JP2012002446A - Induction furnace - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、誘導加熱を利用して溶解あるいは熱処理などをする誘導炉に関する。具体的には、使用電力を節減することができるとともに、省スペースが可能な誘導炉を提供せんとするものである。 The present invention relates to an induction furnace that performs induction or heat treatment using induction heating. Specifically, it is intended to provide an induction furnace that can reduce power consumption and save space.
従来より用いられている誘導炉の構成を、図6に示し説明する。ここで、図6は、高周波電流を使用する誘導炉の従来例の構成を示す部分縦断面図であり、説明を簡単にするため、各部を支持するための支持部材および断熱材などの付随的な構成要素の図示は省略している。 The structure of the induction furnace conventionally used is shown in FIG. 6 and will be described. Here, FIG. 6 is a partial longitudinal sectional view showing the configuration of a conventional example of an induction furnace that uses a high-frequency current. For the sake of simplicity, additional components such as a support member and a heat insulating material for supporting each part are shown. The illustration of various components is omitted.
130は、加熱対象物を収容するための、有底円筒状に形成されたるつぼであり、その
図6において、110は、高周波電流が流れる誘導コイルであり、その内側に配置された、絶縁または断熱してホットゾーンを形成するための円筒状の筒体120の外周壁に近接して、これを巻回するようにして配設されている。筒体120の素材には、絶縁のためであれば、例えば石英が用いられる。
Reference numeral 130 denotes a crucible formed in a bottomed cylindrical shape for accommodating an object to be heated. In FIG. 6,
130は、加熱対象物を収容するための、有底円筒状に形成されたるつぼであり、その素材には、例えばイリジウムが用いられる(加熱対象物により、るつぼ材質は異なる。)。このるつぼ130は、図示されてはいない断熱材により、その全体が囲まれている。 Reference numeral 130 denotes a crucible formed in a bottomed cylindrical shape for accommodating a heating object, and, for example, iridium is used as the material thereof (the crucible material differs depending on the heating object). The crucible 130 is entirely surrounded by a heat insulating material (not shown).
以上のように配された誘導コイル110、筒体120およびるつぼ130は、円筒状のチャンバー140により覆われ、チャンバー140は、基台150により支持されている。なお、チャンバー140は、その軸心方向すなわち図面上で上下方向において移動可能となっている。
The
このような構成の誘導炉により、加熱対象物を溶解あるいは熱処理などをする場合は、加熱対象物を収容したるつぼ130を筒体120の内部に配置したうえで、誘導コイル110および内部にるつぼ130が配置された筒体120を、チャンバー140により覆う。
When the object to be heated is melted or heat-treated by the induction furnace having such a configuration, the crucible 130 containing the object to be heated is arranged inside the cylindrical body 120 and then the
誘導コイル110および筒体120がチャンバー140により覆われたならば、加熱対象物の種類に応じて、真空吸引をしてチャンバー140内を真空にするか、または、雰囲気ガスを充填する。
If the
そこで、誘導コイル110に高周波電流を流すと、これにより発生する渦電流によって、るつぼ130が発熱し、るつぼ130内に収容された加熱対象物は加熱される。加熱対象物が加熱されて溶融したならば、図示されてはいない昇降機構を駆動させてチャンバー140を上方に移動させたうえで、溶融した加熱対象物を収容しているるつぼ130を誘導炉より取り出すことになる。
Therefore, when a high-frequency current is passed through the
しかしながら、図6に示した従来例によると、つぎのような解決すべき課題がある。すなわち、加熱効率の悪いサファイヤなどの酸化物を加熱する場合は、大きな電源出力を必要とする。しかし、電源出力が大きくなると、誘導コイル110から発生する漏洩磁束も大きくなるため、無駄な電力が消費されてしまうことになる。
However, the conventional example shown in FIG. 6 has the following problems to be solved. That is, when heating an oxide such as sapphire having poor heating efficiency, a large power output is required. However, when the power supply output increases, the leakage magnetic flux generated from the
また、大きな電源出力を使用することにより、誘導コイル110に流れる電流が増大して、誘導コイル110の周辺が加熱されると、誘導コイル110からチャンバー140までのギャップ(間隔)が小さければ、チャンバー140が加熱されてしまうことになる。
Further, when a large power output is used and the current flowing through the
