JP2012047836A - Laser microscope - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser microscope capable of improving resolution in the XY plane of a specimen.SOLUTION: The laser microscope comprises: a microscope body; a light source part for emitting laser illumination light to a specimen provided in the microscope body; a illumination part for illuminating the illumination light on the specimen; a detection optical system in a conjugate position with the specimen and disposed on the return path of light emitted from the specimen illuminated at the illumination part; and a polarization control element disposed at a position without overlapping with the return path on the forward path where the illumination light emitted from the light source part goes to the specimen, and for controlling polarization distribution into predetermined distribution in a plane perpendicular to the optical axis of the illumination light emitted from the light source part. The polarization control element is disposed at the light source part side rather than at the illumination part side on the optical path of the illumination light.

Description

本発明は、レーザ顕微鏡に関する。   The present invention relates to a laser microscope.

走査型共焦点顕微鏡(レーザ顕微鏡の一種)は、レーザ光源からの照明光を、対物レンズを介して標本上に結像し、標本上に照射されたスポット状の光を2次元的に走査して観察を行うものである。標本にレーザ光が照射されると、標本の光学的な特性によって反射、吸収、蛍光、散乱などが照射領域において生じる。照射領域で発生した反射光や蛍光は、対物レンズで集光された後に検出器により検出される。通常、検出器は複数設けられており、フィルタ等を用いて所望の波長の光を検出器で検出するようにしている(特許文献1参照)。   A scanning confocal microscope (a type of laser microscope) forms illumination light from a laser light source on a specimen through an objective lens, and scans spot-shaped light irradiated on the specimen two-dimensionally. Observation. When the sample is irradiated with laser light, reflection, absorption, fluorescence, scattering, and the like occur in the irradiated region due to the optical characteristics of the sample. Reflected light and fluorescence generated in the irradiation region are collected by the objective lens and then detected by the detector. Usually, a plurality of detectors are provided, and light of a desired wavelength is detected by the detector using a filter or the like (see Patent Document 1).

特開2002−221663号公報JP 2002-221663 A

しかしながら、上記従来技術においては、光の回折限界という制限から集光スポットの大きさがレーザ光の波長程度に限られるため、例えば標本の厚さ方向をZ方向とした場合にXY平面内での解像度に限界があるといった問題があった。   However, in the above prior art, the size of the focused spot is limited to the wavelength of the laser beam due to the limitation of the light diffraction limit. For example, when the thickness direction of the specimen is the Z direction, There was a problem that the resolution was limited.

上記のような事情に鑑み、本発明は、標本のXY平面内での解像度を向上させることができる、レーザ顕微鏡を提供することを目的とする。   In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a laser microscope that can improve the resolution of a specimen in the XY plane.

本発明の第1の態様に従えば、顕微鏡本体と、前記顕微鏡本体に設けられる標本に対してレーザ照明光を射出する光源部と、前記照明光を前記標本上に照射する照明部と、前記標本と共役な位置であり、且つ前記照明部にて照射された前記標本から射出された光の復路上に配置される検出光学系と、前記光源部から射出された前記照明光における前記標本に向かう往路のうち、前記復路と重ならない位置に配置され、前記光源部から出射された前記照明光を光軸に垂直な面内で偏光分布を所定分布に制御する偏光制御素子と、前記偏光制御素子は、前記照明光の光路上における前記照明部よりも前記光源部側に配置される
ことを特徴とするレーザ顕微鏡が提供される。
According to the first aspect of the present invention, a microscope main body, a light source unit that emits laser illumination light to a specimen provided in the microscope main body, an illumination unit that irradiates the specimen with the illumination light, A detection optical system disposed on the return path of the light emitted from the sample irradiated by the illumination unit and a position conjugate with the sample; and the sample in the illumination light emitted from the light source unit A polarization control element that is arranged at a position that does not overlap with the return path in the outgoing path, and that controls the polarization distribution of the illumination light emitted from the light source unit in a plane perpendicular to the optical axis, and the polarization control An element is disposed closer to the light source unit than the illumination unit on the optical path of the illumination light. A laser microscope is provided.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記検出光学系は、ピンホールを有し、前記照明部は、前記照明光を前記標本上で2次元的にスキャンされるように偏向する光走査部を有する走査ユニットからなり、前記光走査部は、少なくとも1つのミラーを有しており、前記偏光制御素子は、前記照明光の光路上における前記少なくとも1つのミラーよりも前記光源部側に配置されることが好ましい。   In the laser microscope, the detection optical system includes a pinhole, and the illumination unit includes a light scanning unit that deflects the illumination light so as to be scanned two-dimensionally on the sample. The optical scanning unit includes at least one mirror, and the polarization control element is disposed closer to the light source unit than the at least one mirror on the optical path of the illumination light. preferable.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記走査ユニットは、反射型あるいは透過型であることが好ましい。   In the laser microscope, the scanning unit is preferably a reflection type or a transmission type.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記偏光制御素子は、前記光源部から出射された前記照明光を透過させることで前記照明光を複数の偏光成分からなるものに制御することが好ましい。   In the laser microscope, it is preferable that the polarization control element controls the illumination light to have a plurality of polarization components by transmitting the illumination light emitted from the light source unit.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記偏光制御素子は、前記光源部から出射された前記照明光を透過させることで前記照明光の光軸の垂直な面内の偏光の位相状態を座標に応じて分布を持つように制御することが好ましい。   Further, in the laser microscope, the polarization control element transmits the illumination light emitted from the light source unit, thereby changing the phase state of the polarization in a plane perpendicular to the optical axis of the illumination light according to the coordinates. It is preferable to control to have a distribution.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記ピンホールは、走査ユニットに設けられており、前記光走査部は、前記標本から射出された光を偏向してデスキャンすることで前記ピンホールへと出射することが好ましい。   Further, in the laser microscope, the pinhole is provided in a scanning unit, and the optical scanning unit emits the light emitted from the specimen by deflecting and descanning the light to the pinhole. Is preferred.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記偏光制御素子は液晶装置から構成されることが好ましい。   In the laser microscope, the polarization control element is preferably composed of a liquid crystal device.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記液晶装置は、放射状に分割された複数の分割領域を有し、各々の分割領域における光学軸が異なっていることが好ましい。   In the laser microscope, it is preferable that the liquid crystal device has a plurality of radially divided areas, and the optical axes in the divided areas are different.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記液晶装置は放射状に分割された複数の分割領域を有しており、各々の分割領域ごとに、偏光の旋光性を独立制御可能であることが好ましい。   In the laser microscope, it is preferable that the liquid crystal device has a plurality of radially divided areas, and the polarization optical rotation can be independently controlled for each of the divided areas.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記液晶装置は一対の基板間に挟持された液晶を有し、前記液晶に電圧を印加することで偏光制御を行う状態と、前記液晶に電圧を印加しないことで偏光制御を行わない状態とを切り替え可能とされていることが好ましい。   In the laser microscope, the liquid crystal device includes a liquid crystal sandwiched between a pair of substrates, and a state in which polarization control is performed by applying a voltage to the liquid crystal, and a voltage is not applied to the liquid crystal. It is preferable that the state in which the polarization control is not performed can be switched.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記液晶装置は、前記光源部から射出される前記照明光の波長に応じて前記液晶への印加電圧を可変とされていることが好ましい。   In the laser microscope, it is preferable that the liquid crystal device has a variable voltage applied to the liquid crystal according to the wavelength of the illumination light emitted from the light source unit.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記偏光制御素子は入射した前記照明光の位相をずらして射出する波長板としての機能を含むことが好ましい。   In the laser microscope, it is preferable that the polarization control element includes a function as a wave plate that emits the incident illumination light with a phase shifted.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記偏光制御素子は、放射状に分割され、且つ前記波長板が配置された複数の分割領域を有し、前記分割領域に配置された前記波長板の光学軸がそれぞれ異なっていることが好ましい。   Further, in the laser microscope, the polarization control element has a plurality of divided regions in which the wavelength plate is radially divided and the wavelength plate is arranged, and the optical axes of the wave plates arranged in the divided regions are respectively Preferably they are different.

また、上記レーザ顕微鏡においては、前記光走査部は2つのミラーを有しており、前記偏光制御素子は、該2つのミラーの間に配置されることが好ましい。   In the laser microscope, the optical scanning unit preferably includes two mirrors, and the polarization control element is disposed between the two mirrors.

