JP2012053028A - 流量センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検出流体に曝される流量検出部10aを表面に備えたセンサチップ10と、センサチップ10と電気的に接続される外部接続端子20を備えた固定部30と、固定部30から所定方向に突出して備えられ、固定部30と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、流量検出部10aを露出させた状態でセンサチップ10を収容する収容凹部50が形成されたセンサ搭載部40と、を備える。そして、センサ搭載部40を、突出方向と垂直となる断面の断面積が、収容凹部50より固定部30側に位置する部分より、収容凹部50より先端部側に位置する部分の方を小さくする。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について説明する。図1(a)は本実施形態における流量センサの概略平面図、図1(b)は図1(a)に示す流量センサの概略側面図、図1(c)は図1(a)に示す流量センサの概略正面図である。なお、図1(c)の概略正面図とは、図1(a)に示すA方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、本実施形態における流量センサは、例えば、内燃機関の吸気管内に配置され、内燃機関に流入する吸入空気流量を測定するのに利用されると好適である。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図2(a)は本実施形態における流量センサの概略平面図、図2(b)は図2(a)に示す流量センサの概略側面図、図2(c)は図2(a)に示す流量センサの概略正面図である。なお、図2(c)の概略正面図とは、図2(a)に示すB方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図2(c)では、ターミナル20を省略して示してある。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図3(a)は本実施形態における流量センサの概略平面図、図3(b)は図3(a)に示す流量センサの概略側面図、図3(c)は図3(a)に示す流量センサの概略正面図である。なお、図3(c)の概略正面図とは、図3(a)に示すC方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図3(c)では、ターミナル20を省略して示してある。
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図4(a)は本実施形態における流量センサの概略側面図、図4(b)は図4(a)に示す流量センサの概略正面図である。なお、本実施形態における流量センサの概略平面図は図1(a)と同様であり、図4(b)の概略正面図とは、図1(a)に示すA方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図4(b)では、ターミナル20を省略して示してある。
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図7(a)は本実施形態における流量センサの概略側面図、図7(b)は図7(a)に示す流量センサの概略正面図である。なお、本実施形態における流量センサの概略平面図は図1(a)と同様であり、図7(b)の概略正面図とは、図1(a)に示すA方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図7(b)では、ターミナル20を省略して示してある。
本発明の第6実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図9(a)は本実施形態における流量センサの概略平面図、図9(b)は図9(a)に示す流量センサの概略側面図、図9(c)は図9(a)に示す流量センサの概略正面図である。なお、図9(c)の概略正面図とは、図9(a)に示すD方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図9(c)では、ターミナル20を省略して示してある。
本発明の第7実施形態について説明する。本実施形態の流量センサは、整流部70の形状を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図10(a)は本実施形態における流量センサの概略平面図であり、図10(b)は図10(a)に示す流量センサの概略側面図、図10(c)は図10(a)に示す流量センサの概略正面図である。なお、図10(c)の概略正面図とは、図10(a)に示すE方向から流量センサを視たときの概略正面図である。また、図10(c)では、ターミナル20を省略して示してある。
本発明の第8実施形態について説明する。本実施形態は、整流部70の支持の仕方を変更したものであり、その他に関しては第1実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図11は、本実施形態におけるセンサ搭載部40にセンサチップ10を収容する工程を示す図である。なお、図11は、センサ搭載部40の概略正面図であり、中間部60を省略して示してある。