したがって、大きな電源出力を必要とする酸化物を加熱する場合は、誘導コイル110からチャンバー140までのギャップを大きくしなければならない。すなわち、大きな電源出力を必要とする場合は、チャンバー140のサイズを大きくしなければならず、誘導炉の占有面積が大きくなってしまう。とくに、近時は、よりサイズの大きい酸化物の結晶の作製が求められており、径の大きい誘導コイル110を使用してより大きな電源出力を用いる場合は、誘導炉の占有面積が一層大きくなってしまうことになる。以上のような解決すべき課題が、図6に示した従来例にはあった。
Therefore, when heating an oxide that requires a large power output, the gap from the
そこで、上記課題を解決するために、本発明はなされたものである。そのために、本発明では、つぎのような手段を用いるようにした。すなわち、加熱対象物を収容するるつぼが内部に配置される筒体と、筒体の外周壁に近接して配設される誘導コイルと、誘導コイルの外周側に近接して配設される、誘導コイルから発生する漏洩磁束を低減する複数のコア部と、筒体、誘導コイルおよび複数のコア部を覆う軸心方向において移動可能なチャンバーとにより、誘導炉を構成するようにした。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems. Therefore, in the present invention, the following means are used. That is, a crucible that accommodates the object to be heated is disposed inside, an induction coil disposed near the outer peripheral wall of the tubular body, and disposed near the outer peripheral side of the induction coil. The induction furnace is configured by a plurality of core portions that reduce leakage magnetic flux generated from the induction coil, and a chamber that is movable in the axial direction covering the cylindrical body, the induction coils, and the plurality of core portions.
本発明によるならば、誘導コイルからの漏洩磁束を低減するためのコア部を配設するようにしたことから、漏洩磁束を低減することができる。その結果、電源出力を有効に利用することができるので、使用電力の節減を図ることが可能となる。 According to the present invention, since the core portion for reducing the leakage magnetic flux from the induction coil is disposed, the leakage magnetic flux can be reduced. As a result, the power output can be used effectively, so that the power consumption can be saved.
また、チャンバーへの加熱を抑えることができるので、誘導コイルからチャンバーまでのギャップを大きくする必要がなく、誘導炉の占有面積を可能な限り小さなものとすることができる。すなわち、省スペースの要請に応えることが可能となる。したがって、本発明によりもたらされる効果は、実用上極めて大きい。 Further, since heating to the chamber can be suppressed, it is not necessary to increase the gap from the induction coil to the chamber, and the occupation area of the induction furnace can be made as small as possible. That is, it becomes possible to meet the demand for space saving. Therefore, the effect brought about by the present invention is extremely large in practical use.
本発明による誘導炉は、加熱対象物を収容するるつぼが内部に配置される円筒状の筒体の外周壁に近接して配設される誘導コイルの外周側に、誘導コイルから発生する漏洩磁束を低減するための複数のコア部を、誘導コイルに近接して配設する。以下、実施例により詳しく説明する。 In the induction furnace according to the present invention, the leakage magnetic flux generated from the induction coil on the outer peripheral side of the induction coil disposed in the vicinity of the outer peripheral wall of the cylindrical tube in which the crucible for storing the heating object is disposed. A plurality of core portions for reducing the above are disposed in proximity to the induction coil. Hereinafter, the embodiment will be described in detail.
本発明の実施例1の構成を、図1に示し説明する。ここで、図1は、本実施例における誘導炉の構成を示す部分縦断面図であり、説明を簡単にするため、図6と同様に、各部を支持するための支持部材および断熱材などの付随的な構成要素の図示は省略している。 The configuration of the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, FIG. 1 is a partial vertical cross-sectional view showing the configuration of the induction furnace in the present embodiment, and for the sake of simplicity of explanation, like FIG. 6, a support member, a heat insulating material, etc. for supporting each part Ancillary components are not shown.