本発明によれば、走査型共焦点顕微鏡において、標本のXY平面内での解像度を向上させることができる。   According to the present invention, in the scanning confocal microscope, the resolution of the specimen in the XY plane can be improved.

走査型共焦点顕微鏡の一実施形態に係る構成を示す図。The figure which shows the structure which concerns on one Embodiment of a scanning confocal microscope. 光源部、検出ユニット、及び処理ユニットの概略構成を示す図。The figure which shows schematic structure of a light source part, a detection unit, and a processing unit. 偏光制御素子の構成を模式的に示す図。The figure which shows the structure of a polarization control element typically. 偏光制御素子から出射されるビームの偏光状態を示す図。The figure which shows the polarization state of the beam radiate | emitted from a polarization control element. 光走査部の詳細構成を示す図。The figure which shows the detailed structure of an optical scanning part. (a)はレーザ光の走査経路を示し、(b)は蛍光の発生領域を示す図。(A) shows the scanning path | route of a laser beam, (b) is a figure which shows the generation | occurrence | production area | region of fluorescence. 3種類の蛍光波長を検出することができる検出ユニットを示す図。The figure which shows the detection unit which can detect three types of fluorescence wavelengths. 偏光制御素子の配置位置に関する変形例に係る構成を示す図。The figure which shows the structure which concerns on the modification regarding the arrangement position of a polarization control element.

以下、図面を参照しながら、本発明の走査型共焦点顕微鏡に係る一実施例について説明する。図1は本実施形態に係る走査型共焦点顕微鏡の構成を示す図である。なお、図1、3,4においてはXYZ座標系を用い、標本24が配置されるステージ面をXY平面とし、該標本24の厚さ方向をZ方向としている。走査型共焦点顕微鏡は、顕微鏡本体10と光源部1と検出ユニット26とからなり、顕微鏡本体10の鏡筒部11には走査ユニット12が着脱可能な状態で装着されている。光源部1および検出ユニット26と走査ユニット12とはシングルモード光ファイバ9およびマルチモード光ファイバ25により接続されており、光源部1で発生したレーザ光は光ファイバ9により走査ユニット12に入力される。標本24からの光は、後述するように対物レンズ23,第2対物レンズ22,走査ユニット12および光ファイバ25を介して検出ユニット26に伝達される。   Hereinafter, an embodiment according to a scanning confocal microscope of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a scanning confocal microscope according to the present embodiment. 1, 3, and 4, the XYZ coordinate system is used, the stage surface on which the specimen 24 is arranged is the XY plane, and the thickness direction of the specimen 24 is the Z direction. The scanning confocal microscope includes a microscope main body 10, a light source unit 1, and a detection unit 26, and the scanning unit 12 is attached to the lens barrel unit 11 of the microscope main body 10 in a detachable state. The light source unit 1, the detection unit 26 and the scanning unit 12 are connected by a single mode optical fiber 9 and a multimode optical fiber 25, and laser light generated by the light source unit 1 is input to the scanning unit 12 through the optical fiber 9. . The light from the specimen 24 is transmitted to the detection unit 26 through the objective lens 23, the second objective lens 22, the scanning unit 12, and the optical fiber 25 as described later.

光ファイバ9,25と光源部1,検出ユニット26および走査ユニット12との接続は、コネクタC1〜C4を用いて行われており、この部分は容易に着脱可能とされている。検出ユニット26には信号線77を介して処理ユニット37が接続されており、検出ユニット26で検出された画像信号に基づく標本24の観察画像が処理ユニット37において形成される。   The optical fibers 9 and 25 are connected to the light source unit 1, the detection unit 26, and the scanning unit 12 using connectors C1 to C4, and this portion can be easily attached and detached. A processing unit 37 is connected to the detection unit 26 via a signal line 77, and an observation image of the specimen 24 based on the image signal detected by the detection unit 26 is formed in the processing unit 37.

図2は光源部1、検出ユニット26及び処理ユニット37の概略構成を示す図である。図2に示すように、信号線77はコネクタC5を介して処理ユニット37に着脱可能に接続されている。処理ユニット37にはモニタ36が接続されており、画像処理により得られた観察像が表示される。35は画像データを保存記憶するための記憶装置である。検出ユニット26および処理ユニット37の詳細については後述する。   FIG. 2 is a diagram illustrating a schematic configuration of the light source unit 1, the detection unit 26, and the processing unit 37. As shown in FIG. 2, the signal line 77 is detachably connected to the processing unit 37 via a connector C5. A monitor 36 is connected to the processing unit 37, and an observation image obtained by image processing is displayed. Reference numeral 35 denotes a storage device for storing and storing image data. Details of the detection unit 26 and the processing unit 37 will be described later.

光源部1には出力波長の異なる複数のレーザ発生装置2,3,4が設けられている。レーザ発生装置2,3,4から出射された各レーザ光は全反射ミラー5およびダイクロイックミラー6,7を用いて同一光軸に合わせられた後に、集光レンズ8により集光されて光ファイバ9に入射される。図1に示すように、光ファイバ9により走査ユニット12に伝送されたレーザ光はファイバ端面から所定のNA(開口数)で出射され、走査ユニット12内のコリメータレンズ15により平行光に変換される。   The light source unit 1 is provided with a plurality of laser generators 2, 3, and 4 having different output wavelengths. The laser beams emitted from the laser generators 2, 3, 4 are aligned on the same optical axis using the total reflection mirror 5 and the dichroic mirrors 6, 7, and then collected by the condenser lens 8 to be collected by the optical fiber 9. Is incident on. As shown in FIG. 1, the laser light transmitted to the scanning unit 12 by the optical fiber 9 is emitted from the end face of the fiber with a predetermined NA (numerical aperture), and is converted into parallel light by the collimator lens 15 in the scanning unit 12. .

コリメータレンズ15からの平行光はダイクロイックミラー18により反射され、光走査部19に入射するようになっている。図1に示したように、走査ユニット12は、コリメータレンズ15とダイクロイックミラー18との間における光路の途中に設けられた偏光制御素子100を備えている。偏光制御素子100は、詳細について後述するように(図4参照)、光源部1から射出されたビーム(照明光)を透過させることで該ビームの偏光状態を単一の偏光成分を含むものから複数の偏光成分を含むものへと制御可能な素子を意味する。   The parallel light from the collimator lens 15 is reflected by the dichroic mirror 18 and enters the optical scanning unit 19. As shown in FIG. 1, the scanning unit 12 includes a polarization control element 100 provided in the middle of the optical path between the collimator lens 15 and the dichroic mirror 18. As will be described in detail later (see FIG. 4), the polarization control element 100 transmits a beam (illumination light) emitted from the light source unit 1 so that the polarization state of the beam includes a single polarization component. It means an element that can be controlled to include a plurality of polarization components.

ここで、単一偏光成分とは、ビームの進行方向と垂直な断面を規定し、その面内のいずれの座標でも一様な偏光状態(直線偏光、楕円偏光、円偏光など)であり、かつその面内の偏光の位相状態がほぼ一定とみなせるものである。一方、複数の偏光状態とは、上記断面内の座標位置に依存して、偏光状態が一様でない分布を持つ、あるいは面内の偏光の位相状態を座標に応じて分布を持つ、の少なくとも一方を満たすものである。   Here, the single polarization component defines a cross section perpendicular to the traveling direction of the beam, is a uniform polarization state (linearly polarized light, elliptically polarized light, circularly polarized light, etc.) at any coordinate in the plane, and The phase state of the polarized light in the plane can be regarded as almost constant. On the other hand, depending on the coordinate position in the cross section, the plurality of polarization states are at least one of having a non-uniform distribution of the polarization state or having a distribution of the in-plane polarization state according to the coordinates. It satisfies.