上記第1〜第3実施形態では、整流部70のうち中間部60と繋がっている部分は、中間部60より幅が短くされていると共に厚さが薄くされている例について説明したが、例えば、次のようにすることもできる。すなわち、整流部70のうち中間部60と繋がっている部分は、中間部60と等しい幅とされていると共に等しい厚さとされていてもよい。
さらに、上記第4実施形態では、上記第1実施形態の整流部70において平坦な一面71を有する流量センサについて説明したが、上記第2、第3実施形態の整流部70についても同様である。
10a 流量検出部
11 ボンディングワイヤ
20 ターミナル
30 固定部
40 センサ搭載部
50 収容凹部
60 中間部
70 整流部
Claims (18)
- 被検出流体に曝される流量検出部(10a)を表面に備えたセンサチップ(10)と、
前記センサチップ(10)と電気的に接続される外部接続端子(20)を備えた固定部(30)と、
前記固定部(30)から所定方向に突出して備えられ、前記固定部(30)と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、前記流量検出部(10a)を露出させた状態で前記センサチップ(10)を収容する収容凹部(50)が形成されたセンサ搭載部(40)と、を備え、
前記センサ搭載部(40)は、前記突出方向と垂直となる断面の断面積が、前記収容凹部(50)より前記固定部(30)側に位置する部分より、前記収容凹部(50)より前記先端部側に位置する部分の方が小さくされていることを特徴とする流量センサ。 - 前記センサ搭載部(40)は、前記センサチップ(10)における前記表面の法線方向から視たとき、前記センサチップ(10)の前記表面と平行な方向であって、かつ、前記突出方向と垂直な方向の長さが、前記収容凹部(50)より前記固定部(30)側に位置する部分より、前記収容凹部(50)より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が短くされていることを特徴とする請求項1に記載の流量センサ。
- 前記センサ搭載部(40)は、前記センサチップ(10)における前記表面の法線方向から視たとき、台形形状とされていることを特徴とする請求項2に記載の流量センサ。
- 前記センサ搭載部(40)は、前記センサチップ(10)の平面方向と平行な方向であって、かつ前記突出方向と垂直な方向から視たとき、前記センサチップ(10)の前記表面と垂直な方向の長さが、前記収容凹部(50)より前記固定部(30)側に位置する部分より、前記収容凹部(50)より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が短くされていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の流量センサ。
- 前記センサ搭載部(40)は、前記突出方向と垂直となる断面が半楕円である部分を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の流量センサ。
- 前記収容凹部(50)は、前記センサ搭載部(40)のうち前記半楕円の弦を構成する一面(61、71)に形成されていることを特徴とする請求項5に記載の流量センサ。
- 前記センサ搭載部(40)は、前記突出方向と垂直となる断面が楕円である部分を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の流量センサ。
- 前記センサ搭載部(40)は、前記突出方向と垂直となる断面が真円である部分を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1つに記載の流量センサ。
- 前記センサ搭載部(40)は、前記収容凹部(50)が形成される側と反対側に平坦な一面(72)を有することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の流量センサ。
- 前記センサ搭載部(40)は、前記固定部(30)と繋がっている中間部(60)と、前記中間部(60)を挟んで前記固定部(30)と反対側に位置する整流部(70)とを有して構成され、前記収容凹部(50)は、前記中間部(60)および前記整流部(70)に跨って形成されており、前記突出方向と垂直となる部分の断面積が、前記中間部(60)のうち前記収容凹部(50)より前記固定部(30)側に位置する部分より、前記整流部(70)のうち前記収容凹部(50)より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1つに記載の流量センサ。
- 前記センサチップ(10)は、前記流量検出部(10a)が前記収容凹部(50)のうち前記整流部(70)側に位置する状態で収容されていることを特徴とする請求項10に記載の流量センサ。
- 前記整流部(70)は、前記収容凹部(50)が形成される側と反対側の部分に平坦な一面(72)を備えていることを特徴とする請求項11に記載の流量センサ。
