguide can be increased. This makes it easy to design the optical wiring.

また、フィルム光導波路１０３は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１と同様に、フィルム光導波路１０３の片面側から入光部１２を通して入力した光信号がフィルム光導波路１０３の反対面側の出光部１５から取り出せる構造になっているので、フィルム光導波路１０３の両面に光デバイスを実装することができる。また、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとで光導波路コア４を狭持した構造をしているので、従来例のフィルム光配線の両面を削った構造と比較して、フィルム光導波路１０３の強度を低下させることがない。この事により、フィルム光導波路１０３の両面に光デバイスを実装することができ、しかも、フィルム光導波路１０３の強度を下げることがないフィルム光導波路を提供できる。   Further, the film optical waveguide 103 is similar to the film optical waveguide 101 of the first embodiment in that an optical signal input from one side of the film optical waveguide 103 through the light incident part 12 is a light exiting part on the opposite side of the film optical waveguide 103. Therefore, the optical device can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide 103. Further, since the first clad film 1A and the second clad film 1B have a structure in which the optical waveguide core 4 is sandwiched, the film is compared with the structure in which both surfaces of the film optical wiring of the conventional example are cut. The strength of the optical waveguide 103 is not reduced. Thus, an optical device can be mounted on both surfaces of the film optical waveguide 103, and a film optical waveguide that does not lower the strength of the film optical waveguide 103 can be provided.

また、フィルム光導波路１０３は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１と同様に、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂとが接した面を延在した仮想面ＩＰ上に回転対称軸ＲＡを有しているので、光導波路コア４が回転対称になるように作製することができる。しかも、第一のクラッドフィルム１Ａと第二のクラッドフィルム１Ｂのフィルム厚みを同じにすると、回転対称軸ＲＡを回転軸として１８０°回転させても、回転前後の光導波路６６は重なり、同じ光導波路６６を作製することもできる。この事により、入光部１２が出光部に、出光部１５が入光部にと置き換えられ、フィルム光導波路１０３の両面に実装される光デバイスのタイプに関係なく、光デバイスを配置することができ、光配線を設計することが容易になる。   Further, the film optical waveguide 103 is rotationally symmetric on the virtual plane IP extending from the surface where the first clad film 1A and the second clad film 1B are in contact with each other, like the film optical waveguide 101 of the first embodiment. Since it has the axis RA, the optical waveguide core 4 can be made to be rotationally symmetric. Moreover, if the film thicknesses of the first clad film 1A and the second clad film 1B are the same, the optical waveguides 66 before and after the rotation overlap even if the film is rotated 180 ° about the rotational symmetry axis RA as the rotation axis. 66 can also be made. As a result, the light incident section 12 is replaced with the light exit section, and the light exit section 15 is replaced with the light incident section, so that the optical device can be arranged regardless of the type of optical device mounted on both surfaces of the film optical waveguide 103. This makes it easy to design the optical wiring.

フィルム光導波路１０３は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１の製造方法と同様な方法を用い、第三の光導波路コア４Ｃ及び第四の光導波路コア４Ｄを形成する第一の凹溝３６Ａに相当する凸条と第二のミラー面３Ｂ及び第五のミラー面３Ｅに相当する傾斜部とを有する金型を変えていることにより、作製されている。同様にして、第三の光導波路コア４Ｃ及び第四の光導波路コア４Ｄを形成する第二の凹溝３６Ｂに相当する凸条と第一のミラー面３Ａ及び第六のミラー面３Ｆに相当する傾斜部とを有する金型も変えて作製されている。このように、第一の形成工程Ｐ１１及び第二の形成工程Ｐ１２で使用する金型を変更するだけで、導波路コア４の形状や光の光路を変えることができる。   The film optical waveguide 103 is formed in the first concave groove 36A that forms the third optical waveguide core 4C and the fourth optical waveguide core 4D by using the same method as the manufacturing method of the film optical waveguide 101 of the first embodiment. It is produced by changing the mold having the corresponding ridges and the inclined portions corresponding to the second mirror surface 3B and the fifth mirror surface 3E. Similarly, it corresponds to the convex line corresponding to the second concave groove 36B forming the third optical waveguide core 4C and the fourth optical waveguide core 4D, and the first mirror surface 3A and the sixth mirror surface 3F. A mold having an inclined portion is also produced by changing. Thus, the shape of the waveguide core 4 and the optical path of light can be changed only by changing the metal mold used in the first forming process P11 and the second forming process P12.