図3は偏光制御素子100の構成を模式的に示す図であり、図3(a)は偏光制御素子100の平面図であり、図3(b)は偏光制御素子100の要部断面構成を示す図である。図3(a)に示すように、偏光制御素子100は、放射状に分割された8つの領域を有している(以下、本説明において、この8つの領域を分割領域151〜分割領域158と称す)。すなわち、偏光制御素子100は、8つの分割領域151〜158を備えている。   3 is a diagram schematically illustrating the configuration of the polarization control element 100, FIG. 3A is a plan view of the polarization control element 100, and FIG. 3B is a cross-sectional configuration of the main part of the polarization control element 100. FIG. As shown in FIG. 3A, the polarization control element 100 has eight regions divided radially (hereinafter, these eight regions are referred to as a divided region 151 to a divided region 158 in this description). ). That is, the polarization control element 100 includes eight divided regions 151 to 158.

分割領域151〜158は、中心点に対して対称に分割されている。したがって、分割領域151〜158は、放射状に配置されている。このように、放射状に分割された8つの領域が分割領域151〜158となっている。それぞれの分割領域の大きさは等しくなっており、各分割領域151〜158は周方向の全体にわたって設けられている。したがって、分割領域151〜158のそれぞれは、中心点近傍の点に対応する内角が45°の二等辺三角形となっている。そして、分割領域151〜158を合わせた形状は、円板形状となっている。換言すると、円形を放射状に8等分したものが、分割領域151〜158となる。なお、分割領域の中心点は、偏光制御素子100の中心でなくてもよい。すなわち、偏光制御素子100の中心と、分割領域151〜158の中心とは、一致していなくてもよい。   The divided areas 151 to 158 are divided symmetrically with respect to the center point. Therefore, the divided areas 151 to 158 are arranged radially. As described above, the eight regions divided radially are divided regions 151 to 158. The size of each divided region is equal, and each divided region 151 to 158 is provided over the entire circumferential direction. Therefore, each of the divided regions 151 to 158 is an isosceles triangle having an inner angle of 45 ° corresponding to a point near the center point. And the shape which match | combined the division | segmentation area | regions 151-158 is a disk shape. In other words, the divided regions 151 to 158 are obtained by dividing the circular shape into eight equal parts. Note that the center point of the divided region may not be the center of the polarization control element 100. That is, the center of the polarization control element 100 and the centers of the divided regions 151 to 158 do not have to coincide with each other.

分割領域151〜分割領域158はそれぞれ液晶装置151a〜158aから構成されている。液晶装置151a〜158aの各々は、図3(b)に示すように、一対のガラス基板160,161間に液晶162を挟持することで構成されている。ガラス基板160,161の内面側には、一対の電極(不図示)が設けられており、これら電極間に電圧を印加することで液晶162を駆動し、各々の分割領域を透過する光の偏光状態を変化させるようになっている。液晶装置151a〜158aの各々は液晶162の駆動時に入射光に対して1/2波長の位相差を与えて出射するように構成されている。すなわち、液晶装置151a〜158aは、液晶162の駆動時に1/2波長板として機能する一方、液晶162の非駆動時には入射光の偏光状態を変化させない状態を切り替え可能となっている。   The divided areas 151 to 158 are configured by liquid crystal devices 151a to 158a, respectively. Each of the liquid crystal devices 151a to 158a is configured by holding a liquid crystal 162 between a pair of glass substrates 160 and 161, as shown in FIG. A pair of electrodes (not shown) is provided on the inner surface side of the glass substrates 160 and 161. The liquid crystal 162 is driven by applying a voltage between these electrodes, and the polarization of light transmitted through each divided region. The state is changed. Each of the liquid crystal devices 151a to 158a is configured to emit with a phase difference of ½ wavelength with respect to incident light when the liquid crystal 162 is driven. That is, the liquid crystal devices 151 a to 158 a function as a half-wave plate when the liquid crystal 162 is driven, and can switch a state in which the polarization state of incident light is not changed when the liquid crystal 162 is not driven.

ところで、光源部1から射出されるレーザ光の波長が変化すると、各液晶装置151a〜158aを1/2波長として機能させるための位相量が変化する。そこで、光源部1から射出されるレーザ光の波長を測定し、該測定結果に基づき、各液晶装置151a〜158aにおける電極間に印加する電圧を可変とすることができる。これにより、異なる波長の入射光が各液晶装置151a〜158aを通過した場合においても、常に1/2波長の位相差を与えることができる。   By the way, when the wavelength of the laser light emitted from the light source unit 1 changes, the phase amount for causing each of the liquid crystal devices 151a to 158a to function as a half wavelength changes. Therefore, the wavelength of the laser beam emitted from the light source unit 1 is measured, and the voltage applied between the electrodes in each of the liquid crystal devices 151a to 158a can be made variable based on the measurement result. Thereby, even when incident light having different wavelengths passes through the liquid crystal devices 151a to 158a, a phase difference of ½ wavelength can always be given.

図3(a)においては、説明を分かり易くするため、液晶装置151a〜158aの駆動に基づき、各分割領域151〜158に発現される光学軸を矢印で示している。ここで、それぞれの分割領域151〜158の光学軸は、隣の分割領域の光学軸から22.5°ずれている。すなわち、Y軸の方向を基準とすると、分割領域151における波長板の光学軸の角度は0°となり、分割領域152の光学軸は−22.5°となり、分割領域152の光学軸は−45°となり、分割領域154の光学軸は−67.5°となっている。また、分割領域158の光学軸は22.5°であり、分割領域157の光学軸は45°となり、分割領域156の光学軸は67.5°となり、分割領域155の光学軸は、90°となっている。   In FIG. 3A, for easy understanding, the optical axes expressed in the divided regions 151 to 158 are indicated by arrows based on driving of the liquid crystal devices 151a to 158a. Here, the optical axes of the respective divided regions 151 to 158 are shifted by 22.5 ° from the optical axis of the adjacent divided region. That is, when the direction of the Y axis is used as a reference, the angle of the optical axis of the wave plate in the divided region 151 is 0 °, the optical axis of the divided region 152 is −22.5 °, and the optical axis of the divided region 152 is −45. And the optical axis of the divided region 154 is −67.5 °. The optical axis of the divided area 158 is 22.5 °, the optical axis of the divided area 157 is 45 °, the optical axis of the divided area 156 is 67.5 °, and the optical axis of the divided area 155 is 90 °. It has become.

したがって、中心点に対して互いに対向する分割領域は、各々の光学軸が直交している。例えば、分割領域151の光学軸は0°であり、分割領域151に対向する分割領域155の光学軸は90°となっている。また、分割領域152の光学軸と、分割領域156の光学軸は、互いに直交している。同様に、分割領域153と分割領域157とでは、光学軸が直交しており、分割領域154と分割領域158とでは、光学軸が直交している。換言すると、互いに対向する分割領域の光学軸の角度の差が90°となっている。   Therefore, the optical axes of the divided areas facing each other with respect to the center point are orthogonal to each other. For example, the optical axis of the divided area 151 is 0 °, and the optical axis of the divided area 155 facing the divided area 151 is 90 °. Further, the optical axis of the divided region 152 and the optical axis of the divided region 156 are orthogonal to each other. Similarly, the divided regions 153 and 157 have orthogonal optical axes, and the divided regions 154 and 158 have orthogonal optical axes. In other words, the angle difference between the optical axes of the divided regions facing each other is 90 °.

本実施形態においては、偏光軸がZ方向に沿った方向である直線偏光からなる単一偏光成分からなるビームを偏光制御素子100に入射させるようにしている。ここで、直線偏光の方位が各分割領域151〜158における光学軸に対して成す角度をθとすると、各分割領域151〜158を通過した光は、元の直線偏光から2θだけ回転した直線偏光の光となる。例えば、分割領域151〜158の光学軸と、直線偏光の偏光軸とが45°ずれている場合、分割領域151〜158は、偏光軸が90°ずれた直線偏光を出射する。   In the present embodiment, a beam composed of a single polarization component composed of linearly polarized light whose polarization axis is along the Z direction is made incident on the polarization control element 100. Here, assuming that the angle formed by the direction of linearly polarized light with respect to the optical axis in each divided region 151 to 158 is θ, the light that has passed through each divided region 151 to 158 is linearly polarized light that is rotated by 2θ from the original linearly polarized light. Of light. For example, when the optical axis of the divided regions 151 to 158 and the polarization axis of the linearly polarized light are deviated by 45 °, the divided regions 151 to 158 emit linearly polarized light whose polarizing axis is deviated by 90 °.

