JP2011244938A - 血圧センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被測定者の血圧測定部位に装着され、撓むことで少なくとも一方向に引っ張り応力が生じる基板と、前記基板上に設けられた第1の電極と、前記第1の電極上に設けられ磁化が一方向に向いている磁化固着層と、前記磁化固着層上に設けられた非磁性層と、前記非磁性層上に設けられ磁化が可変の磁化自由層と、前記磁化自由層上に設けられた第2の電極と、を備え、前記磁化自由層の磁化が前記引っ張り応力の生じる第1の方向と異なる方向及び前記第1の方向に対して垂直な方向と異なる方向を向いていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
(第1の実施形態)
(変形例1)
(変形例2)
(変形例3)
(変形例4)
(第2の実施形態)
(変形例5)
(変形例6)
(変形例7)
(第3の実施形態)
(変形例8)
図13を用いて説明したのと同様であるので説明は省略する。
(第4の実施形態)
(実施例)
(第5の実施形態)
Claims (12)
- 被測定者の血圧測定部位に装着され、撓むことで少なくとも一方向に引っ張り応力が生じる基板と、
前記基板上に設けられた第1の電極と、
前記第1の電極上に設けられ、磁化が一方向に向いている磁化固着層と、
前記磁化固着層上に設けられた非磁性層と、
前記非磁性層上に設けられ磁化が可変の磁化自由層と、
前記磁化自由層上に設けられた第2の電極と、
を備え、
前記磁化自由層の磁化が前記引っ張り応力の生じる第1の方向と異なる方向及び前記第1の方向に対して垂直な方向と異なる方向を向いていることを特徴とする血圧センサ。 - 前記基板は、長手方向を有する形状であることを特徴とする請求項1に記載の血圧センサ。
- 前記磁化自由層は、積層方向に対して垂直な方向に長手方向を有する長手形状であることを特徴とする請求項1に記載の血圧センサ。
- 前記磁化固着層、前記非磁性層、及び前記磁化自由層の積層方向に対して垂直方向であって、前記磁化固着層、前記非磁性層、及び前記磁化自由層を挟むように設けられた一対の硬磁性層と、
を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の血圧センサ。 - 前記磁化自由層と前記第2の電極との間に設けられた絶縁層と、
前記第2の電極と前記絶縁層との間に設けられた反強磁性層と、
を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の血圧センサ。 - 前記反強磁性層は、前記絶縁層上で離間して設けられていることを特徴とする請求項5に記載の血圧センサ。
- 前記基板がポリイミドあるいはパリレンを含むことを特徴とする請求項1に記載の血圧センサ。
- 前記基板が軟磁性体であることを特徴とする請求項1に記載の血圧センサ。
- 前記第1の電極と前記前記基板との間に設けられた第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜と前記基板との間に設けられた第1の軟磁性層と、
前記第2の電極上に設けられた第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上に設けられた第2の軟磁性層と、
を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の血圧センサ。 - 被測定者の血圧測定部位に装着され、撓むことで少なくとも一方向に引っ張り応力が生じる第1の基板と、
前記第1の基板上に離間して設けられた一対の第1及び第2の支持体と、
前記第1及び前記第2の支持体との間であって前記第1の基板上に複数設けられた第1の電極と、前記第1の電極上に設けられ磁化が一方向に向いている磁化固着層と、前記磁化固着層上に設けられた非磁性層と、前記非磁性層上に設けられ磁化が可変の磁化自由層と、前記磁化自由層上に設けられた第2の電極とを備えた磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子を前記第1の基板とで挟むように設けられた第2の基板と、
前記第1及び前記第2の支持体を連結する第3の支持体と、
前記第2の基板と前記第3の支持体との間に設けられた弾性体と、
を備え、
前記磁化自由層の磁化が前記引っ張り応力の生じる第1の方向と異なる方向及び前記第1の方向に対して垂直な方向と異なる方向を向いていることを特徴とする血圧センサ。 - 被測定者の血圧測定部位に装着され、撓むことで少なくとも一方向に引っ張り応力が生じる第1の基板と、
前記第1の基板上に離間して設けられた一対の第1及び第2の支持体と、
前記第1及び前記第2の支持体との間であって前記第1の基板上に複数設けられた第1の電極と、前記第1の電極上に設けられ磁化が一方向に向いている磁化固着層と、前記磁化固着層上に設けられた非磁性層と、前記非磁性層上に設けられ磁化が可変の磁化自由層と、前記磁化自由層上に設けられた第2の電極とを備えた磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子を前記第1の基板とで挟むように設けられ、前記第1及び前記第2の支持体を連結する第2の基板と、
前記第2の基板上に設けられ、圧力が一定の筐体と、
を備え、
前記磁化自由層の磁化が前記引っ張り応力の生じる第1の方向と異なる方向及び前記第1の方向に対して垂直な方向と異なる方向を向いていることを特徴とする血圧センサ。 - 被測定者の血圧測定部位に装着され、撓むことで少なくとも一方向に引っ張り応力が生じる基板と、
前記基板上であって列方向に複数設けられた第1の配線と、
前記第1の配線上に複数設けられた第1の電極と、前記第1の電極上に設けられ磁化が一方向に向いている磁化固着層と、前記磁化固着層上に設けられた非磁性層と、前記非磁性層上に設けられ磁化が可変の磁化自由層と、前記磁化自由層上に設けられた第2の電極とを備えた磁気抵抗効果素子と、
前記磁気抵抗効果素子上であって、前記磁気抵抗効果素子を挟むように行方向に複数設けられた第2の配線と、
を備え、
前記磁化自由層の磁化が前記引っ張り応力の生じる第1の方向と異なる方向及び前記第1の方向に対して垂直な方向と異なる方向を向いていることを特徴とする血圧センサ。
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---|---|---|---|
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---|---|
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Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013205255A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Toshiba Corp | 圧力検知素子の製造方法 |
JP2014052360A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Toshiba Corp | 圧力検知素子及びその製造方法 |
JP2014074606A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Toshiba Corp | 圧力センサ、音響マイク、血圧センサ及びタッチパネル |
JP2014103539A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Toshiba Corp | マイクロフォンパッケージ |
JP2015061070A (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル |
JP2015061310A (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 音響センサ及び音響センサシステム |
JP2015059930A (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 歪みセンサ、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ、携帯情報端末および補聴器 |
JP2015064255A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ、タッチパネル、圧力センサの製造方法、および圧力センサの製造装置 |
JP2015179779A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社東芝 | 歪検出素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
US9322726B2 (en) | 2014-01-20 | 2016-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor, acceleration sensor, and method for manufacturing pressure sensor |
US9422150B2 (en) | 2014-03-20 | 2016-08-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor |
JP2016212124A (ja) * | 2016-09-23 | 2016-12-15 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、音響マイク、血圧センサ及びタッチパネル |
