JP2012045651A - サンドブラストによる切削加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板状ワークにレジストを形成すると共に,該ワークに研磨材を投射してレジストの非形成部分のワークを切削して,ワークの切断及び/又はワークに対する貫通孔の形成を行うサンドブラストによる切削加工方法において,ワークの表面及び裏面双方に,インクジェット法による印刷によって表裏対称に所定のパターンでレジストを形成し,前記ワークの前記表面及び裏面のそれぞれに研磨材を投射して,表面側からの切削と,裏面側からの切削を,ワークの厚みの略中間位置で連通させる。
【選択図】図1
Description
板状ワークにレジストを形成すると共に,該ワークに研磨材を投射してレジストの非形成部分のワークを切削して,ワークの切断及び/又はワークに対する貫通孔の形成を行うサンドブラストによる切削加工方法において,
前記ワークの表面及び裏面に,インクジェット法による印刷によって表裏対称に所定のパターンでレジストを形成し,
前記ワークの前記表面及び裏面のそれぞれに研磨材を投射して,表面側からの切削と,裏面側からの切削を,ワークの厚みの略中間位置で連通させたことを特徴とする(請求項1)。
前記切削工程を,前記ワークの前記表面又は裏面のいずれか一方の面に研磨材を投射して前記ワークの厚さ方向の略中間位置迄切削した後,他方の面に研磨材を投射して行うものとしても良い(請求項4)。
本発明のサンドブラストによる切削加工方法は,図1に示すように板状のワークに対し,このワークの表裏に対して耐サンドブラスト性を有するレジストを形成する「レジスト形成工程」,前記レジスト形成後のワークの表裏面に対して研磨材を投射する「サンドブラスト工程」を有すると共に,図1の実施形態にあっては更に前記サンドブラスト後のワークより耐サンドブラスト性のレジストの除去と,ワークに付着する研磨材の除去を行うための「洗浄工程」,及び,前記洗浄後のワークを乾燥させる「乾燥工程」によって構成されている。
本発明の切削加工方法で対象とするワークは,板状のものであれば特にその材質等は限定されず,ガラス,セラミック,金属,シリコンウェハ,樹脂材料等の各種の材質のものを使用することができる。
前述したワークに対しては,レジスト形成工程においてレジスト用インクの印刷が行われる。
以上のようにして,ワークの表裏面に対してレジストの形成が完了すると,このワークに対してサンドブラストを行う。
図3を参照して説明したように,板状ワークの一面側にのみレジストを形成し,この面に対して研磨材を投射することによりワークの肉厚を貫通する迄切削を行う場合,切削の初期の段階では,研磨材はレジストによって覆われた部分を切削することがなく,図3(A)に示すように非レジスト部分を略均等に切削する。
〔ワーク〕
長さ90mm×幅90mm×厚さ0.7mmのガラス板。
〔加工内容〕
前記ガラス板を,図4に示すテストパターンに加工した。また,同様のガラス板に幅0.8mm,長さ10mmの貫通スリットと,直径0.8mmの貫通孔を形成した。
(1)レジスト用インク
レジスト用インクとして,株式会社ミマキエンジニアリング製「UVink F-200」を使用した。このレジスト用インクの組成を表1に示す。
印刷装置として,オンデマンドピエゾヘッド(1200×1200dpi)のインクジェットヘッドを搭載したインクジェットプリンタを使用した。
サンドブラスト装置として,株式会社不二製作所製「ニューマブラスター SGK−2」を使用し,炭化ケイ素系研磨材〔株式会社不二製作所製「フジランダム」♯320(平均粒径20μm)〕を噴射圧力0.4MPa,噴射距離150mmで噴射した。ここで,「噴射距離」とは,噴射ノズルの先端とワークの表面間の距離である。
以上のようにして加工した後のワークは,これを40℃の温水に浸漬してレジスト材を除去後,乾燥させた。
以上で説明した本発明の切削加工方法では,表面側のみからのブラストによって切削を行う場合に比較して,大幅に作業時間を短縮することができた。
Claims (5)
- 板状ワークにレジストを形成すると共に,該ワークに研磨材を投射してレジストの非形成部分のワークを切削して,ワークの切断及び/又はワークに対する貫通孔の形成を行うサンドブラストによる切削加工方法において,
前記ワークの表面及び裏面に,インクジェット法による印刷によって表裏対称に所定のパターンでレジストを形成し,
前記ワークの前記表面及び裏面のそれぞれに研磨材を投射して,表面側からの切削と,裏面側からの切削を,ワークの厚みの略中間位置で連通させたことを特徴とするサンドブラストによる切削加工方法。 - 前記ワークを透明板と成すと共に,
前記レジスト形成工程が,
前記ワークの前記表面に対してレジストを形成した後,前記ワークの裏面側から前記表面に形成したレジストを撮影し,
該撮影された画像より前記表面に形成したレジストの位置座標を求め,求めた位置座標に従って前記ワークの前記裏面に対してレジストを形成する工程を含むことを特徴とする請求項1記載のサンドブラストによる切削加工方法。 - 前記切削工程において,前記ワークの前記表面に対する研磨材の投射と,前記ワークの前記裏面に対する研磨材の投射とを同時に行うことを特徴とする請求項1又は2記載のサンドブラストによる切削加工方法。
- 前記切削工程を,前記ワークの前記表面又は裏面のいずれか一方の面に研磨材を投射して前記ワークの厚さ方向の略中間位置迄切削した後,他方の面に研磨材を投射して行うことを特徴とする請求項1又は2記載のサンドブラストによる切削加工方法。
- 前記切削工程後,前記ワークに付着したレジストを除去する工程を更に含むことを特徴とする請求項1〜4いずれか1項記載のサンドブラストによる切削加工方法。
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