JP2012050968A - ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ノズル26と基板16とを相対的に移動させる移動装置28と、ノズル26からペーストを吐出させる吐出装置25とを備えたペースト塗布装置10において、塗布描画されたパターン33の塗布欠陥部33Aを塗布補修する際の塗布補修パターン45A又は45Bを選択する塗布補修パターン選択部36Cと、選択された塗布補修パターン45A又は45Bで塗布欠陥部33Aを塗布補修するように移動装置28と吐出装置25を制御する制御装置36とを備えるもの。
【選択図】 図1
Description
以下、図面を参照しながらこの発明の実施例1を説明する。
実施例1では、断線検出装置として断線検査装置41を用い、ペースト塗布装置10の後工程で断線部33Aを検出したが、本実施例では、ペースト塗布装置10に断線検出装置を付加したものである。図3は、断線検出装置としてレーザ変位計51からなる距離検出器を使用し、ノズル26の進行方向の後方にレーザ変位計51を配置した例で、ノズル26を用いてシール剤を基板16上に塗布しながら塗布されたシール剤のパターン33の塗布高さを測定するようにしたものである。
16 基板
25 吐出装置
26 ノズル
28 移動装置
33 パターン
33A 断線部(塗布欠陥部)
34 レーザ変位計(距離検出器)
36 制御装置
36A 位置設定部
36B 入力部
36C 塗布補修パターン選択部
36D 閾値設定部
36F 比較部
41 断線検査装置(断線検出装置)
45A 線状の塗布補修パターン
45B 点状の塗布補修パターン
Claims (8)
- ペーストをノズルから吐出させて予め設定されたパターンで基板に塗布描画するペースト塗布装置において、
前記ノズルと前記基板とを相対的に移動させる移動装置と、
該ノズルから前記ペーストを吐出させる吐出装置と、
前記塗布描画されたパターンの塗布欠陥部を塗布補修する際の塗布補修パターンを選択する塗布補修パターン選択部と、
該選択された塗布補修パターンで該塗布欠陥部を塗布補修するように前記移動装置と前記吐出装置を制御する制御装置と、を備えたことを特徴とするペースト塗布装置。 - 前記塗布描画されたパターンの塗布欠陥部の位置に関する情報を設定する位置設定部を備え、
前記塗布補修パターン選択部は、該位置設定部で設定された位置毎に前記塗布補修パターンを選択する請求項1に記載のペースト塗布装置。 - 前記塗布補修パターン選択部は線状の塗布補修パターンと点状の塗布補修パターンのいずれかを選択可能である請求項1又は2に記載のペースト塗布装置。
- ペーストをノズルから吐出させて予め設定されたパターンで基板に塗布描画するペースト塗布装置において、
前記ノズルと前記基板とを相対的に移動させる移動装置と、
該ノズルから前記ペーストを吐出させる吐出装置と、
前記塗布描画されたパターンの塗布欠陥部の長さに関する情報を入力する入力部と、
該塗布欠陥部を線状の塗布補修パターンにて補修するか又は点状の塗布補修パターンにて補修するかを選択するための閾値を設定する閾値設定部と、
前記パターンの塗布欠陥部の長さに関する情報に基づき該塗布欠陥部の長さと該閾値とを比較する比較部と、
該比較部の比較結果に基づいて、該塗布欠陥部を前記線状の塗布補修パターンにて補修するか又は点状の塗布補修パターンにて補修するかを選択する塗布補修パターン選択部と、
該選択された塗布補修パターンで該塗布欠陥部を塗布補修するように前記移動装置と吐出装置を制御する制御装置と、を備えたことを特徴とするペースト塗布装置。 - 前記塗布描画されたパターンの塗布欠陥部を検出する断線検出装置を備え、
前記入力部は該断線検出装置の検出結果から前記パターンの塗布欠陥部の長さに関する情報を得る請求項4に記載のペースト塗布装置。 - 前記断線検出装置は、前記ノズルから吐出されて前記基板上に塗布描画されたパターンの高さを測定する距離検出器からなるものである請求項5に記載のペースト塗布装置。
- 基板と基板上にペーストを吐出するノズルとを相対的に移動させて、ペーストを予め設定されたパターンで基板に塗布描画するペースト塗布方法において、
前記塗布描画されたパターンの塗布欠陥部の長さに関する情報に基づいて、
該塗布欠陥部を線状の塗布補修パターンにて補修するか又は点状の塗布補修パターンにて補修するかを選択し、
該選択された塗布補修パターンにて該塗布欠陥部を塗布補修することを特徴とするペースト塗布方法。 - 前記塗布欠陥部を線状の塗布補修パターンにて補修するか又は点状の塗布補修パターンにて補修するかを判断するための閾値を設定し、
前記塗布欠陥部の長さが該閾値以下のとき該点状の塗布補修パターンを選択し、該閾値よりも大きいときに該線状の塗布補修パターンを選択する請求項7に記載のペースト塗布方法。
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