［第４実施形態］
図８は、本発明の第４実施形態のフィルム光導波路１０４を説明する図であり、第二のクラッドフィルム側から見た平面構成図である。また、図８は、第１実施形態のフィルム光導波路１０１の光導波路６６が、クラッド内に複数個、設けられていて、本発明の第４実施形態のフィルム光導波路１０４の一部を示した図である。なお、第１実施形態と同じ部材は同じ符号を付しており、説明を省略する。 [Fourth Embodiment]
FIG. 8 is a diagram for explaining the film optical waveguide 104 according to the fourth embodiment of the present invention, and is a plan configuration diagram viewed from the second clad film side. FIG. 8 shows a part of the film optical waveguide 104 according to the fourth embodiment of the present invention, in which a plurality of optical waveguides 66 of the film optical waveguide 101 according to the first embodiment are provided in the clad. FIG. In addition, the same member as 1st Embodiment has attached | subjected the same code | symbol, and abbreviate | omits description.

図８に示すように、フィルム光導波路１０４は、クラッド内に、光導波路コア４が同一方向に複数並列に配置されており、隣接する光導波路コア４に接続された入光部１２の位置がそれぞれ光導波路コア４の延伸方向にずれて形成されているとともに、隣接する光導波路コア４に接続された出光部１５の位置がそれぞれ光導波路コア４の延伸方向にずれて形成されるように構成されている。このように、入光部１２または出光部１５の外径が光導波路コア４の幅より大きい場合、隣接する入光部１２または出光部１５と重ならないように配線できるので、光配線の光導波路コア４を曲げてパターンニングすることなく、高密度で多数の光配線を設けることができる。この事により、高密度で光デバイスを実装できるフィルム光導波路を提供できる。   As shown in FIG. 8, in the film optical waveguide 104, a plurality of optical waveguide cores 4 are arranged in parallel in the same direction, and the position of the light incident portion 12 connected to the adjacent optical waveguide core 4 is The optical waveguide core 4 is formed so as to be shifted in the extending direction of the optical waveguide core 4, and the positions of the light output portions 15 connected to the adjacent optical waveguide cores 4 are respectively shifted in the extending direction of the optical waveguide core 4. Has been. As described above, when the outer diameter of the light incident part 12 or the light outgoing part 15 is larger than the width of the optical waveguide core 4, wiring can be performed so as not to overlap with the adjacent light incident part 12 or light outgoing part 15. A large number of optical wirings can be provided at a high density without bending and patterning the core 4. By this, the film optical waveguide which can mount an optical device with high density can be provided.

また、図３に示すような光学素子ＯＤ１や光学素子ＯＤ２を用いた場合、それぞれの光学部材が光導波路コア４のピッチサイズより大きくなるので、それぞれ光導波路コア４の延伸方向にずれて形成されていることにより、隣接するそれぞれの光学部材が重ならないように配線できる。この事により、光配線の光導波路コア４を曲げてパターンニングすることなく、高密度で多数の光配線を設けることができる。したがって、本発明の第４実施形態のフィルム光導波路１０４は、光学部材を使用した際にも、好適に用いられる。   Further, when the optical element OD1 and the optical element OD2 as shown in FIG. 3 are used, the respective optical members are larger than the pitch size of the optical waveguide core 4, so that they are formed so as to be shifted in the extending direction of the optical waveguide core 4, respectively. Therefore, wiring can be performed so that adjacent optical members do not overlap. As a result, a large number of optical wirings can be provided at high density without bending and patterning the optical waveguide core 4 of the optical wiring. Therefore, the film optical waveguide 104 according to the fourth embodiment of the present invention is also preferably used when an optical member is used.