- 前記整流部(70)は、前記収容凹部(50)と対向する部分が前記平坦な一面(72)とされていることを特徴とする請求項12に記載の流量センサ。
- 被検出流体に曝される流量検出部(10a)を表面に備えたセンサチップ(10)と、
前記センサチップ(10)と電気的に接続される外部接続端子(20)を備えた固定部(30)と、
前記固定部(30)から所定方向に突出して備えられ、前記固定部(30)と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、前記流量検出部(10a)を露出させた状態で前記センサチップ(10)を収容する収容凹部(50)が形成されたセンサ搭載部(40)と、を備えた流量センサの製造方法であって、
前記センサ搭載部(40)として、前記突出方向と垂直となる断面の断面積が、前記収容凹部(50)より前記固定部(30)側に位置する部分より、前記収容凹部(50)より前記先端部側に位置する部分の方が小さくされていると共に、前記収容凹部(50)が形成されている側と反対側の部分に平坦な一面(72)を備え、前記固定部(30)と一体化されたものを用意する工程と、
前記センサ搭載部(40)のうち前記平坦な一面(72)に治具(80)の先端面(81)を当接させて前記センサ搭載部(70)を支持しつつ、前記センサチップ(10)を前記収容凹部(50)に収容する工程と、を行うことを特徴とする流量センサの製造方法。 - 前記センサ搭載部(40)を用意する工程では、前記固定部(30)と繋がっている中間部(60)および前記中間部(60)を挟んで前記固定部(30)と反対側に位置する整流部(70)を有し、前記中間部(60)および前記整流部(70)に跨って前記収容凹部(50)が形成され、前記突出方向と垂直となる部分の断面積が、前記中間部(60)のうち前記収容凹部(50)より前記固定部(30)側に位置する部分より、前記整流部(70)のうち前記収容凹部(50)より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされ、前記整流部(70)のうち前記収容凹部(50)が形成されている側と反対側の部分に前記平坦な一面(72)を備えたものを用意し、
前記センサチップ(10)を収容する工程では、前記整流部(70)における前記平坦な一面(72)に前記治具(80)の先端面(81)を当接させて前記整流部(70)を支持しつつ、前記流量検出部(10a)が前記整流部(70)側に配置されるように、前記センサチップ(10)を前記収容凹部(50)に収容することを特徴とする請求項14に記載の流量センサの製造方法。 - 前記センサ搭載部(40)を用意する工程では、前記整流部(70)のうち前記収容凹部(50)と対向する部分が前記平坦な一面(72)とされたものを用意することを特徴とする請求項15に記載の流量センサの製造方法。
- 被検出流体に曝される流量検出部(10a)を表面に備えたセンサチップ(10)と、
前記センサチップ(10)と電気的に接続される外部接続端子(20)を備えた固定部(30)と、
前記固定部(30)から所定方向に突出して備えられ、前記固定部(30)と繋がっている部分と突出方向の先端部との間の部分に、前記流量検出部(10a)を露出させた状態で前記センサチップ(10)を収容する収容凹部(50)が形成されたセンサ搭載部(40)と、を備えた流量センサの製造方法であって、
前記センサ搭載部(40)として、前記突出方向と垂直となる断面の断面積が、前記収容凹部(50)より前記固定部(30)側に位置する部分より、前記収容凹部(50)より前記先端部側に位置する部分の方が小さくされていると共に、前記収容凹部(50)が形成されている側と反対側の部分が曲面とされており、前記固定部(30)と一体化されたものを用意する工程と、
前記センサ搭載部(40)のうち前記曲面の複数箇所に治具(80)を当接させて前記センサ搭載部(70)を支持しつつ、前記センサチップ(10)を前記収容凹部(50)に収容する工程と、を行うことを特徴とする流量センサの製造方法。 - 前記センサ搭載部(40)を用意する工程では、前記固定部(30)と繋がっている中間部(60)および前記中間部(60)を挟んで前記固定部(30)と反対側に位置する整流部(70)を有し、前記中間部(60)および前記整流部(70)に跨って前記収容凹部(50)が形成され、前記突出方向と垂直となる部分の断面積が、前記中間部(60)のうち前記収容凹部(50)より前記固定部(30)側に位置する部分より、前記整流部(70)のうち前記収容凹部(50)より前記突出方向の先端部側に位置する部分の方が小さくされ、前記整流部(70)のうち前記収容凹部(50)が形成されている側と反対側の部分が前記曲面とされているものを用意し、
前記センサチップ(10)を収容する工程では、前記整流部(70)における前記曲面の複数箇所に前記治具(80)を当接させて前記整流部(70)を支持しつつ、前記流量検出部(10a)が前記整流部(70)側に配置されるように、前記センサチップ(10)を前記収容凹部(50)に収容することを特徴とする請求項17に記載の流量センサの製造方法。
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