続いて、偏光制御素子100から出射される光の偏光状態について図4を用いて説明する。図4(a)は、偏光軸がZ方向に沿った方向である直線偏光が入射した場合を示しており、図4(b)は偏光制御素子100から出射されるビームの偏光状態を示している。したがって、入射偏光方位が0°の直線偏光が入射した時に出射される出射光の偏光方位について説明する。すなわち、分割領域151の光学軸と、入射光の偏光軸が一致している場合について説明する。図4には、各分割領域151〜158から出射される出射光の偏光軸が矢印でそれぞれ示されている。分割領域151〜158から出射される直線偏光の偏光軸は放射状になっている。   Next, the polarization state of the light emitted from the polarization control element 100 will be described with reference to FIG. 4A shows a case where linearly polarized light whose polarization axis is along the Z direction is incident, and FIG. 4B shows the polarization state of the beam emitted from the polarization control element 100. FIG. Yes. Therefore, the polarization azimuth | direction of the emitted light radiate | emitted when the linearly polarized light whose incident polarization azimuth | direction is 0 degrees is demonstrated. That is, a case where the optical axis of the divided region 151 and the polarization axis of the incident light coincide with each other will be described. In FIG. 4, the polarization axes of the emitted light emitted from the divided regions 151 to 158 are indicated by arrows, respectively. The polarization axes of linearly polarized light emitted from the divided regions 151 to 158 are radial.

具体的には、中心点に対して対向する一対の分割領域から出射される直線偏光の偏光軸が平行になっている。そして、対向する一対の分割領域では振動方向が反対になっている。また、隣接する分割領域から出射される光の偏光軸は45°ずれている。例えば、分割領域151及び分割領域155から出射する光の偏光軸は、0°である。また、分割領域152及び分割領域156から出射される光の偏光軸は、−45°であり、分割領域153及び分割領域157から出射される光の偏光軸は90°であり、分割領域154及び分割領域158から出射される光の偏光軸は、+45°である。したがって、入射位置に応じて偏光軸の角度が変化して、出射される偏光変位が放射状となる。このように、本実施の形態にかかる偏光制御素子100は、入射位置に応じて入射光の偏光状態を制御し、所望の偏光状態になるように制御することができる。   Specifically, the polarization axes of linearly polarized light emitted from a pair of divided regions facing the center point are parallel. And a vibration direction is opposite in a pair of division area which opposes. Further, the polarization axis of the light emitted from the adjacent divided regions is shifted by 45 °. For example, the polarization axis of the light emitted from the divided area 151 and the divided area 155 is 0 °. Further, the polarization axis of the light emitted from the divided regions 152 and 156 is −45 °, the polarization axis of the light emitted from the divided regions 153 and 157 is 90 °, and the divided regions 154 and 156 The polarization axis of the light emitted from the divided region 158 is + 45 °. Therefore, the angle of the polarization axis changes according to the incident position, and the emitted polarization displacement becomes radial. As described above, the polarization control element 100 according to the present embodiment can control the polarization state of incident light in accordance with the incident position so as to obtain a desired polarization state.

このように、本実施形態においては、上記の偏光制御素子100に所定方向に沿った直線偏光を入射すると、ラジアル偏光に近い偏光状態となるよう制御することができる。すなわち、直線偏光をラジアル偏光に近似する擬似ラジアル偏光にすることができる。   As described above, in the present embodiment, when linearly polarized light along a predetermined direction is incident on the polarization control element 100, it is possible to control the polarization state to be close to radial polarization. That is, the linearly polarized light can be changed to pseudo radial polarized light that approximates the radial polarized light.

なお、偏光制御素子100の分割領域の数を増加させることによって、偏光制御素子100を透過後のビームをよりラジアル偏光に近い偏光状態とすることができる。すなわち、分割領域の数を増やすこと偏光軸がよりなめらかに変化する。換言すると、分割数を無限大にすれば、理想的なラジアル偏光状態を生成することができる。分割数は、偶数であることが好ましく、例えば、2あるいは4以上とすることができる。さらに、電場ベクトルのy成分を高くするためには、分割数を8以上とすることが好ましく、16以上とすることがより好ましい。すなわち、分割数を2n(nは1以上の整数)とすることが好ましい。また、分割領域の中心点に対して対称に分割し、対向する分割領域の大きさを同じとすることが好ましい。すなわち、分割領域の中心角を等しくして、同じ大きさの分割領域とすることが好ましい。例えば、分割数を2nとすると、1つの分割領域に対応する角度は、360度/2nとなる。   In addition, by increasing the number of divided regions of the polarization control element 100, the beam after passing through the polarization control element 100 can be brought into a polarization state closer to radial polarization. In other words, increasing the number of divided regions changes the polarization axis more smoothly. In other words, if the number of divisions is infinite, an ideal radial polarization state can be generated. The number of divisions is preferably an even number, and can be, for example, 2 or 4 or more. Furthermore, in order to increase the y component of the electric field vector, the number of divisions is preferably 8 or more, and more preferably 16 or more. That is, the number of divisions is preferably 2n (n is an integer of 1 or more). Moreover, it is preferable to divide symmetrically with respect to the center point of a divided area, and to make the size of the opposed divided areas the same. In other words, it is preferable that the central angles of the divided areas are equal to each other so that the divided areas have the same size. For example, if the number of divisions is 2n, the angle corresponding to one divided region is 360 degrees / 2n.

具体的には、例えば、分割数が16の場合、波長板の光学軸を隣の分割領域から11.25°ずらす。これにより、対向する分割領域で、光学軸が直交する。そして、この偏光制御素子に一定角度の偏光軸を入射させると、直線偏光が擬似ラジアル偏光となって出射されることとなる。   Specifically, for example, when the number of divisions is 16, the optical axis of the wave plate is shifted by 11.25 ° from the adjacent division region. As a result, the optical axes are orthogonal to each other in the divided areas facing each other. When a polarization axis having a certain angle is incident on the polarization control element, linearly polarized light is emitted as pseudo radial polarized light.

本実施形態では、偏光制御素子100から出射された擬似ラジアル偏光に対し、液晶制御による透過率制御アポダイゼーションで光軸近傍を遮光する、あるいは、レーザ光量のロスを防止すべく、アキシコンレンズを介して光軸近傍を遮光することにより、図4(b)に示すように略ドーナツ形状からなるラジアル偏光の軸対称偏光ドーナツビーム(以下、軸対称偏光ドーナツビームと称す。)を生成することができる。   In the present embodiment, the pseudo-radially polarized light emitted from the polarization control element 100 is shielded near the optical axis by transmittance control apodization by liquid crystal control, or through an axicon lens in order to prevent loss of laser light quantity. By shielding light in the vicinity of the optical axis, as shown in FIG. 4B, a radially polarized axially symmetric polarized donut beam (hereinafter referred to as an axially symmetric polarized donut beam) having a substantially donut shape can be generated. .

ここで、本実施形態における軸対称偏光ドーナツビームとは、Maxwell方程式を円筒座標上で解いて得られる通常のラジアル偏光の軸対称偏光ビームよりもビーム断面強度分布における中心付近の強度が減衰した、もしくは強度の弱い面積が広いビームを意味している。
したがって、偏光制御素子100を通過した光は、軸対称偏光ドーナツビームとして走査部19へと入射する。このようなラジアル偏光ドーナツビームをレンズで集光させると、偏光制御素子100を通過させないビーム(ガウスビーム)を集光させた場合に比べて、格段に小さな集光スポット径が得られることが報告されている(S.Quabis,R.Dron,M.Eberier,O.Glocki,G.Leuchs:Optics Communications 179 (2000))。この報告によると、ラジアル偏光ドーナツビームをNAの大きな集光レンズで集光させた場合、ガウスビームを同じ対物レンズで集光させた場合と比較して、強度分布の半値全幅で半分以下にすることが可能であることが分かっている。
Here, the axially symmetric polarized donut beam in the present embodiment is attenuated in the intensity near the center in the beam cross-sectional intensity distribution than the axially symmetric polarized beam of normal radial polarization obtained by solving the Maxwell equation on cylindrical coordinates. Or it means a beam with a small area of weak intensity.
Therefore, the light that has passed through the polarization control element 100 enters the scanning unit 19 as an axially symmetric polarized donut beam. It is reported that when such a radially polarized donut beam is collected by a lens, a much smaller condensing spot diameter can be obtained than when a beam (Gaussian beam) that does not pass through the polarization control element 100 is collected. (S. Quabis, R. Dron, M. Eberier, O. Glocki, G. Leuchs: Optics Communications 179 (2000)). According to this report, when a radially polarized donut beam is collected by a condensing lens having a large NA, the full width at half maximum of the intensity distribution is less than half that when a Gaussian beam is collected by the same objective lens. I know that is possible.