US9651432B2 (en) | 2013-09-20 | 2017-05-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US9759618B2 (en) | 2012-03-29 | 2017-09-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor and microphone |
US9790087B2 (en) | 2011-09-27 | 2017-10-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain and pressure sensing device, microphone, method for manufacturing strain and pressure sensing device, and method for manufacturing microphone |
WO2017188092A1 (ja) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | オムロンヘルスケア株式会社 | 脈波検出装置、生体情報測定装置、脈波検出方法、及び、脈波検出プログラム |
JP2017220671A (ja) * | 2017-07-04 | 2017-12-14 | 株式会社東芝 | 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
US9853209B2 (en) | 2014-03-19 | 2017-12-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing pressure sensor, deposition system, and annealing system |
JP2018006769A (ja) * | 2017-09-14 | 2018-01-11 | 株式会社東芝 | センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル |
US9897494B2 (en) | 2013-09-20 | 2018-02-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US9952030B2 (en) | 2015-03-24 | 2018-04-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element and pressure sensor |
US10048150B2 (en) | 2014-07-02 | 2018-08-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain detection element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US10082435B2 (en) | 2014-07-02 | 2018-09-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor |
JP2018201023A (ja) * | 2018-07-10 | 2018-12-20 | 株式会社東芝 | センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル |
US10413198B2 (en) | 2013-09-20 | 2019-09-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US10473685B2 (en) | 2016-09-21 | 2019-11-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Sensor and sensor package |
US10883815B2 (en) | 2018-08-13 | 2021-01-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Film strain sensor configuration including a processor |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103533884B (zh) * | 2011-03-15 | 2016-06-01 | 传感技术股份有限公司 | 氧化敏感性材料的集成催化保护 |
JP5443421B2 (ja) | 2011-03-24 | 2014-03-19 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドジンバルアッセンブリ、及び、磁気記録再生装置 |
US9047902B1 (en) * | 2011-06-15 | 2015-06-02 | Western Digital (Fremont), Llc | Touchdown sensor having a more stable crystal structure for use in hard disk drives |
JP5740268B2 (ja) | 2011-09-27 | 2015-06-24 | 株式会社東芝 | 表示装置 |
JP6055286B2 (ja) | 2012-11-20 | 2016-12-27 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ、およびタッチパネル |
JP6113581B2 (ja) | 2013-06-12 | 2017-04-12 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、音響マイク、血圧センサ及びタッチパネル |
US10588521B2 (en) * | 2013-07-10 | 2020-03-17 | Hitachi, Ltd. | Sphygmomanometer system |
JP2015061057A (ja) | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
JP6190226B2 (ja) | 2013-09-20 | 2017-08-30 | 株式会社東芝 | 慣性センサ |
JP2016161410A (ja) * | 2015-03-02 | 2016-09-05 | 株式会社東芝 | 歪検出素子、圧力センサ及びマイクロフォン |
CN109330576B (zh) * | 2015-03-24 | 2020-10-27 | 联想(北京)有限公司 | 控制开启方法及电子设备 |
JP6480837B2 (ja) * | 2015-09-04 | 2019-03-13 | 株式会社東芝 | センサ、情報端末、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
KR102451098B1 (ko) | 2015-09-23 | 2022-10-05 | 삼성전자주식회사 | 자기 메모리 장치 및 이의 제조 방법 |
US10928905B2 (en) | 2017-10-09 | 2021-02-23 | TacSense, Inc. | Body motion and position sensing, recognition and analytics from an array of wearable pressure sensors |
JP6753882B2 (ja) | 2018-03-01 | 2020-09-09 | 株式会社東芝 | センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
JP6889135B2 (ja) * | 2018-09-14 | 2021-06-18 | 株式会社東芝 | センサ |
US11375927B2 (en) * | 2018-11-07 | 2022-07-05 | Senseonics, Incorporated | Analyte monitoring systems and methods that make use of information about a condition of the environment surrounding an analyte sensor |
JP7407817B2 (ja) * | 2018-12-05 | 2024-01-04 | センセオニクス,インコーポレーテッド | 生きている動物内の媒質中の分析物を測定するためのセンサー、及び、インビボ試料中の分析物の存在または濃度を検出するための方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148132A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-05-22 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 微小圧力検知素子、この素子を用いた装置及び健康監視システム |
JP2003132508A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果ヘッド |
JP2003218421A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気検出素子及びその製造方法並びに磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