図1において、本実施例における誘導炉の構成が、図6に示した従来例の構成と異なるところを説明する。発明による誘導炉では、誘導コイル110の外周側に、誘導コイル110から発生する漏洩磁束を低減するためのコア部10を、誘導コイル110に近接して配設している。その他の構成は、図6に示した従来例と同じである。
In FIG. 1, a description will be given of a place where the configuration of the induction furnace in this embodiment is different from the configuration of the conventional example shown in FIG. In the induction furnace according to the invention, the
このコア部10は、図2(側面図)に示すように、2枚の細長方形板状の水冷銅板12によって、図3(平面図)に示すように、相互に接する多数の細長方形板状の珪素鋼板の薄板を用いたコア11を挟むことにより構成されている。コア11の幅および長さは、水冷銅板12と同一であり、誘導コイル110上端の上方から下端の下方にわたって配設され、コア11と誘導コイル110との間には、セラミックを用いた絶縁物15が介装されている。
As shown in FIG. 2 (side view), the
このような構成のコア部10は、水冷銅板12およびコア11を貫通するネジが螺合するコ字状のコア・クランプ13によって、支持されている。コア部10を支持するコア・クランプ13は、図2に示すように、3つ用いられており、上方と下方の2つのコア・クランプ13が、コア押え14を介して、下端が基台150(図1)に固着された細長角柱状の支柱16に固定されている。このようなコア部10は、図3に示すように、8つ配設されている。
The
以上のような構成の誘導炉により、加熱対象物を溶解あるいは熱処理などをする場合は、筒体120の内部に加熱対象物を収容したるつぼ130を配置したうえで、誘導コイル110および内部にるつぼ130が配置された筒体120を、チャンバー140により覆う。
When the object to be heated is melted or heat-treated by the induction furnace having the above-described configuration, the crucible 130 containing the object to be heated is disposed inside the cylindrical body 120 and then the
誘導コイル110および筒体120がチャンバー140により覆われたならば、加熱対象物の種類に応じて、真空吸引をしてチャンバー140内を真空にするか、または、雰囲気ガスを充填する。そこで、誘導コイル110に高周波電流を流すと、これにより発生する渦電流によって、るつぼ130が発熱し、るつぼ130内に収容された加熱対象物は、加熱され溶融することになる。
If the
同時に、誘導コイル110に近接して配設されたコア11(図3)により、誘導コイル110から発生する漏洩磁束が低減される。本願発明者が行った実験によると、厚さが15mmで内径が400mmの誘導コイル110を用いて、加熱温度を2030〜2050℃(サァイヤの溶融温度)とする場合は、従来例によれば92.9kWの電源出力を必要とするのに対して、図1に示した誘導炉によれば、72.6kWの電源出力で足り、約22%の電力節減が可能であるとの結果を得ている。
At the same time, the leakage flux generated from the
また、実験によれば、コア11両端部の水冷銅板12からの冷却水排水温度は、加熱対象物の溶融時でも約39℃(△T7℃)までしか上昇しておらず、コア11の温度は、チャンバー140(図1)を異常に加熱する程には上昇していないものと考えることができる。したがって、誘導コイル110からチャンバー140までのギャップを大きくする必要はないことになる。
Further, according to the experiment, the cooling water drainage temperature from the water-cooled copper plate 12 at both ends of the core 11 rises only to about 39 ° C. (
このように、本発明による誘導炉によれば、使用電力を節減することができるとともに、誘導コイル110からチャンバー140までのギャップを大きくする必要はないことから、省スペースの要請にも応えることができることになる。
As described above, according to the induction furnace according to the present invention, it is possible to save power consumption, and it is not necessary to increase the gap from the
図4は、本発明の実施例2の構成を示す部分縦断面図であり、図1における構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付している。 FIG. 4 is a partial longitudinal sectional view showing the configuration of the second embodiment of the present invention. The same components as those shown in FIG.