図5は走査ユニット12の拡大図であり、光走査部19の詳細を示したものである。光走査部19には一対の可動式全反射ミラー191,192が設けられており、全反射ミラー191,192を連動して傾けることにより、ダイクロイックミラー18から光走査部19に入射したレーザ光を、レーザ光と直交する2方向に2次元的に走査することができる。本実施形態では、上述のようにダイクロイックミラー18により偏向されたレーザ光が光走査部19に入射する前の光路上に偏光制御素子100を配置しているので、該偏光制御素子100を瞳面上に配置する必要が無い。よって、偏光制御素子100を配置する際の設計自由度が高いものとなる。また、光走査部19による走査によりレーザ光の照射範囲が拡大する前の光路上に偏光制御素子100を配置するため、偏光制御素子100として小型なものを用いることができる。   FIG. 5 is an enlarged view of the scanning unit 12 and shows details of the optical scanning unit 19. The optical scanning unit 19 is provided with a pair of movable total reflection mirrors 191 and 192. By tilting the total reflection mirrors 191 and 192 in conjunction with each other, laser light incident on the optical scanning unit 19 from the dichroic mirror 18 can be obtained. It is possible to scan two-dimensionally in two directions orthogonal to the laser beam. In the present embodiment, since the polarization control element 100 is disposed on the optical path before the laser light deflected by the dichroic mirror 18 enters the optical scanning unit 19 as described above, the polarization control element 100 is placed on the pupil plane. There is no need to place it on top. Therefore, the degree of freedom in design when arranging the polarization control element 100 is high. Further, since the polarization control element 100 is arranged on the optical path before the irradiation range of the laser light is expanded by the scanning by the optical scanning unit 19, a small one can be used as the polarization control element 100.

光走査部19から出射されたレーザ光は、走査レンズ20を介して一次像面21に結像された後に、第2対物レンズ22および対物レンズ23によって標本24上に結像される。図6(a)は標本24を対物レンズ23側から見た平面図であり、241は標本24の観察領域を示している。レーザ光を図5の光走査部19により走査すると、標本24上に結像されたスポット状のレーザ光L(点像)は、観察領域241を経路R1のようにラスタ走査される。   The laser light emitted from the optical scanning unit 19 is imaged on the primary image surface 21 via the scanning lens 20 and then imaged on the sample 24 by the second objective lens 22 and the objective lens 23. FIG. 6A is a plan view of the specimen 24 viewed from the objective lens 23 side, and reference numeral 241 denotes an observation area of the specimen 24. When the laser beam is scanned by the optical scanning unit 19 in FIG. 5, the spot-like laser beam L (point image) imaged on the specimen 24 is raster-scanned along the observation region 241 along the path R1.

図6(b)は任意の時刻におけるレーザ光Lの照射状態を示したものであり、標本24の光学的な特性によって反射、吸収、蛍光、散乱などがレーザ光Lの照射領域において生じる。生物組織を蛍光観察する場合には、標本24の組織を複数の蛍光試薬で染色して観察する。標本24にレーザ光Lが照射されると、蛍光試薬で染色された各組織から試薬に応じた蛍光が発せられる。   FIG. 6B shows the irradiation state of the laser light L at an arbitrary time, and reflection, absorption, fluorescence, scattering, and the like occur in the irradiation region of the laser light L due to the optical characteristics of the specimen 24. When the biological tissue is observed with fluorescence, the tissue of the specimen 24 is observed by staining with a plurality of fluorescent reagents. When the sample 24 is irradiated with the laser light L, fluorescence corresponding to the reagent is emitted from each tissue stained with the fluorescent reagent.

本実施形態では、レーザ光Lが上述のように偏光制御素子100を通過することで軸対称偏光ドーナツビームとなっているので、レーザ光Lの集光スポット径が偏光制御素子100を通過させない従来の構成に比べ、格段に小さくすることが可能となる。なお、これらの蛍光はほとんどレーザ光Lが照射された領域から発せられるが、その領域の周辺領域Aからも蛍光が若干発生する。   In the present embodiment, since the laser light L passes through the polarization control element 100 as described above to become an axially symmetric polarized donut beam, the focused spot diameter of the laser light L does not pass through the polarization control element 100. Compared to the configuration of, it can be significantly reduced. In addition, although most of these fluorescence is emitted from the region irradiated with the laser beam L, some fluorescence is also generated from the peripheral region A of the region.

図1に示した標本24から発せられた蛍光は、対物レンズ23および第2対物レンズ22により一次像面21の位置に結像された後に、走査レンズ20で平行光とされて光走査部19に入射する。標本24からの蛍光はレーザ光Lが照射された領域から出射されるので、光走査部19によって再び走査されることにより、すなわちデスキャンされることにより、ダイクロイックミラー18から光走査部19の反射ミラー191(図5参照)に入射したレーザ光と同一の光路に常に戻されることになる。光走査部19からダイクロイックミラー18に出射された蛍光はダイクロイックミラー18を透過し、全反射ミラー17により反射された後に集光レンズ16に入射する。   Fluorescence emitted from the specimen 24 shown in FIG. 1 is imaged at the position of the primary image plane 21 by the objective lens 23 and the second objective lens 22, and then converted into parallel light by the scanning lens 20 to be the optical scanning unit 19. Is incident on. Since the fluorescence from the specimen 24 is emitted from the region irradiated with the laser light L, it is scanned again by the optical scanning unit 19, that is, descanned, so that the dichroic mirror 18 reflects the reflection mirror of the optical scanning unit 19. It is always returned to the same optical path as the laser beam incident on 191 (see FIG. 5). The fluorescence emitted from the optical scanning unit 19 to the dichroic mirror 18 passes through the dichroic mirror 18, is reflected by the total reflection mirror 17, and then enters the condenser lens 16.

蛍光は集光レンズ16により遮光板14上に結像される。すなわち、遮光板14と標本24とは共役な位置関係にあり、遮光板14に形成された開口(ピンホール)13の位置にスポット状レーザ光L(図6参照)の像が形成される。そして、開口13を通過した蛍光のみが光ファイバ25を介して検出ユニット26に伝達される。前述したように、図6(b)に示した周辺領域Aからも蛍光が出射されるが、これらの蛍光は遮光板14上の開口13より外側に結像される。そのため、蛍光観察に悪影響を与える周辺領域Aからの蛍光は、遮光板14に遮られて検出ユニット26に伝達されない。   The fluorescence is imaged on the light shielding plate 14 by the condenser lens 16. That is, the light shielding plate 14 and the specimen 24 are in a conjugate positional relationship, and an image of the spot-like laser light L (see FIG. 6) is formed at the position of the opening (pinhole) 13 formed in the light shielding plate 14. Then, only the fluorescence that has passed through the opening 13 is transmitted to the detection unit 26 via the optical fiber 25. As described above, fluorescence is emitted also from the peripheral area A shown in FIG. 6B, but the fluorescence is imaged outside the opening 13 on the light shielding plate 14. Therefore, the fluorescence from the peripheral area A that adversely affects the fluorescence observation is blocked by the light shielding plate 14 and is not transmitted to the detection unit 26.

図2に示したように、光ファイバ25により検出ユニット26に伝達された蛍光は、コリメータレンズ27を介してダイクロイックミラー28に入射する。ダイクロイックミラー28およびバリアフィルタ29、30は蛍光分離用の光学素子であり、これらの光学素子により走査ユニット12から伝達された蛍光から所望の波長を有する2種類の蛍光が分離され、それぞれ異なる検出器31、32により検出される。検出器31、32から出力されたアナログ信号は処理ユニット37に設けられたA/D変換器33でデジタル信号に変換され、CPU34に送られて画像処理される。画像処理により得られた観察像はモニタ36に表示される。   As shown in FIG. 2, the fluorescence transmitted to the detection unit 26 by the optical fiber 25 enters the dichroic mirror 28 through the collimator lens 27. The dichroic mirror 28 and the barrier filters 29 and 30 are optical elements for fluorescence separation, and these optical elements separate two types of fluorescence having a desired wavelength from the fluorescence transmitted from the scanning unit 12, and each has a different detector. 31 and 32. The analog signals output from the detectors 31 and 32 are converted into digital signals by an A / D converter 33 provided in the processing unit 37 and sent to the CPU 34 for image processing. An observation image obtained by the image processing is displayed on the monitor 36.