JP2003282999A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Fujitsu Ltd | 磁気センサ |
JP2004103806A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Tdk Corp | 交換結合膜、スピンバルブ膜、薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置 |
JP2005209301A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
JP2007299931A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子および磁気メモリ |
JP2008000199A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Tdk Corp | モーションセンサ |
JP2008107323A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Headway Technologies Inc | 磁性膜センサおよびその製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5206590A (en) * | 1990-12-11 | 1993-04-27 | International Business Machines Corporation | Magnetoresistive sensor based on the spin valve effect |
US5913826A (en) * | 1996-06-12 | 1999-06-22 | K-One Technologies | Wideband external pulse cardiac monitor |
JP3234814B2 (ja) * | 1998-06-30 | 2001-12-04 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気ヘッドアセンブリ及び磁気記録装置 |
AU1198100A (en) * | 1998-09-23 | 2000-04-10 | Keith Bridger | Physiological sensing device |
US6692457B2 (en) * | 2002-03-01 | 2004-02-17 | Insulet Corporation | Flow condition sensor assembly for patient infusion device |
JP2005050842A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Alps Electric Co Ltd | 交換結合膜及びこの交換結合膜の製造方法並びに前記交換結合膜を用いた磁気検出素子 |
US7208948B2 (en) * | 2003-12-22 | 2007-04-24 | International Business Machines Corporation | Non-contact, high resolution magnetic sensor system |
DE102005009390B3 (de) * | 2005-03-01 | 2006-10-26 | Infineon Technologies Ag | Kraftsensor, Verfahren zur Ermittlung einer auf einen Kraftsensor wirkenden Kraft mittels eines Mehrschichtsystems aus magnetischen Schichten |
KR100730385B1 (ko) * | 2005-10-19 | 2007-06-19 | 상지대학교산학협력단 | 자성박막을 이용한 맥진 센서 |
US9480795B2 (en) * | 2009-01-21 | 2016-11-01 | Palo Alto Research Center Incorporated | Sensor system for drug delivery device, drug delivery device having the same and method of using the same |
-
2010
- 2010-05-25 JP JP2010119568A patent/JP5101659B2/ja active Active
-
2011
- 2011-03-11 US US13/045,759 patent/US20110295128A1/en not_active Abandoned
-
2014
- 2014-04-25 US US14/261,836 patent/US20140228693A1/en not_active Abandoned
- 2014-04-25 US US14/261,917 patent/US20140236028A1/en not_active Abandoned
-
2015
- 2015-02-26 US US14/632,414 patent/US20150164348A1/en not_active Abandoned
-
2017
- 2017-04-10 US US15/483,443 patent/US20170238820A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002148132A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-05-22 | Tohoku Ricoh Co Ltd | 微小圧力検知素子、この素子を用いた装置及び健康監視システム |
JP2003132508A (ja) * | 2001-10-22 | 2003-05-09 | Hitachi Ltd | 磁気抵抗効果ヘッド |
JP2003218421A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気検出素子及びその製造方法並びに磁気ヘッド及び磁気再生装置 |
JP2003282999A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Fujitsu Ltd | 磁気センサ |
JP2004103806A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Tdk Corp | 交換結合膜、スピンバルブ膜、薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置 |
JP2005209301A (ja) * | 2004-01-23 | 2005-08-04 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands Bv | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
JP2007299931A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果素子および磁気メモリ |
JP2008000199A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Tdk Corp | モーションセンサ |
JP2008107323A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Headway Technologies Inc | 磁性膜センサおよびその製造方法 |
Cited By (38)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10246324B2 (en) | 2011-09-27 | 2019-04-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain and pressure sensing device, microphone, method for manufacturing strain and pressure sensing device, and method for manufacturing microphone |
US9790087B2 (en) | 2011-09-27 | 2017-10-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain and pressure sensing device, microphone, method for manufacturing strain and pressure sensing device, and method for manufacturing microphone |
JP2013205255A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Toshiba Corp | 圧力検知素子の製造方法 |
US10082430B2 (en) | 2012-03-29 | 2018-09-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor and microphone |
US9759618B2 (en) | 2012-03-29 | 2017-09-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor and microphone |