本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as appropriate without departing from the scope of the object of the present invention.

１Ａ 第一のクラッドフィルム
１Ｂ 第二のクラッドフィルム
１２ 入光部
３Ａ 第一のミラー面
３Ｂ 第二のミラー面
３Ｃ 第三のミラー面
３Ｄ 第四のミラー面
３Ｅ 第五のミラー面
３Ｆ 第六のミラー面
４ 光導波路コア
４Ａ 第一の光導波路コア
４Ｂ 第二の光導波路コア
４Ｃ 第三の光導波路コア
４Ｄ 第四の光導波路コア
１５ 出光部
１５ｂ、１５ｃ 出光部の一端
６Ａ、２６Ａ、３６Ａ 第一の凹溝
６Ｂ、２６Ｂ、３６Ｂ 第二の凹溝
７Ａ 第一の貫通孔
７Ｂ 第二の貫通孔
１０１、１０２、１０３、１０４ フィルム光導波路
Ｐ１１ 第一の形成工程
Ｐ１２ 第二の形成工程
Ｐ２１ 成膜工程
Ｐ３１ 第一の孔形成工程
Ｐ３２ 第一の孔形成工程
Ｐ４１ 貼合せ工程
Ｐ５１ 光導波路形成工程
Ｒ１ 第一の屈折率
Ｒ２ 第二の屈折率
Ｒ３ 第三の屈折率
ＣＡ 光導波路コア用キャビティ
ＤＲ 結ぶ方向
ＩＰ 仮想面
ＲＡ 回転対称軸
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1A 1st clad film 1B 2nd clad film 12 Light entrance part 3A 1st mirror surface 3B 2nd mirror surface 3C 3rd mirror surface 3D 4th mirror surface 3E 5th mirror surface 3F 6th Mirror surface 4 Optical waveguide core 4A First optical waveguide core 4B Second optical waveguide core 4C Third optical waveguide core 4D Fourth optical waveguide core 15 Light emitting portion 15b, 15c One end of light emitting portion 6A, 26A, 36A First One concave groove 6B, 26B, 36B Second concave groove 7A First through hole 7B Second through hole 101, 102, 103, 104 Film optical waveguide P11 First formation process P12 Second formation process P21 Film process P31 First hole forming process P32 First hole forming process P41 Bonding process P51 Optical waveguide forming process R1 First refractive index R2 Second refractive index R3 Third bending Flexure CA Optical waveguide core cavity DR Connecting direction IP Virtual plane RA Rotation symmetry axis

Claims (13)

光信号が伝搬する光導波路コアが、クラッド内に少なくとも一つ形成されているフィルム光導波路において、
前記クラッドが、第一の屈折率を有する材料からなる第一のクラッドフィルムと第二の屈折率を有する材料からなる第二のクラッドフィルムとを有しており、
前記第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとが対向配置されることにより、前記第一の屈折率及び前記第二の屈折率よりも大きい第三の屈折率を有する材料からなる前記光導波路コアが狭持されているとともに、前記第一のクラッドフィルムを貫通し前記光導波路コアの一端部に接続する前記第三の屈折率を有する材料からなる入光部と、前記第二のクラッドフィルムを貫通し前記光導波路コアの他端部に接続する前記第三の屈折率を有する材料からなる出光部と、を有し、
前記光導波路コアの前記一端部側に、前記入光部から入射された光を前記光導波路コアに導く第一のミラー面を有し、前記光導波路コアの前記他端部側に、前記光導波路コアを伝播した光を前記出光部に導く第二のミラー面を有することを特徴とするフィルム光導波路。 In a film optical waveguide in which at least one optical waveguide core through which an optical signal propagates is formed in the cladding,
The cladding has a first cladding film made of a material having a first refractive index and a second cladding film made of a material having a second refractive index,
The optical waveguide made of a material having a first refractive index and a third refractive index larger than the second refractive index by disposing the first clad film and the second clad film facing each other. A light incident portion made of a material having the third refractive index, which is sandwiched between the waveguide core and penetrates the first cladding film and is connected to one end of the optical waveguide core, and the second cladding A light exit portion made of a material having the third refractive index that penetrates the film and is connected to the other end portion of the optical waveguide core;