本実施形態によれば、偏光制御素子100の作用により、標本24の表面に集光スポット径の小さいレーザ光Lが入射させることができ、且つ、標本24から出射される蛍光が偏光制御素子100を通過することで減衰することが防止されるので、モニタ36にXY平面内における解像度が高く、明瞭な標本24の観察像を表示させることができる。   According to the present embodiment, the polarization control element 100 allows the laser light L having a small condensing spot diameter to be incident on the surface of the specimen 24, and the fluorescence emitted from the specimen 24 is reflected by the polarization control element 100. Therefore, the monitor 36 can display a clear observation image of the sample 24 with high resolution in the XY plane.

検出ユニット26はコネクタC2、C5を介して光ファイバ25および処理ユニット37に接続されており、走査ユニット12に対して着脱可能となっている。図2に示した検出ユニット26は、2つの検出器31、32を備えていて2種類の蛍光波長を観察できる。なお、バリアフィルタおよび検出器を1つずつ備えるような構成としても良い。また、観察対象によってはより多数の蛍光波長に関する観察が必要なものもあり、そのような場合には、3つ以上の検出器を備えた検出ユニットと検出ユニット26とを交換すれば容易に対応できる。そのため、従来の顕微鏡のように検出器増設のために走査ユニットを改造する必要がなく、低コストで容易に対応することができる。   The detection unit 26 is connected to the optical fiber 25 and the processing unit 37 via connectors C2 and C5, and is attachable to and detachable from the scanning unit 12. The detection unit 26 shown in FIG. 2 includes two detectors 31 and 32 and can observe two types of fluorescence wavelengths. In addition, it is good also as a structure provided with one barrier filter and a detector. In addition, depending on the observation target, there may be a need to observe a larger number of fluorescence wavelengths. In such a case, it can be easily handled by replacing the detection unit provided with three or more detectors with the detection unit 26. it can. Therefore, it is not necessary to remodel the scanning unit for adding detectors unlike a conventional microscope, and it can be easily handled at low cost.

図7は3種類の蛍光波長を検出することができる検出ユニット50を示す図であり、検出ユニット26に設けられていた検出器31、32に加えて3つ目の検出器51を備えている。52および53は検出器51用のバリアフィルタおよびダイクロイックミラーであり、その他の構成は検出ユニット26と同様であり同様の符号を付した。ダイクロイックミラー28を透過した蛍光は2番目のダイクロイックミラー53に入射し、検出器51で検出すべき波長を含む蛍光が反射分離されてバリアフィルタ52へと導かれる。バリアフィルタ52では不要な蛍光波長が除去され、所望の波長の蛍光のみが検出器51に入射する。また、ダイクロイックミラー53を透過した蛍光はバリアフィルタ30を介して検出器32に入射する。このようにして、波長の異なる3種類の蛍光が3つの検出器31、32、51によってそれぞれ検出される。   FIG. 7 is a diagram showing a detection unit 50 capable of detecting three types of fluorescence wavelengths, and includes a third detector 51 in addition to the detectors 31 and 32 provided in the detection unit 26. . Reference numerals 52 and 53 denote a barrier filter and a dichroic mirror for the detector 51, and other configurations are the same as those of the detection unit 26, and are denoted by the same reference numerals. The fluorescence transmitted through the dichroic mirror 28 is incident on the second dichroic mirror 53, and the fluorescence including the wavelength to be detected by the detector 51 is reflected and separated and guided to the barrier filter 52. The barrier filter 52 removes unnecessary fluorescence wavelengths, and only fluorescence having a desired wavelength enters the detector 51. Further, the fluorescence transmitted through the dichroic mirror 53 enters the detector 32 through the barrier filter 30. In this way, three types of fluorescence having different wavelengths are detected by the three detectors 31, 32, 51, respectively.

なお、上記実施形態では、光走査部19が一対の可動式全反射ミラー191,192を備えた場合について説明したが、レーザ光と直交する1方向に長辺を有する矩形状のミラーを1方向に可動することでレーザ光を走査することができる。   In the above-described embodiment, the case where the optical scanning unit 19 includes the pair of movable total reflection mirrors 191 and 192 has been described. However, a rectangular mirror having a long side in one direction orthogonal to the laser beam is used in one direction. The laser beam can be scanned by moving the lens to the right.

また、上記実施形態においては、偏光制御素子100が光走査部19の外部に配置する場合について説明したが、図8に示すように可動式全反射ミラー191,192間に配置するようにしても構わない。この構成によれば、上記実施形態同様、偏光制御素子100を瞳面上に配置する必要が無いので、該偏光制御素子100を含んだ光走査部19が大型化するのを防止できる。   In the above-described embodiment, the case where the polarization control element 100 is disposed outside the optical scanning unit 19 has been described. However, as illustrated in FIG. 8, the polarization control element 100 may be disposed between the movable total reflection mirrors 191 and 192. I do not care. According to this configuration, since it is not necessary to arrange the polarization control element 100 on the pupil plane as in the above embodiment, it is possible to prevent the optical scanning unit 19 including the polarization control element 100 from increasing in size.

また、上記実施形態では、偏光制御素子100として液晶装置から構成された場合について説明したが、偏光制御素子として各分割領域151〜158に所定の光学軸(偏光制御素子100の駆動時に各分割領域151〜158に発現される光学軸を矢印に一致)を有する1/2波長板を設けたものを採用することができる。この構成においても、所定方向に沿った直線偏光を入射させることでレーザ光Lの集光スポット径を小さくすることができる。   In the above-described embodiment, the case where the polarization control element 100 is configured by a liquid crystal device has been described. It is possible to employ one provided with a half-wave plate having the optical axis expressed in 151 to 158 coincident with the arrow). Also in this configuration, the diameter of the focused spot of the laser beam L can be reduced by making linearly polarized light incident along a predetermined direction.

また、上記実施形態では、偏光制御素子100の各分割領域151〜158が1/2波長板として機能させる場合について説明したが、また、各分割領域151〜158ごとに偏光の旋光性を独立して制御することで上記ラジアル偏光のように複数の偏光状態を含むビームを形成することができる。このような旋光性を有する光学材料としては、液晶の他、水晶(非線形光学結晶)を例示することができる。水晶は光学軸の方向に光が入射すると偏光が回る特性を有している。すなわち、各々の光学軸の方向が異なる複数の水晶を組み合わせることで偏光制御素子を構成しても構わない。   Moreover, although the said embodiment demonstrated the case where each division | segmentation area | region 151-158 of the polarization control element 100 was functioned as a half-wave plate, the polarization optical rotation was made independent for every division | segmentation area | region 151-158. By controlling in this manner, a beam including a plurality of polarization states can be formed like the radial polarization. As an optical material having such an optical rotation, crystal (nonlinear optical crystal) can be exemplified in addition to liquid crystal. Quartz has the property that the polarization rotates when light enters in the direction of the optical axis. That is, the polarization control element may be configured by combining a plurality of crystals having different optical axis directions.

また、各分割領域151〜158を独立して制御することでそれぞれの位相差(旋光性)を異ならせ、偏光制御素子100を通過したレーザ光を所定のラジアル偏光に変換する構成であっても構わない。   Moreover, even if it is the structure which changes each phase difference (optical rotation) by controlling each division area 151-158 independently, and converts the laser beam which passed the polarization control element 100 into predetermined radial polarization | polarized-light. I do not care.