JP2014052360A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Toshiba Corp | 圧力検知素子及びその製造方法 |
US9618411B2 (en) | 2012-09-10 | 2017-04-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor device |
JP2014074606A (ja) * | 2012-10-03 | 2014-04-24 | Toshiba Corp | 圧力センサ、音響マイク、血圧センサ及びタッチパネル |
JP2014103539A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Toshiba Corp | マイクロフォンパッケージ |
US10448845B2 (en) | 2013-09-20 | 2019-10-22 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, having a first and second magnetic layer and a third layer that is antiferrimagnetic |
JP2015061310A (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 音響センサ及び音響センサシステム |
JP2015061070A (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル |
US9897494B2 (en) | 2013-09-20 | 2018-02-20 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US10190923B2 (en) | 2013-09-20 | 2019-01-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US9654883B2 (en) | 2013-09-20 | 2017-05-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US9651432B2 (en) | 2013-09-20 | 2017-05-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US9383268B2 (en) | 2013-09-20 | 2016-07-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensor, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, personal digital assistant, and hearing aid |
JP2015059930A (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-30 | 株式会社東芝 | 歪みセンサ、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ、携帯情報端末および補聴器 |
US10444085B2 (en) | 2013-09-20 | 2019-10-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US10413198B2 (en) | 2013-09-20 | 2019-09-17 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
JP2015064255A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ、タッチパネル、圧力センサの製造方法、および圧力センサの製造装置 |
US9322726B2 (en) | 2014-01-20 | 2016-04-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor, acceleration sensor, and method for manufacturing pressure sensor |
US9853209B2 (en) | 2014-03-19 | 2017-12-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method of manufacturing pressure sensor, deposition system, and annealing system |
JP2015179779A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 株式会社東芝 | 歪検出素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
US9422150B2 (en) | 2014-03-20 | 2016-08-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor |
US10082435B2 (en) | 2014-07-02 | 2018-09-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pressure sensor |
US10048150B2 (en) | 2014-07-02 | 2018-08-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain detection element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel |
US9952030B2 (en) | 2015-03-24 | 2018-04-24 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element and pressure sensor |
US10746526B2 (en) | 2015-03-24 | 2020-08-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Strain sensing element and pressure sensor |
JP2017196192A (ja) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | オムロンヘルスケア株式会社 | 脈波検出装置、生体情報測定装置、脈波検出方法、及び、脈波検出プログラム |
WO2017188092A1 (ja) * | 2016-04-27 | 2017-11-02 | オムロンヘルスケア株式会社 | 脈波検出装置、生体情報測定装置、脈波検出方法、及び、脈波検出プログラム |
US11141074B2 (en) | 2016-04-27 | 2021-10-12 | Omron Healthcare Co., Ltd. | Pulse wave detector, biological information measurement device, pulse wave detection method and storage medium |
US10473685B2 (en) | 2016-09-21 | 2019-11-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Sensor and sensor package |
JP2016212124A (ja) * | 2016-09-23 | 2016-12-15 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、音響マイク、血圧センサ及びタッチパネル |
JP2017220671A (ja) * | 2017-07-04 | 2017-12-14 | 株式会社東芝 | 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル |
JP2018006769A (ja) * | 2017-09-14 | 2018-01-11 | 株式会社東芝 | センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル |
JP2018201023A (ja) * | 2018-07-10 | 2018-12-20 | 株式会社東芝 | センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル |
US10883815B2 (en) | 2018-08-13 | 2021-01-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Film strain sensor configuration including a processor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150164348A1 (en) | 2015-06-18 |
US20170238820A1 (en) | 2017-08-24 |
US20140236028A1 (en) | 2014-08-21 |
JP5101659B2 (ja) | 2012-12-19 |
US20110295128A1 (en) | 2011-12-01 |
US20140228693A1 (en) | 2014-08-14 |
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