The one end side of the optical waveguide core has a first mirror surface that guides light incident from the light incident portion to the optical waveguide core, and the optical waveguide is provided on the other end side of the optical waveguide core. A film optical waveguide comprising a second mirror surface for guiding light propagated through a waveguide core to the light output portion. 前記第一のミラー面が前記第二のクラッドフィルムに形成されているとともに、前記第二のミラー面が前記第一のクラッドフィルムに形成されていることを特徴とする請求項１に記載のフィルム光導波路。   The film according to claim 1, wherein the first mirror surface is formed on the second clad film, and the second mirror surface is formed on the first clad film. Optical waveguide. 前記光導波路コアは、前記第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとが接した面を延在した仮想面にある回転対称軸を有し、
前記回転対称軸は、前記光導波路コアの前記一端部と前記他端部とを結ぶ方向と直交していることを特徴とする請求項２に記載のフィルム光導波路。 The optical waveguide core has a rotationally symmetric axis in a virtual plane extending from a surface in contact with the first clad film and the second clad film,
The film optical waveguide according to claim 2, wherein the rotational symmetry axis is orthogonal to a direction connecting the one end portion and the other end portion of the optical waveguide core. 前記第一のクラッドフィルムは前記第二のクラッドフィルム側の面に第一の凹溝を有し、前記第二のクラッドフィルムは前記第一のクラッドフィルム側の面に第二の凹溝を有し、
前記第一の凹溝と前記第二の凹溝とが協働して、光導波路コア用キャビティを形成しており、前記光導波路コア用キャビティに前記第三の屈折率を有する材料が充填されて前記光導波路コアを形成しており、
前記第一の凹溝の深さは、前記第二のミラー面が形成されている側の深さが前記入光部が形成されている側の深さ以上であるとともに、
前記第二の凹溝の深さは、前記第一のミラー面が形成されている側の深さが前記出光部が形成されている側の深さ以上であることを特徴とする請求項３に記載のフィルム光導波路。 The first clad film has a first groove on the second clad film side surface, and the second clad film has a second groove on the first clad film side surface. And
The first concave groove and the second concave groove cooperate to form an optical waveguide core cavity, and the optical waveguide core cavity is filled with a material having the third refractive index. Forming the optical waveguide core,
The depth of the first concave groove is such that the depth on the side where the second mirror surface is formed is equal to or greater than the depth on the side where the light incident portion is formed,
The depth of the second concave groove is such that the depth on the side on which the first mirror surface is formed is equal to or greater than the depth on the side on which the light output portion is formed. The film optical waveguide according to 1. 前記第一の凹溝は、前記第二のミラー面が形成されている側から前記入光部が形成されている側に向かって徐々に浅くなる凹溝であるとともに、
前記第二の凹溝は、前記第一のミラー面が形成されている側から前記出光部が形成されている側に向かって徐々に浅くなる凹溝であることを特徴とする請求項４に記載のフィルム光導波路。 The first concave groove is a concave groove that gradually becomes shallower from the side on which the second mirror surface is formed toward the side on which the light incident part is formed,
The second groove is a groove gradually becoming shallower from a side on which the first mirror surface is formed toward a side on which the light output part is formed. The film optical waveguide as described. 前記第二の凹溝は、前記第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとが接した面を延在した仮想面に接する前記出光部の一端に繋がる凹溝であるとともに、
前記第二のミラー面は、前記仮想面に接する前記出光部の一端に繋がっていることを特徴とする請求項５に記載のフィルム光導波路。 The second concave groove is a concave groove connected to one end of the light output portion in contact with a virtual surface extending from a surface in contact with the first clad film and the second clad film,