以上、偏光制御素子100を共焦点顕微鏡に適用した場合について説明したが、偏光制御素子100は下記の光学装置について応用可能である。光学装置は、標本24に対してレーザ光(照明光)を射出する光源部1と、照明光を標本に対して結像させる光学系と、標本24と非共役の位置に設けられた偏光制御素子100と、を備えている。偏光制御素子100は対物レンズの瞳面もしくは該瞳面と共役な面のいずれか一方及びその近傍に配置するのが好ましい。より好ましい形態としては、例えば対物レンズ内に瞳面が設定された構成において、光学部材を介してリレーした瞳面の近傍に偏光制御素子100を配置することにより、リレー光学系による偏光状態の変化の影響を最小とすることができる。   The case where the polarization control element 100 is applied to a confocal microscope has been described above. However, the polarization control element 100 can be applied to the following optical device. The optical device includes a light source unit 1 that emits laser light (illumination light) to the specimen 24, an optical system that forms an image of the illumination light on the specimen, and polarization control that is provided at a position unconjugated with the specimen 24. Device 100. The polarization control element 100 is preferably disposed on either the pupil plane of the objective lens or a plane conjugate with the pupil plane and in the vicinity thereof. As a more preferable form, for example, in a configuration in which the pupil plane is set in the objective lens, the polarization control element 100 is arranged in the vicinity of the pupil plane relayed through the optical member, thereby changing the polarization state by the relay optical system. Can be minimized.

光学装置としては、照射光の持つエネルギを用いて例えば細胞内外に存在する細かな粒子を意図的に掴み移動させる光ピンセット(Laser Optical Tweezers:LOT)技術を用いた捕捉装置を例示できる。このような光ピンセット技術では、掴む力を大きくすることが好ましく、この為には対物レンズの開口数を大きくする必要がある。しかしながら、一般的には開口数の大きな対物レンズは倍率も大きく、広視野観察の状態で用いる事ができない。これに対し、本発明を採用すれば、上記偏光制御素子100を用いることで、対物レンズの倍率に関わらず開口数を上げる効果があるので光ピンセット技術において高い開口数の対物レンズを用いた場合と同等の効果を得ることができる。なお、光ピンセット技術においては、ピンセット動作に用いた光を再び対物レンズを通して戻す必要性はない。したがって、偏光制御素子100は光ピンセットの波長のみを考慮して位相制御等を行えば良い。   Examples of the optical device include a capturing device using an optical tweezers (LOT) technique that intentionally grabs and moves fine particles existing inside and outside the cell using the energy of irradiation light. In such an optical tweezer technology, it is preferable to increase the gripping force. For this purpose, it is necessary to increase the numerical aperture of the objective lens. However, in general, an objective lens having a large numerical aperture has a large magnification and cannot be used in a wide-field observation state. On the other hand, if the present invention is employed, the use of the polarization control element 100 has the effect of increasing the numerical aperture regardless of the magnification of the objective lens. Therefore, when an objective lens having a high numerical aperture is used in the optical tweezer technology. The same effect can be obtained. In the optical tweezer technology, it is not necessary to return the light used for the tweezers operation again through the objective lens. Therefore, the polarization control element 100 may perform phase control or the like considering only the wavelength of the optical tweezers.

また、上述の光学装置を照明光として用いることで、走査型多光子励起レーザ顕微鏡(例えば、走査型2光子励起レーザ顕微鏡)に応用可能である。具体的には、例えば、偏向制御素子が光源部と対物レンズとの間に設置された走査型2光子励起レーザ顕微鏡においても、光を走査する平面の分解能(XY分解能)を向上させることができる。   Further, by using the above-described optical device as illumination light, the present invention can be applied to a scanning multiphoton excitation laser microscope (for example, a scanning two-photon excitation laser microscope). Specifically, for example, even in a scanning two-photon excitation laser microscope in which a deflection control element is installed between a light source unit and an objective lens, the resolution (XY resolution) of a plane for scanning light can be improved. .

1光子観察時の蛍光強度分布は励起光のPSF(Point Spread Function:点像強度分布)の1乗に比例するのに対し、2光子観察時の蛍光強度分布は励起光のPSFの2乗に比例する。従って、1光子観察時と比べて、2光子観察時では、蛍光強度のピーク強度に対するサイドローブ強度が低下する。そのため、2光子観察時には、サイドローブの強いPSFであっても、サイドローブによる信号雑音比(SN比)の低下およびXY分解能の低下を防止できるというメリットがある。従って、2光子観察というのは本発明の好ましい適用例であると言える。   The fluorescence intensity distribution during one-photon observation is proportional to the first power of the excitation light PSF (Point Spread Function), whereas the fluorescence intensity distribution during two-photon observation is the square of the excitation light PSF. Proportional. Therefore, the side lobe intensity with respect to the peak intensity of the fluorescence intensity is lower in the two-photon observation than in the one-photon observation. Therefore, at the time of two-photon observation, even if the PSF has a strong side lobe, there is a merit that it is possible to prevent a decrease in signal noise ratio (SN ratio) and a decrease in XY resolution due to the side lobe. Therefore, it can be said that the two-photon observation is a preferable application example of the present invention.

なお、上述の光学装置を照明光として用いる際、ビームが干渉フィルタやレンズ等の光学素子を通過するほど、ビームの偏光状態は崩れて変わってしまう。そこで、上記光学素子の影響を受け難い、結像系との合流の直前に偏光制御素子を配置するのが好ましい。この構成によれば、理想的な状態に近いビームを得ることができる。   When the above-described optical device is used as illumination light, the polarization state of the beam collapses and changes as the beam passes through an optical element such as an interference filter or a lens. Therefore, it is preferable to dispose the polarization control element immediately before joining with the imaging system, which is hardly affected by the optical element. According to this configuration, a beam close to an ideal state can be obtained.

また、上述の光学装置を照明光とし、光刺激に応用することができる。光刺激とは例えばレーザスキャン顕微鏡やCCDカメラを用いた顕微鏡画像解析システムにおいて、画像化と同じもしくは異なる光路から画像化と同じもしくは異なる波長の光(レーザ光である場合が多い)を用いて、ターゲットとする細胞(標本)の一部に意図的に光照射して、その細胞内で起こっている様々な生物化学的現象を、例えば、光照射による意図的な退色によって退色させた部位を追従調査したり、或いは光照射による蛍光タンパクの光変換を利用して変色した部位を追従調査したりする等の所謂光操作一般を指す。この光操作は、画像化とは異なり操作に用いた光を再び対物レンズを通して戻す必要性はない。すなわち、偏光制御素子100は光刺激の波長のみを考慮して位相制御等を行えば良い。本発明を適用すれば、照射ビームのXY面内における照射ビーム径を細くする事ができ、より詳細で細かなターゲットの光操作が可能となる。   In addition, the above-described optical device can be used as illumination light and applied to light stimulation. In the microscope image analysis system using, for example, a laser scanning microscope or a CCD camera, light stimulation uses light of the same or different wavelength as that of imaging (often laser light) from the same or different optical path as that of imaging. A part of the target cell (specimen) is intentionally irradiated with light, and various biochemical phenomena occurring in the cell are followed, for example, following a site that has been discolored by intentionally fading due to light irradiation. It refers to general so-called light manipulation such as investigation or follow-up investigation of a discolored site using photoconversion of fluorescent protein by light irradiation. Unlike the imaging, this light operation does not require the light used for the operation to be returned through the objective lens. That is, the polarization control element 100 may perform phase control or the like in consideration of only the wavelength of light stimulation. If the present invention is applied, the irradiation beam diameter in the XY plane of the irradiation beam can be reduced, and more detailed and finer optical manipulation of the target becomes possible.