図4において、ここに示した実施例2の構成が、図1に示した実施例1の構成と異なるところは、コア部10を支えるための支柱16Bの固着位置である。図1に示した実施例1では、支柱16は、その下端を基台150(図1)に固着していた。
In FIG. 4, the configuration of the second embodiment shown here is different from the configuration of the first embodiment shown in FIG. 1 in the fixing position of the
これに対して、本実施例では、支柱16Bは、その両端部が、チャンバー140の内壁に固着された2つの方形板状の支持部材17により支持されている。これに伴い、支柱16Bの長さは、図1に示した実施例1における支柱16よりは短いものとなっている。その他の構成は、図1に示した実施例1の構成と同じである。
On the other hand, in this embodiment, both ends of the
このように構成するならば、誘導炉の作動により加熱対象物が溶融した後、チャンバー140を上方に移動させる場合に、コア部10もともに上方に移動する。コア部10が移動すれば、コア部10のメンテナンス、あるいは、るつぼ130や断熱材のセッティングなども容易に行えることができることになる。
If comprised in this way, when a heating target object fuse | melts by the action | operation of an induction furnace, when moving the
図5は、本発明の実施例3の構成を示す部分縦断面図であり、図4における構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付している。 FIG. 5 is a partial longitudinal sectional view showing the configuration of the third embodiment of the present invention. The same components as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals.
図5において、ここにおける実施例3の構成が、図4に示した実施例2の構成と異なるところは、チャンバー140Bおよび基台150Bが縦断面方向において2等分されて、それぞれキャスター152を装着した各基台半部151に支持された各チャンバー半部141が、それぞれチャンバー140Bの軸心方向と直交する方向すなわち図面上で水平方向において移動可能となっていることである。その他の構成は、図4に示した実施例2の構成と同じである。
In FIG. 5, the configuration of the third embodiment is different from the configuration of the second embodiment shown in FIG. 4 in that the chamber 140B and the
このように構成するならば、誘導炉を作動させて加熱対象物が溶融した後、各チャンバー半部141をそれぞれ水平方向において移動させると、コア部10もともに水平方向において移動する。コア部10が移動すれば、図4に示した実施例2と同様に、コア部10のメンテナンス、あるいは、るつぼ130や断熱材のセッティングなども容易に行えることができることになる。
If comprised in this way, after operating an induction furnace and a heating target object will melt | dissolve, if each chamber half part 141 is moved in a horizontal direction, respectively, the
以上においては、8つのコア部10を用いる場合を例に挙げて説明した。しかし、本発明は、これに限定されるものではない。複数のコア部10を用いる場合について、本発明は適用され得るものである。
In the above, the case where the eight
また、高周波電流を使用する誘導炉について説明したが、本発明は、これに限られるものではない。低周波電流を使用する誘導炉についても、本発明は適用することができるものである。 Moreover, although the induction furnace using a high frequency current was demonstrated, this invention is not limited to this. The present invention can also be applied to an induction furnace that uses a low-frequency current.
さらに、コア11(図3)の素材が珪素鋼板である場合について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。フェライト・コアおよび金属コアを用いる場合についても、本発明は適用し得るものである。 Furthermore, although the case where the raw material of the core 11 (FIG. 3) is a silicon steel plate was demonstrated, this invention is not limited to this. The present invention can also be applied to the case where a ferrite core and a metal core are used.