The film optical waveguide according to claim 5, wherein the second mirror surface is connected to one end of the light output portion in contact with the virtual surface. 前記光導波路コアは、第一の光導波路コアと第二の光導波路コアとからなり、
前記第一のミラー面は、前記入光部から入射された光を前記第一の光導波路コアに伝搬するよう反射し、
前記第二のクラッドフィルムには、前記第一の光導波路コアを伝搬した光を前記第一のクラッドフィルム側に反射する第三のミラー面が形成されており、
前記第一のクラッドフィルムには、前記第三のミラー面からの光を前記第二の光導波路コアに伝搬するよう反射する第四のミラー面が形成されており、
前記第二のミラー面は、前記第二の光導波路コアを伝搬した光を前記出光部に導くよう反射することを特徴とする請求項２または請求項３に記載のフィルム光導波路。 The optical waveguide core comprises a first optical waveguide core and a second optical waveguide core,
The first mirror surface reflects the light incident from the light incident part so as to propagate to the first optical waveguide core,
The second clad film is formed with a third mirror surface that reflects the light propagated through the first optical waveguide core to the first clad film side,
The first clad film is formed with a fourth mirror surface that reflects light from the third mirror surface to propagate to the second optical waveguide core,
4. The film optical waveguide according to claim 2, wherein the second mirror surface reflects light propagating through the second optical waveguide core so as to guide the light to the light output portion. 5. 前記光導波路コアは、第三の光導波路コアと第四の光導波路コアとからなり、
前記第一のミラー面は、前記入光部から入射された光を前記第三の光導波路コアに伝搬するよう反射し、
前記第一のクラッドフィルムには、前記第三の光導波路コアを伝搬した光を前記第二のクラッドフィルム側に反射する第五のミラー面が形成されており、
前記第二のクラッドフィルムには、前記第五のミラー面からの光を前記第四の光導波路コアに伝搬するよう反射する第六のミラー面が形成されており、
前記第二のミラー面は、前記第四の光導波路コアを伝搬した光を前記出光部に導くよう反射することを特徴とする請求項２または請求項３に記載のフィルム光導波路。 The optical waveguide core comprises a third optical waveguide core and a fourth optical waveguide core,
The first mirror surface reflects the light incident from the light incident part so as to propagate to the third optical waveguide core,
The first clad film is formed with a fifth mirror surface that reflects the light propagated through the third optical waveguide core to the second clad film side,
The second clad film is formed with a sixth mirror surface that reflects light from the fifth mirror surface to propagate to the fourth optical waveguide core,
4. The film optical waveguide according to claim 2, wherein the second mirror surface reflects light propagating through the fourth optical waveguide core so as to guide the light to the light output portion. 5. 前記クラッド内に、前記光導波路コアが同一方向に複数並列に配置されており、隣接する前記光導波路コアに接続された前記入光部の位置がそれぞれ前記光導波路コアの延伸方向にずれて形成されているとともに、隣接する前記光導波路コアに接続された前記出光部の位置がそれぞれ前記光導波路コアの延伸方向にずれて形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載のフィルム光導波路。   In the clad, a plurality of the optical waveguide cores are arranged in parallel in the same direction, and the positions of the light incident portions connected to the adjacent optical waveguide cores are shifted in the extending direction of the optical waveguide core, respectively. 9. The method according to claim 1, wherein the positions of the light output portions connected to the adjacent optical waveguide cores are shifted from each other in the extending direction of the optical waveguide core. The film optical waveguide according to claim 1. 第一のクラッドフィルムに第一の凹溝及び第二のミラー面を形成する第一の形成工程と、
第二のクラッドフィルムに第二の凹溝及び第一のミラー面を形成する第二の形成工程と、
前記第一の形成工程及び前記第二の形成工程後、前記第二のミラー面及び前記第一のミラー面に反射膜を形成する成膜工程と、
前記第一のクラッドフィルムに入光部または出光部を形成するための第一の貫通孔を開設する第一の孔形成工程と、