また、上記実施形態に係る顕微鏡は、蛍光相関分光法に用いることが好適である。蛍光相関分光法(Fluorescence Correlation Spectroscopy:FCS)は、蛍光物質の分子運動を調べるために用いられるものであり、共焦点顕微鏡の照射によって生じた中央がくびれた光の空間的照射領域内を通過する、蛍光色素がラベリングされていたり蛍光タンパクが発現している分子の発する蛍光をフォトンカウンティングする技術がベースとなっている。蛍光相関分光法における精度を向上させる為には、照射領域をより小さくする必要がある。これに対し、本発明を採用すれば、上記偏光制御素子100を用いることで、光の空間的照射領域の中央のくびれは更に狭くなり、逆に光軸方向はやや延びる傾向にあるが、光軸方向は検出器前に設置したピンホールによってその長さを制御できるので、結果的には光の空間的照射領域(体積)を小さくして、傾向相関分光法の感度を向上することができる。なお、蛍光相関分光法では発生した蛍光は再び対物レンズを通るが必要な信号は、1点からの信号のみであり画像化する必要は無い。
また、本実施形態は、レーザ走査型共顕微鏡として、レーザ光の反射タイプのものを示したが、レーザ透過型共焦点顕微鏡のものでもよく、例えば、ニッポウディスクタイプのものや、液晶マトリクスタイプのものがある。
In addition, the microscope according to the above-described embodiment is preferably used for fluorescence correlation spectroscopy. Fluorescence Correlation Spectroscopy (FCS) is used to examine the molecular motion of a fluorescent substance and passes through the spatial illumination area of the constricted light produced by confocal microscope irradiation. The technology is based on photon counting of fluorescence emitted by molecules labeled with fluorescent dyes or expressed with fluorescent proteins. In order to improve the accuracy in fluorescence correlation spectroscopy, it is necessary to make the irradiation region smaller. On the other hand, when the present invention is employed, the use of the polarization control element 100 further narrows the constriction at the center of the spatial irradiation region of light, and conversely, the optical axis direction tends to slightly extend. Since the length of the axial direction can be controlled by a pinhole installed in front of the detector, the spatial irradiation area (volume) of light can be reduced as a result, and the sensitivity of trend correlation spectroscopy can be improved. . In the fluorescence correlation spectroscopy, the generated fluorescence passes through the objective lens again, but the necessary signal is only a signal from one point and does not need to be imaged.
Further, in the present embodiment, a laser beam reflection type is shown as the laser scanning confocal microscope, but it may be a laser transmission confocal microscope, such as a Nippon disk type or a liquid crystal matrix type. There is something.

1…光源部、10…顕微鏡本体、12…走査ユニット、13…開口(ピンホール)、19…光走査部、24…標本、100…偏光制御素子、151〜158…分割領域、151a〜158a…液晶装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Light source part, 10 ... Microscope main body, 12 ... Scanning unit, 13 ... Aperture (pinhole), 19 ... Optical scanning part, 24 ... Sample, 100 ... Polarization control element, 151-158 ... Divided area, 151a-158a ... Liquid crystal device

Claims (14)

顕微鏡本体と、
前記顕微鏡本体に設けられる標本に対してレーザ照明光を射出する光源部と、
前記照明光を前記標本上に照射する照明部と、
前記標本と共役な位置であり、且つ前記照明部にて照射された前記標本から射出された光の復路上に配置される検出光学系と、
前記光源部から射出された前記照明光における前記標本に向かう往路のうち、前記復路と重ならない位置に配置され、前記光源部から出射された前記照明光を光軸に垂直な面内で偏光分布を所定分布に制御する偏光制御素子と、
前記偏光制御素子は、前記照明光の光路上における前記照明部よりも前記光源部側に配置される
ことを特徴とするレーザ顕微鏡。
A microscope body,
A light source unit for emitting laser illumination light to a specimen provided in the microscope body;
An illumination unit that irradiates the specimen with the illumination light;
A detection optical system disposed on the return path of the light emitted from the sample irradiated by the illumination unit at a position conjugate with the sample;
The illumination light emitted from the light source unit is arranged at a position that does not overlap the return path in the forward path toward the sample, and the illumination light emitted from the light source unit is polarized in a plane perpendicular to the optical axis. A polarization control element that controls the distribution to a predetermined distribution;
The laser microscope, wherein the polarization control element is disposed closer to the light source unit than the illumination unit on the optical path of the illumination light.
前記検出光学系は、ピンホールを有し、
前記照明部は、前記照明光を前記標本上で2次元的にスキャンされるように偏向する光走査部を有する走査ユニットからなり、
前記光走査部は、少なくとも1つのミラーを有しており、
前記偏光制御素子は、前記照明光の光路上における前記少なくとも1つのミラーよりも前記光源部側に配置されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ顕微鏡。
The detection optical system has a pinhole,
The illumination unit includes a scanning unit having an optical scanning unit that deflects the illumination light so as to be scanned two-dimensionally on the specimen.
The optical scanning unit has at least one mirror,
The laser microscope according to claim 1, wherein the polarization control element is disposed closer to the light source than the at least one mirror on the optical path of the illumination light.
前記走査ユニットは、反射型あるいは透過型であることを特徴とする請求項2のレーザ顕微鏡。   3. The laser microscope according to claim 2, wherein the scanning unit is a reflection type or a transmission type. 前記偏光制御素子は、前記光源部から出射された前記照明光を透過させることで前記照明光を複数の偏光成分からなるものに制御する請求項1乃至3のいずれか1つのレーザ顕微鏡。   4. The laser microscope according to claim 1, wherein the polarization control element controls the illumination light to have a plurality of polarization components by transmitting the illumination light emitted from the light source unit. 5. 前記偏光制御素子は、前記光源部から出射された前記照明光を透過させることで前記照明光の光軸の垂直な面内の偏光の位相状態を座標に応じて分布を持つように制御する請求項1乃至4のいずれか1つのレーザ顕微鏡。   The polarization control element controls the phase state of polarized light in a plane perpendicular to the optical axis of the illumination light so as to have a distribution according to coordinates by transmitting the illumination light emitted from the light source unit. Item 5. The laser microscope according to any one of Items 1 to 4. 前記光走査部は、前記標本から射出された光を偏向してデスキャンすることで前記ピンホールへと出射する請求項2に記載のレーザ顕微鏡。   The laser microscope according to claim 2, wherein the light scanning unit emits the light emitted from the specimen to the pinhole by deflecting and descanning the light. 前記偏光制御素子は液晶装置から構成される請求項1に記載のレーザ顕微鏡。   The laser microscope according to claim 1, wherein the polarization control element includes a liquid crystal device. 前記液晶装置は、放射状に分割された複数の分割領域を有し、各々の分割領域における光学軸が異なっている請求項7に記載のレーザ顕微鏡。   The laser microscope according to claim 7, wherein the liquid crystal device has a plurality of radially divided areas, and optical axes in the divided areas are different. 前記液晶装置は放射状に分割された複数の分割領域を有しており、各々の分割領域ごとに、偏光の旋光性を独立制御可能である請求項7に記載のレーザ微鏡。   8. The laser microscope according to claim 7, wherein the liquid crystal device has a plurality of radially divided areas, and the polarization optical rotation can be independently controlled for each of the divided areas. 前記液晶装置は一対の基板間に挟持された液晶を有し、前記液晶に電圧を印加することで偏光制御を行う状態と、前記液晶に電圧を印加しないことで偏光制御を行わない状態とを切り替え可能とされている請求項7〜9のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡。   The liquid crystal device includes a liquid crystal sandwiched between a pair of substrates, a state in which polarization control is performed by applying a voltage to the liquid crystal, and a state in which polarization control is not performed by applying no voltage to the liquid crystal. The laser microscope according to any one of claims 7 to 9, wherein switching is possible. 前記液晶装置は、前記光源部から射出される前記照明光の波長に応じて前記液晶への印加電圧を可変とされている請求項10に記載のレーザ顕微鏡。   The laser microscope according to claim 10, wherein the liquid crystal device has a variable voltage applied to the liquid crystal according to a wavelength of the illumination light emitted from the light source unit. 前記偏光制御素子は入射した前記照明光の位相をずらして射出する波長板としての機能を含む請求項1に記載のレーザ顕微鏡。   The laser microscope according to claim 1, wherein the polarization control element includes a function as a wave plate that emits the incident illumination light with a phase shifted. 前記偏光制御素子は、放射状に分割され、且つ前記波長板が配置された複数の分割領域を有し、前記分割領域に配置された前記波長板の光学軸がそれぞれ異なっている請求項12に記載のレーザ顕微鏡。   The polarization control element includes a plurality of divided regions in which the wavelength plate is radially divided and the wavelength plate is disposed, and the optical axes of the wave plates disposed in the divided region are different from each other. Laser microscope. 前記光走査部は2つのミラーを有しており、前記偏光制御素子は、該2つのミラーの間に配置される請求項1〜13のいずれか一項に記載のレーザ顕微鏡。   The laser scanning microscope according to any one of claims 1 to 13, wherein the optical scanning unit includes two mirrors, and the polarization control element is disposed between the two mirrors.
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