なお、図1に示した誘導炉におけるチヤンバー140には、点検などのための開閉扉を設けるようにしてもよい。
Note that the
また、図4および図5にそれぞれ示した誘導炉は、各図面上で時計方向または反時計方向に90°回転させた状態で設置して、図4の誘導炉ではチヤンバー140を水平方向に移動可能な構成とし、図5の誘導炉では各チヤンバー半部141を垂直方向に移動可能な構成とするようにしてもよい。その場合は、誘導炉は、加熱処理用として、すなわち、るつぼ130を用いずに加熱対象物を熱処理するものとして用いられることになる。
In addition, the induction furnace shown in FIG. 4 and FIG. 5 is installed in a state where it is rotated 90 ° clockwise or counterclockwise on each drawing, and the
10 コア部
11 コア
12 水冷銅板
13 コア・クランプ
14 コア押え
15 絶縁物
16,16B 支柱
17 支持部材
110 誘導コイル
120 筒体
130 るつぼ
140,140B チャンバー
141 チャンバー半部
150 基台
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記筒体の外周壁に近接して配設された誘導コイル(110)と、
前記誘導コイルの外周側に近接して配設され下端が基台(150)に固着された支柱(16)により支えられた、前記誘導コイルから発生する漏洩磁束を低減するための複数のコア部(10)と、
前記筒体、前記誘導コイルおよび前記複数のコア部を覆うための軸心方向において移動可能なチャンバー(140)とを
具備した誘導炉。 A cylinder (120) in which a crucible (130) for accommodating a heating object is disposed;
An induction coil (110) disposed proximate to the outer peripheral wall of the cylindrical body;
A plurality of core portions for reducing leakage magnetic flux generated from the induction coil, which is disposed in the vicinity of the outer peripheral side of the induction coil and supported by a support column (16) whose lower end is fixed to the base (150). (10) and
An induction furnace comprising: the cylinder, the induction coil, and a chamber (140) movable in an axial direction for covering the plurality of core portions.
前記筒体の外周壁に近接して配設された誘導コイル(110)と、
前記誘導コイルの外周側に近接して配設された、前記誘導コイルから発生する漏洩磁束を低減するための複数のコア部(10)と、
前記筒体、前記誘導コイルおよび前記複数のコア部を覆うための軸心方向において移動可能なチャンバー(140)とを具備した誘導炉であって、
前記コア部が、端部が支持部材(17)を介して前記チャンバーの内壁に固着された支柱(16B)により支持された誘導炉。 A cylindrical cylinder (120) in which a crucible (130) for accommodating a heating object is disposed;
An induction coil (110) disposed proximate to the outer peripheral wall of the cylindrical body;
A plurality of core portions (10) disposed in the vicinity of the outer periphery of the induction coil for reducing leakage magnetic flux generated from the induction coil;
An induction furnace comprising a chamber (140) movable in an axial direction for covering the cylindrical body, the induction coil, and the plurality of core portions;
An induction furnace in which the core portion is supported by a support column (16B) having an end portion fixed to the inner wall of the chamber via a support member (17).
前記筒体の外周壁に近接して配設された誘導コイル(110)と、
前記誘導コイルから発生する漏洩磁束を低減するための、前記誘導コイルの外周側に近接して配設された複数のコア部(10)と、
前記筒体、前記誘導コイルおよび前記複数のコア部を覆うための、縦断面方向において2等分することにより形成され軸心方向と直交する方向において移動可能な2つのチャンバー半部(141)からなるチャンバー(140B)とを具備した誘導炉であって、
前記コア部が、端部が支持部材(17)を介して前記チャンバーの内壁に固着された支柱(16B)により支持された誘導炉。 A cylindrical cylinder (120) in which a crucible (130) for accommodating a heating object is disposed;
An induction coil (110) disposed proximate to the outer peripheral wall of the cylindrical body;
A plurality of core portions (10) disposed close to the outer peripheral side of the induction coil for reducing leakage magnetic flux generated from the induction coil;
From the two chamber halves (141) which are formed by dividing the cylinder, the induction coil and the plurality of cores into two equal parts in the longitudinal cross-sectional direction and which are movable in the direction perpendicular to the axial direction An induction furnace comprising a chamber (140B),
An induction furnace in which the core portion is supported by a support column (16B) having an end portion fixed to the inner wall of the chamber via a support member (17).
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