前記第二のクラッドフィルムに出光部または入光部を形成するための第二の貫通孔を開設する第二の孔形成工程と、
前記第一のクラッドフィルムと前記第二のクラッドフィルムとを、前記第一の凹溝と前記第二の凹溝とが、前記第一の貫通孔と前記第一のミラー面とが、前記第二の貫通孔と前記第二のミラー面とが、それぞれ対向するよう貼り合わせる貼合せ工程と、
前記第一の貫通孔内、前記第二の凹溝内、前記第一の凹溝内、及び前記第二の貫通孔内に光導波路の形成用高分子材料を充填する光導波路形成工程と、を有することを特徴とするフィルム光導波路の製造方法 A first forming step of forming a first groove and a second mirror surface in the first clad film;
A second forming step of forming a second groove and a first mirror surface in the second cladding film;
A film forming step of forming a reflective film on the second mirror surface and the first mirror surface after the first forming step and the second forming step;
A first hole forming step for opening a first through hole for forming a light incident part or a light outgoing part in the first clad film;
A second hole forming step for opening a second through hole for forming a light exiting part or a light entering part in the second clad film;
The first clad film and the second clad film, the first groove and the second groove, the first through hole and the first mirror surface, A laminating step in which the two through-holes and the second mirror surface are opposed to each other;
An optical waveguide forming step of filling the first through hole, the second concave groove, the first concave groove, and the second through hole with a polymer material for forming an optical waveguide; A method for producing a film optical waveguide, comprising: 前記第一の形成工程及び前記第二の形成工程は、前記第一の凹溝及び前記第二の凹溝と前記第二のミラー面及び前記第一のミラー面とをそれぞれ同一形状となるよう加工することを特徴とする請求項１０に記載のフィルム光導波路の製造方法。   In the first forming step and the second forming step, the first groove and the second groove, the second mirror surface, and the first mirror surface have the same shape, respectively. The method for producing a film optical waveguide according to claim 10, wherein the film optical waveguide is processed. 前記光導波路形成工程は、
前記第二の貫通孔から、前記第二の貫通孔内、前記第一の凹溝内、前記第二の凹溝内及び前記第一の貫通孔内の気体を吸引しつつ、前記第一の貫通孔から、前記第一の貫通孔内、前記第二の凹溝内、前記第一の凹溝内及び前記第二の貫通孔内に前記光導波路の形成用の高分子材料を加圧充填することを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載のフィルム光導波路の製造方法。 The optical waveguide forming step includes
The first through-hole is sucked from the second through-hole while sucking the gas in the second through-hole, the first concave groove, the second concave groove, and the first through-hole. From the through hole, the polymer material for forming the optical waveguide is pressurized and filled into the first through hole, the second concave groove, the first concave groove, and the second through hole. The method for producing a film optical waveguide according to claim 10 or 11, wherein: 前記光導波路形成工程は、前記高分子材料を加圧充填する際に、
前記第二の貫通孔内、前記第一の凹溝内、前記第二の凹溝内及び前記第一の貫通孔内の気体がぬけ易いよう、前記第二の貫通孔が前記第一の貫通孔より上方に配置されることを特徴とする請求項１２に記載のフィルム光導波路の製造方法。 In the optical waveguide forming step, when the polymer material is pressure-filled,
The second through hole is formed in the first through hole so that the gas in the second through hole, the first concave groove, the second concave groove, and the first through hole can be easily removed. The method for producing a film optical waveguide according to claim 12, wherein the film optical waveguide is disposed above the hole.
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